技術(shù)總結(jié)
一種增加涂布顯影設(shè)備皮帶使用壽命的裝置，包括燈箱，所述燈箱的上部設(shè)有氣體引入口，所述氣體引入口上分別設(shè)有用于檢測(cè)氣體流量的氣體流量傳感器和用于控制氣體流量的氣體流量開(kāi)關(guān)，所述燈箱的箱體上設(shè)有與氣體流量傳感器電連接的氣體流量顯示器；所述燈箱的底部連接氣體采樣裝置，所述氣體采樣裝置連接用于檢測(cè)臭氧濃度的氣體分析儀。該裝置可實(shí)現(xiàn)對(duì)燈箱內(nèi)臭氧濃度的量測(cè)監(jiān)控，并根據(jù)臭氧濃度調(diào)節(jié)引入燈箱的稀釋氣體的流量來(lái)減少氧氣的含量，從而降低臭氧的產(chǎn)生量，以減少EUV照射時(shí)，臭氧對(duì)傳送機(jī)構(gòu)齒輪之間的皮帶的腐蝕，提高了皮帶的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：王睿
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201710248943
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.17
技術(shù)公布日：2017.06.27