專利名稱:高效節(jié)能半導(dǎo)體塑封模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及注塑成型的設(shè)備,具體涉及集成電路的封裝設(shè)備。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體集成電路封裝模具是微電子封裝生產(chǎn)必備的關(guān)鍵工藝設(shè)備,微電子工業(yè)的飛速發(fā)展對(duì)半導(dǎo)體封裝模具的設(shè)計(jì)與制造提出了深層次的高新要求。
半導(dǎo)體封裝模具業(yè)對(duì)模具的要求是 一是要求精加工模具,目前電子產(chǎn)品不斷集成化、小型化,產(chǎn)品趨向高端,尺寸也越來(lái)越小,封裝體越來(lái)越薄,這對(duì)封裝要求越來(lái)越髙,對(duì)模具精度要求很高。塑封模工藝是半導(dǎo)體器件后工序生產(chǎn)中極其重要的工藝手段之一, 一般應(yīng)用單缸封裝技術(shù),其封裝對(duì)象包括
DI P、 S0P、 QFP、 S0T、 S0D、 TR類分立器件以及片式鉭電容、電感、橋式電路等系列產(chǎn)品。多注射頭封裝模具M(jìn)GP是單缸模具技術(shù)的延伸,是如今封裝模具主流產(chǎn)品。其采用多料筒、多注射頭封裝形式,優(yōu)勢(shì)在于可均衡流道,實(shí)現(xiàn)近距離填充,樹(shù)脂利用率高,封裝工藝穩(wěn)定,制品封裝質(zhì)量好。它適用于SS0P、TSS0P、 LQFP等多排、小節(jié)距、高密度集成電路以及SOT、 S0D等微型半導(dǎo)體器件產(chǎn)品封裝。
2007年11月14日公告的,公告號(hào)為CN200974321Y,名稱為"用于大料餅的多注射頭電路封裝模具"中國(guó)專利中,就公開(kāi)了一種多缸集成電路封裝模具。但是這種用于大料餅的多注射頭電路封裝模具仍然存在浪費(fèi)材料,且更換鑲件和頂桿時(shí)復(fù)雜,需要的時(shí)間長(zhǎng)等不足,同時(shí)單日缸注塑浪費(fèi)材料更加嚴(yán)
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供解決原料浪費(fèi)和封裝不合格的集成電路封裝模具。
為解決上述的技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案
高效節(jié)能半導(dǎo)體塑封模具,上模板6固定有上模模盒系統(tǒng)8,下模板7固定有下模模盒9;齒輪齒條2連接在驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)進(jìn)板3上,并上下往復(fù)移動(dòng),轉(zhuǎn)進(jìn)板3上固
定注塑頭系統(tǒng)4;注塑頭系統(tǒng)與下模模盒9的下中心澆道板聯(lián)通;轉(zhuǎn)進(jìn)板3帶動(dòng)下
模頂桿動(dòng)力復(fù)位板10上下往復(fù)移動(dòng),動(dòng)力復(fù)位板10通過(guò)機(jī)床復(fù)位桿穿過(guò)下模板7的下模頂桿動(dòng)力桿ll帶動(dòng)頂桿向上移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)12頂在上模底板13和上模模盒8之間,上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)12帶動(dòng)上模頂桿向下移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;下模板7向上移動(dòng)后,上模模盒8與下模模盒9貼合,其特征在于上模模盒8內(nèi)的上中心澆道板和下模模盒9的下中心澆道板形成封閉的腔體,上模模盒8與下模模盒9內(nèi)有膠道24,膠道24是空心的管道,和流道25連通,膠道24通過(guò)流道25與集成元件穴26相聯(lián)通;注塑頭4與腔體聯(lián)通;加料筒31內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由注塑頭通過(guò)膠道24經(jīng)過(guò)流道25注入流質(zhì)樹(shù)脂。更進(jìn)一步的技術(shù)方案是流道25的剖面為弧形。
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是上模模盒8在上模模盒固定板內(nèi)16快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除,下模模盒9通過(guò)滑槽裝置在下模模盒固定板內(nèi)15快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除。
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是上中心澆道板和下中心澆道板之間嵌入的中心板上的正面有排氣槽,成型條的正面有排氣槽。
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是排氣槽寬O. 8毫米,深O. 015毫米的排氣槽。
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是注塑頭是一個(gè)或多個(gè)。
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是加料筒31的內(nèi)直徑為45毫米,外直徑為55毫米。更進(jìn)一步的技術(shù)方案是單缸注塑中心板寬度為70毫米。
根據(jù)權(quán)利要求7所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的中心板內(nèi)的注塑料筒為空心管道,直接與流道25連通。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是注射缸密度大,裝拆方便,塑封料浪費(fèi)少,節(jié)約樹(shù)脂15%至30%,提高了原料利用率,減少了封裝時(shí)出現(xiàn)裂紋、氣孔、針眼、封不滿的問(wèn)題。澆道體積在保證產(chǎn)品質(zhì)量的前提下做到了小而合理,由于半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)量大,廢料具有不可回收性的特點(diǎn),不僅降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)成本,同時(shí)帶來(lái)了良好的社會(huì)環(huán)保效益。
本發(fā)明不僅完善結(jié)構(gòu),同時(shí)應(yīng)用了先進(jìn)的HGNX設(shè)計(jì)軟件模擬分析技術(shù),解決單缸和多缸注塑所存在的主澆道流程長(zhǎng),塑封產(chǎn)品氣密性差、內(nèi)有氣泡、針眼、缺封等不足,不僅提高了產(chǎn)品質(zhì)量,同時(shí)將塑封料用料降低到最合理的程度,節(jié)約能耗顯著。降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)能力。
圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明的多缸注塑的澆道示意圖。圖3為本發(fā)明的單缸注塑的澆道示意圖。圖4為本發(fā)明的澆道的剖面示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步闡述。
實(shí)施例l
6效節(jié)能半導(dǎo)體塑封模具,上模板6固定有上模模盒系統(tǒng)8,下模板7固定有下模模盒9;齒輪齒條2連接在驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)進(jìn)板3上,并上下往復(fù)移動(dòng),轉(zhuǎn)進(jìn)板3上固定注塑頭系統(tǒng)4;注塑頭系統(tǒng)與下模模盒9的下中心澆道板聯(lián)通;轉(zhuǎn)進(jìn)板3帶動(dòng)下模頂桿動(dòng)力復(fù)位板10上下往復(fù)移動(dòng),動(dòng)力復(fù)位板10通過(guò)機(jī)床復(fù)位桿穿過(guò)下模板7的下模頂桿動(dòng)力桿11帶動(dòng)頂桿向上移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)12頂在上模底板13和上模模盒8之間,上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)12帶動(dòng)上模頂桿向下移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;下模板7向上移動(dòng)后,上模模盒8與下模模盒9貼合,其特征在于上模模盒8內(nèi)的上中心澆道板和下模模盒9的下中心澆道板形成封閉的腔體,上模模盒8與下模模盒9內(nèi)有膠道24,膠道24是空心的管道,和流道25連通,膠道24通過(guò)流道25與集成元件穴26相聯(lián)通;注塑頭4與腔體聯(lián)通;加料筒31內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由注塑頭通過(guò)膠道24經(jīng)過(guò)流道25注入流質(zhì)樹(shù)脂。如圖2所示膠道24是空心的管道,和流道25連通,膠道24通過(guò)流道25與集成元件穴26相聯(lián)通。注塑頭4與腔體聯(lián)通。加料筒31的內(nèi)直徑為45毫米,外直徑為55毫米。加料筒31內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由1個(gè)注塑頭通過(guò)膠道24經(jīng)過(guò)流道25注入流質(zhì)樹(shù)脂。中心板內(nèi)的注塑料筒為空心管道,直接與流道25連通。如圖4所示,流道25的剖面為弧形。上模模盒8在上模模盒固定板內(nèi)16快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除,下模模盒9通過(guò)滑槽裝置在下模模盒固定板內(nèi)15快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除。上中心澆道板和下中心澆道板之間嵌入的中心板寬度正面有排氣槽,成型條的正面有排氣槽。排氣槽寬0.8毫米,深O. 015毫米的排氣槽。
上模模盒8和下模模盒9就類似抽屜式方式的結(jié)構(gòu)固定,便于大型模具的維修,更換成型鑲件和頂桿僅需幾分鐘,即可恢復(fù)生產(chǎn),大大減少了維修待機(jī)時(shí)間,生產(chǎn)效率成倍提升。實(shí)際使用中,本發(fā)明應(yīng)用HGNX設(shè)計(jì)軟件,并進(jìn)行CAE分析技術(shù),能夠盡早對(duì)模具設(shè)計(jì)進(jìn)行深入分析與改進(jìn),實(shí)現(xiàn)注塑工藝過(guò)程模擬仿真,對(duì)模具產(chǎn)品生產(chǎn)工藝過(guò)程中的注射時(shí)間、澆道流道及進(jìn)膠口的合理性、產(chǎn)品熔接痕、塑料填充度等進(jìn)行模擬分析,從而以最少的塑封用料。還通過(guò)產(chǎn)品形狀優(yōu)化、裝配尺寸分析優(yōu)化、設(shè)計(jì)與加工一體化,以及運(yùn)動(dòng)仿真、結(jié)構(gòu)強(qiáng)度分析、疲勞分析、塑料流動(dòng)、熱分析、公差分析與優(yōu)化、NC仿真及優(yōu)化、動(dòng)態(tài)仿真等,運(yùn)用軟件自動(dòng)分析評(píng)估更多更好的優(yōu)化設(shè)計(jì)方案。
實(shí)施例2
如圖l所示多缸注塑高效節(jié)能半導(dǎo)體塑封模具,上模板6固定有上模模盒系統(tǒng)8,下模板7固定有下模模盒9;齒輪齒條2連接在驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)進(jìn)板3上,并上下往復(fù)移動(dòng),轉(zhuǎn)進(jìn)板3上固定注塑頭系統(tǒng)4;注塑頭系統(tǒng)與下模模盒9的下中心澆道板聯(lián)通;轉(zhuǎn)進(jìn)板3帶動(dòng)下模頂桿動(dòng)力復(fù)位板10上下往復(fù)移動(dòng),動(dòng)力復(fù)位板10通過(guò)機(jī)床復(fù)位桿穿過(guò)下模板7的下模頂桿動(dòng)力桿11帶動(dòng)頂桿向上移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)12頂在上模底板B和上模模盒8之間,上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)12帶動(dòng)上模頂桿向下移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;下模板7向上移動(dòng)后,上模模盒8與下模模盒9貼合,其特征在于上模模盒8內(nèi)的上中心澆道板和下模模盒9的下中心澆道板形成封閉的腔體,上模模盒8與下模模盒9內(nèi)有膠道24,膠道24是空心的管道,和流道25連通,膠道24通過(guò)流道25與集成元件穴26相聯(lián)通;注塑頭4與腔體聯(lián)通;加料筒31內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由注塑頭通過(guò)膠道24經(jīng)過(guò)流道25注入流質(zhì)樹(shù)脂。如圖3所示膠道24是空心的管道,和流道25連通,膠道24通過(guò)流道25與集成元件穴26相聯(lián)通。注塑頭4與腔體聯(lián)通。加料筒31的內(nèi)直徑為45毫米,外直徑為55毫米。加料筒31內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由l個(gè)注塑頭通過(guò)膠道24經(jīng)過(guò)流道25注入流質(zhì)樹(shù)脂。中心板內(nèi)的注塑料筒為空心管道,直接與流道25連通。如圖4所示,流道25的剖面為弧形。上模模盒8在上模模盒固定板內(nèi)16快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除,下模模盒9通過(guò)滑槽裝置在下模模盒固定板內(nèi)15快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除。上中心澆道板和下中心澆道板之間嵌入的中心板寬度為70毫米,其正面有排氣槽,成型條的正面有排氣槽。排氣槽寬0.8毫米,深O. 015毫米的排氣槽。
權(quán)利要求
1、一種高效節(jié)能半導(dǎo)體塑封模具,上模板(6)固定有上模模盒系統(tǒng)(8),下模板(7)固定有下模模盒(9);齒輪齒條(2)連接在驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)進(jìn)板(3)上,并上下往復(fù)移動(dòng),轉(zhuǎn)進(jìn)板(3)上固定注塑頭系統(tǒng)(4);注塑頭系統(tǒng)與下模模盒(9)的下中心澆道板聯(lián)通;轉(zhuǎn)進(jìn)板(3)帶動(dòng)下模頂桿動(dòng)力復(fù)位板(10)上下往復(fù)移動(dòng),動(dòng)力復(fù)位板(10)通過(guò)機(jī)床復(fù)位桿穿過(guò)下模板(7)的下模頂桿動(dòng)力桿(11)帶動(dòng)頂桿向上移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)(12)頂在上模底板(13)和上模模盒(8)之間,上模頂桿復(fù)位動(dòng)力系統(tǒng)(12)帶動(dòng)上模頂桿向下移動(dòng),頂出成型產(chǎn)品和澆道;下模板(7)向上移動(dòng)后,上模模盒(8)與下模模盒(9)貼合,其特征在于上模模盒(8)內(nèi)的上中心澆道板和下模模盒(9)的下中心澆道板形成封閉的腔體,上模模盒(8)與下模模盒(9)內(nèi)有膠道(24),膠道(24)是空心的管道,和流道25連通,膠道(24)通過(guò)流道(25)與集成元件穴(26)相聯(lián)通;注塑頭(4)與腔體聯(lián)通;加料筒(31)內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由注塑頭通過(guò)膠道(24)經(jīng)過(guò)流道(25)注入流質(zhì)樹(shù)脂。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的流道(25)的剖面為弧形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述上模模 盒(8)在上模模盒固定板內(nèi)(16)快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除,下模模盒(9) 通過(guò)滑槽裝置在下模模盒固定板內(nèi)(15)快速滑動(dòng)進(jìn)入和拆除。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述上中心 澆道板和下中心澆道板之間嵌入的中心板的正面有排氣槽,成型條的正面 有排氣槽。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的排氣槽寬0.8毫米,深0.015毫米的排氣槽。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的注塑 頭是一個(gè)或多個(gè)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的加料 筒(31)的內(nèi)直徑為45毫米,外直徑為55毫米。
8、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的單缸 注塑中心板寬度為70毫米。
9、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的高效節(jié)能半導(dǎo)體封裝模具,其特征在于所述的中心 板內(nèi)的注塑料筒為空心管道,直接與流道(25)連通。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種高效節(jié)能半導(dǎo)體塑封模具,上模模盒(8)內(nèi)的上中心澆道板和下模模盒(9)的下中心澆道板形成封閉的腔體,上模模盒(8)與下模模盒(9)有膠道(24),膠道(24)是空心的管道,和流道(25)連通,膠道(24)通過(guò)流道(25)與集成元件穴(26)相聯(lián)通;注塑頭(4)與腔體聯(lián)通;加料筒(31)內(nèi)的流質(zhì)樹(shù)脂由注塑頭通過(guò)膠道(24)經(jīng)過(guò)流道(25)注入流質(zhì)樹(shù)脂。本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)澆道流程長(zhǎng),塑封產(chǎn)品氣密性差、更換鑲件和頂桿時(shí)復(fù)雜的不足,提供了一種密度大,裝拆方便,塑封料浪費(fèi)少,節(jié)約樹(shù)脂15%至30%,提高了原料利用率的半導(dǎo)體塑封模具,能應(yīng)用在IC封裝領(lǐng)域。
文檔編號(hào)H01L21/56GK101549545SQ20091005916
公開(kāi)日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者劉明華, 劉翔東, 熊蜀寧, 威 袁, 鄒學(xué)彬 申請(qǐng)人:成都尚明工業(yè)有限公司