技術(shù)編號：12728352
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及平板顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種監(jiān)控涂布顯影設(shè)備燈箱內(nèi)臭氧含量的裝置及方法。背景技術(shù)薄膜晶體管(ThinfilmTransistor，TFT)技術(shù)是二十世紀(jì)九十年代發(fā)展起來的，采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體全集成電路制造技術(shù)，是液晶(LiquidCrystal，LC)、無機和有機薄膜電致發(fā)光平板顯示器的基礎(chǔ)。TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片或晶片上通過濺射、化學(xué)沉積工藝形成制造電路必須的各種膜，通過對膜的加工制作大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路。薄膜場效應(yīng)晶體管是指液晶顯示器上的每一液晶像素點...
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