技術(shù)編號：6602911
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體基板、玻璃基板等基板進行處理的基板處理裝置和基板處理 裝置的顯示方法。背景技術(shù)以往，作為半導(dǎo)體制造裝置等的基板處理裝置中的外部存儲介質(zhì)，使用軟盤 (floppy disk，注冊商標)等。但是，軟盤雖然在移動數(shù)據(jù)方面較便利，但難以移動大量的 數(shù)據(jù)。因此，難以基于存儲在軟盤中的有限量的數(shù)據(jù)來進行充分的數(shù)據(jù)解析，為了進行充分 的數(shù)據(jù)解析而通過軟盤移動所需的量的數(shù)據(jù)會需要花費較多時間。近年來，USB (Universal Serial Bus)閃...
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