專(zhuān)利名稱(chēng)：基板處理裝置和基板處理裝置的顯示方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)半導(dǎo)體基板、玻璃基板等基板進(jìn)行處理的基板處理裝置和基板處理 裝置的顯示方法。
背景技術(shù)：
以往，作為半導(dǎo)體制造裝置等的基板處理裝置中的外部存儲(chǔ)介質(zhì)，使用軟盤(pán) (floppy disk，注冊(cè)商標(biāo))等。但是，軟盤(pán)雖然在移動(dòng)數(shù)據(jù)方面較便利，但難以移動(dòng)大量的 數(shù)據(jù)。因此，難以基于存儲(chǔ)在軟盤(pán)中的有限量的數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行充分的數(shù)據(jù)解析，為了進(jìn)行充分 的數(shù)據(jù)解析而通過(guò)軟盤(pán)移動(dòng)所需的量的數(shù)據(jù)會(huì)需要花費(fèi)較多時(shí)間。近年來(lái)，USB (Universal Serial Bus)閃存被作為基板處理裝置的外部存儲(chǔ)介質(zhì) 來(lái)使用，以USB閃存為代表的外部存儲(chǔ)介質(zhì)的容量增大，能夠移動(dòng)大量的數(shù)據(jù)。基板處理裝置中生成的信息被輸出到插入基板處理裝置的USB閃存。該情況下， 在基板處理裝置內(nèi)，進(jìn)行通過(guò)高速緩沖存儲(chǔ)器的延遲寫(xiě)入，當(dāng)在寫(xiě)入中拆下USB閃存時(shí)，有 可能引起存儲(chǔ)于USB閃存的數(shù)據(jù)的損壞等。并且，延遲寫(xiě)入的定時(shí)因基板處理裝置內(nèi)的狀況 (例如，哪種任務(wù)被執(zhí)行)不同而不同。當(dāng)為一般的個(gè)人計(jì)算機(jī)時(shí)，能夠根據(jù)Windows(注冊(cè) 商標(biāo))的任務(wù)欄中顯示的圖標(biāo)，進(jìn)行“硬件的安全的拆下”、并確認(rèn)不是在寫(xiě)入途中這一情況。 但是，在基板處理裝置的操作畫(huà)面上未顯示對(duì)信息(數(shù)據(jù))的寫(xiě)入狀況進(jìn)行確認(rèn)的功能。因 此，雖然是信息寫(xiě)入的途中，但有可能會(huì)由于與軟盤(pán)同樣地進(jìn)行處理而誤將USB閃存拆下。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于上述的背景而完成的發(fā)明，提供一種基板處理裝置，其能夠喚起使 用者的注意，以使其不會(huì)誤拆下可拆裝的存儲(chǔ)介質(zhì)，并且，能夠在操作畫(huà)面上進(jìn)行能否拆下 存儲(chǔ)介質(zhì)的確認(rèn)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的基板處理裝置是包括控制單元和安裝部的基板處理 裝置，上述控制單元對(duì)操作畫(huà)面的顯示進(jìn)行控制，所述操作畫(huà)面用于操作關(guān)于基板處理的 信息，上述安裝部用于可拆裝的外部存儲(chǔ)裝置，上述控制單元，在上述外部存儲(chǔ)裝置被安裝 在上述安裝部的情況下，上述控制單元進(jìn)行控制以使用于拆下所安裝的外部存儲(chǔ)裝置的按 鈕配置在能夠按下的位置；在上述外部存儲(chǔ)裝置未被安裝在上述安裝部的情況下，上述控 制單元進(jìn)行控制以使上述按鈕不被按下。根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置，能夠在操作畫(huà)面上確認(rèn)可拆裝的存儲(chǔ)介質(zhì)是否被插 入到主控制部。另外，能夠利用顯示插入有該存儲(chǔ)介質(zhì)的按鈕(拆下按鈕)，在操作畫(huà)面上 進(jìn)行拆下存儲(chǔ)介質(zhì)時(shí)的安全確認(rèn)。由此，能夠不對(duì)存儲(chǔ)介質(zhì)中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)產(chǎn)生影響而安全 地拆下存儲(chǔ)介質(zhì)。


圖1A是本發(fā)明實(shí)施方式的基板處理裝置的立體圖。
圖1B是本發(fā)明實(shí)施方式的基板處理裝置的剖視圖。圖1C是表示以本發(fā)明實(shí)施方式的基板處理裝置的控制單元為中心的結(jié)構(gòu)的一個(gè) 例子的框圖。圖2是例示本發(fā)明實(shí)施方式的基板處理裝置的主顯示畫(huà)面中最初顯示的操作畫(huà) 面的圖。圖3是表示事件(event)處理的流程圖。圖4是表示計(jì)時(shí)處理的流程圖。圖5是表示拆下按鈕按下處理的流程圖。圖6是表示操作畫(huà)面的轉(zhuǎn)變的活動(dòng)(activity)圖。圖7是例示故障信息一覽畫(huà)面的圖。符號(hào)說(shuō)明10基板處理裝置
14主控制器
16主操作裝置
18主顯示裝置
50副操作裝置
52副顯示裝置
200曰t±" 日日/T
202處理室
240主顯示控制部
242副顯示控制部
具體實(shí)施例方式以下，根據(jù)

用于實(shí)施本發(fā)明的方式。圖1A中使用立體圖示出基板處理裝置10。另外，圖1B中使用側(cè)面透視圖示出基 板處理裝置10?；逄幚硌b置10對(duì)用作基板的由硅等構(gòu)成的晶片200進(jìn)行處理。如圖1A和圖1B所示那樣，在基板處理裝置10中，使用了作為容納晶片200的晶 片載具(carrier)而使用的框架(hoop)(基板容納器，以下稱(chēng)為晶片盒(pod)) 110。另外， 基板處理裝置10具有基板處理裝置主體111。在基板處理裝置主體111的正面壁111a的正面前方部開(kāi)設(shè)有正面維護(hù) (maintenance) 口 103，并分別建有用于對(duì)正面維護(hù)口 103進(jìn)行開(kāi)閉的正面維護(hù)門(mén)104，其 中，該正面維護(hù)口 103作為被設(shè)置成能進(jìn)行維護(hù)的開(kāi)口部來(lái)進(jìn)行使用。需說(shuō)明的是，雖未圖 示，但在上側(cè)的正面維護(hù)門(mén)104附近設(shè)置有作為副操作部的副操作裝置50(參照?qǐng)D1C)。作 為主操作部的主操作裝置16配置在背面?zhèn)鹊木S護(hù)門(mén)附近。在基板處理裝置主體111的正面壁111a以連通基板處理裝置主體111的內(nèi)外的 方式開(kāi)設(shè)有晶片盒搬入搬出口(基板容納器搬入搬出口)112，晶片盒搬入搬出口 112由正 面開(kāi)閉器(front shutter，基板容納器搬入搬出口開(kāi)閉機(jī)構(gòu))113進(jìn)行開(kāi)閉。在晶片盒搬入搬出口 112的正面前方側(cè)設(shè)置有裝載(load)端口(基板容納器交接臺(tái))114，裝載端口 114被構(gòu)成為載置晶片盒110而進(jìn)行位置匹配。晶片盒110由工序內(nèi) 輸送裝置(未圖示)搬入到裝載端口 114上、或從裝載端口 114上搬出。在基板處理裝置主體111內(nèi)的前后方向的大致中央部的上部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)式晶片 盒架(基板容納器載置架)105，旋轉(zhuǎn)式晶片盒架105被構(gòu)成為保管多個(gè)晶片盒110。S卩，旋 轉(zhuǎn)式晶片盒架105包括以垂直方式豎立設(shè)置而在水平面內(nèi)間歇旋轉(zhuǎn)的支柱116、和在上中 下段的各位置被呈放射狀支承于支柱116的多塊架板(基板容納器載置臺(tái))117，多塊架板 117在多個(gè)接受位置分別載置晶片盒110的狀態(tài)下保持晶片盒110。在基板處理裝置主體111內(nèi)的裝載端口 114與旋轉(zhuǎn)式晶片盒架105之間，設(shè)置有 晶片盒輸送裝置(基板容納器輸送裝置)118，晶片盒輸送裝置118由能夠保持晶片盒110 而進(jìn)行升降的晶片盒升降機(jī)(基板容納器升降機(jī)構(gòu))118a和作為輸送機(jī)構(gòu)的晶片盒輸送 機(jī)構(gòu)(基板容納器輸送機(jī)構(gòu))118b構(gòu)成，晶片盒輸送裝置118被構(gòu)成為通過(guò)晶片盒升降機(jī) 118a和晶片盒輸送機(jī)構(gòu)118b的連續(xù)工作，在裝載端口 114、旋轉(zhuǎn)式晶片盒架105、晶片盒開(kāi) 啟工具(基板容納器蓋體開(kāi)閉機(jī)構(gòu))121之間輸送晶片盒110。在基板處理裝置主體111內(nèi)的前后方向的大致中央部的下部，遍及后端而構(gòu)筑有 副筐體119。在副筐體119的正面壁119a在垂直方向上上下二層地排列開(kāi)設(shè)有一對(duì)用于相 對(duì)于副筐體119內(nèi)來(lái)搬入搬出晶片200的晶片搬入搬出口(基板搬入搬出口)120，在上下 層的晶片搬入搬出口 120、120分別設(shè)置有一對(duì)晶片盒開(kāi)啟工具121、121。晶片盒開(kāi)啟工具 121包括載置晶片盒110的載置臺(tái)122、122、和拆裝晶片盒110的罩蓋(蓋體)的罩蓋拆裝 機(jī)構(gòu)(蓋體拆裝機(jī)構(gòu))123、123。晶片盒開(kāi)啟工具121被構(gòu)成為通過(guò)由罩蓋拆裝機(jī)構(gòu)123 拆裝載置于載置臺(tái)122的晶片盒110的罩蓋，從而使晶片盒110的晶片出入口開(kāi)閉。副筐體119構(gòu)成與晶片盒輸送裝置118、旋轉(zhuǎn)式晶片盒架105的設(shè)置空間流體性隔 絕的移載室124。在移載室124的前側(cè)區(qū)域設(shè)置有晶片移載機(jī)構(gòu)(基板移載機(jī)構(gòu))125，晶 片移載機(jī)構(gòu)125包括能夠在水平方向上使晶片200旋轉(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)的晶片移載裝置(基板 移載裝置)125a和用于使晶片移載裝置125a進(jìn)行升降的晶片移載裝置升降機(jī)(基板移載 裝置升降機(jī)構(gòu))125b。如圖1A示意性表示的那樣，晶片移載裝置升降機(jī)125b設(shè)置在耐壓基 板處理裝置主體111右側(cè)端部與副筐體119的移載室124前方區(qū)域右端部之間。通過(guò)這些 晶片移載裝置升降機(jī)125b和晶片移載裝置125a的連續(xù)動(dòng)作，將晶片移載裝置125a的鑷子 (tweezers，基板保持體)125c作為晶片200的載置部，相對(duì)于舟皿(boat，基板保持具)217 裝填(charging，裝載)以及取出(discharging)晶片200。在移載室124的后側(cè)區(qū)域構(gòu)成有容納舟皿217使之待機(jī)的待機(jī)部126。在待機(jī)部 126的上方設(shè)有處理爐202。處理爐202的下端部構(gòu)成為由爐口開(kāi)閉器(爐口開(kāi)閉機(jī)構(gòu))147 進(jìn)行開(kāi)閉。如圖1A示意性示出的那樣，在耐壓基板處理裝置主體111右側(cè)端部與副筐體119 的待機(jī)部126右端部之間設(shè)置有用于使舟皿217升降的舟皿升降機(jī)(基板保持具升降機(jī) 構(gòu))115。在作為與舟皿升降機(jī)115的升降臺(tái)連結(jié)的連結(jié)具的臂128，水平安裝有作為蓋體 的密封罩蓋219，密封罩蓋219垂直支承舟皿217，能夠閉塞處理爐202的下端部。舟皿217具有多根保持部件，構(gòu)成為在使多塊(例如，50 125塊左右)晶片200 的中心一致來(lái)使之在垂直方向上排列的狀態(tài)下，分別水平地對(duì)其進(jìn)行保持。另外，如圖1A示意性示出的那樣，在移載室124的晶片移載裝置升降機(jī)125b側(cè)以及作為與舟皿升降機(jī)115側(cè)相反一側(cè)的左側(cè)端部設(shè)置有清潔單元134，該清潔單元134由供 給風(fēng)扇和防塵過(guò)濾器構(gòu)成以供給清潔化后的作為環(huán)境氣或惰性氣體的清潔氣133，在晶片 移載裝置125a與清潔單元134之間設(shè)置有未圖示的凹槽匹配裝置，該凹槽匹配裝置是作為 使晶片的圓周方向的位置匹配的基板匹配裝置的裝置。從清潔單元134吹出的清潔氣133在凹槽匹配裝置以及晶片移載裝置125a、位于 待機(jī)部126的舟皿217中流通之后，由未圖示的管道(duct)吸入，被排氣到基板處理裝置 主體111的外部，或被循環(huán)到清潔單元134的吸入側(cè)、即初級(jí)側(cè)(供給側(cè))，再次由清潔單元 134吹到移載室124內(nèi)。接著，說(shuō)明本發(fā)明的基板處理裝置10的動(dòng)作。如圖1A和圖1B所示那樣，當(dāng)晶片盒110被供給到裝載端口 114時(shí)，通過(guò)正面開(kāi)閉 器113將晶片盒搬入搬出口 112打開(kāi)，裝載端口 114上的晶片盒110被晶片盒輸送裝置118 從晶片盒搬入搬出口 112搬入到基板處理裝置主體111的內(nèi)部。搬入的晶片盒110被晶片盒輸送裝置118自動(dòng)地向旋轉(zhuǎn)式晶片盒架105的指定的 架板117輸送而進(jìn)行交接，在暫時(shí)保管之后，被從架板117輸送至一方的晶片盒開(kāi)啟工具 121而進(jìn)行交接，在暫時(shí)保管之后，被從架板117輸送至一方的晶片盒開(kāi)啟工具121而移載 到載置臺(tái)122，或直接被輸送至晶片盒開(kāi)啟工具121而移載到載置臺(tái)122。此時(shí)，晶片盒開(kāi) 啟工具121的晶片搬入搬出口 120由罩蓋拆裝機(jī)構(gòu)123關(guān)閉，在移載室124流通、充滿著清 潔氣133。例如，在移載室124作為清潔氣133而充滿氮?dú)?，從而?dāng)氧濃度為20ppm以下時(shí)， 被設(shè)定得遠(yuǎn)低于基板處理裝置主體111的內(nèi)部(大氣環(huán)境氣)的氧濃度。載置于載置臺(tái)122的晶片盒110的開(kāi)口側(cè)端面被按壓到副筐體119的正面壁119a 的晶片搬入搬出口 120的開(kāi)口邊緣部，并且，由罩蓋拆裝機(jī)構(gòu)123拆下其罩蓋，打開(kāi)晶片出 入口。當(dāng)由晶片盒開(kāi)啟工具121打開(kāi)晶片盒110時(shí)，利用晶片移載裝置125a的鑷子125c 通過(guò)晶片出入口從晶片盒110拾取晶片200，用未圖示的凹槽匹配裝置將晶片匹配之后，搬 入位于移載室124的后方的待機(jī)部126，裝填(charging)于舟皿217。在舟皿217交接了 晶片200后的晶片移載裝置125a返回晶片盒110，將下一晶片裝填到舟皿217。在利用該一方(上層或下層)的晶片盒開(kāi)啟工具121中的晶片移載機(jī)構(gòu)125進(jìn)行 的向舟皿217裝填晶片的裝填作業(yè)期間，通過(guò)晶片盒輸送裝置118將其他的晶片盒110從 旋轉(zhuǎn)式晶片盒架105輸送而移載到另一方(下層或上層)的晶片盒開(kāi)啟工具121，同時(shí)進(jìn)行 由晶片盒開(kāi)啟工具121進(jìn)行的晶片盒110的打開(kāi)作業(yè)。當(dāng)將預(yù)先指定的塊數(shù)的晶片200裝填到舟皿217時(shí)，由爐口開(kāi)閉器147關(guān)閉的處 理爐202的下端部被爐口開(kāi)閉器147打開(kāi)。接著，通過(guò)舟皿升降機(jī)115使保持有晶片200 組的舟皿217的密封罩蓋219上升，從而向處理爐202內(nèi)進(jìn)行搬入(loading，裝載)。裝載后，在處理爐202中對(duì)晶片200實(shí)施任意的處理。處理后，除了未圖示的凹槽匹配裝置中的晶片的匹配工序，大致以與上述相反的 順序向筐體的外部取出晶片200和晶片盒110。接著，參照?qǐng)D1C，對(duì)以基板處理裝置10中的主控制器14為中心的硬件結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖1C所示那樣，在基板處理裝置10的基板處理裝置主體111內(nèi)，與主控制器14、轉(zhuǎn)換中樞(switching hub) 15匹配地設(shè)有輸送控制部230和處理控制部232。輸送控制 部230和處理控制部232也可以不設(shè)置在基板處理裝置主體111內(nèi)，而設(shè)置在基板處理裝 置主體111外。作為主控制部的主控制器14例如使用視頻線纜20來(lái)與作為主操作部的主操作裝 置16進(jìn)行連接。需說(shuō)明的是，也可以不使用視頻線纜20來(lái)連接主控制器14與主操作裝置 16，而通過(guò)通信網(wǎng)絡(luò)40來(lái)連接主控制器14與主操作裝置16。另外，主控制器14例如通過(guò)通信網(wǎng)絡(luò)40與未圖示的外部操作裝置相連接。因此， 外部操作裝置能夠配置在離開(kāi)基板處理裝置10的位置上。例如，即使在將基板處理裝置10 被設(shè)置在清潔室內(nèi)的情況下，外部操作裝置也能夠配置在清潔室外的事務(wù)所等。在主控制器14安裝有Windows2003 Server等與USB端口對(duì)應(yīng)的OS (操作系統(tǒng))， 能夠?qū)⑴cUSB端口對(duì)應(yīng)的外部存儲(chǔ)裝置(例如，USB閃存)插入到基板處理裝置10中。主操作裝置16配置在基板處理裝置10 (或處理爐202和基板處理裝置主體111) 附近。主操作裝置16如該實(shí)施方式那樣安裝在基板處理裝置主體111，與基板處理裝置10 作為一體進(jìn)行固定。在此，將主操作裝置16配置在基板處理裝置10 (或處理爐202和基板處理裝置主 體111)附近是指將主操作裝置16配置在操作者能夠確認(rèn)基板處理裝置10的狀態(tài)的位 置。例如，設(shè)置在設(shè)置有基板處理裝置主體111的清潔室內(nèi)。主操作裝置16具有主顯示裝置18。主顯示裝置18例如是液晶顯示面板，在主顯 示裝置18上顯示有用于操作基板處理裝置10的操作畫(huà)面等。通過(guò)操作畫(huà)面，顯示基板處 理裝置10內(nèi)生成的信息，能夠使顯示的信息輸出到插入基板處理裝置10的USB閃存等。副操作裝置50具有副顯示裝置52。與主顯示裝置18同樣地，副顯示裝置52例 如是液晶顯示面板，在副顯示裝置52上顯示用于操作基板處理裝置10的操作畫(huà)面等。在 副顯示裝置52上顯示的操作畫(huà)面具有與在主顯示裝置18顯示的操作畫(huà)面相同的功能。因 此，能夠顯示基板處理裝置10內(nèi)生成的信息，使該信息輸出到插入基板處理裝置10的USB 閃存等。輸送控制部230例如具有包括CPU等的輸送系統(tǒng)控制器234，處理控制部232例如 具有包括CPU等的處理系統(tǒng)控制器236。輸送系統(tǒng)控制器234與處理系統(tǒng)控制器236通過(guò) 轉(zhuǎn)換中樞15而分別連接于主控制器14。另外，在主控制器14設(shè)有作為進(jìn)行USB閃存等的安裝和拆下的拆裝部的端口 13， 所述USB閃存是作為外部存儲(chǔ)裝置的存儲(chǔ)介質(zhì)。另外，如圖1C所示那樣，在主操作裝置16內(nèi)設(shè)有主顯示控制部240，該主顯示控制 部240用于控制主顯示裝置18的顯示等。主顯示控制部240例如使用視頻線纜20而連接 于主控制器14。另外，如圖1C所示那樣，在副操作裝置50內(nèi)設(shè)有副顯示控制部242，該副顯示控制 部242用于控制副顯示裝置52的顯示等。需說(shuō)明的是，副顯示控制部242不限于圖示的方 式，也可以通過(guò)通信網(wǎng)絡(luò)40而連接于主控制器14。圖2是最初顯示在主顯示裝置18和副顯示裝置52上的操作畫(huà)面的初始畫(huà)面的例子。在此，操作畫(huà)面由標(biāo)題面板61、信息面板62、導(dǎo)航面板63、未圖示的指令面板構(gòu)成。標(biāo)題(title)面板61位于操作畫(huà)面的最上部，相當(dāng)于信息面板62和未圖示的指令面板的上部的區(qū)域。標(biāo)題面板61常時(shí)進(jìn)行顯示，例如在進(jìn)行在線通信的情況下，顯示與 上位控制器的通信狀況、日期、時(shí)刻、登錄(login)按鈕、注銷(xiāo)(logout)按鈕以及錯(cuò)誤消息。 需說(shuō)明的是，為了提高操作效率，也能夠任意顯示這些以外的項(xiàng)目。在信息面板62上，在各功能區(qū)域顯示一個(gè)或多個(gè)信息或圖形畫(huà)面。在信息面板62 上，為了進(jìn)行所需的控制或監(jiān)視，配置有圖形之外的顯示對(duì)象。需說(shuō)明的是，在功能區(qū)域內(nèi) 的信息面板62中，也能夠適當(dāng)?shù)匾淮物@示多個(gè)信息。導(dǎo)航面板63相當(dāng)于在操作畫(huà)面的最下部配置有各種導(dǎo)航按鈕的區(qū)域。在導(dǎo)航按 鈕上粘貼有文字標(biāo)簽，也能夠作為圖像(圖標(biāo))顯示其功能。在通知警告、注意時(shí)，當(dāng)畫(huà)面 上顯示對(duì)話框時(shí)，對(duì)話框被顯示為不與導(dǎo)航面板63重疊。并且，使用者能夠立刻進(jìn)行操作 來(lái)訪問(wèn)各種信息。另外，在導(dǎo)航面板63配置有按鈕，該按鈕用于訪問(wèn)如下信息用于可靠地 實(shí)施為了裝置的安全的操作。例如，配置用于訪問(wèn)如下信息的警報(bào)(alarm)按鈕，所述信息 用于對(duì)發(fā)生的警報(bào)、警告以及當(dāng)前時(shí)刻已取得的事件記錄進(jìn)行確認(rèn)、解除警報(bào)以及警告。需 說(shuō)明的是，導(dǎo)航面板63也可以構(gòu)成為與標(biāo)題面板61同樣地常時(shí)進(jìn)行顯示。 需說(shuō)明的是，在導(dǎo)航面板63中以虛線顯示的按鈕意味著處于無(wú)法按下的狀態(tài)(無(wú) 效)。按照操作畫(huà)面的內(nèi)容以及使用者的動(dòng)作等，各按鈕變?yōu)闊o(wú)效或變?yōu)橛行?。例如，在?用者將USB閃存插入到基板處理裝置10的情況下，作為用于確認(rèn)為了拆下裝置的確認(rèn)部的 拆下按鈕65變?yōu)橛行?，在使用者從基板處理裝置10拆下了 USB閃存的情況下，拆下按鈕65 變?yōu)闊o(wú)效。當(dāng)在導(dǎo)航面板63設(shè)有拆下按鈕65時(shí)，能夠促使作業(yè)者可靠地按下該拆下按鈕 65。因此，特別是USB閃存，能夠避免損壞數(shù)據(jù)、對(duì)主控制器14的OS產(chǎn)生影響。對(duì)其他的導(dǎo)航按鈕進(jìn)行說(shuō)明。圖2中，配置于導(dǎo)航面板63的系統(tǒng)按鈕被按下，顯示系統(tǒng)主畫(huà)面。雖然在圖中無(wú) 法確認(rèn)，但用顏色區(qū)分進(jìn)行顯示。并且，當(dāng)在該狀態(tài)下按下PM按鈕時(shí)，切換到顯示關(guān)于處理 控制部232的信息的PM主畫(huà)面。另外，在導(dǎo)航面板63配置有編輯按鈕。當(dāng)按下該編輯按 鈕時(shí)，切換到作為編輯對(duì)象的文件的一覽顯示畫(huà)面。作業(yè)者能夠在按下了該編輯按鈕之后， 選擇所期望的文件來(lái)使之顯示在操作畫(huà)面上，對(duì)所期望的文件進(jìn)行編輯。需說(shuō)明的是，作為 編輯對(duì)象的文件是方法(recipe)、各種表等在基板處理中使用的文件。當(dāng)按下數(shù)據(jù)記錄按 鈕時(shí)，顯示與表示裝置過(guò)去的生產(chǎn)狀態(tài)的生產(chǎn)信息(生產(chǎn)數(shù)據(jù))、表示故障發(fā)生時(shí)的裝置狀 態(tài)的故障信息(故障數(shù)據(jù))、軌跡(trace)數(shù)據(jù)、鍵入數(shù)據(jù)、事件記入數(shù)據(jù)、錯(cuò)誤記入數(shù)據(jù)等 的存儲(chǔ)(記錄)有關(guān)的數(shù)據(jù)記錄設(shè)定畫(huà)面。當(dāng)按下設(shè)置(setup)按鈕時(shí)，顯示用于進(jìn)行與 參數(shù)編輯、文件維護(hù)等設(shè)置有關(guān)的作業(yè)的設(shè)置畫(huà)面。當(dāng)按下復(fù)制按鈕時(shí)，復(fù)制押下時(shí)的操作 畫(huà)面。當(dāng)按下警報(bào)按鈕時(shí)，顯示參照警報(bào)監(jiān)視器、故障經(jīng)歷信息的參照畫(huà)面。另外，顯示為 也參照表示發(fā)生故障時(shí)的裝置狀態(tài)的故障信息(故障數(shù)據(jù))。如以上說(shuō)明的那樣，本申請(qǐng)的發(fā)明的實(shí)施方式的特征在于如下方面在導(dǎo)航面板 63設(shè)置有作為在拆下安裝于端口 13的設(shè)備時(shí)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)部的拆下按鈕65。在此，設(shè) 備不只是USB閃存等外部?jī)?chǔ)存介質(zhì)，而是也包括打印機(jī)等輸出裝置、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等輸入裝置 等的總稱(chēng)。圖3是表示主控制器14執(zhí)行的事件處理(SlO)的流程圖。在此，事件是指設(shè)備的狀態(tài)發(fā)生變化，具體是指設(shè)備被插入到端口 13或被拆下。 伴隨著設(shè)備的狀態(tài)變化，以向主控制器14發(fā)送了 WM-DEVICECHANGE消息為觸發(fā)而 開(kāi)始事件處理。需說(shuō)明的是，WM-DEVICECHANGE消息是指在Windows執(zhí)行環(huán)境中，在變?yōu)榱?能夠添加并利用新的設(shè)備的情況下、以及設(shè)備已被拆下的情況下發(fā)送的、包括為了表示設(shè) 備的變更而使之相關(guān)聯(lián)的事件以及關(guān)于變更的詳細(xì)信息的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)體。通過(guò)將WM_DEVICECHANGE消息的發(fā)送作為事件處理的觸發(fā)，與由計(jì)時(shí)器等常時(shí)對(duì) 事件進(jìn)行監(jiān)視的情況相比，主控制器14所需的負(fù)荷變少。如圖3所示那樣，在步驟IOO(SlOO)中，根據(jù)發(fā)送來(lái)的WM_DEVICECHANGE消息判斷 是否發(fā)生了添加新的設(shè)備的事件。在發(fā)生了設(shè)備添加事件的情況下，進(jìn)入步驟102的處理， 否則進(jìn)入步驟104的處理。在步驟102(S102)中，判斷所添加的設(shè)備是否為邏輯驅(qū)動(dòng)。在所添加的設(shè)備為邏 輯驅(qū)動(dòng)的情況下，進(jìn)入步驟106的處理，否則，結(jié)束處理。在步驟104(S104)中，根據(jù)發(fā)送來(lái)的WM_DEVICECHANGE消息判斷是否發(fā)生了拆下 設(shè)備的事件。在發(fā)生了設(shè)備拆下事件的情況下，進(jìn)入步驟108的處理，否則結(jié)束處理。在步驟106(S106)中，判斷所添加的設(shè)備是否能夠拆裝(可移動(dòng)(removable))。 在所添加的設(shè)備可移動(dòng)的情況下，進(jìn)入步驟112的處理，否則結(jié)束處理。在步驟108(S108)中，進(jìn)行與步驟102相同的處理，在步驟IlO(SllO)中，判斷拆 下的設(shè)備是否可移動(dòng)。在拆下的設(shè)備可移動(dòng)的情況下，進(jìn)入步驟118的處理，否則結(jié)束處 理。在步驟112 (Si 12)中，使拆下按鈕有效，顯示主顯示裝置18及副顯示裝置52的操 作畫(huà)面，進(jìn)入步驟114的處理。在步驟114(S114)中，使表示拆下按鈕被按下的標(biāo)志(拆下按鈕按下標(biāo)志)不激 活(off)。在步驟116 (Si 16)中，使表示插入有設(shè)備的標(biāo)志(設(shè)備插入標(biāo)志)激活(on)。在步驟118 (Si 18)中，使拆下按鈕無(wú)效，顯示主顯示裝置18及副顯示裝置52的操 作畫(huà)面，進(jìn)入步驟120的處理。在步驟120(S120)中，基于拆下按鈕按下標(biāo)志的狀態(tài)，判斷在發(fā)生設(shè)備拆下事件 之前是否按下了拆下按鈕。在拆下按鈕按下標(biāo)志激活時(shí)，進(jìn)入步驟122的處理，否則進(jìn)入步 驟124的處理。在步驟122(S122)中，使設(shè)備插入標(biāo)志不激活。在步驟124(S124)中，在主顯示裝置18及副顯示裝置52顯示促進(jìn)使用者注意的 警告畫(huà)面，使得今后在拆下設(shè)備的情況下，按下拆下按鈕后將設(shè)備拆下。圖4是表示主控制器14中執(zhí)行的計(jì)時(shí)處理(S20)的流程圖。如圖4所示那樣，在步驟200 (S200)中，在設(shè)備插入標(biāo)志激活的情況下，進(jìn)入步驟 202的處理，否則結(jié)束處理。在步驟202(S202)中，判斷計(jì)時(shí)器的計(jì)數(shù)是否為偶數(shù)。在計(jì)時(shí)器的計(jì)數(shù)為偶數(shù)的 情況下，進(jìn)入步驟204的處理，否則進(jìn)入步驟206的處理。在步驟204(S204)中，例如將拆下按鈕的顏色設(shè)定為淺色來(lái)顯示，在步驟 206(S206)中，例如將拆下按鈕的顏色設(shè)定為深色來(lái)顯示。也即是，淺色的拆下按鈕和深色的拆下按鈕交替顯示(閃爍顯示)。圖5是表示主控制器14中執(zhí)行的拆下按鈕按下處理(S30)的流程圖。以操作畫(huà)面的拆下按鈕65被按下為觸發(fā)而開(kāi)始拆下按鈕按下處理。如圖5所示那樣，在步驟300 (S300)中，使拆下按鈕按下標(biāo)志激活，進(jìn)入步驟302 的處理。在步驟302 (S302)中，取得設(shè)備實(shí)例句柄(instance handle)，進(jìn)入步驟304的處 理。設(shè)備實(shí)例句柄是唯一識(shí)別設(shè)備(例如，USB閃存)的標(biāo)識(shí)符。在無(wú)法得到設(shè)備實(shí)例句 柄的情況下，進(jìn)入步驟320的處理。在步驟304(S304)中，將與在步驟302取得的設(shè)備實(shí)例句柄對(duì)應(yīng)的設(shè)備上所連接 的設(shè)備表示為節(jié)點(diǎn)的樹(shù)(也即是，生成設(shè)備樹(shù))，判斷在設(shè)備樹(shù)上是否具有設(shè)備節(jié)點(diǎn)。在有 設(shè)備節(jié)點(diǎn)的情況下，進(jìn)入步驟306的處理，否則進(jìn)入步驟308的處理。在步驟306(S306)中，取得設(shè)備節(jié)點(diǎn)的驅(qū)動(dòng)器名，進(jìn)入步驟310的處理。在無(wú)法得 到驅(qū)動(dòng)器名的情況下，進(jìn)入步驟308的處理。在步驟308(S308)中，查尋設(shè)備樹(shù)，探索子節(jié)點(diǎn)(節(jié)點(diǎn)的深度深的節(jié)點(diǎn))、兄弟節(jié)點(diǎn) (節(jié)點(diǎn)的深度相同的節(jié)點(diǎn))以及父節(jié)點(diǎn)(節(jié)點(diǎn)的深度淺的節(jié)點(diǎn))。在具有族節(jié)點(diǎn)的情況下， 進(jìn)入步驟306的處理，否則進(jìn)入步驟320的處理。在步驟310(S310)中，取得設(shè)備節(jié)點(diǎn)的設(shè)備名，進(jìn)入步驟312的處理。在無(wú)法取得 設(shè)備名的情況下，進(jìn)入步驟308的處理。在步驟312(S312)中，判斷在步驟310中取得的設(shè)備名是否為“USB大容量?jī)?chǔ)存裝 置設(shè)備”。在為這樣的設(shè)備名時(shí)，進(jìn)入步驟314的處理，否則進(jìn)入步驟308的處理。在步驟314(S314)中，對(duì)于在步驟310中取得的設(shè)備名的設(shè)備節(jié)點(diǎn)，釋放設(shè)備描述 表(context)，進(jìn)入步驟316的處理。設(shè)備描述表是存儲(chǔ)設(shè)備節(jié)點(diǎn)中使用的信息的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu) 體，通過(guò)調(diào)用API等而被釋放。在無(wú)法釋放設(shè)備描述表的情況下，進(jìn)入步驟320的處理。在步驟316(S316)中，對(duì)與在步驟310中取得的設(shè)備名相對(duì)應(yīng)的設(shè)備節(jié)點(diǎn)無(wú)法被 訪問(wèn)這一情況進(jìn)行確認(rèn)，在確認(rèn)無(wú)法訪問(wèn)的情況下，結(jié)束處理，否則進(jìn)入步驟320的處理。在步驟318 (S318)中，在發(fā)布了設(shè)備拆下事件之后，結(jié)束處理。在步驟320(S320)中，在返回了錯(cuò)誤消息之后，結(jié)束處理。例如，將錯(cuò)誤消息顯示 到錯(cuò)誤畫(huà)面。圖6是表示圖1C的主顯示裝置18及副顯示裝置52上顯示的、表示將故障信息復(fù) 制到USB閃存時(shí)的操作畫(huà)面的轉(zhuǎn)變的活動(dòng)圖。如圖6所示那樣，在步驟400 (S400)中，在顯示圖2中示出的初始畫(huà)面、按下了標(biāo) 題面板61的登錄按鈕的情況下，進(jìn)入步驟402。需說(shuō)明的是，在對(duì)基板處理裝置10進(jìn)行某 種操作的情況下，需要認(rèn)證，所以省略按下登錄按鈕以外的按鈕時(shí)的說(shuō)明。在步驟402(S402)中，顯示促使輸入登錄所需的信息(例如，用戶(hù)名和密碼)的登 錄畫(huà)面。在步驟404(S404)中，基于輸入到登錄畫(huà)面的信息，進(jìn)行認(rèn)證作業(yè)。當(dāng)認(rèn)證成功時(shí) 進(jìn)入步驟406，認(rèn)證失敗時(shí)進(jìn)入步驟408。在步驟406(S406)中，在按下了導(dǎo)航面板63的設(shè)置按鈕的情況下，顯示接受基板 處理裝置10的維護(hù)的畫(huà)面。
將故障信息作為記錄文件的一種進(jìn)行保存，例如，當(dāng)按下了基板處理裝置10的維護(hù)畫(huà)面中的接受文件的復(fù)制、參數(shù)的備份和恢復(fù)的按鈕的情況下，顯示文件維護(hù)畫(huà)面。在文 件維護(hù)畫(huà)面中，當(dāng)按下了接受文件的維護(hù)的按鈕時(shí)，顯示文件管理畫(huà)面。并且，在文件管理 畫(huà)面中，當(dāng)按下接受記錄取得處理的按鈕、顯示出記錄文件一覽畫(huà)面時(shí)，在記錄文件一覽畫(huà) 面中，在按下了接受故障信息的維護(hù)的按鈕“故障信息”時(shí)，如步驟410 (S410)所示那樣，顯 示表示故障信息的一覽的畫(huà)面(圖7所示的故障信息一覽畫(huà)面)。在步驟408(S408)中，顯示表示認(rèn)證失敗的認(rèn)證失敗畫(huà)面，返回步驟402。在圖7所示的故障信息一覽畫(huà)面中，在將所選擇的故障信息復(fù)制到作為輸出對(duì)象 的USB閃存中后，在未按下拆下按鈕65而拆下了 USB閃存的情況下，進(jìn)入步驟412。另一方 面，在按下拆下按鈕、事件處理中的返回值為錯(cuò)誤消息時(shí)，進(jìn)入步驟414，在返回值為事件發(fā) 布時(shí)，進(jìn)入步驟416。在步驟414(S414)中，與錯(cuò)誤消息一起顯示表示禁止拆下USB閃存的拆下禁止畫(huà)面。在步驟416(S416)中，顯示表示向USB閃存的復(fù)制已成功的允許拆下畫(huà)面。以上，作為向USB閃存輸出故障信息的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以向與USB端口對(duì) 應(yīng)的其他的設(shè)備進(jìn)行輸出，對(duì)于在基板處理裝置10內(nèi)生成的其他的信息也可以同樣地進(jìn) 行輸出。對(duì)本申請(qǐng)的發(fā)明中的具體的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。制造商側(cè)的作業(yè)者將裝置的過(guò)去的生產(chǎn)狀態(tài)(以下稱(chēng)為生產(chǎn)信息)、故障發(fā)生時(shí) 的裝置的狀態(tài)(以下稱(chēng)為故障信息)以及當(dāng)前或過(guò)去的裝置的狀態(tài)(以下稱(chēng)為軌跡數(shù)據(jù)) 等數(shù)據(jù)從裝置復(fù)制到USB閃存，從而進(jìn)行數(shù)據(jù)解析等。另外，上述的生產(chǎn)信息、故障信息以 及軌跡數(shù)據(jù)等作為文件而被保存，總文件大小變?yōu)閿?shù)兆字節(jié)。由此，難以使用現(xiàn)有的軟盤(pán)將 這些大容量數(shù)據(jù)從裝置取出，但在本申請(qǐng)的發(fā)明中，能夠安全地將這些大容量數(shù)據(jù)取出，能 夠在數(shù)據(jù)解析中進(jìn)行使用。除上述的生產(chǎn)信息、故障信息以及軌跡數(shù)據(jù)等之外，還能夠?qū)⒀b置中操作后的關(guān) 鍵的信息(以下稱(chēng)為關(guān)鍵記錄)、模塊間交換了信息這樣的信息(以下稱(chēng)為事件記錄) 以及程序執(zhí)行期間發(fā)生的錯(cuò)誤的信息(以下稱(chēng)為錯(cuò)誤記錄)等存儲(chǔ)到USB閃存，能夠在 數(shù)據(jù)解析中進(jìn)行使用。因此，能夠容易迅速查明故障發(fā)生時(shí)的要因，縮短裝置的停工期 (downtime)。另外，能夠在新添加了制造同種的膜的裝置的情況下，從現(xiàn)有的裝置取得生產(chǎn)、維 護(hù)所需的方法、表以及參數(shù)等，安全地復(fù)制到新的裝置。在以上說(shuō)明的實(shí)施方式中，當(dāng)設(shè)備被插入到拆裝部13時(shí)，導(dǎo)航面板63的拆下按鈕 65自動(dòng)變?yōu)榱擞行?。另外，即使在基板處理期間，也能夠?qū)?shù)據(jù)輸出到設(shè)備。但是，在本申請(qǐng) 的發(fā)明中，在裝置處于基板處理期間的情況下，也可以使得在操作畫(huà)面上顯示為無(wú)效(也 即是，使得無(wú)法按下拆下按鈕65)，并且，使得不接受用于將各種數(shù)據(jù)輸出到設(shè)備的操作。如上述那樣，在雖然為基板處理期間但還是插入了設(shè)備的情況下，優(yōu)選使之在操 作畫(huà)面上顯示錯(cuò)誤消息。也即是，優(yōu)選對(duì)插入設(shè)備的定時(shí)進(jìn)行監(jiān)視。在本申請(qǐng)的發(fā)明中，以 在拆裝部13進(jìn)行了設(shè)備的插入和拆下的定時(shí)取得事件記錄，監(jiān)視該事件記錄，由此能容易 地實(shí)現(xiàn)。
需說(shuō)明的是，本發(fā)明作為基板處理裝置10例如構(gòu)成為實(shí)施半導(dǎo)體裝置(IC)的制 造方法的半導(dǎo)體制造裝置，但不僅是半導(dǎo)體制造裝置，也能夠適用于處理LCD裝置那樣玻 璃基板的裝置。在基板處理裝置10中進(jìn)行的成膜處理中，例如具有CVD、PVD、形成氧化膜、氮化膜 的處理、形成包括金屬的膜的處理。另外，在本實(shí)施方式中，作為基板處理裝置為縱型處理裝置10來(lái)進(jìn)行了記載，但 同樣也能夠適用于扁平裝置，進(jìn)一步也同樣能夠適用于曝光裝置、光刻裝置、涂覆裝置等。另外，也能夠適用于連接于多個(gè)基板處理裝置10、管理多個(gè)基板處理裝置10的組 管理裝置(管理服務(wù)器)、以及包括這樣的基板處理裝置和組管理裝置的基板處理系統(tǒng)。本發(fā)明的特征在于權(quán)利要求書(shū)所記載的事項(xiàng)，但還包括如下附記的事項(xiàng)。[附記1]一種基板處理裝置，包括操作部，其具有進(jìn)行文件的生成或編輯的操作畫(huà)面，上 述文件用于處理基板；和控制單元，其分別通過(guò)通信線路與安裝部連接，進(jìn)行控制使得執(zhí)行 上述文件，上述安裝部用于裝備寫(xiě)入執(zhí)行上述文件時(shí)生成的數(shù)據(jù)的外部存儲(chǔ)單元，該基板 處理裝置中， 上述控制單元被構(gòu)成為，在上述外部存儲(chǔ)單元沒(méi)有被安裝在上述安裝部的情況下，使上述操作畫(huà)面上的預(yù) 定的按鈕的顏色與背景色相同而成為不可按下的狀態(tài)，在上述外部存儲(chǔ)單元被安裝在上述安裝部的情況下，當(dāng)上述基板處理裝置正在對(duì) 基板進(jìn)行處理時(shí)，在上述操作畫(huà)面上，在即使是預(yù)先確定的操作、對(duì)上述基板處理裝置的工 作狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)視的畫(huà)面的切換顯示操作也不進(jìn)行切換的部分明示預(yù)定的按鈕。[附記2]根據(jù)附記1所述基板處理裝置，被構(gòu)成為，在為了從上述安裝部拆下上述外部?jī)?chǔ)存單元而按下了上述預(yù)定的按鈕的情況下，當(dāng)向上述外部?jī)?chǔ)存單元的數(shù)據(jù)的寫(xiě)入處理未結(jié)束時(shí)，產(chǎn)生錯(cuò)誤。[附記3]根據(jù)附記1或附記2所述的基板處理裝置，其中，在處于向上述外部存儲(chǔ)單元的數(shù) 據(jù)的寫(xiě)入期間中的情況下，變更上述預(yù)定的按鈕的顏色來(lái)進(jìn)行明示。[附記4]根據(jù)附記1或附記2所述的基板處理裝置，其中，上述控制單元，使上述操作畫(huà)面 顯示用于使上述外部存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)上述文件內(nèi)的數(shù)據(jù)的設(shè)定畫(huà)面，當(dāng)預(yù)定的文件被選擇 時(shí)，使上述外部存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)所選擇的文件內(nèi)的數(shù)據(jù)。[附記5]根據(jù)附記4所述的基板處理裝置，其中，存儲(chǔ)在上述外部存儲(chǔ)單元中的數(shù)據(jù)是表 示裝置的過(guò)去的生產(chǎn)狀態(tài)的生產(chǎn)信息(生產(chǎn)數(shù)據(jù))、表示故障發(fā)生時(shí)的裝置狀態(tài)的故障信 息(故障數(shù)據(jù))、軌跡數(shù)據(jù)、鍵入數(shù)據(jù)、事件記入數(shù)據(jù)、錯(cuò)誤記入數(shù)據(jù)中的任意一種以上的數(shù) 據(jù)。[附記6]根據(jù)附記1所述的基板處理裝置，被構(gòu)成為對(duì)于在上述外部存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)各數(shù)據(jù)時(shí)生成的文件，在向上述外部存儲(chǔ)單元的文件的寫(xiě)入處理未結(jié)束的情況下，產(chǎn)生錯(cuò)誤。[附記7]根據(jù)附記1所述的基板處理裝 置，其中，對(duì)于在上述外部存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)各數(shù)據(jù) 時(shí)生成的文件，在向上述外部存儲(chǔ)單元的文件的寫(xiě)入處理未結(jié)束的情況下，按寫(xiě)入處理未 結(jié)束的每個(gè)文件變更顏色來(lái)進(jìn)行明示。[附記8]根據(jù)附記1所述的基板處理裝置，其中，在沒(méi)有按下預(yù)定的按鈕而從上述安裝部 拆下了上述外部存儲(chǔ)單元的情況下，在上述操作畫(huà)面上顯示沒(méi)有按下預(yù)定的按鈕而被拆 下。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，包括控制單元，其對(duì)操作畫(huà)面的顯示進(jìn)行控制，上述操作畫(huà)面用于操作關(guān)于基板處理的信 息；和安裝部，其用于裝備可拆裝的外部存儲(chǔ)裝置， 上述基板處理裝置的特征在于，在上述外部存儲(chǔ)裝置被安裝在上述安裝部的情況下，上述控制單元進(jìn)行控制，以使用 于拆下所安裝的外部存儲(chǔ)裝置的按鈕配置在能按下的位置；在上述外部存儲(chǔ)裝置未被安裝 在上述安裝部的情況下，上述控制單元進(jìn)行控制，以使上述按鈕不被按下。
2.一種基板處理裝置，包括操作部，其具有進(jìn)行文件的生成或編輯的操作畫(huà)面，其中上述文件用于處理基板；和 控制單元，其分別通過(guò)通信線路與安裝部連接，進(jìn)行控制以執(zhí)行上述文件，其中上述安 裝部用于裝備外部存儲(chǔ)單元，該外部存儲(chǔ)單元用于寫(xiě)入執(zhí)行上述文件時(shí)生成的數(shù)據(jù)， 上述基板處理裝置的特征在于， 上述控制單元被構(gòu)成為在上述外部存儲(chǔ)單元未被安裝在上述安裝部的情況下，使上述操作畫(huà)面上的預(yù)定按鈕 的顏色與背景色相同而成為不可按下?tīng)顟B(tài)；在上述外部存儲(chǔ)單元被安裝在上述安裝部的情況下，在上述基板處理裝置正在對(duì)基板 進(jìn)行處理時(shí)，在上述操作畫(huà)面上，在即使是已預(yù)先確定的操作或用于監(jiān)視上述基板處理裝 置的工作狀態(tài)的畫(huà)面的切換顯示操作也不進(jìn)行切換的部分明示預(yù)定按鈕。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，在為了從上述安裝部拆下上述外部存儲(chǔ)單元而按下上述預(yù)定按鈕的情況下， 當(dāng)向上述外部存儲(chǔ)單元寫(xiě)入數(shù)據(jù)的寫(xiě)入處理尚未結(jié)束時(shí)，發(fā)生錯(cuò)誤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板處理裝置，其特征在于，上述控制單元，使上述操作畫(huà)面顯示用于使上述外部存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)上述文件內(nèi)的數(shù)據(jù) 的設(shè)定畫(huà)面，當(dāng)預(yù)定的文件被選擇時(shí)，使上述外部存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)所選擇的文件內(nèi)的數(shù)據(jù)。
5.一種基板處理裝置的顯示方法，其特征在于，在外部存儲(chǔ)單元未被安裝在安裝部的情況下，顯示為使操作畫(huà)面上的預(yù)定按鈕的顏色 與背景色相同而成為不可按下?tīng)顟B(tài)，在外部存儲(chǔ)單元被安裝在安裝部的情況下，當(dāng)基板處理裝置正在對(duì)基板進(jìn)行處理時(shí)， 在操作畫(huà)面上，在即使是已預(yù)先確定的操作或用于監(jiān)視上述基板處理裝置的工作狀態(tài)的畫(huà) 面的切換顯示操作也不進(jìn)行切換的部分明示上述預(yù)定按鈕。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板處理裝置和基板處理裝置的顯示方法，該基板處理裝置包括控制單元，其對(duì)操作畫(huà)面的顯示進(jìn)行控制，上述操作畫(huà)面用于操作關(guān)于基板處理的信息；和安裝部，其用于裝備可拆裝的外部存儲(chǔ)裝置，該基板處理裝置中，上述控制單元，在上述外部存儲(chǔ)裝置被安裝在上述安裝部的情況下，進(jìn)行控制以使用于拆下所安裝的外部存儲(chǔ)裝置的按鈕配置在能按下的位置上，在上述外部存儲(chǔ)裝置未被安裝在上述安裝部的情況下，進(jìn)行控制以使上述按鈕不被按下。根據(jù)該基板處理裝置，能喚起使用者的注意，以使其不會(huì)誤拆下可拆裝的存儲(chǔ)介質(zhì)，并且能夠在操作畫(huà)面上進(jìn)行能否拆下存儲(chǔ)介質(zhì)的確認(rèn)。
文檔編號(hào)G06F11/00GK102004676SQ201010180558
公開(kāi)日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日
發(fā)明者中川良彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立國(guó)際電氣