專利名稱:檢測基板表面膜厚的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器制造工藝濕刻設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種檢測基板表面膜厚的方法。
背景技術(shù)：
如圖1所示，液晶顯示器制造工藝濕刻設(shè)備通過終點(diǎn)測定傳感器(EndPoint Sensor EPS)檢測基板表面的膜厚，EPS傳感器檢測基板的原理是通過投光側(cè)4的發(fā)光二極管(LED)元件發(fā)出光線，受光側(cè)5把透過基板的光線的光量轉(zhuǎn)化成電壓，根據(jù)電壓值的大小判斷基板表面的膜厚狀況，現(xiàn)有的傳感器檢測基板表面的膜厚時，EPS的投光側(cè)4、受光側(cè)5和中心通過線6的距離都是5mm，存在時間波動較大的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種檢測基板表面膜厚的方法。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種檢測基板表面膜厚的方法，其使用終點(diǎn)測定傳感器檢測基板表面膜厚，該終點(diǎn)測定傳感器的投光側(cè)到中心通過線的距離及受光側(cè)到中心通過線的距離均為3mm。
本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于其減小EPS和基板間的距離，從而減少EPS和基板之間的氣泡，克服了時間波動較大的缺陷，具有結(jié)構(gòu)簡單、成本相對較低等優(yōu)點(diǎn)。
圖1為常見終點(diǎn)測定傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
一種檢測基板表面膜厚的方法，其使用終點(diǎn)測定傳感器檢測基板表面膜厚，如圖2所示，EPS傳感器檢測基板的原理是通過投光側(cè)1的LED元件發(fā)出光線，受光側(cè)2把透過基板的光線的光量轉(zhuǎn)化成電壓，根據(jù)電壓值的大小判斷基板表面的膜厚狀況。
該終點(diǎn)測定傳感器的投光側(cè)1到中心通過線3的距離與受光側(cè)2到中心通過線3的距離均為3mm，從而減少EPS和基板之間的氣泡，使EPS的波動得到了很好的改善。
Cr-WET#1改善前后的數(shù)據(jù)比較
從3σ的比較以及上表3可以得出，EPS的波動得到了很好的改善。
權(quán)利要求
1.一種檢測基板表面膜厚的方法，其使用終點(diǎn)測定傳感器檢測基板表面膜厚，其特征在于，該終點(diǎn)測定傳感器的投光側(cè)到中心通過線的距離及受光側(cè)到中心通過線的距離均為3mm。
專利摘要
本發(fā)明公開了一種檢測基板表面膜厚的方法，其使用終點(diǎn)測定傳感器檢測基板表面膜厚，該終點(diǎn)測定傳感器的投光側(cè)到中心通過線的距離及受光側(cè)到中心通過線的距離均為3mm。其減小EPS和基板間的距離，從而減少EPS和基板之間的氣泡，克服了時間波動較大的缺陷，具有結(jié)構(gòu)簡單、成本相對較低等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號G01B7/02GK1995906SQ200510112274
公開日2007年7月11日 申請日期2005年12月28日
發(fā)明者謝宇 申請人:上海廣電Nec液晶顯示器有限公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan