技術(shù)編號：81795
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及液晶顯示器制造工藝濕刻設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種。 背景技術(shù)如圖1所示，液晶顯示器制造工藝濕刻設(shè)備通過終點測定傳感器(EndPoint Sensor EPS)檢測基板表面的膜厚，EPS傳感器檢測基板的原理是通過投光側(cè)4的發(fā)光二極管(LED)元件發(fā)出光線，受光側(cè)5把透過基板的光線的光量轉(zhuǎn)化成電壓，根據(jù)電壓值的大小判斷基板表面的膜厚狀況，現(xiàn)有的傳感器檢測基板表面的膜厚時，EPS的投光側(cè)4、受光側(cè)5和中心通過線6的距離都是5mm，存在時間波動較大的缺陷。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。