技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于檢測(cè)腫瘤標(biāo)志物的GaN基HEMT核酸適配子傳感器及其制備方法。該傳感器結(jié)構(gòu)包括GaN基HEMT，其包括柵極區(qū)域、源極區(qū)域和漏極區(qū)域，柵極區(qū)域位于源極區(qū)域和漏極區(qū)域之間；源極電極和漏極電極分別與源極區(qū)域和漏極區(qū)域形成歐姆接觸；柵極電極與所述GaN基HEMT上的柵極區(qū)域形成肖特基接觸；氮化硅薄膜保護(hù)層位于所述源極電極、漏極電極和所述柵極電極的周邊及上側(cè)，僅露出與各電極接觸的區(qū)域；以及核酸適配子單鏈，形成于所述柵極電極上，其能對(duì)腫瘤標(biāo)志物進(jìn)行高靈敏性及特異性識(shí)別。本發(fā)明可對(duì)腫瘤標(biāo)志物實(shí)現(xiàn)快速，實(shí)時(shí)檢測(cè)，特異性強(qiáng)，靈敏度高，有助于惡性腫瘤的預(yù)防醫(yī)治，實(shí)現(xiàn)醫(yī)療裝置的便攜化、智能化。

技術(shù)研發(fā)人員：王曉亮;占香蜜;王權(quán);馮春;肖紅領(lǐng);姜麗娟;王翠梅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.28
技術(shù)公布日：2017.08.18