專利名稱：半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測試半導(dǎo)體器件所使用的半導(dǎo)體測試裝置；具體來說，是有關(guān)這樣的測試頭定位裝置，當(dāng)把稱為半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭部分裝在該測試裝置的測試部時，使其在預(yù)定的高度位置上移動并保持。
在應(yīng)測試的半導(dǎo)體器件(一般稱為DUT)上外加預(yù)定的圖形測試信號，測定其電特性的半導(dǎo)體器件測試裝置上(通常稱為IC測試器)，把半導(dǎo)體器件運送到測試部，在該測試部使半導(dǎo)體器件與安裝在稱為測試頭的部分(供給和接收測試用的各種電信號的半導(dǎo)體器件測試裝置的一部分，以下稱為測試頭)上的器件插座作電接觸，在測試結(jié)束后把測試完的半導(dǎo)體器件從測試部搬出，大多還連接根據(jù)測試結(jié)果把測試完的半導(dǎo)體器件分成合格和不合格品的半導(dǎo)體器件運送處理裝置(通常稱為處理機(jī))。在本說明書中，單把使這種半導(dǎo)體器件運送處理裝置(以下稱為處理機(jī))連接成整體形式的半導(dǎo)體器件測試裝置稱為半導(dǎo)體測試裝置。此外，在下面為了說明簡單，以作為有代表性的半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體集成電路(以下稱為IC)為例進(jìn)行說明。
首先參照圖3，簡單地說明現(xiàn)有的稱作水平運送方式的處理機(jī)的大體結(jié)構(gòu)。
例示的處理機(jī)60備有裝載器部61，把將要進(jìn)行測試的IC(被測IC)轉(zhuǎn)送并轉(zhuǎn)放于測試盤64上；具有溫度適應(yīng)室66和測試部67的恒溫槽65；引出室68(還稱為除熱/除冷室)，測試部67的試驗終了后，對放置在測試盤64上從測試部67運送過來的測試完的IC作除熱或除冷；卸載器部62，把放置在測試盤64上從引出室68運送過來的測試完的IC從測試盤64運送并轉(zhuǎn)放在通用盤(也稱為用戶盤)63上。
恒溫槽65的溫度適應(yīng)室66以及測試部67和引出室68在處理機(jī)60后側(cè)以該順序在圖中左右方向(該方向為x軸方向)從左向右排列，裝載器部61以及卸載器部62分別配置在恒溫槽65以及引出室68的前部，并且，存放放置被測IC的通用盤63DT、放置分好類的測試完的IC的通用盤63ST、空的通用盤63ET等的盤容納部70配置在處理機(jī)60的最前部。
恒溫槽65的溫度適應(yīng)室66是在裝載器部61中向裝在測試盤64上的被測試IC提供預(yù)定的高溫或低溫溫度應(yīng)力的室，恒溫槽65的測試部67是對處于在溫度適應(yīng)室66得到預(yù)定溫度應(yīng)力狀態(tài)的IC實行電測試的部分。為了在測試中以其不變的溫度維持在溫度適應(yīng)室66給予被測IC的預(yù)定高溫或低溫的溫度應(yīng)力，把這些溫度適應(yīng)室66和測試部67配置在可把內(nèi)部氣氛維持在預(yù)定的溫度中的恒溫槽65內(nèi)。
測試盤64的循環(huán)移動路線是裝載器部61→溫度適應(yīng)室66→測試部67→引出室68→卸載器部62→裝載器部61。測試盤64在該循環(huán)路線中僅配置預(yù)定的個數(shù)，并利用未圖示的測試盤運送裝置按圖示的箭頭方向依次移動。
在裝載器部61中，通過通用盤63裝入被測IC的測試盤64，從裝載器部61送往恒溫槽65內(nèi)，從在該恒溫槽65的前方設(shè)置的插入口運入溫度適應(yīng)室66內(nèi)。在溫度適應(yīng)室66中裝著垂直搬運機(jī)構(gòu)，該垂直搬運機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)能按預(yù)定的間隔呈疊層狀支承多個(例如5個)測試盤64。在圖示的例子中，來自裝載器部61的測試盤被支承在最上面的盤支承臺上，支承在最下面的盤支承臺上的測試盤向測試部67運出，測試部67在溫度適應(yīng)室66的下部以與X軸方向右側(cè)相鄰接的狀態(tài)連接著。因此，測試盤64向與插入方向垂直的方向運出。
垂直搬運機(jī)構(gòu)使支承在各盤支承臺上的測試盤依次往垂直方向(設(shè)該方向為Z軸方向)下方的下一個盤支承臺移動。在最上面的盤支承臺的測試盤依次移動到最下面的盤支承臺期間，并且在待機(jī)到測試部67空閑期間，給被測試IC提供高溫或低溫的預(yù)定的溫度應(yīng)力。
在測試部67配置有測試頭(未圖示)，從溫度適應(yīng)室66一個個地運出的測試盤64被運往測試頭之上，在該測試盤上放置的被測IC內(nèi)預(yù)定數(shù)量的被測IC照舊放置在測試盤64上的狀態(tài)下，使其與測試頭上安裝的器件插座作電接觸。當(dāng)通過測試頭使一張測試盤上的所有被測IC的測試結(jié)束時，則測試盤64再次被從測試部67運往X軸方向右側(cè)，送到引出室68，在該引出室68作測試完的IC的除熱或除冷。
引出室68也和所述溫度適應(yīng)室66一樣備有垂直搬運機(jī)構(gòu)，利用該垂直搬運機(jī)構(gòu)，構(gòu)成可以一定間隔呈疊層狀支承多個(例如5個)測試盤的結(jié)構(gòu)。在圖示的例子中，來自測試部67的測試盤被支承在最下面的盤支承臺上，支承在最上面的支承臺上的測試盤被運出至卸載器部62。垂直搬運機(jī)構(gòu)使支承在各盤支承臺上的測試盤依次向垂直方向上方的下一個盤支承臺移動。在最下面的盤支承臺的測試盤依次移動到最上面的盤支承臺期間，測試完的IC被除熱或除冷，還原為外部溫度(室溫)。
通常，由于IC的測試實施在溫度適應(yīng)室66中向IC提供如-55℃～+125℃寬的溫度范圍內(nèi)任意的溫度應(yīng)力，所以，引出室68在溫度適應(yīng)室66對被測IC施加如+120℃高溫情況下，通過送風(fēng)冷卻使其還原為室溫，而在溫度適應(yīng)室66對被測IC施加如-30℃低溫情況下，通過暖風(fēng)或加熱器等加熱，使其回到不發(fā)生結(jié)露的溫度。并且，放置被測IC的測試盤64通常要使用承受象這樣寬的溫度范圍的，即耐高/低溫的材料形成的測試盤，但在常溫下測試被測IC時，無須用耐高/低溫材料形成測試盤64。
在除熱或除冷之后，測試盤64從測試部67以與運入的方向垂直的方向(設(shè)該方向為Y軸方向)，并且向引出室68的前方運送，從引出室68向卸載器部62運出。
卸載器部62根據(jù)測試結(jié)果的數(shù)據(jù)，把測試盤64上測試完的IC按類分開，放在對應(yīng)的通用盤63上。在該例中，卸載器部62能使測試盤64停在第一和第二兩個位置A和B，根據(jù)測試結(jié)果的數(shù)據(jù)，從停在這些第一位置A和第二位置B的測試盤64中對測試完的IC分類，存放在停在通用盤安置位置(停止位置)上的對應(yīng)類別的通用盤上，在圖示的例子中，是4個通用盤64a、64b、64c、64d。
在卸載器部62空閑的測試盤64被運送到裝載器部61，由通用盤63再轉(zhuǎn)送、放置被測IC。然后，重復(fù)同樣的動作。
但是，在卸載器部62的通用盤安置位置上可配置的通用盤數(shù)量由于空間關(guān)系，在該例中僅限于4個。因而，可實時區(qū)分的類別限制在4類。雖然通常把合格品分成高速響應(yīng)元件、中速響應(yīng)元件、低速響應(yīng)元件3類，同時，加不合格品頂多為4類，但往往有時會產(chǎn)生不屬于這些類的測試完的IC。當(dāng)象這樣的4類以外的IC產(chǎn)生時，就將歸入該類的通用盤從盤存放部70取出，運送到卸載器部62的通用盤安置位置，存放在其通用盤上。這時，還必須把位于卸載器部62的任意一個通用盤運送、存放到盤存放部70的規(guī)定位置上。
在分類作業(yè)當(dāng)中，若進(jìn)行通用盤替換，那么，這其間必須中斷分類作業(yè)。因此，在該例中，在測試盤64的停止位置A、B和通用盤63a～63d的配置位置之間設(shè)置過渡部71，在該過渡部71暫時存放屬于僅偶而產(chǎn)生的類別的IC。在過渡部71具有例如可存放20～30個IC的容量，同時設(shè)置存儲部，該存儲部存儲在過渡部71各IC存放位置上存放的IC的所屬類別，在該存儲部，按各個IC存儲在過渡部71上暫時保存的IC的類別和位置，在分類作業(yè)間隙，或在過渡部71滿荷時，把保存在過渡部71中的IC所屬類別的通用盤從盤存放部70運送到卸載器部62，存放在其通用盤中。此外，還有暫時保存在過渡部71中的IC的類別為多種的情況。因此，在有多種類另的情況下，一次把數(shù)種通用盤從盤存放部70運往卸載器部62。
在裝載器部61中，為了從停在通用盤安置位置(停止位置)的通用盤63向測試盤64轉(zhuǎn)送被測IC，通常，使用備有可動頭(在該技術(shù)領(lǐng)域中稱為握柄裝入式裝置)的X-Y運送裝置(未圖示)。該可動頭下面裝著的IC吸附墊(IC夾持部件)與放置在通用盤63上的被測試IC接觸，用真空吸引作用吸附夾持IC，把IC從通用盤63轉(zhuǎn)送到測試盤64。在卸載器部62中，把測試完的IC從測試盤64轉(zhuǎn)送到通用盤63時也使用同樣結(jié)構(gòu)的X-Y運送裝置。一般，在可動頭上裝著例如8個左右吸附頭，一次轉(zhuǎn)送可達(dá)8個IC。
并且，雖然未圖示，但在盤存放部70上部設(shè)有盤運送裝置，在裝載器部61中，利用該盤運送裝置，把放置被測IC的通用盤63DT從盤存放部70運送到通用盤安置位置(把被測IC(向測試盤64轉(zhuǎn)送的位置)，空閑的通用盤63被存放在盤存放部70內(nèi)的規(guī)定位置上(通常為存放空閑通用盤63ET的位置)。同樣，在卸載器部62，利用所述盤運送裝置，對應(yīng)類別的通用盤分別被從盤存放部70運往通用盤安置位置(從測試盤64接收測試完的IC的位置)，裝滿的通用盤被存放在盤存放部70內(nèi)規(guī)定的位置上，空閑的通用盤63ET被從盤存放部70運往通用盤安置位置。
另外，在裝載器部61中，在通用盤安置位置和測試盤64的停止位置之間，設(shè)置有稱為精確儀(preciser)的IC位置修正裝置69。該精確儀69具有比較深的多個凹部，使從通用盤63向測試盤64運送的被測試IC一度落入這些凹部內(nèi)。各凹部的周圍用斜面包圍，由該斜面規(guī)定IC的落下位置。利用精確儀69正確規(guī)定8個被測IC的相互位置之后，再用可動頭夾持這些規(guī)定了位置的IC，運往測試盤64。設(shè)置這樣的精確儀69的理由是，在通用盤63中，保持IC的凹部形狀作得比IC的形狀還要大，因此，存放在通用盤63的IC的位置具有大的偏差，當(dāng)將用可動頭夾持的IC原封不動地直接運往測試盤64時，就會存在不能直接落入形成在測試盤64上的IC存放凹部中的IC。因此設(shè)置精確儀69，用該精確儀69使IC的排列精度與在測試盤64上形成的IC存放凹部的排列精度一致。
連接這樣結(jié)構(gòu)的處理機(jī)的IC測試器，如圖4所示，配置在處理機(jī)60的測試部67上的測試頭81與裝著IC測試器主要電氣及電子電路、電源等的測試器主體80(在該技術(shù)領(lǐng)域中稱為主框架)分體構(gòu)成，在所述測試器主體80和測試頭81之間，用比如電纜等信號傳輸線路82連接。測試頭81在其內(nèi)部裝有測定電路(包括發(fā)動機(jī)、比較儀等的電路)，在其上部安裝有未圖示的執(zhí)行板(performance board)，在該執(zhí)行板上裝著預(yù)定數(shù)量的器件插座(在該例子中，由于半導(dǎo)體器件是IC，所以裝著IC插座)。
由圖4可知，測試頭81被安裝在處理機(jī)60的測試部67的底面(在該例中是恒溫槽的底面)上，通過形成在該測試部67底面的開口，測試頭81的IC插座在處理機(jī)60的測試部67內(nèi)露出。因此，需要用于使測試頭81在Z軸方向(垂直方向)升降并在適當(dāng)位置保持的定位裝置。
正如在該技術(shù)領(lǐng)域所熟知的，在測試部67，能同時測試的IC個數(shù)取決于裝在測試頭81上的IC插座的數(shù)量。近年來，為了提高IC測試器的使用效率，在測試部，期待增加可同時測試或測定的IC個數(shù)(同時測定個數(shù)或同測數(shù))，所以安裝在測試頭上的IC插座的個數(shù)就要增加，這必然使測試頭變大。其結(jié)果，會被測試頭的重量增加。例如，還有達(dá)到300KG重的測試頭。并且，測試頭要根據(jù)測試的IC種類、測試內(nèi)容、測試盤的大小等被換成與其對應(yīng)的測試頭。并且，還需要維修保養(yǎng)，所以測試頭最好容易取下。
另一方面，測試頭用在該技術(shù)領(lǐng)域稱為高安裝(Hi-fix)基座或測試夾具(Test Fixture)的安裝用具安裝在處理機(jī)的測試部上。因此，在測試部上安裝測試頭時，其工序是，把具有這樣重量的測試頭從處理機(jī)后部運往測試部下方的規(guī)定位置上，再從該位置垂直上升到預(yù)定高度位置，保持在該位置上，把安裝器具安裝在測試部上。
作為使重量大的測試頭從處理機(jī)的測試部下方位置在垂直方向升降保持的定位裝置，至今使用升降(jack)機(jī)構(gòu)。下面，參照圖5以及圖6說明過去使用的這種升降機(jī)構(gòu)。
圖5是側(cè)視圖，表示用于使重量較大的測試頭在垂直方向升降的支撐機(jī)構(gòu)一例的簡要結(jié)構(gòu)。如上所述，通常，在測試頭的上部，安裝有執(zhí)行板，在該執(zhí)行板上裝著預(yù)定數(shù)量的IC插座，用如高安裝基座等安裝用具固定在處理機(jī)的測試部上，但是，圖5是例示測試頭的升降機(jī)構(gòu)10的構(gòu)成的，所以，測試頭僅用塊81圖示。在圖5中僅表示測試頭81的一個側(cè)面，但是在相對的另一側(cè)的側(cè)面上也設(shè)置有同樣結(jié)構(gòu)的支撐10機(jī)構(gòu)。
例示的升降機(jī)構(gòu)10包括長的進(jìn)給絲杠(該例為陽螺紋)11，在測試頭81底面下方預(yù)定高度位置，沿著測試頭81的側(cè)面下端緣，水平方向(在圖5中為左右方向)延伸；2個絲桿螺母副，由在內(nèi)部具有與該進(jìn)給絲杠11旋合的螺紋牙，以規(guī)定間距與進(jìn)給絲杠11旋合的2個可動螺母(該例為陰螺紋)12A以及12B組成。
這些螺母副的可動螺母12A、12B如可由如球螺紋(使陰、陽螺紋槽相向，在螺旋狀的槽中放入鋼球的螺紋)構(gòu)成?？蓜勇菽?2A、12B根據(jù)進(jìn)給絲杠11的轉(zhuǎn)動方向，沿該進(jìn)給絲杠11以圖示箭頭19所示方向以及其反方向作往復(fù)運動。并且，在這些可動螺母12A、12B的側(cè)面上部，分別在直角方向(圖5的紙面穿透方向)以向外突出的狀態(tài)設(shè)置軸13A及13B。
升降機(jī)構(gòu)10還具有2個連接軸14A、14B，在安裝于測試頭81側(cè)面上的大體長方形的可動支承體21的大致同樣高度的位置上，在進(jìn)給絲杠11延伸方向上隔預(yù)定的間距，分別在直角方向向外突出地設(shè)置；2個固定軸15A及15B，在與進(jìn)給絲杠11隔預(yù)定間距，與其外側(cè)位置相對配置的未圖示的支承構(gòu)件的大體同樣高度位置(在該例中為從可動支承體21往下一些的位置)上，在進(jìn)給絲杠11延伸方向上隔預(yù)定的間距，分別在直角方向朝外(朝測試頭側(cè))突出；2個驅(qū)動桿16A及16B，把各自的一端可轉(zhuǎn)動自如地分別安裝在固定于所述可動螺母12A和12B上的軸13A及13B(以下稱為第一固定軸)上，各另一端分別轉(zhuǎn)動自如地安裝在所述可動支承體21的連接軸14A及14B上；2個從動桿18A及18B，各自的一端被分別轉(zhuǎn)動自如地安裝在固定于所述支承構(gòu)件上的軸15A及15B(以下稱為第二固定軸)上；樞軸17A及17B，轉(zhuǎn)動自如地連接對應(yīng)的驅(qū)動桿和從動桿的大致中心部。
在從動桿18A、18B的另一端上固定有向測試頭81突出的滑動軸22A及22B，這些滑動軸22A及22B向在可動支承體21對應(yīng)的位置上于水平方向形成的長孔23A及23B中突出，當(dāng)從動桿18A及18B轉(zhuǎn)動時，分別在這些長孔23A及23B中滑動。
與所述進(jìn)給絲杠11相向配置的支承構(gòu)件也可直接固定在支承基礎(chǔ)5(在該例中是處理機(jī)設(shè)置面)上，或也可把處理機(jī)的框架作為支承構(gòu)件利用。
此外，第二固定軸15A及15B也可分別裝在固定于支承基礎(chǔ)5上的另一個(在該例中是2個)支承構(gòu)件上。還有，樞軸17A及17B也可是固定在驅(qū)動桿或從動桿之一上的軸。
進(jìn)給絲杠11利用固定在支承基礎(chǔ)5上的未圖示的多個支承體被轉(zhuǎn)動自如地支承著，而且，進(jìn)給絲杠11的一端通過減速機(jī)26及聯(lián)軸節(jié)25被連接到同樣固定在支承基礎(chǔ)5上的馬達(dá)27的回轉(zhuǎn)軸上。另一方面，可動螺母12A及12B固定在支承基礎(chǔ)5或進(jìn)給絲杠14的支承體上，而且，被自由滑動地支承在沿進(jìn)給絲杠11方向延伸的未圖示的導(dǎo)軌上。
所述從動桿18A及18B具有與驅(qū)動桿16A及16B大體相同的形狀和大小，用樞軸17及17B分別以X字形連接對應(yīng)的驅(qū)動桿和從動桿。因此，利用進(jìn)給絲杠11的如按順時針方向的轉(zhuǎn)動(正轉(zhuǎn))，使2個可動螺母12A及12B按圖示箭頭19所示方向移動，當(dāng)驅(qū)動桿16A及16B被從圖示的位置往直立方向驅(qū)動時，則從動桿18A及18B也從圖示的位置往直立的方向移動。這樣，因可動支承體21向圖示的箭頭20所示的方向上升，所以，該可動支承體21上安裝的測試頭81也沿垂直方向上升。
在圖5所示的初期狀態(tài)中，其排列是可動螺母12A及12B的第一固定軸13A及13B、和進(jìn)給絲杠11相對配置的支承構(gòu)件的第二固定軸15A及15B的軸心大體處于同一高度位置(同一水平面)，可動支承體21的連接軸14A和與進(jìn)給絲杠11相對配置的支承構(gòu)件的第二固定軸15A的軸心大體處于同一垂直面上，可動支承體21的連接軸14B和與進(jìn)給絲杠11相對配置的支承構(gòu)件的第二固定軸15B的軸心大體處于同一垂直面上；但不僅限于這樣的排列。
由于在測試頭81的相反側(cè)的側(cè)面上也設(shè)有大體呈長方形的可動支承體及同樣結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)，所以測試頭81利用兩側(cè)面的一對可動支承體及一對升降機(jī)構(gòu)(進(jìn)給絲杠、可動螺母、驅(qū)動桿、以及從動桿)，如圖所示，從支承基礎(chǔ)5被支承在預(yù)定的高度位置上。此外，支承基礎(chǔ)5有時由處理機(jī)框架構(gòu)成。
下面，說明所述結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)10的工作。
首先，把測試頭81運送到處理機(jī)測試部的下側(cè)的預(yù)定位置上，在測試頭81的兩側(cè)面上安裝可動支承體21。這時，升降機(jī)構(gòu)10處于圖5所示的初期狀態(tài)。接著，驅(qū)動馬達(dá)27，在該例中使進(jìn)給絲杠11順時針旋轉(zhuǎn)。這樣，處于圖5所示位置的2個可動螺母12A、12B按圖示箭頭19方向移動，因此，轉(zhuǎn)動自如地支承在所述可動螺母12A及12B的第一固定軸13A及13B上的驅(qū)動桿16A及16B的一端分別徐徐地向接近第二固定軸15A及15B的方向移動。因此，由于從動桿18A及18B的各自的一端被轉(zhuǎn)動自如地支承在第二固定軸15A及15B上，所以，這些驅(qū)動桿16A及16B把樞軸17A及17B作為轉(zhuǎn)動點向直立方向(逆時針方向)轉(zhuǎn)動，可動支承體21上安裝的連接軸14A及14B被向上推。另一方面，由于利用驅(qū)動桿16A及16B向直立方向的轉(zhuǎn)動而使樞軸17A及17B向斜右上升高，所以，從動桿18A及18B以第二固定軸15A及15B作為固定的轉(zhuǎn)動點，向直立方向(順時針方向)轉(zhuǎn)動。其結(jié)果，產(chǎn)生這樣的驅(qū)動力，即，使可動支承體21的連接軸14A及14B按圖示箭頭20所示的垂直方向上升。這樣，由于，可動支承體21按圖中箭頭20所示的垂直方向上升，所以，該可動支承體21上安裝的測試頭81也同時向垂直方向上升。
這樣，利用馬達(dá)27使進(jìn)給絲杠11旋轉(zhuǎn)，測試頭81徐徐地向垂直方向上升，使測試頭81相對處理機(jī)的測試部精確定位，同時上升到預(yù)定高度。在該高度位置，使馬達(dá)27停止驅(qū)動，使測試頭81保持在該高度位置上。在該狀態(tài)下，利用如高安裝基座的安裝用具使測試頭81安裝在處理機(jī)測試部的預(yù)定位置上。由此，測試頭81上安裝的IC插座在測試部內(nèi)露出。
在測試頭81下降時，將安裝用具和處理機(jī)的測試部的連接解除，驅(qū)動馬達(dá)27，該例中以逆時針方向使進(jìn)給絲杠11轉(zhuǎn)動。這樣，2個可動螺母12A及12B向與圖示的箭頭19所示的方向相反的方向移動，測試頭81降至圖5所述的初期狀態(tài)位置，這是顯然的，所以說明從略。
圖6是表示使重量較輕的測試頭在垂直方向升降的升降機(jī)構(gòu)一個例子的大體結(jié)構(gòu)的正面視圖，顯示可用手動使升降機(jī)構(gòu)升降的結(jié)構(gòu)例。此外，由于圖6也是用于例示測試頭的升降機(jī)構(gòu)30的，所以測試頭僅用塊81表示。而且，在圖6中由于是從正面看測試頭81(如從IC測試器的正面看，則圖6為后視圖，但本發(fā)明測試頭是主題，所以把圖6作為正面圖)，所以測試頭81的兩端為側(cè)面。
例示的升降機(jī)構(gòu)30包括小直徑鏈輪32，在測試頭81底面大致中心部下方的預(yù)定高度位置上，可轉(zhuǎn)動自如地支承在支承基礎(chǔ)5上；2個大直徑鏈輪33A及33B，以所述小直徑鏈輪32為中心，在其左右兩側(cè)隔著預(yù)定距離相對配置。這2個大直徑鏈輪33A及33B在從測試頭81兩側(cè)面向外一些的位置轉(zhuǎn)動自如地支承在支承基礎(chǔ)5上。
在小直徑鏈輪32上同軸固定手把31，用鏈條34連接小直徑鏈輪32和2個大直徑鏈輪33A及33B。這種情況下，利用安裝在手把31上的柄31H使手把31轉(zhuǎn)動。從而使小直徑鏈輪32轉(zhuǎn)動時，則2個大直徑鏈輪33A及33B利用鏈條34，以比小直徑鏈輪32的轉(zhuǎn)動速度還要慢得多，但彼此相同的速度轉(zhuǎn)動，這些鏈輪32、33A及33B的大小、齒數(shù)等要預(yù)先設(shè)定好。
在大直徑鏈輪33A及33B上同軸固定有第一傘齒輪35A及35B，與這些鏈輪33A及33B同時轉(zhuǎn)動。并且，設(shè)置有對于這些第一傘齒輪35A及35B大致以直角嚙合的第二傘齒輪36A及36B，這些第二傘齒輪36A及36B分別固定在垂直方向直立的進(jìn)給絲杠(本例中為陽螺紋)37A及37B的下端。這些進(jìn)給絲杠37A及37B轉(zhuǎn)動自如地支承在支承基礎(chǔ)5或處理機(jī)的框架上，并且，分別與在測試頭81的兩側(cè)面水平方向大致中心部上安裝的螺接部38A及38B螺接。這些螺接部38A及38B內(nèi)部具有與進(jìn)給絲杠37A及37B螺接的螺紋齒，可用如球螺紋結(jié)構(gòu)。因此，第一傘齒輪35A及35B轉(zhuǎn)動，與其嚙合的第二傘齒輪36A及36B轉(zhuǎn)動時，則進(jìn)給絲杠37A及37B也同時轉(zhuǎn)動，所以螺接部38A及38B沿垂直方向移動。
下面，說明所述結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)30的動作。
首先，把測試頭81運送到處理機(jī)測試部下側(cè)的預(yù)定位置上，在測試頭81的兩側(cè)面上安裝螺接部38A及38B。這時，升降機(jī)構(gòu)30處于如圖6所示的初期狀態(tài)。接著操作員用柄31H在本例中向順時針方向轉(zhuǎn)動把手，使小直徑鏈輪32向順時針方向旋轉(zhuǎn)。這樣，2個大直徑鏈輪33A及33B通過鏈條34相當(dāng)緩慢地并且同速地順時針旋轉(zhuǎn)，所以固定在這些鏈輪33A及33B上的第一傘齒輪35A及35B同時順時針轉(zhuǎn)動，與此嚙合的第二傘齒輪36A及36B則逆時針轉(zhuǎn)動。
在該例子中，由于當(dāng)進(jìn)給絲杠37A及37B逆時針轉(zhuǎn)動時，則螺接部38A及38B向垂直方向上方移動，當(dāng)進(jìn)給絲杠37A及37B順時針轉(zhuǎn)動時，則螺接部38A及38B向垂直方向下方移動，所以螺接部38A及38B向垂直方向的上方移動。這樣，測試頭81如圖示箭頭39所示，在垂直方向上升，因此，使測試頭相對處理機(jī)測試部精確定位的同時，上升到預(yù)定的高度位置。在該高度位置使手把31停轉(zhuǎn)，將測試頭81保持在該高度位置上。在該狀態(tài)下，利用如高安裝基座的安裝用具把測試頭81安裝在處理機(jī)的測試部的預(yù)定位置上。這樣，使安裝在測試頭81上的IC插座在測試部內(nèi)露出。
當(dāng)使測試頭81下降時，使安裝用具和處理機(jī)測試部脫離接觸，這次，使手把31逆時針轉(zhuǎn)動，進(jìn)給絲杠37A及37B順時針方向轉(zhuǎn)動。這樣，2個螺接部38A及38B沿垂直方向下降，測試頭81下降到圖6所示的初期狀態(tài)位置上，這是清楚的，所以說明從略。
參照圖5所說明的所述升降機(jī)構(gòu)10為使用馬達(dá)27使測試頭81在垂直方向升降的結(jié)構(gòu)，所以，在驅(qū)動力和測試頭的升降速度方面沒有問題。但是，必須有馬達(dá)控制電路。再加上從安全角度考慮，有必要正確把握連接測試頭81的處理機(jī)的測試部和升將機(jī)構(gòu)10之間的相互位置關(guān)系，因此需要通信聯(lián)絡(luò)。還有在發(fā)生斷電事故時要防止測試頭81落下，必須考慮相應(yīng)對策等，這就是問題所在。
對此，在圖6所示的升將機(jī)構(gòu)30中，小直徑鏈輪32和大直徑鏈輪33A及33B之間由鏈條34連接，使手把31產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動驅(qū)動力因減速而加力，由于其結(jié)構(gòu)可以利用手動使測試頭81在垂直方向升降，所以無須控制電路。然而，當(dāng)測試頭81的重量增加時，則為了操作手把31，需要相當(dāng)大的力量。而且，其難度在于由于用手動使手把轉(zhuǎn)動，所以手把31轉(zhuǎn)動速度有限，還有，由于使轉(zhuǎn)動力因減速而加力，所以測試頭的升降速度慢等，其操作性存在各種問題。
本發(fā)明的一個目的在于提供手動操作式半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭定位裝置，這種測試頭定位裝置操作性好，安全性高，且可廉價地制造。
本發(fā)明的另一個目的在于提供一種半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭定位裝置，盡管是手動操作式，但是也可使重量大的測試頭容易地升降。
為了達(dá)到所述目的，本發(fā)明的一個方案是提供一種測試頭定位裝置，把半導(dǎo)體器件運往測試部，在該測試部中測試半導(dǎo)體器件，測試結(jié)束后，把測試完的半導(dǎo)體器件從所述測試部向預(yù)定場所運送；這種半導(dǎo)體器件測試裝置用于把在半導(dǎo)體器件上施加預(yù)定測試圖形信號的測試頭升降到所述測試部的預(yù)定位置，設(shè)有平衡器，具有與測試頭的重量大致相等的驅(qū)動力；手動操作的升降機(jī)構(gòu)，用于使所述測試頭升降。
所述平衡器被設(shè)置在所述測試頭的相對的至少2個位置上，并且，這些平衡器的總驅(qū)動力被設(shè)定成與所述測試頭的重力大體相等的力。而且，作為所述平衡器可使用氣缸、油缸、或油彈簧。
所述手動操作的升降機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述測試頭的相對的側(cè)部，通過操作員手動操作其一個升降機(jī)構(gòu)，兩個升降機(jī)構(gòu)同時動作，使所述測試頭上升及下降。
所述升降機(jī)構(gòu)分別具有進(jìn)給絲杠，大致成水平方向配置，轉(zhuǎn)動自如地被支承；至少一個可動螺母部件，與該進(jìn)給絲杠螺接；驅(qū)動桿，一端轉(zhuǎn)動自如地安裝在該可動螺母部件上，通過該可動螺母部件的沿所述進(jìn)給絲杠的移動，使所述測試頭上升以及下降。
所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠被連接成，利用固定在這些進(jìn)給絲杠上的鏈輪以及連接這些鏈輪之間的鏈條，同時、同方向、大致同速度地轉(zhuǎn)動；手把以同軸狀態(tài)直接連接在一個升降機(jī)構(gòu)的進(jìn)給絲杠上。
所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠也可被連接成，利用固定在這些進(jìn)給絲杠上的齒輪以及連接這些齒輪之間的齒輪機(jī)構(gòu)，同時、同方向、大致同速度地轉(zhuǎn)動。
在最佳的一個實施例中，所述各升降機(jī)構(gòu)還包括隨所述驅(qū)動桿移動而移動的大致同樣形狀及尺寸的從動桿，這些驅(qū)動桿和從動桿的大致中心部位通過樞軸轉(zhuǎn)動自如地連接著，由所述驅(qū)動桿和從動桿的回轉(zhuǎn)，使所述測試頭升降，而所述驅(qū)動桿和從動桿伴隨著所述可動螺母部件沿所述進(jìn)給絲杠的移動而回轉(zhuǎn)。
而且，在所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠上，多個可動螺母部件隔預(yù)定距離螺接，在這些各可動螺母部件上設(shè)置有固定軸，在各固定軸上轉(zhuǎn)動自如地安裝著所述驅(qū)動桿的一端。
還有，在所述測試頭的相對的側(cè)部分別設(shè)有可動支承體，在所述兩個可動支承體上分別安裝有所述升降機(jī)構(gòu)，所述測試頭被安裝在這些可動支承體上。


圖1是表示本發(fā)明半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭定位裝置的一個實施例的側(cè)視圖；圖2A是從左側(cè)看圖1的正面圖；圖2B是從右側(cè)看圖1的后視圖3是用于說明適用本發(fā)明的半導(dǎo)體器件測試裝置一例的概略結(jié)構(gòu)圖；圖4是用于說明圖3所示半導(dǎo)體器件測試裝置主要構(gòu)成成分配置例的側(cè)視圖；圖5是表示現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭定位裝置一例的側(cè)視圖；圖6是表示現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件測試裝置測試頭定位裝置另一例的正面圖。
下面參照圖1、圖2A以及圖2B，詳細(xì)說明本發(fā)明半導(dǎo)體器件測試裝置的測試頭定位裝置的一個實施例。該實施例雖然是適用于把如參照圖3以及圖4說明的水平運送方式的處理機(jī)連接成整體的IC測試器的例子，但當(dāng)然本發(fā)明也能同樣適用于連接其他各種結(jié)構(gòu)的水平運送方式的處理機(jī)和水平運送方式以外的各種結(jié)構(gòu)處理機(jī)的IC測試器。此外，在圖1、圖2A以及圖2B中，在與圖5對應(yīng)的部分和部件(元件)上標(biāo)以相同的符號，除非必要，說明從略。
圖1是表示本發(fā)明半導(dǎo)體器件測試裝置的定位裝置的一個實施例的側(cè)視圖，尤其是詳細(xì)表示用于使測試頭在垂直方向升降的升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。即使在該實施例中，測試頭也只是以塊81來圖示。而且，在圖1中，僅表示測試頭81的一個側(cè)面，但是，在相對的另一側(cè)面上也設(shè)置有同樣結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)，這一點通過作為從左側(cè)看圖1的正面圖的圖2A以及作為從右側(cè)看圖1的后視圖的圖2B容易理解。
例示的升降機(jī)構(gòu)1包括長的進(jìn)給絲杠(在該例中為陽螺紋)11，在測試頭81底面下方預(yù)定高度位置上，沿測試頭81的側(cè)面下端緣在水平方向(在圖1中為左右方向)延伸；2個螺母副，由在內(nèi)部有與該進(jìn)給絲杠11螺接的螺紋齒、隔預(yù)定距離與進(jìn)給絲杠11螺接的2個可動螺母(在該例是陰螺紋)12A以及12B組成。
這些螺母副的可動螺母12A及12B可由例如球螺紋構(gòu)成?？蓜勇菽?2A及12B根據(jù)進(jìn)給絲杠11的轉(zhuǎn)動方向，沿該進(jìn)給絲杠11，按箭頭19所示的方向及其反方向作往復(fù)運動。而且，在這些可動螺母12A及12B的側(cè)面上部，分別以直角方向(垂直圖1紙面方向)以朝外側(cè)突出的狀態(tài)設(shè)有軸13A及13B。
升降機(jī)構(gòu)1還包括2個連接軸14A及14B，在安裝在測試頭81側(cè)面的大致長方形的可動支承體21的大體同樣的高度位置上，在進(jìn)給絲杠11的延伸方向上，隔預(yù)定距離分別以直角方向向外突出地設(shè)置；2個固定軸15A及15B，在與進(jìn)給絲杠11隔預(yù)定距離、在其外側(cè)位置相對配置的支承構(gòu)件2(參照圖2A、圖2B)的大體同樣高度位置(在該例中，比可動支承體21朝下一些的位置)上，在進(jìn)給絲杠11的延伸方向，隔預(yù)定距離，分別在直角方向向外側(cè)(向測試頭側(cè))突出設(shè)置；2個驅(qū)動桿16A及16B，各自的一端被分別轉(zhuǎn)動自如地安裝在固定于所述可動螺母12A及12B上的軸13A及13B(以下稱為第一固定軸)上，各另一端分別轉(zhuǎn)動自如地被安裝在所述可動支承體21的連接軸14A及14B上；2個從動桿18A及18B，各自的一端分別被轉(zhuǎn)動自如地安裝在固定于所述支承構(gòu)件2上的軸15A及15B(以下稱為第二固定軸)上；樞軸17A及17B，轉(zhuǎn)動自如地連接對應(yīng)的驅(qū)動桿和從動桿的大致中心部。
在從動桿18A及18B的另一端上固定有朝測試頭81側(cè)突出的滑動軸22A及22B，這些滑動軸22A及22B向在可動支承體21的對應(yīng)位置上水平方向形成的長孔23A及23B中突出，當(dāng)從動桿18A及18B轉(zhuǎn)動時，分別在這些長孔23A及23B中滑動。在這些從動桿18A及18B的滑動軸22A及22B上由于在測試頭81側(cè)安裝有止脫部件，所以滑動軸22A及22B牢靠地在長孔23A、23B中滑動，并且，支承測試頭81重量的一部分。
所述從動桿18A及18B具有與驅(qū)動桿16A及16B大致同樣的形狀以及大小，由樞軸17A及17B使對應(yīng)的驅(qū)動桿和從動桿分別連接成X字形。
與所述進(jìn)給絲杠11相對配置的支承構(gòu)件2在圖2中，雖然圖示了直接固定在作為處理機(jī)設(shè)置面(地面)的支承基礎(chǔ)5上，但實際上，多數(shù)情況是把處理機(jī)的框架作為支承構(gòu)件2利用。而且，也存在利用處理機(jī)底部的框架作為支承基礎(chǔ)5的情況。
此外，第二固定軸15A及15B也可分別固定在固定于支承基礎(chǔ)5上的各個支承構(gòu)件上。并且，樞軸17A及17B也可是固定于驅(qū)動桿或從動桿之一上的軸。
進(jìn)給絲杠11由固定于支承基礎(chǔ)5的未圖示的多個支承體被轉(zhuǎn)動自如地支承著，進(jìn)給絲杠11的一端上同軸裝有手把31，在另一端上安裝有鏈輪24A。手把31備有操作員作轉(zhuǎn)動操作時使用的柄31H。
進(jìn)給絲杠11上固定的鏈輪24A由鏈輪28相反側(cè)的進(jìn)給絲杠11B的對應(yīng)位置上固定的鏈輪24B(圖2B)連接，當(dāng)由進(jìn)給絲杠11轉(zhuǎn)動而使鏈輪24A轉(zhuǎn)動時，則由于另一個鏈輪24B通過鏈條28同時轉(zhuǎn)動，所以，另一個進(jìn)給絲杠11B也同時同方向轉(zhuǎn)動。這些鏈輪24A及24B具有同樣的直徑和齒數(shù)，因此，兩個進(jìn)給絲杠11、11B以同樣的速度同方向轉(zhuǎn)動。
另一方面，可動螺母12A及12B可自由滑動地被支承在固定于支承基礎(chǔ)5上、且沿進(jìn)給絲杠11方向延伸的未圖示的導(dǎo)軌上。在該情況下，也可在處理機(jī)的框架上安裝進(jìn)給絲杠11以及導(dǎo)軌的一種或兩種。在該實施例中，進(jìn)給絲杠11、11B以及導(dǎo)軌都不使用別的支承構(gòu)件，在處理機(jī)的框架上轉(zhuǎn)動自如地安裝進(jìn)給絲框11、11B，以固定狀態(tài)安裝導(dǎo)軌。
測試頭81的相對側(cè)的側(cè)面上也設(shè)置有大致長方形的可動支承體21B以及同樣結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)1B，所以利用安裝在兩側(cè)面上的一對可動支承體21、21B和一對升降機(jī)構(gòu)1、1B，如圖所示，把測試頭81支承在距支承基礎(chǔ)5(處理機(jī)設(shè)置面)預(yù)定的高度位置上。
在本發(fā)明中，還有在支承基礎(chǔ)5(在該例中是處理機(jī)設(shè)置面)的預(yù)定位置上，在該實施例中是在測試頭81的左右兩側(cè)部下方一邊一個地設(shè)置2個氣缸4，使這些氣缸4的活塞桿4R的前端通過連接塊6分別與可動支承體21、21B的底部結(jié)合。這些氣缸4的向上推力設(shè)定為測試頭81重量的二分之一，因此，僅用左右兩個氣缸4就能使測試頭81保持在垂直方向圖示的位置上。即由于2個氣缸4僅有抵消測試頭81重量的推力，所以，僅作為平衡器工作。從而，2個氣缸4因無須具有使測試頭81上升那樣大的推動力，所以可使用小型便宜的氣缸。此外，在該實施例中，雖然使用了氣缸4，但也可用油缸、油彈簧等作為平衡器。
下面，說明所述結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)1、1B的動作。
首先，把測試頭81運送到處理機(jī)測試部下側(cè)的預(yù)定位置上，在測試頭81的兩側(cè)面上安裝可動支承體21、21B。這時升降機(jī)構(gòu)1、1B處于圖1所示的初期狀態(tài)。并且因測試頭81的重量全部由2個氣缸4擔(dān)負(fù)著，所以，在升降機(jī)構(gòu)1、1B上完全沒有施加測試頭81的重量。
然后，操作員轉(zhuǎn)動手把31，在該例中按順時針方向轉(zhuǎn)動進(jìn)給絲杠。如上所述，由于在升降機(jī)構(gòu)1、1B上完全沒有施加測試頭81的重量，所以手把31可簡單地轉(zhuǎn)動。因此，不必象圖6所示的現(xiàn)有例那樣設(shè)置減速齒輪機(jī)構(gòu)。這樣，在圖6所示位置的2個可動螺母12A及12B向圖示箭頭19的方向移動，可自由轉(zhuǎn)動地支承在這些可動螺母12A及12B的第一固定軸13A及13B上的驅(qū)動桿16A及16B一端，向接近第二固定軸15A及15B分別徐徐移動。因此，這些驅(qū)動桿16A及16B因從動桿18A及18B的各自的一端可自由轉(zhuǎn)動地支承在第二固定軸15A及15B上，所以以樞軸17A及17B為回轉(zhuǎn)點，朝直立方向(逆時針方向)轉(zhuǎn)動，使安裝在可動支承體21上的連接軸14A及14B向上推壓。
另一方面，利用驅(qū)動桿16A及16B向直立方向的轉(zhuǎn)動，樞軸17A及17B向右斜上上升，所以，從動桿18A及18B以第二固定軸15A及15B為固定的回轉(zhuǎn)點向直立方向(順時針方向)轉(zhuǎn)動。其結(jié)果，產(chǎn)生使可動支承體21的連接軸14A及14B向垂直方向上升的驅(qū)動力。這樣，使可動支承體21向垂直方向上升，所以安裝在該可動支承體21上的測試頭81也同時沿垂直方向上升。
象這樣，利用手把31的轉(zhuǎn)動，使一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)1的進(jìn)給絲杠11轉(zhuǎn)動。同時，通過鏈輪24A、鏈條28及鏈輪24B，使另一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)1B的進(jìn)給絲杠11B轉(zhuǎn)動，使測試頭81徐徐地向垂直方向上升，相對處理機(jī)的測試部精確地定位，同時上升到預(yù)定高度位置。在該高度位置使手把31停轉(zhuǎn)，使測試頭81保持在該高度位置。在該狀態(tài)下，利用象高安裝基座的安裝用具把測試頭81安裝在處理機(jī)的測試部的預(yù)定位置上。從而，使在測試頭81上安裝的IC插座在測試部內(nèi)露出。
在使測試頭81下降時，解除安裝用具和處理機(jī)測試部的接觸，使手把31反轉(zhuǎn)，在該例中使進(jìn)給絲杠11、11B逆時針方向轉(zhuǎn)動。借此，可動螺母12A及12B與圖示箭頭19方向反向地移動，測試頭81向圖1所示初期狀態(tài)的位置下降，這一點很清楚，在此不再說明。
在圖1所示的初期狀態(tài)中，可動螺母12A及12B的第一固定軸13A及13B、與進(jìn)給絲杠11相對配置的支承構(gòu)件的第二固定軸15A及15B的軸心大致處于同一高度位置(同一水平面)上，可動支承體21的連接軸14A和與進(jìn)給絲杠11相對配置支承構(gòu)件的第二固定軸15A的軸心大體處于同一垂直面上，可動支承體21的連接軸14B和與進(jìn)給螺紋11相對配置的支承構(gòu)件的第二固定軸15B的軸心大體位于同一垂直面上，但不僅限于這種配置。
此外，如果在例示2個基礎(chǔ)上再增加與進(jìn)給絲杠11、11B螺接的可動螺母，使支承及升降可動支承體21、21B的驅(qū)動桿和從動桿組增加，那么，測試頭81的升降動作就會更順暢，而且，由于用各組的驅(qū)動桿以及從動桿支承測試頭81的重量，所以能更加牢靠地保持測試頭。
根據(jù)所述結(jié)構(gòu)，由于升降機(jī)構(gòu)1、1B上完全沒有承擔(dān)測試頭81的重量，盡管手把31直接連接在進(jìn)給絲杠11上，但操作員可很容易地(用很小的力)轉(zhuǎn)動手把31。這樣，因無需設(shè)置減速齒輪機(jī)構(gòu)，所以，能以相當(dāng)快的速度使進(jìn)給絲杠11、11B旋轉(zhuǎn)，能使測試頭81迅速升降。從而，不會產(chǎn)生測試頭升降速度等的問題。而且，即使測試頭的重量加大，該增加的重量由作為平衡器的氣缸抵消，所以，一點也不影響操作人員對手把的操作，因此，可提供操作性非常好的手動操作測試頭定位裝置。
并且，由于使測試頭升降的動力源始終只是由操作員利用操作手把向進(jìn)給絲杠11輸入的手動軸轉(zhuǎn)矩，所以操作員可正確把握連接測試頭的處理機(jī)測試部和升降機(jī)構(gòu)之間的相互位置關(guān)系，無需通信連絡(luò)。當(dāng)然也不需馬達(dá)控制電路。
加之，由于氣缸僅作為平衡器使用，所以，可用小型便宜的氣缸，IC測試器的整體成本幾乎不上升。而且，升降機(jī)構(gòu)各部分所承受的負(fù)荷也不超出手動軸扭矩的范圍，所以可以進(jìn)行安全順暢的操作。
再有，有關(guān)在發(fā)生斷電事故時防止測試頭落下的辦法也無特別之處，因不是馬達(dá)驅(qū)動，而是利用與進(jìn)給絲杠螺接的可動螺母產(chǎn)生的驅(qū)動，所以，象所述實施例，若作成多個可動螺母，利用進(jìn)給絲杠和可動螺母的摩擦可吸收靜載荷狀態(tài)下的下落荷重。
另外，即使氣缸的空氣因某些事故而關(guān)閉的情況下，通過預(yù)先把單向閥(止回閥)插入氣缸和空氣源之間，氣缸被保持在設(shè)定的壓力，所以也是安全的。
在所述實施例中，是利用升降機(jī)構(gòu)1、1B使可動支承體21A、21B在垂直方向升降，使在這些可動支承體21A、21B上安裝的測試頭81沿垂直方向升降，但其結(jié)構(gòu)也可以是利用升降機(jī)構(gòu)1、1B直接使測試頭81沿垂直方向升降的結(jié)構(gòu)。在該情況下，連接軸14A、14B被固定在測試頭81上，在測試頭81上形成從動桿18A、18B的滑動軸21A、21B滑動的水平方向的長孔23A、23B。
此外，取代長孔23A、23B，在測試頭81的側(cè)面或可動支承體21、21B上水平方向突出設(shè)置2根平行導(dǎo)軌，使這些導(dǎo)軌間的間隔比滑動軸的外徑要大一些，借此也能使從動桿18A、18B的滑動軸22A、22B沿這些導(dǎo)軌在水平方向滑動，并且，通過上側(cè)導(dǎo)軌能支承測試頭的重量，所以其效果與形成長孔23A、23B的情況下的作用效果一樣。還有，即使僅設(shè)置上側(cè)導(dǎo)軌，由于能支承測試頭的重量，所以也能獲得與形成長孔23A、23B時同樣的效果。因此，本發(fā)明不僅限于參照附圖如上所述的實施例中的結(jié)構(gòu)及構(gòu)造。
權(quán)利要求
1．一種測試頭定位裝置，這種測試頭定位裝置是在把半導(dǎo)體器件運往測試部，在該測試部中測試半導(dǎo)體器件，測試結(jié)束后，把測試完的半導(dǎo)體器件從所述測試部向預(yù)定場所運送的半導(dǎo)體器件測試裝置中，把在半導(dǎo)體器件上施加預(yù)定測試圖形信號的測試頭升降到所述測試部的預(yù)定位置上所用的測試頭定位裝置；其特征在于，設(shè)有平衡器，具有與測試頭的重量大致相等的驅(qū)動力；手動操作的升降機(jī)構(gòu)，用于使所述測試頭升降。
2．如權(quán)利要求1所述的測拭頭定位裝置，其特征在于所述平衡器設(shè)置在所述測試頭的相對的至少2個位置上，并且，這些平衡器的總驅(qū)動力被設(shè)定成與所述測試頭重量大體同等的力。
3．如權(quán)利要求1或2所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述平衡器是氣缸、油缸、或油彈簧。
4．如權(quán)利要求1所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述平衡器被設(shè)置在所述測試頭的相對的至少2個位置上，并且，這些平衡器的總驅(qū)動力被設(shè)定成與所述測試頭的重量大體相等的力，抵消所述測試頭的重量；所述手動操作的升降機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述測試頭的相對的側(cè)部，機(jī)構(gòu)操作員手動操作一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)，兩個升降機(jī)構(gòu)就同時動作，使所述測試頭上升以及下降。
5．如權(quán)利要求4所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述平衡器是氣缸、油缸、或油彈簧。
6．如權(quán)利要求4所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述各升降機(jī)構(gòu)分別具有進(jìn)給絲杠，大致成水平方向配置，轉(zhuǎn)動自如地被支承著；至少一個可動螺母部件，與所述進(jìn)給絲杠螺接；驅(qū)動桿，一端轉(zhuǎn)動自如地安裝在所述可動螺母部件上，通過該可動螺母部件沿所述進(jìn)給絲杠的移動，使所述測試頭上升以及下降。
7．如權(quán)利要求6所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠利用固定在這些進(jìn)給絲杠上的鏈輪以及連接這些鏈輪之間的鏈條，同時同方向大致同速度地轉(zhuǎn)動，手把以同軸狀態(tài)直接與一個升降機(jī)構(gòu)的進(jìn)給絲杠連接。
8．如權(quán)利要求6所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)的各個進(jìn)給絲杠利用固定在這些進(jìn)給絲杠上的齒輪以及連接這些齒輪之間的齒輪機(jī)構(gòu)，同時同方向大致同速度地轉(zhuǎn)動，手把以同軸狀態(tài)直接與一個升降機(jī)構(gòu)的進(jìn)給絲杠連接。
9．如權(quán)利要求6至8中任一項所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)各自還包括隨所述驅(qū)動桿移動而移動的大致同樣形狀以及尺寸的從動桿，這些驅(qū)動桿和從動桿的大致中心部通過樞軸轉(zhuǎn)動自如地連接著，利用所述驅(qū)動桿和從動桿的回轉(zhuǎn)，使所述測試頭升降，而所述驅(qū)動桿和所述從動桿伴隨著所述可動螺母部件沿所述進(jìn)給絲杠的移動而回轉(zhuǎn)。
10．如權(quán)利要求6至9中任一項所述的測試頭定位裝置，其特征在于在所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲桿上，以預(yù)定間隔螺接有多個可動螺母部件，在這些可動螺母部件的每個上設(shè)有固定軸，在每個固定軸上轉(zhuǎn)動自如地安裝所述驅(qū)動桿的一端。
11．如權(quán)利要求1所述的測試頭定位裝置，其特征在于在所述測試頭的相對的側(cè)部分別設(shè)有所述手動操作升降機(jī)構(gòu)，通過操作員手動操作一側(cè)的升降機(jī)構(gòu)，使兩側(cè)的升降機(jī)構(gòu)同時動作，使所述測試頭升降。
12．如權(quán)利要求11所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)各自具有進(jìn)給絲杠，大致成水平方向配置，轉(zhuǎn)動自如地被支承著；至少一個可動螺母部件，與該進(jìn)給絲杠螺接；驅(qū)動桿，一端轉(zhuǎn)動自如地安裝在所述可動螺母部件上，通過該可動螺母部件沿所述進(jìn)給絲杠的移動，使所述測試頭升降。
13．如權(quán)利要求12所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠利用固定在這些進(jìn)給絲杠上的鏈輪以及連接這些鏈輪之間的鏈條，同時同方向大致同速度地轉(zhuǎn)動，手把以同軸狀態(tài)直接與一個升降機(jī)構(gòu)的進(jìn)給絲杠連接。
14．如權(quán)利要求12所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠利用固定在這些進(jìn)給絲杠上的齒輪以及連接這些齒輪之間的齒輪機(jī)構(gòu)，同時同方向大致同速度地轉(zhuǎn)動，手把以同軸狀態(tài)直接與一個升降機(jī)構(gòu)的進(jìn)給絲杠連接。
15．如權(quán)利要求12至14中任一項所述的測試頭定位裝置，其特征在于所述升降機(jī)構(gòu)各自包括伴隨所述驅(qū)動桿移動而移動的大體同樣形狀和尺寸的從動桿，這些驅(qū)動桿和從動桿的大致中心由樞軸可自由轉(zhuǎn)動連接著，通過伴隨所述可動螺母部件沿所述進(jìn)給絲杠移動的所述驅(qū)動桿和從動桿的轉(zhuǎn)動，使所述測試頭上升以及下降。
16．如權(quán)利要求12至15中任一項所述的測試頭定位裝置，其特征在于在所述升降機(jī)構(gòu)的每個進(jìn)給絲杠上，隔預(yù)定間隔螺接著多個可動螺母部件，在這些可動螺母部件的每個上設(shè)置有固定軸，在每個固定軸上轉(zhuǎn)動自如地安裝有所述驅(qū)動桿的一端。
17．如權(quán)利要求1至16中任一項所述的測試頭定位裝置，其特征在于在所述測試頭的相對的側(cè)部分別設(shè)置可動支承體，在這2個可動支承體上分別裝有所述升降機(jī)構(gòu)，所述測試頭被安裝在這些可動支承體上。
全文摘要
一種測試頭定位裝置,操作性好,安全性高,且價廉。在測試頭的相對的2個位置上分別設(shè)置氣缸。其總驅(qū)動力與測試頭重量大致相等,作為平衡器工作。升降機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在測試頭的相對的側(cè)部,由進(jìn)給絲杠、與該進(jìn)給絲杠螺接的2個可動螺母部件、一端安裝在各可動螺母部件上的驅(qū)動桿、在各驅(qū)動桿上安裝的從動桿構(gòu)成各升降機(jī)構(gòu),利用一側(cè)的進(jìn)給絲杠的手動旋轉(zhuǎn),移動各可動螺母部件,使驅(qū)動桿和從動桿回轉(zhuǎn),從而使測試頭升降。
文檔編號G01R1/067GK1208935SQ98117469
公開日1999年2月24日 申請日期1998年7月25日 優(yōu)先權(quán)日1997年7月25日
發(fā)明者根本真 申請人:株式會社愛德萬測試