技術編號：6858462
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種束光欄裝置，特別涉及一種離子注入機用可轉動的束光欄裝置，屬于半導體器件制造領域。背景技術在離子注入機中，束光欄可以用來分離各種不同的元素、離子和多電荷離子，并且能夠保證束流在管道內的有效傳輸，因而在離子注入機中通常會根據不同光路的位置來設計不同的束光欄，從而保證注入離子的純度滿足工藝要求。傳統(tǒng)的離子注入機所用的束光欄，一般為固定安裝方式或旋轉方式，前者存在光欄不可調，受束轟擊嚴重以及光欄材料及和光欄冷卻要求都很高等缺點；而后者則采用兩個圓...
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