1.一種監(jiān)控涂布顯影設(shè)備燈箱內(nèi)臭氧含量的裝置，所述裝置包括燈箱，其特征在于，所述燈箱的上部設(shè)有氣體引入口，所述氣體引入口上分別設(shè)有用于檢測氣體流量的氣體流量傳感器和用于控制氣體流量的氣體流量開關(guān)，所述燈箱的箱體上設(shè)有與氣體流量傳感器連接的氣體流量顯示器；
所述燈箱的底部連接氣體采樣裝置，所述氣體采樣裝置連接用于檢測臭氧濃度的氣體分析儀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氣體采樣裝置包括采樣箱和真空泵，所述采樣箱兩個(gè)相對(duì)側(cè)壁分別設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口連接燈箱的底部，所述出氣口連接真空泵的進(jìn)氣端，所述真空泵的出氣端連接三通閥，所述三通閥的兩個(gè)端口分別連接氣體分析儀和廢氣收集裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氣體采樣裝置包括密閉箱體和設(shè)置于所述密閉箱體內(nèi)的采樣球；
所述密閉箱體連接氣泵；
所述采樣球的兩端分別設(shè)有進(jìn)氣孔和出氣孔，所述進(jìn)氣孔連接燈箱的底部，所述出氣孔連接三通閥，所述三通閥的兩個(gè)端口分別連接氣體分析儀和廢氣收集裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述采樣箱的進(jìn)氣口與燈箱的底部之間、所述采樣箱的出氣口與真空泵的進(jìn)氣端之間、所述采樣球的進(jìn)氣孔與燈箱的底部之間以及所述采樣球的出氣孔與三通閥之間均通過金屬管道連接，所述金屬管道上分別設(shè)有各自對(duì)應(yīng)的開關(guān)閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述燈箱的內(nèi)部設(shè)有用于使氣體混合均勻的吊扇。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括一個(gè)用于根據(jù)氣體分析儀的量測結(jié)果發(fā)出報(bào)警信息的報(bào)警器，所述報(bào)警器與氣體分析儀之間電連接。
7.一種采用權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的裝置監(jiān)控涂布顯影設(shè)備燈箱內(nèi)臭氧含量的方法，其特征在于，包括如下步驟：
對(duì)燈箱內(nèi)的氣體進(jìn)行采樣；
量測采樣氣體中臭氧的濃度；
根據(jù)臭氧的濃度值，控制引入燈箱的稀釋氣體的流量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述引入燈箱的稀釋氣體為氮?dú)?、氬氣或氬氣?/p>
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，當(dāng)量測的臭氧濃度超過閾值時(shí)，報(bào)警器發(fā)出報(bào)警信息，通過控制氣體流量開關(guān)向燈箱內(nèi)引入稀釋氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述臭氧濃度的閾值等于或小于3％。