本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，特別是涉及一種工藝參數(shù)的處理方法和裝置。

背景技術(shù)：

Recipe(制程方法)是指工業(yè)自動(dòng)化制造過程中的工藝制程，Recipe中可以包括以下信息：物料加工過程中的多個(gè)步驟、每個(gè)步驟中各種工藝參數(shù)的數(shù)值、以及各步驟的結(jié)束條件等等。

在實(shí)際應(yīng)用中，Recipe可以通過Recipe模板生成。然而，在半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，由于加工精細(xì)度越來越高，制造過程也變得越來越復(fù)雜，因此，一個(gè)Recipe中包含的信息也越來越多，所以需要對(duì)Recipe模板進(jìn)行修改，如修改或者增加模板中的參數(shù)。在修改了Recipe模板之后，按照修改前的Recipe模板生成的Reicpe變的不可用，因此，還需要對(duì)已經(jīng)生成的Recipe進(jìn)行相應(yīng)的修改。

目前，對(duì)Recipe模板的修改通?？梢酝ㄟ^修改Recipe模板的配置文件來實(shí)現(xiàn)，即修改下位機(jī)中Recipe模板的配置文件，在Recipe模板的配置文件中修改或者增加參數(shù)。在Recipe模板修改完成之后，需要對(duì)按照修改前Recipe模板生成的Recipe進(jìn)行修改，具體地，按照修改后的Recipe模板，對(duì)之前已經(jīng)存在并使用的Recipe的配置文件一一進(jìn)行對(duì)照修改。

然而，隨著工藝過程的日益復(fù)雜，一個(gè)Recipe中包含的信息也越來越多，Recipe模板改變的參數(shù)也會(huì)逐漸增多，Recipe模板的改變，導(dǎo)致之前的Recipe都得重新修改或者重新編輯；這樣，在Recipe數(shù)量較大的情況下對(duì)每個(gè)Recipe的配置文件一一進(jìn)行修改，工作量較大，使得修改的效率較低，此外，由于修改Recipe需要較強(qiáng)的專業(yè)技術(shù)知識(shí)，因此，修改過程對(duì)實(shí)施人員要求也比較高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明實(shí)施例為解決上述問題提供了一種工藝參數(shù)的處理方法和裝置，能夠提高Recipe參數(shù)處理效率。

為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種工藝參數(shù)的處理方法，包括：

在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，查找得到與所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；

對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改。

優(yōu)選地，所述對(duì)所述第二配置文件進(jìn)行與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改的步驟，包括：

依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息；

對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行對(duì)比修改。

優(yōu)選地，所述對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行對(duì)比修改的步驟，包括：

對(duì)所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進(jìn)行對(duì)比；

在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時(shí)，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認(rèn)值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認(rèn)值。

優(yōu)選地，所述方法還包括：

在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時(shí)，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息。

優(yōu)選地，所述方法還包括：

在對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對(duì)應(yīng)的新的第二配置文件。

優(yōu)選地，通過如下步驟檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變：

在下位機(jī)的啟動(dòng)過程中，通過對(duì)比Recipe模板的第一配置文件和該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件是否相符，檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變；

或者，

通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)Recipe模板中的第一參數(shù)信息是否發(fā)生改變，檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變。

依據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種工藝參數(shù)的處理裝置，包括：

檢測(cè)模塊，用于在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，查找得到與所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模塊，用于對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改。

優(yōu)選地，所述修改模塊，包括：

第一獲取子模塊，用于依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

第二獲取子模塊，用于依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息；

修改子模塊，用于對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行對(duì)比修改。

優(yōu)選地，所述修改子模塊，包括：

第一修改單元，用于對(duì)所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進(jìn)行對(duì)比；

第二修改單元，用于在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時(shí)，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認(rèn)值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認(rèn)值。

優(yōu)選地，所述裝置還包括：

新增模塊，用于在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時(shí)，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息。

優(yōu)選地，所述裝置還包括：

文件生成模塊，用于在對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對(duì)應(yīng)的新的第二配置文件。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例包括以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，則對(duì)該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行相應(yīng)修改。避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件一一進(jìn)行修改的情況，從而提高了Recipe參數(shù)處理效率。此外，由于避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行修改，減少了實(shí)施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說明

圖1示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實(shí)施例一的步驟流程圖；

圖2示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實(shí)施例二的步驟流程圖；

圖3示出了本發(fā)明一種工藝參數(shù)的處理裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

實(shí)施例一

參照?qǐng)D1，示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實(shí)施例一的步驟流程圖，具體可以包括：

步驟101、在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，查找得到所述已有Recipe的第二配置文件；

目前在半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，由于加工精細(xì)度越來越高，工藝過程也變得越來越復(fù)雜，一個(gè)Recipe中包含的信息也越來越多，需要修改和增加的Recipe參數(shù)會(huì)不斷增多，在對(duì)Recipe模板的第一配置文件修改之后，需要對(duì)所有該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行修改。具體地，一個(gè)Recipe模板可以對(duì)應(yīng)有多個(gè)已有Recipe，因此，需要對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行修改，如果通過手工修改，不但效率低下，而且由于人為因素容易導(dǎo)致錯(cuò)誤的發(fā)生。本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)目的在于：在Recipe模板的第一配置文件改變時(shí)，快速準(zhǔn)確地對(duì)已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行相應(yīng)的修改。在具體應(yīng)用中，對(duì)Recipe模板進(jìn)行修改，通常是通過修改下位機(jī)中Recipe模板的第一配置文件來實(shí)現(xiàn)的。該第一配置文件具體可以包括：RecipeNamesapce.xml、RecipeNamesapce_bu.xml、RecipeNamesapce_tmp.xml這三個(gè)配置文件。其中，RecipeNamespace.xml是最終的Recipe名字空間，RecipeNamespace_bu.xml用于記錄執(zhí)行創(chuàng)建/保存/刪除操作前的Recipe名字空間的狀態(tài)；RecipeNamespace_tmp.xml是臨時(shí)的Recipe名字空間，編輯Recipe模板時(shí)會(huì)先修改該文件，然后通過該文件復(fù)制給RecipeNamespace.xml，以保證最終的Recipe名字空間是正確的。

在實(shí)際應(yīng)用中，所述第一配置文件中具體可以包括第一參數(shù)列表，該第一參數(shù)列表中記錄了所述Recipe模板的所有第一參數(shù)信息，該第一參數(shù)信息 中具體可以包括：第一參數(shù)名稱、第一參數(shù)類型、第一參數(shù)默認(rèn)值等信息。在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)Recipe模板進(jìn)行修改，具體可以包括：在所述第一參數(shù)列表中增加新的第一參數(shù)信息，或者刪除第一參數(shù)信息，或者修改第一參數(shù)信息等等。

下面給出了一種第一參數(shù)列表的具體示例。

在上述第一參數(shù)列表示例中，<RecipeExecutor type＝”default”>和</RecipeExecutor>之間的內(nèi)容為第一參數(shù)列表的具體內(nèi)容，其中，每個(gè)<Param/>可以表示一個(gè)第一參數(shù)信息，例如：<Param name＝”Cycles(times)”dataObject＝””type＝”D”min＝”0”max＝”100”units＝”time”accuracy＝”1”default＝”2”/>，該第一參數(shù)信息的第一參數(shù)名稱為name的值，即Cycles(times)、第一參數(shù)類型為type的值，即D、第一參數(shù)默認(rèn)值為default的值，即2。參照表1，示出了上述第一參數(shù)列表中第一參數(shù)信息的具體示例。

表1

在實(shí)際應(yīng)用中，本發(fā)明工藝參數(shù)的處理方法在檢測(cè)到Recipe模板中的第一參數(shù)信息修改時(shí)，會(huì)依據(jù)該Recipe模板的第一配置文件中的第二配置文 件標(biāo)識(shí)信息，找到該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件，并對(duì)該第二配置文件中的第二參數(shù)列表和步驟列表做相應(yīng)的修改。在上述第一參數(shù)列表示例中，<Recipe/>節(jié)點(diǎn)表示該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe，該Recipe模板有兩個(gè)對(duì)應(yīng)的已有Recipe，名稱name分別的“test1”和“test2”，其中，bodyFileName表示已有Recipe對(duì)應(yīng)的第二配置文件標(biāo)識(shí)，依據(jù)該第二配置文件標(biāo)識(shí)可以在下位機(jī)中找到該已有Recipe對(duì)應(yīng)的第二配置文件，并對(duì)該第二配置文件進(jìn)行與第一配置文件一致性的修改，也即對(duì)“test1”的第二配置文件和“test2”的第二配置文件分別進(jìn)行與第一配置文件一致性的修改。

在本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中，具體可以通過如下步驟檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變：

在下位機(jī)的啟動(dòng)過程中，通過對(duì)比Recipe模板的第一配置文件和該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件是否相符，檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變；

本發(fā)明實(shí)施例可以在系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，對(duì)比Recipe模板的第一配置文件和該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件是否相符，例如對(duì)比Recipe模板和對(duì)應(yīng)的已有Recipe中的參數(shù)信息是否一致，若不一致，則說明Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變，需要對(duì)已有Recipe進(jìn)行修改；或者，

通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)Recipe模板中的第一參數(shù)信息是否發(fā)生改變，檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變。

可以在系統(tǒng)運(yùn)行過程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)Recipe模板中的第一參數(shù)信息是否發(fā)生改變，若發(fā)生改變，則說明Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變，需要對(duì)已有Recipe進(jìn)行修改。

即本發(fā)明實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)在Recipe模板的第一配置文件中的參數(shù)改變的同時(shí)，即可對(duì)已有Recipe的第二配置文件中的參數(shù)也進(jìn)行相應(yīng)修改，在實(shí)際應(yīng)用中，該修改過程可以由計(jì)算機(jī)執(zhí)行，不需要人工進(jìn)行參與，避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件一一進(jìn)行修改的過程，從而可以提高Recipe參數(shù)處理效率；此外，由于避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第 二配置文件進(jìn)行修改，減少了實(shí)施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)，從而可以提高Recipe參數(shù)處理的正確性。

當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，還可以通過其他方式檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件是否發(fā)生改變，本發(fā)明對(duì)于具體的檢測(cè)方式不加以限制，例如，還可以通過人工查看的方式，或者，在人工修改了Recipe模板的第一配置文件后，手動(dòng)啟動(dòng)本發(fā)明的工藝參數(shù)的處理方法，以實(shí)現(xiàn)對(duì)已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行修改也是可行的。

步驟102、對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改。

在具體應(yīng)用中，已有Recipe的第二配置文件具體可以包括第二參數(shù)列表和步驟列表(Step)，其中第二參數(shù)列表中的第二參數(shù)信息和Recipe模板中的第一參數(shù)信息具有一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系；而Step中的第三參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息具有對(duì)應(yīng)關(guān)系。因此，在修改了Recipe模板的第一參數(shù)列表中的第一參數(shù)信息之后，需要對(duì)已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表中的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行相應(yīng)的修改。

在本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述對(duì)所述第二配置文件進(jìn)行與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改的步驟，具體可以包括以下子步驟：

子步驟11、依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

子步驟12、依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息；

子步驟13、對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行對(duì)比修改。

在實(shí)際應(yīng)用中，第二參數(shù)列表中記錄了已有Recipe的所有第二參數(shù)信息，該第二參數(shù)信息中具體可以包括：第二參數(shù)名稱、第二參數(shù)類型、第二參數(shù)默認(rèn)值等信息。步驟列表中記錄了已有Recipe的所有第三參數(shù)信息，該第三參數(shù)信息中具體可以包括：第三參數(shù)名稱和第三參數(shù)默認(rèn)值。在具體應(yīng)用中，一個(gè)Recipe可以包括一個(gè)或者多個(gè)Step。在本發(fā)明的一種應(yīng)用示例 中，給出了一種已有Recipe的第二參數(shù)列表和Step的示例，下面給出了已有Recipe第二配置文件的第二參數(shù)列表的具體示例：

在上述第二參數(shù)列表示例中，<ParamList>和</ParamList>之間的內(nèi)容為第二參數(shù)列表的具體內(nèi)容，其中，每個(gè)<Param/>可以表示一個(gè)第二參數(shù)信息，例如：<Param name＝”Cycles(times)”dataObject＝””type＝”D”min＝”0”max＝”100”units＝”time”accuracy＝”1”default＝”2”/>，并且，該第二參數(shù)信息和上述第一參數(shù)列表中的第一參數(shù)信息具有對(duì)應(yīng)關(guān)系。即，在實(shí)際應(yīng)用中，若修改了第一參數(shù)列表中的某個(gè)第一參數(shù)信息，則需要對(duì)第二參數(shù)列表中對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及步驟列表中對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息也進(jìn)行一致的修改。

以及，下面給出了已有Recipe第二配置文件的步驟列表的具體示例：

<Step index＝”1”name＝”Clamp”>

<Value param＝”Cycles(times)”value＝”9”/>

<Value param＝”Time_init(sec)”value＝”6”/>

<Value param＝”Time_final(sec)”value＝”6”/>

<Value param＝”Pressure_init(mTorr)”value＝”20”/>

<Value param＝”Pressure_final(mTorr)”value＝”20”/>

<Value param＝”GasCF4_init(200SCCM)”value＝”0”/>

<Value param＝”GasCF4_final(200SCCM)”value＝”0”/>

上述步驟列表具體可以包括第三參數(shù)信息，具體地，每個(gè)<Value/>可以表示一個(gè)第三參數(shù)信息，例如：<Value param＝”Cycles(times)”value＝”9”/>，該第三參數(shù)信息的第三參數(shù)名稱為param的值，即Cycles(times)、第三參數(shù)默認(rèn)值為value的值，即9。參照表2，示出了上述步驟列表中第三參數(shù)信息的具體示例。

表2

在本發(fā)明的另一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行對(duì)比修改的步驟，具體可以包括以下子步驟：

子步驟21、對(duì)所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進(jìn)行對(duì)比；

子步驟22、在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時(shí)，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認(rèn)值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認(rèn)值。

優(yōu)選地，上述對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行 對(duì)比修改的步驟，還可以包括：

子步驟23、在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時(shí)，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息。

在本發(fā)明的又一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述方法還可以包括：

在對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對(duì)應(yīng)的新的第二配置文件。

在本發(fā)明實(shí)施例中，在對(duì)第二配置文件進(jìn)行修改之后，可以對(duì)修改后的第二配置文件進(jìn)行保存，生成新的第二配置文件，從而在系統(tǒng)下次啟動(dòng)時(shí)，可以直接按照新的第二配置文件運(yùn)行對(duì)應(yīng)的已有Recipe。

綜上，本發(fā)明在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，則對(duì)該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行相應(yīng)修改；相對(duì)于現(xiàn)有方案通過人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件一一進(jìn)行修改，本發(fā)明實(shí)施例可以通過計(jì)算機(jī)檢測(cè)Recipe模板的第一配置文件的改變，并在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，通過計(jì)算機(jī)對(duì)該Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行相應(yīng)修改，因此能夠提高Recipe參數(shù)的處理效率。此外，由于避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行修改，減少了實(shí)施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)。

實(shí)施例二

參照?qǐng)D2，示出了本發(fā)明的一種工藝參數(shù)的處理方法實(shí)施例二的步驟流程圖，具體可以包括：

步驟201、在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板的第一參數(shù)列表；

具體地，將Recipe模板對(duì)應(yīng)的第一配置文件中RecipeExecutor節(jié)點(diǎn)下以Param為單位存儲(chǔ)到第一容器L1中，即將第一參數(shù)列表中的所有第一參數(shù) 信息按順序依次存儲(chǔ)到L1中，所述第一容器L1具體可以為列表List。在實(shí)際應(yīng)用中，除了List，也可以采用其它存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)，本發(fā)明對(duì)于存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)不加以限制。

步驟202、依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，查找得到與所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；

具體地，將Recipe模板的第一配置文件中Recipe節(jié)點(diǎn)下的bodyFileName信息存儲(chǔ)到第二容器L2中。在具體應(yīng)用中，Recipe模板可以對(duì)應(yīng)多個(gè)已有Recipe，因此，將bodyFileName信息存儲(chǔ)到第二容器L2中，即將該Recipe模板對(duì)應(yīng)的所有的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)按順序依次存儲(chǔ)在L2中。

步驟203、依據(jù)各已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，查找所述已有Recipe對(duì)應(yīng)的第二配置文件；

具體地，依據(jù)L2[j]中存儲(chǔ)的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，在下位機(jī)中查找對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；其中，j初始設(shè)置為0。在具體應(yīng)用中，Recipe模板可以對(duì)應(yīng)多個(gè)已有Recipe，因此，從L2中存儲(chǔ)的第一個(gè)已有Recipe的標(biāo)識(shí)信息開始查找，直到L2中存儲(chǔ)的所有的已有Recipe的標(biāo)識(shí)信息查找結(jié)束。

步驟204、依據(jù)各已有Recipe對(duì)應(yīng)的第二配置文件，獲取各已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；

具體地，將第二配置文件中ParamList節(jié)點(diǎn)下以Param為單位存儲(chǔ)到第三容器L3，即將第二參數(shù)列表中的所有第二參數(shù)信息按順序依次存儲(chǔ)到L3中，以及將最后一個(gè)step節(jié)點(diǎn)下的index值存儲(chǔ)到第四容器L4，該最后一個(gè)step節(jié)點(diǎn)下的index值可以表示第二參數(shù)信息的個(gè)數(shù)，再將該步驟列表對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息以Value為單位存儲(chǔ)到第五容器L4。

步驟205、對(duì)所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進(jìn)行對(duì)比；在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時(shí)，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以 及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認(rèn)值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認(rèn)值；

具體地，從L1的第一個(gè)Param與L3的第一個(gè)Param開始比較，初始i＝0，若L1[i]和L2[i]的內(nèi)容不一致，則用L1[i]替換L2[i]的內(nèi)容，同時(shí)，將L4[i]的第三參數(shù)名稱Param替換為L(zhǎng)1[i]的第一參數(shù)名稱name、以及將L4[i]的第三參數(shù)默認(rèn)值value替換為L(zhǎng)1[i]的第一參數(shù)默認(rèn)值default。

步驟206、在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時(shí)，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息；

具體地，若L1[i]在L2中不存在，則在L3中增加L1[i]，并且，在L4中增加Value節(jié)點(diǎn)，該Value節(jié)點(diǎn)中的Param具體為L(zhǎng)1[i]的name、value具體為L(zhǎng)1[i]的default值。

步驟207、依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有Recipe對(duì)應(yīng)的新的第二配置文件。

具體地，依據(jù)最新的L3、L4以及L4對(duì)應(yīng)的STEP信息生成以L2[j]為名稱的第二配置文件，該第二配置文件具體可以為xml文件。本發(fā)明實(shí)施例通過逐個(gè)對(duì)比L1中存儲(chǔ)的Recipe模板的第一參數(shù)信息，與L3中存儲(chǔ)的已有Recipe的第二參數(shù)信息、以及L4中存儲(chǔ)的已有Recipe的第三參數(shù)信息，利用計(jì)算機(jī)程序?qū)崿F(xiàn)對(duì)已有Recipe第二配置文件中的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行修改，避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件一一進(jìn)行修改的過程，從而可以提高Recipe參數(shù)處理效率；此外，由于避免了人工對(duì)每個(gè)已有Recipe的第二配置文件進(jìn)行修改，減少了實(shí)施人員的操作，可以降低人為修改過程中由于操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)，從而可以提高Recipe參數(shù)處理的正確性。

應(yīng)用示例

接下來，以上述實(shí)施例中的第一參數(shù)列表、第二參數(shù)列表和步驟列表的具體示例為例，說明本發(fā)明的工藝參數(shù)的處理方法。假設(shè)對(duì)Recipe模板的修 改操作具體為：在Recipe模板中增加了一條新的第一參數(shù)信息，該新的第一參數(shù)信息具體如下：Param：<Param name＝”RcpTestEx”dataobject＝””type＝”I”min＝”0”max＝”1”descriptorList＝”NO:0,YES:1”units＝””default＝”NO”>。

在本發(fā)明實(shí)施例中，重啟下位機(jī)軟件后即可自動(dòng)對(duì)已有Recipe進(jìn)行對(duì)應(yīng)的修改，具體過程可以如下：

首先，獲取Recipe模板的第一配置文件中RecipeExexutor節(jié)點(diǎn)下的所有第一參數(shù)信息(Param)和所有Recipe節(jié)點(diǎn)下的第二配置文件標(biāo)識(shí)(bodyFileName)。

然后，根據(jù)獲取的bodyFileName找到對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件，將第二配置文件對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)列表中的第二參數(shù)信息(ParamList節(jié)點(diǎn)下的Param)修改為與Recipe模板中一致的Param，由于Recipe模板中增加了一個(gè)參數(shù)，因此，所有已有Recipe的第二配置文件中ParamList節(jié)點(diǎn)下也會(huì)增加一個(gè)Param：<Param name＝”RcpTestEx”dataobject＝””type＝”I”min＝”0”max＝”1”descriptorList＝”NO:0,YES:1”units＝””default＝”NO”>。

最后，將已有Recipe的每個(gè)Step節(jié)點(diǎn)下第三參數(shù)信息Value中的第三參數(shù)名稱(param)與模板中的第一參數(shù)名稱(Param)進(jìn)行對(duì)比，不同則根據(jù)模板進(jìn)行修改，將第三參數(shù)名稱(param)修改為模板中對(duì)應(yīng)的第一參數(shù)名稱(Param節(jié)點(diǎn)下的name)，第三參數(shù)默認(rèn)值(value)修改為為模板中對(duì)應(yīng)的第一參數(shù)默認(rèn)值(Param節(jié)點(diǎn)下的default值)，在本應(yīng)用示例中，每個(gè)step會(huì)自動(dòng)增加一個(gè)新的第三參數(shù)，即：<Value param＝”RcpTestExvalue＝”NO”/>。

裝置實(shí)施例

參照?qǐng)D3，示出了本發(fā)明一種工藝參數(shù)的處理裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖，具體可以包括：

檢測(cè)模塊310，用于在檢測(cè)到Recipe模板的第一配置文件發(fā)生改變時(shí)，依據(jù)所述第一配置文件中記錄的已有Recipe的第二配置文件標(biāo)識(shí)，查找得到 與所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模塊320，用于對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改。

在本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述修改模塊，具體可以包括：

第一獲取子模塊，用于依據(jù)所述第一配置文件，獲取所述Recipe模板對(duì)應(yīng)的第一參數(shù)列表；其中，所述第一參數(shù)列表中包括所述Recipe模板的第一參數(shù)信息；

第二獲取子模塊，用于依據(jù)所述第二配置文件，獲取所述已有Recipe的第二參數(shù)列表和步驟列表；其中，所述第二參數(shù)列表中包括所述已有Recipe的第二參數(shù)信息；所述步驟列表中包括與所述第二參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息；

修改子模塊，用于對(duì)所述第一參數(shù)信息、第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息進(jìn)行對(duì)比修改。

在本發(fā)明的另一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述修改子模塊，具體可以包括：

第一修改單元，用于對(duì)所述第一參數(shù)列表中各第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)列表中各第二參數(shù)信息，逐一進(jìn)行對(duì)比；

第二修改單元，用于在所述第一參數(shù)信息和所述第二參數(shù)信息不一致時(shí)，用所述第一參數(shù)信息替換所述第二參數(shù)信息；并且，用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)名稱替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)名稱，以及用所述第一參數(shù)信息中的第一參數(shù)默認(rèn)值替換所述第三參數(shù)信息中的第三參數(shù)默認(rèn)值。

在本發(fā)明的又一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述裝置還可以包括：

新增模塊，用于在所述第一參數(shù)信息為所述第一參數(shù)列表中新增的信息時(shí)，在所述第二參數(shù)列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第二參數(shù)信息，以及在所述步驟列表中增加與所述第一參數(shù)信息對(duì)應(yīng)的第三參數(shù)信息。

在本發(fā)明的再一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述裝置還可以包括：

文件生成模塊，用于在對(duì)所述第二配置文件與所述第一配置文件進(jìn)行對(duì)比修改之后，依據(jù)修改后的第二參數(shù)信息和第三參數(shù)信息生成與所述已有 Recipe對(duì)應(yīng)的新的第二配置文件。

對(duì)于裝置實(shí)施例而言，由于其與方法實(shí)施例基本相似，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見方法實(shí)施例的部分說明即可。

本說明書中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見即可。

本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員應(yīng)明白，本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)施例可提供為方法、裝置、或計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。因此，本發(fā)明實(shí)施例可采用完全硬件實(shí)施例、完全軟件實(shí)施例、或結(jié)合軟件和硬件方面的實(shí)施例的形式。而且，本發(fā)明實(shí)施例可采用在一個(gè)或多個(gè)其中包含有計(jì)算機(jī)可用程序代碼的計(jì)算機(jī)可用存儲(chǔ)介質(zhì)(包括但不限于磁盤存儲(chǔ)器、CD-ROM、光學(xué)存儲(chǔ)器等)上實(shí)施的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的形式。

本發(fā)明實(shí)施例是參照根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法、終端設(shè)備(系統(tǒng))、和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品的流程圖和/或方框圖來描述的。應(yīng)理解可由計(jì)算機(jī)程序指令實(shí)現(xiàn)流程圖和/或方框圖中的每一流程和/或方框、以及流程圖和/或方框圖中的流程和/或方框的結(jié)合?？商峁┻@些計(jì)算機(jī)程序指令到通用計(jì)算機(jī)、專用計(jì)算機(jī)、嵌入式處理機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備的處理器以產(chǎn)生一個(gè)機(jī)器，使得通過計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備的處理器執(zhí)行的指令產(chǎn)生用于實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能的裝置。

這些計(jì)算機(jī)程序指令也可存儲(chǔ)在能引導(dǎo)計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備以特定方式工作的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)器中，使得存儲(chǔ)在該計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)器中的指令產(chǎn)生包括指令裝置的制造品，該指令裝置實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能。

這些計(jì)算機(jī)程序指令也可裝載到計(jì)算機(jī)或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設(shè)備上，使得在計(jì)算機(jī)或其他可編程終端設(shè)備上執(zhí)行一系列操作步驟以產(chǎn)生計(jì) 算機(jī)實(shí)現(xiàn)的處理，從而在計(jì)算機(jī)或其他可編程終端設(shè)備上執(zhí)行的指令提供用于實(shí)現(xiàn)在流程圖一個(gè)流程或多個(gè)流程和/或方框圖一個(gè)方框或多個(gè)方框中指定的功能的步驟。

盡管已描述了本發(fā)明實(shí)施例的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對(duì)這些實(shí)施例做出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實(shí)施例以及落入本發(fā)明實(shí)施例范圍的所有變更和修改。

最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者終端設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者終端設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者終端設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上對(duì)本發(fā)明所提供的一種工藝參數(shù)的處理方法和裝置，進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。