專利名稱：一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種束光欄裝置，特別涉及一種離子注入機(jī)用可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在離子注入機(jī)中，束光欄可以用來分離各種不同的元素、離子和多電荷離子，并且能夠保證束流在管道內(nèi)的有效傳輸，因而在離子注入機(jī)中通常會(huì)根據(jù)不同光路的位置來設(shè)計(jì)不同的束光欄，從而保證注入離子的純度滿足工藝要求。
傳統(tǒng)的離子注入機(jī)所用的束光欄，一般為固定安裝方式或旋轉(zhuǎn)方式，前者存在光欄不可調(diào)，受束轟擊嚴(yán)重以及光欄材料及和光欄冷卻要求都很高等缺點(diǎn)；而后者則采用兩個(gè)圓柱體安裝時(shí)與支座不在同心圓上的方式，兩圓柱體可自轉(zhuǎn)，支座轉(zhuǎn)動(dòng)迎束面進(jìn)行變化調(diào)節(jié)，但是這不但要求兩圓柱體的外圓襯硅，還要求內(nèi)部同水冷卻，不但結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)復(fù)雜，而且成本高；近年來，隨著工藝要求的提高，還出現(xiàn)了一種可移動(dòng)的束光欄，其在機(jī)器調(diào)試過程中，使用不同的光欄縫隙，而在工作注入時(shí)，光欄離開束通道，這為束光欄的研制又提供了一種新的思路，但常常實(shí)現(xiàn)較為困難。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型即是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中離子注入機(jī)使用的束光欄的不足，而提出的一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置，該裝置安裝方便、適用范圍廣泛。
本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置，至少包括一光欄座、一轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸、一移動(dòng)氣缸、兩彈簧、一頂軸、一頂桿、一光欄架、一光欄板、一轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊、一氣缸固定板，所述的光欄板設(shè)置在光欄架上，并可在光欄架上水平移動(dòng)；所述的光欄架轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置在光欄座上；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊固定在光欄架的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，一端與轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊連接，另一端與冷卻水管連接；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)汽缸安裝在氣缸固定板上；所述的移動(dòng)氣缸軸與頂軸連接；所述的頂軸一端軸頭與頂桿一端頭接觸；所述的彈簧固定設(shè)置在光欄架上，其自由端與光欄板連接。
本實(shí)用新型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1.在石墨光欄上可設(shè)計(jì)不同的光欄縫隙，利用光欄板的移動(dòng)，對(duì)于微束流，使用窄縫隙，對(duì)于大束流，使用寬縫隙；2.利用轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸，不使用光欄時(shí)，可轉(zhuǎn)動(dòng)光欄架離開束通道；3.利用移動(dòng)氣缸，可方便調(diào)節(jié)光欄的中心位置，利于對(duì)中。


圖1為本實(shí)用新型一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的介紹，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
參見圖1，一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置，包括一光欄座1、一轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸5、一移動(dòng)氣缸7、兩彈簧3、一頂軸8、一頂桿9、一光欄架10、一光欄板4、一轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊2、一氣缸固定板6。
光欄架10的轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置在光欄座1上；轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸5安裝在氣缸固定板6上，轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸5的軸通過連接軸與轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊2連接，轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊2與光欄架10的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，因而當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸5的軸伸縮動(dòng)作時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊2運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)使光欄架10的轉(zhuǎn)動(dòng)。而轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸5的行程和擺塊結(jié)構(gòu)的改變可以改變決定光欄架10轉(zhuǎn)動(dòng)的角度，轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊2的一端連接冷水管11，用于裝置的冷卻。
移動(dòng)氣缸7與頂軸8連接，頂軸8一端軸頭與頂桿9一端頭相接觸，光欄板4通過頂桿9和兩個(gè)彈簧3，與光欄架10連接，并可在光欄架10上水平移動(dòng)，兩個(gè)彈簧3均固定在光欄架10上，其自由端與光欄板4連接。當(dāng)移動(dòng)氣缸7軸伸出時(shí)帶動(dòng)頂軸8移動(dòng)，頂軸8移動(dòng)時(shí)直接推動(dòng)頂桿9移動(dòng)，從而光欄板4在光欄架10上水平移動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)氣缸7軸縮回時(shí)，兩個(gè)彈簧的回復(fù)力帶動(dòng)光欄板4在光欄架10上往回運(yùn)動(dòng)。
若將石墨光欄直接固定在光欄板4上的，則光欄板4的移動(dòng)直接可以實(shí)現(xiàn)使石墨光欄移動(dòng)的目的，而光欄架10的轉(zhuǎn)動(dòng)即可實(shí)現(xiàn)使石墨光欄轉(zhuǎn)動(dòng)的目的。
本實(shí)用新型的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實(shí)用新型精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置，至少包括一光欄座、一轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸、一移動(dòng)氣缸、兩彈簧、一頂軸、一頂桿、一光欄架、一光欄板、一轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊、一氣缸固定板，其特征在于所述的光欄板設(shè)置在光欄架上，并可在光欄架上水平移動(dòng)；所述的光欄架轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置在光欄座上；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊固定在光欄架的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，一端與轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊連接，另一端與冷卻水管連接；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)汽缸安裝在氣缸固定板上；所述的移動(dòng)氣缸軸與頂軸連接；所述的頂軸一端軸頭與頂桿一端頭接觸；所述的彈簧固定設(shè)置在光欄架上，其自由端與光欄板連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可轉(zhuǎn)動(dòng)的束光欄裝置，至少包括一光欄座、一轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸、一移動(dòng)氣缸、兩彈簧、一頂軸、一頂桿、一光欄架、一光欄板、一轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊、一氣缸固定板，所述的光欄板設(shè)置在光欄架上，并可在光欄架上水平移動(dòng)；所述的光欄架轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)置在光欄座上；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊固定在光欄架的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，一端與轉(zhuǎn)動(dòng)擺塊連接，另一端與冷卻水管連接；所述的轉(zhuǎn)動(dòng)汽缸安裝在氣缸固定板上；所述的移動(dòng)氣缸軸與頂軸連接；所述的頂軸一端軸頭與頂桿一端頭接觸；所述的彈簧固定設(shè)置在光欄架上，其自由端與光欄板連接。本實(shí)用新型對(duì)于光欄可設(shè)計(jì)不同的縫隙，不使用光欄時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)氣缸可使光欄架離開束通道，移動(dòng)氣缸可調(diào)節(jié)光欄的中心位置，利于對(duì)中。
文檔編號(hào)H01L21/265GK2779601SQ20052001126
公開日2006年5月10日 申請(qǐng)日期2005年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月31日
發(fā)明者郭建輝 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司