專利名稱：貼合裝置以及貼合方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對貼合例如液晶模塊和覆蓋面板那樣的平板狀工件的技術(shù)進(jìn)行了改 良的貼合裝置以及貼合方法。
背景技術(shù)：
一般來講，液晶面板是通過將液晶模塊和保護(hù)其表面的保護(hù)膜、操作用的觸摸面 板等層疊而構(gòu)成的。這些液晶模塊、保護(hù)膜、觸摸面板等(以下稱為工件)被裝入液晶模塊 的框架中，為了避免因保護(hù)面板和觸摸面板變形而接觸到液晶玻璃，相互之間形成有空間。但是，如果液晶模塊、保護(hù)膜、觸摸面板等(以下稱為工件)之間有空氣層，就會(huì)因 外部光線的反射而降低其顯示面的可視性。為了應(yīng)對此問題，以由雙面膠帶、粘結(jié)劑等的貼 合件形成填埋在工件間的粘結(jié)層的方式進(jìn)行貼合，這樣的方式逐漸流行起來。因此，液晶面板的制造需要貼合裝置，該貼合裝置針對至少一方的工件準(zhǔn)備該貼 合件而進(jìn)行貼合。另外，為了防止相貼合的工件之間混入氣泡，貼合在真空中進(jìn)行較為理 想。于是貼合裝置需要設(shè)置真空腔等。這樣，作為對工件進(jìn)行貼合的技木，例如，提出了已有專利文獻(xiàn)1-4中所示的方 案。這些技術(shù)是在真空腔內(nèi)通過加壓機(jī)構(gòu)，對一對工件進(jìn)行貼合。作為該加壓機(jī)構(gòu)，使用了 通過電機(jī)、紅體等的驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行升降的加壓板。另外，在作為貼合件使用液態(tài)樹脂、粘結(jié)膜的情況，貼合后的粘結(jié)層中有時(shí)會(huì)產(chǎn) 生、殘留真空泡，作為消除該真空泡的方法，在真空中加壓后，通過向大氣開放后的大氣壓 的加壓(大氣放置)是有效的。向大氣開放后進(jìn)行機(jī)械加壓也是有效的。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平6-97沈8號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2002-3^350號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2003-307719號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特開2006-184807號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題但是，上述現(xiàn)有技術(shù)中，加壓機(jī)構(gòu)由真空腔直接支承。于是，將真空腔內(nèi)抽成真空 吋，真空腔的外壁因大氣壓而發(fā)生撓曲，用于密封的O形密封圈的壓饋量產(chǎn)生變化，使得加 壓機(jī)構(gòu)的位置發(fā)生變化。因此，加壓板的加壓量過大而對工件產(chǎn)生影響，一度加壓后，由于 加壓量的減少而有可能使粘結(jié)層產(chǎn)生空穴。為了應(yīng)對此問題，可以考慮將加壓機(jī)構(gòu)設(shè)置在 真空腔之外的底座上進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的方法。但是，若設(shè)置這樣的加壓機(jī)構(gòu)，則貼合裝置趨于大型
1""u、見為、K^ O本發(fā)明是為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，其目的是通過簡潔的構(gòu)成，提供 一種即使驅(qū)動(dòng)部的位置有所變動(dòng)，也能夠維持固定的加壓力的貼合裝置以及貼合方法。
用于解決課題的手段本發(fā)明提供一種貼合裝置，該貼合裝置將一對工件貼合，其特征在于，具有用于對至少一方的工件施力的加壓頭；把由所述加壓頭將一對工件貼合的空間密閉的真空腔； 連接于所述真空腔、能夠?qū)⑺稣婵涨坏膬?nèi)部抽成真空的減壓裝置；支承于所述真空腔、對所述加壓頭加以加壓力的驅(qū)動(dòng)部；用于直接或者間接地判定從所述真空腔內(nèi)的減壓前開始到減壓時(shí)所述加壓頭對所述一對工件的另一方的加壓力的變化的判定部；基于所述判定部的判定對所述驅(qū)動(dòng)部的加壓力進(jìn)行控制的控制部。作為另一種形態(tài)，一種貼合方法，該貼合方法通過在真空腔內(nèi)對一對工件的至少一方的工件施力的加壓頭將該一對工件貼合，其特征在于判定部直接或者間接地判定從所述真空腔內(nèi)的減壓前開始到減壓時(shí)所述加壓頭對所述一對工件的另一方的加壓力的變化；控制部基于所述判定部的判定對支承于真空腔、用于驅(qū)動(dòng)加壓頭的驅(qū)動(dòng)部的加壓力進(jìn)行控制。另一種形態(tài)，具有為了所述判定部進(jìn)行判定而檢測所述加壓頭對所述一對工件的另一方的加壓力的檢測部。另一種形態(tài)的特征在于，具有為了所述判定部進(jìn)行判定而檢測所述加壓頭相對于所述一對工件的另一方的位置的檢測部。上述那樣的發(fā)明中，當(dāng)抽成真空時(shí)，即使真空腔等因大氣壓而發(fā)生位移，支承于此的驅(qū)動(dòng)部也被控制為使加壓頭的加壓力固定不變，因而能夠防止加壓力的變動(dòng)。另一種形態(tài)的特征在于具有用于支承所述一對工件的另一方的支承部；所述檢測部具有用于檢測所述支承部與所述驅(qū)動(dòng)部的間隔的傳感器。在以上那樣的形態(tài)中，能夠從支承部和驅(qū)動(dòng)部之間的間隔，判定加壓頭的位置，控制為適當(dāng)?shù)募訅毫ΑＦ渌男螒B(tài)的特征在于，具有用于支承所述一對工件的另一方的支承部；所述檢測部具有用于檢測所述支承部與所述加壓頭的間隔的傳感器。在以上那樣的形態(tài)中，能夠從支承部和加壓頭之間的間隔，判定加壓頭的位置，控制為適當(dāng)?shù)募訅毫?。發(fā)明效果如以上說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明能夠提供一種具有簡潔的構(gòu)成、即使驅(qū)動(dòng)部的位置有所變化也能維持固定的加壓力的貼合裝置以及貼合方法。


圖1是表示本發(fā)明的一種實(shí)施方式的整體構(gòu)成的概略俯視圖。圖2是表示圖1的實(shí)施方式中的保持裝置的立體圖。圖3是表示圖1的實(shí)施方式中的按壓裝置的真空腔上升時(shí)的狀態(tài)的縱剖視圖。圖4是表示圖3中按壓裝置的真空腔下降時(shí)的狀態(tài)的縱剖視圖。圖5是表示圖3的按壓裝置的真空腔減壓時(shí)的狀態(tài)的縱剖視圖。圖6是表示圖3的按壓裝置的加壓頭下降時(shí)的狀態(tài)的縱剖視圖。圖7是表示圖3的按壓裝置的真空腔向大氣開放時(shí)的 狀態(tài)的縱剖視圖。圖8是表示圖1的實(shí)施方式的控制裝置功能框圖。
圖9是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式的按壓裝置的縱剖視圖。圖10是表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式的按壓裝置的縱剖視圖。圖11表示本發(fā)明的其它實(shí)施方式的按壓裝置的縱剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)(以下稱為實(shí)施方式)進(jìn)行具體說明。(A.構(gòu)成)(1.整體構(gòu)成)首先，對本實(shí)施方式的貼合裝置(以下稱為本裝置)的整體構(gòu)成進(jìn)行說明。如圖 1所示，本裝置在轉(zhuǎn)臺(tái)1上搭載有4臺(tái)保持裝置2。轉(zhuǎn)臺(tái)1構(gòu)成為由未圖示的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)(^ )r , ” 7機(jī)構(gòu))，對準(zhǔn)送取料位置1A、貼合件準(zhǔn)備位置1B、定位位置1C、真空貼合位置1D， 進(jìn)行間歇轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖2所示，保持裝置2是將載置于載置部3的工件Sl和由保持部4保持的工件 S2上下相向地保持的裝置。本實(shí)施方式中，作為工件S1、S2，使用例如液晶模塊和覆蓋面板那樣的長方形的基板。另外，由轉(zhuǎn)臺(tái)1和載置部3構(gòu)成支承部。雖未圖示，但是在貼合件準(zhǔn)備位置IB設(shè)置有可自由裝卸的剝離裝置或涂抹裝置。 剝離裝置是將預(yù)先粘貼在工件Sl上的雙面膠帶的剝紙進(jìn)行剝離的剝離裝置。涂抹裝置是向工件Sl涂抹粘結(jié)劑的涂抹裝置。雖未圖示，但是在定位位置IC配設(shè)有根據(jù)用于檢測工件S1、S2的位置的檢測裝置檢測出的數(shù)值，相對于工件S2進(jìn)行工件Sl的定位的定位裝置。如圖3-6所示，在真空貼合位置ID設(shè)置有按壓裝置5。該按壓裝置5能夠在真空腔51內(nèi)的減壓空間里，通過將工件S2向工件Sl側(cè)按壓，將兩者貼合在一起。(2.按壓裝置)下面，對按壓裝置5進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖3-7所示，按壓裝置5具有真空腔51、力口壓頭52、升降機(jī)構(gòu)53、驅(qū)動(dòng)部54、輔助構(gòu)件56A、輔助構(gòu)件56B、傳感器57等。真空腔51是覆蓋并密閉轉(zhuǎn)臺(tái)1上的保持裝置2的空腔。真空腔51中通過配管連接有作為真空源(減壓裝置)的減壓泵55 (圖8)。加壓頭52設(shè)置在真空腔51內(nèi)，它是對工件S2向下方加壓的裝置。也可在該加壓頭52和載置部3上安裝具有彈性的保護(hù)膜等。驅(qū)動(dòng)部54是通過使未圖示的滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)， 使連接在加壓頭52的驅(qū)動(dòng)桿54a升降的電機(jī)。升降機(jī)構(gòu)53是使真空腔51和加壓頭52 —起升降的機(jī)構(gòu)。該升降機(jī)構(gòu)53具有驅(qū)動(dòng)源53a、滾珠絲杠53b、滑塊53c、導(dǎo)向件53d等。驅(qū)動(dòng)源53a是使?jié)L珠絲杠53b轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)等構(gòu)件。滾珠絲杠53b是通過轉(zhuǎn)動(dòng)使滑塊53c升降的構(gòu)件。滑塊53c是固定于真空腔 51、使真空腔51升降的構(gòu)件。導(dǎo)向件53d是對滑塊53c的移動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向的構(gòu)件。輔助構(gòu)件56A是固定于驅(qū)動(dòng)桿54a的水平方向的構(gòu)件。輔助構(gòu)件56B是固定在轉(zhuǎn)臺(tái)1上的垂直方向的構(gòu)件。傳感器57是固定于輔助構(gòu)件56B的上端、用于檢測其與到其上部來的輔助構(gòu)件56A之間的間隔的傳感器。它間接地檢測加壓頭52的位置。另外，輔助構(gòu)件56A、56B、傳感器57構(gòu)成了檢測部。轉(zhuǎn)臺(tái)1、保持裝置2、按壓裝置5等構(gòu)成要素中，各自的驅(qū)動(dòng)源、開關(guān)、電源等均由圖8所示控制裝置6控制。該控制裝置6能夠通過由例如專用電路或執(zhí)行規(guī)定程序的計(jì)算機(jī)等，實(shí)現(xiàn)下述各種功能而構(gòu)成。下面，參照圖 8的假想的功能框圖對該控制裝置6進(jìn)行說明。另外，省略操作者用于對控制裝置6進(jìn)行操作的開關(guān)、觸摸面板、鍵盤、鼠標(biāo)等的輸入裝置、用于確認(rèn)控制裝置6 的狀態(tài)的顯示器、顯示燈、儀表等輸出裝置的說明。S卩，控制裝置6具有空腔控制部61、減壓控制部62、按壓控制部63、間隔判定部 64、存儲(chǔ)部65、變動(dòng)判定部66、驅(qū)動(dòng)量確定部67、輸入輸出接口 68等的功能?？涨豢刂撇?61是對使真空腔51升降的升降機(jī)構(gòu)53進(jìn)行控制的裝置。減壓控制部62是對使真空腔51內(nèi)減壓的減壓泵55進(jìn)行控制的裝置。按壓控制部63是對使加壓頭52升降的驅(qū)動(dòng)部54進(jìn)行控制的裝置。間隔判定部64是基于來自傳感器57的檢測數(shù)值，對輔助構(gòu)件56A和輔助構(gòu)件56B 間的間隔進(jìn)行判定的裝置。存儲(chǔ)部65是存儲(chǔ)由間隔判定部64判定出的間隔的裝置。變動(dòng)判定部66是對由間隔判定部64判定出的間隔和由存儲(chǔ)部65存儲(chǔ)的間隔進(jìn)行比較而判定間隔的變動(dòng)量的裝置。驅(qū)動(dòng)量確定部67是基于由間隔判定部64判定出的間隔或由變動(dòng)判定部66判定出的變動(dòng)量，確定驅(qū)動(dòng)部54的驅(qū)動(dòng)量的裝置。輸入輸出接口 68 是對成為控制對象的各部之間的信號(hào)的變換和輸入輸出進(jìn)行控制的裝置。(B.作用)參照圖2 圖8，對具有以上構(gòu)成的本實(shí)施方式的作用進(jìn)行說明。另外，按下面說明的步驟對貼合裝置進(jìn)行控制的方法，以及使控制裝置運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序，也是本發(fā)明的一種實(shí)施方式。如圖2所示，首先將工件Sl載置于載置部3，工件S2由保持部4保持，從而工件 Sl和工件S2相向配置。在工件Sl上準(zhǔn)備有貼合件T。也就是粘貼有雙面膠帶的一個(gè)粘結(jié)面或涂有粘接劑。如圖3所示，保持有工件Si、S2的保持裝置2通過轉(zhuǎn)臺(tái)1的轉(zhuǎn)動(dòng)來到真空貼合位置1D。于是，如下面說明的那樣，由按壓裝置5進(jìn)行真空貼合。S卩，如圖4所示，空腔控制部61通過使升降機(jī)構(gòu)53動(dòng)作而使真空腔51下降，將保持裝置2的周圍密閉。然后，如圖5所示，減壓控制部62使減壓泵55動(dòng)作而將真空腔51 內(nèi)抽成真空。這時(shí)，真空腔51因大氣壓而撓曲，由傳感器57檢測出間隔，并被存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部65。由于檢測出的間隔與加壓頭52的位置(在初始狀態(tài)，相對于真空腔51處于固定的位置)和工件Sl之間的間隔成正比，所以，根據(jù)這個(gè)間隔，驅(qū)動(dòng)量確定部67決定驅(qū)動(dòng)部 54的驅(qū)動(dòng)量。如圖6所示，按壓控制部63根據(jù)所確定的驅(qū)動(dòng)量，使驅(qū)動(dòng)部54動(dòng)作而使加壓頭52下降，將工件S2推壓到工件Si。其后，如圖7所示，減壓控制部62使減壓泵55停止，空腔控制部61使真空腔51 上升而向大氣開放。于是，真空腔51內(nèi)因成為大氣壓，所以外壁的撓曲趨于復(fù)原。這時(shí)，變動(dòng)判定部66通過對由傳感器57檢測出的間隔與減壓時(shí)的間隔進(jìn)行比較判定變動(dòng)量，驅(qū)動(dòng)量確定部67根據(jù)這個(gè)變動(dòng)量，以使加壓力維持在與減壓時(shí)同等程度的方式確定驅(qū)動(dòng)量，按壓控制部63根據(jù)這個(gè)驅(qū)動(dòng)量使驅(qū)動(dòng)部54動(dòng)作。這樣，通過以反饋方式進(jìn)行的實(shí)時(shí)控制，工件S2相對于工件Sl 一直以固定的壓力被加壓。然后，在經(jīng)過了貼合件變得穩(wěn)定的規(guī)定時(shí)間后，按壓控制部63使驅(qū)動(dòng)部54動(dòng)作而使加壓頭52上升。(C.效果)根據(jù)如上面的本實(shí)施方式，可以得到下面的效果。即，即使是在真空腔51上配置了驅(qū)動(dòng)部54的簡潔的構(gòu)成，從抽真空時(shí)起到向大氣開放后，由于能夠以固定的壓力進(jìn)行一對工件Si、S2的壓接，所以也不會(huì)對工件產(chǎn)生不良影響，可以防止因加壓量降低而在粘結(jié)層中產(chǎn)生空穴。(D.其它的實(shí)施方式) 本發(fā)明不限于上述那樣的實(shí)施方式。例如，驅(qū)動(dòng)部只要能夠使加壓頭升降即可，可以是任何裝置。例如，能夠使驅(qū)動(dòng)桿進(jìn)行進(jìn)退的缸體亦可。另外，對于升降機(jī)構(gòu)，只要能夠使真空腔升降，任何裝置均可。例如，使用缸體亦可。在真空腔周圍設(shè)置多個(gè)升降機(jī)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的升降亦可。對于真空腔的形狀，也不限于特定的形狀。例如，如圖9所示，通過在內(nèi)部形成與外氣連通的中空部51a，能夠抑制抽真空時(shí)真空腔51的撓曲量，減少對驅(qū)動(dòng)部54的影響。檢測部的構(gòu)成也是任意的。只要是加壓頭對被加壓頭施力的工件的相反側(cè)的工件的壓力變化能夠被判定部直接或間接地判定的構(gòu)造即可。因此，也可以通過傳感器檢測該工件、支承該工件的支承部(例如，載置部)以及轉(zhuǎn)臺(tái)中的任意一個(gè)與加壓頭、同加壓頭一同移動(dòng)的構(gòu)件(例如，驅(qū)動(dòng)桿)中的任意一個(gè)之間的間隔。這種情況下，作為間隔檢測對象的一方或雙方是否介有輔助構(gòu)件亦是任意的。作為所使用的傳感器，也不限定于上述物品， 例如也可以使用激光位移計(jì)等裝置。再者，亦可通過在檢測部設(shè)置檢測加壓頭的加壓力本身的傳感器，形成能夠直接檢測出加壓力變化的構(gòu)成。例如，如圖10所示，設(shè)置用于檢測輔助構(gòu)件56A和輔助構(gòu)件56B 之間的壓力的傳感器58，如圖11所示，可以考慮將傳感器58插入到驅(qū)動(dòng)桿54a中。這種情況下，可以取代上述控制裝置6中的間隔判定部64而設(shè)定壓力判定部。在真空腔51減壓時(shí)，壓力判定部根據(jù)傳感器58的檢測值判定的壓力(從減壓前的初始狀態(tài)發(fā)生了變化的壓力)被存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部65?；谠搲毫?，驅(qū)動(dòng)量確定部67確定驅(qū)動(dòng)部54的驅(qū)動(dòng)量。按壓控制部63基于所確定的驅(qū)動(dòng)量，使驅(qū)動(dòng)部54動(dòng)作而使加壓頭52 下降，從而將工件S2推壓到工件Si。其后，減壓控制部62使減壓泵55停止，變動(dòng)判定部66將由傳感器58檢測出的壓力和減壓時(shí)的壓力進(jìn)行比較，對其變動(dòng)量(壓力的變化)進(jìn)行判定。驅(qū)動(dòng)量確定部67按照該變動(dòng)量，以維持與減壓時(shí)同等的加壓力的方式確定驅(qū)動(dòng)量，按壓控制部63據(jù)此使驅(qū)動(dòng)部 54動(dòng)作。作為檢測壓力的傳感器，可以考慮例如，金屬電阻型、半導(dǎo)體型、壓電型、磁致伸縮型、離子導(dǎo)體型等應(yīng)力傳感器，但不局限于這些。另外，成為貼合對象的工件，覆蓋面板和液晶模塊(顯示面板，層疊有背光的物品)為典型例，但是只要是能夠成為一對粘貼對象的，任何工件均可適用。例如，半導(dǎo)體晶圓、光盤等也可以適用。粘結(jié)劑、雙面膠帶的種類也是任意的。附圖標(biāo)記說明1. · ·轉(zhuǎn)臺(tái)2...保持裝置
3...載置部4...保持部5···按壓裝置6...控制裝置51...真空腔51a···中空部52...加壓頭 53···升降機(jī)構(gòu)53a...驅(qū)動(dòng)源53b...滾珠絲杠53c...滑塊Md...導(dǎo)向件54···驅(qū)動(dòng)部54a...驅(qū)動(dòng)桿55...減壓泵56Α、56Β· · ·輔助構(gòu)件57、58···傳感器61...空腔控制部62...減壓控制部63...按壓控制部64...間隔判定部65...存儲(chǔ)部66...變動(dòng)判定部67...驅(qū)動(dòng)量確定部68...輸入輸出接口
權(quán)利要求
1.一種貼合裝置，所述貼合裝置將一對工件貼合，其特征在于，具有用于對至少一方的工件施力的加壓頭；真空腔，所述真空腔把由所述加壓頭將一對工件貼合的空間密閉；減壓裝置，所述減壓裝置連接于所述真空腔、能夠?qū)⑺稣婵涨坏膬?nèi)部抽成真空；驅(qū)動(dòng)部，所述驅(qū)動(dòng)部支承于所述真空腔、對所述加壓頭加以加壓力；判定部，所述判定部用于直接或者間接地判定從所述真空腔內(nèi)的減壓前開始到減壓時(shí)，所述加壓頭對所述一對工件的另一方的工件的加壓力的變化；和控制部，所述控制部基于所述判定部的判定對所述驅(qū)動(dòng)部的加壓力進(jìn)行控制。
2.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于具有為了所述判定部進(jìn)行判定而檢測所述加壓頭對所述一對工件的另一方的工件的加壓力的檢測部。
3.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于具有為了所述判定部進(jìn)行判定而檢測所述加壓頭相對于所述一對工件的另一方的工件的位置的檢測部。
4.如權(quán)利要求3所述的貼合裝置，其特征在于具有用于支承所述一對工件的另一方的工件的支承部；所述檢測部具有用于檢測所述支承部與所述驅(qū)動(dòng)部的間隔的傳感器。
5.如權(quán)利要求3所述的貼合裝置，其特征在于具有用于支承所述一對工件的另一方的工件的支承部；所述檢測部具有用于檢測所述支承部與所述加壓頭的間隔的傳感器。
6.一種貼合方法，所述貼合方法通過在真空腔內(nèi)對一對工件的至少一方的工件施力的加壓頭將所述一對工件貼合，其特征在于判定部直接或者間接地判定從所述真空腔內(nèi)的減壓前開始到減壓時(shí)，所述加壓頭對所述一對工件的另一方的工件的加壓力的變化；控制部基于所述判定部的判定對支承于真空腔、用于驅(qū)動(dòng)加壓頭的驅(qū)動(dòng)部的加壓力進(jìn)行控制。
全文摘要
本發(fā)明提供一種貼合裝置以及貼合方法，該貼合裝置具有簡潔的構(gòu)成，即使驅(qū)動(dòng)部的位置變動(dòng)，也能夠維持固定的加壓力。貼合裝置具有對一方的工件(S2)施力的加壓頭(52)；用于密閉由加壓頭(52)將工件(S1、S2)貼合的空間的真空腔(51)；連接于真空腔(51)、可將真空腔(51)的內(nèi)部抽成真空的減壓泵(55)；支承于真空腔(51)、對加壓頭(52)加以加壓力的驅(qū)動(dòng)部(54)；用于檢測加壓頭(52)的位置的傳感器(56)；基于由傳感器(56)檢測出的加壓頭(52)的位置控制驅(qū)動(dòng)部(54)的加壓力的控制裝置(6)。
文檔編號(hào)G11B7/26GK102209621SQ200980144180
公開日2011年10月5日 申請日期2009年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月6日
發(fā)明者橫田典之 申請人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司