本公開涉及玻璃基板厚度測量技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種玻璃基板厚度測量裝置。

背景技術(shù)：

在玻璃基板制程中，玻璃基板厚度測量為工藝調(diào)整提供依據(jù)，當(dāng)玻璃基板厚度超差時(shí)，工藝人員根據(jù)厚度測量儀測得的數(shù)據(jù)做出相應(yīng)的調(diào)整將厚度調(diào)整到用戶允許范圍，滿足用戶的要求；現(xiàn)有技術(shù)中對玻璃基板厚度的測量多采用垂直吊裝結(jié)合測厚傳感器來實(shí)現(xiàn)，但是由于不同品種的玻璃基板的板長是不同的，無法實(shí)現(xiàn)使用一個(gè)測量裝置測量不同品種的玻璃基板的厚度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本公開的目的是提供一種玻璃基板厚度測量裝置，該測量裝置能夠解決玻璃基板在制程中生產(chǎn)不同板長尺寸品種時(shí)測厚裝置無法匹配的技術(shù)問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本公開提供一種玻璃基板厚度測量裝置，該測量裝置包括：第一夾持部，用于將所述玻璃基板的上邊緣夾持在傳送機(jī)構(gòu)上；測量平臺，該測量平臺上設(shè)置有用于夾持所述玻璃基板的下邊緣的第二夾持部，以及用于檢測玻璃基板厚度的測厚傳感器；所述測量平臺包括底座和臺架，以及設(shè)置在所述臺架和底座之間的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述臺架上設(shè)置有所述第二夾持部和所述測厚傳感器，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述臺架沿縱向接近或遠(yuǎn)離所述第一夾持部。

可選地，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述臺架上的螺母、設(shè)置在所述底座上的絲杠，以及驅(qū)動(dòng)所述絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述絲杠沿縱向延伸。

可選地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括水平延伸的轉(zhuǎn)軸和連接在該轉(zhuǎn)軸與所述絲杠之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸的外端設(shè)置有調(diào)節(jié)輪盤。

可選地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為減速箱，所述轉(zhuǎn)軸為所述減速箱的輸入軸，所述減速箱的輸出軸連接所述絲杠。

可選地，所述輸入軸上可轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在多個(gè)軸承座上，多個(gè)所述軸承座上安裝有鎖緊輪盤。

可選地，所述底座上設(shè)置有用于測量所述臺架當(dāng)前高度的測量尺。

可選地，所述測量尺為豎直布置的游標(biāo)尺，所述臺架上的設(shè)置有與所述游標(biāo)卡尺配合使用的指針。

可選地，所述底座上豎直設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)柱，所述臺架上對應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)可滑動(dòng)地套設(shè)在該導(dǎo)柱上的滑套。

可選地，所述導(dǎo)柱的上端形成有用于限位所述滑套滑脫的限位凸臺。

可選地，所述導(dǎo)柱為四個(gè)并呈矩形布置，所述臺架形成為矩形框架，所述滑套為設(shè)置在所述矩形框架四角上的滑動(dòng)軸承。

通過上述技術(shù)方案，在高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，使得測量平臺上下移動(dòng)，以測量不同尺寸的玻璃基板的厚度，能夠解決玻璃基板在制程中不同品種無法匹配的技術(shù)問題。

本公開的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的具體實(shí)施方式部分予以詳細(xì)說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本公開的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本公開，但并不構(gòu)成對本公開的限制。在附圖中：

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施方式的玻璃基板厚度測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明

1 底座 2 臺架

3 玻璃基板 4 第一夾持部

5 傳送機(jī)構(gòu) 6 測厚傳感器

7 減速箱 8 調(diào)節(jié)輪盤

9 軸承座 10 鎖緊輪盤

11 絲杠 12 測量尺

13 指針 14 導(dǎo)柱

15 滑套 16 限位凸臺

21 第二夾持部 22 螺母

71 轉(zhuǎn)軸

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本公開的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說明和解釋本公開，并不用于限制本公開。

在本公開中，在未作相反說明的情況下，使用的方位詞如“上、下”通常是指正常使用狀態(tài)的上和下。

如圖1所示，本公開提供一種玻璃基板厚度測量裝置，該測量裝置包括：第一夾持部4，用于將玻璃基板3的上邊緣夾持在傳送機(jī)構(gòu)5上，測量平臺，該測量平臺上設(shè)置有用于夾持玻璃基板3的下邊緣的第二夾持部21，通過第一夾持部4和第二夾持部21能夠使玻璃基板3保持垂直吊裝以保證玻璃基板厚度測量的準(zhǔn)確性，并且，測量平臺上設(shè)置有用于檢測玻璃基板厚度的測厚傳感器6，本實(shí)用新型中測量平臺包括底座1和臺架2，測厚傳感器6可以設(shè)置在臺架2上并且可以為本領(lǐng)域內(nèi)任意公知的測厚傳感器。另外，臺架2和底座1之間設(shè)置有高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，這里，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)主要用于驅(qū)動(dòng)臺架2沿縱向接近或遠(yuǎn)離第一夾持部4。通過上述技術(shù)方案，在高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，使得測量平臺中的臺架2沿縱向上下移動(dòng)，而由于第一夾持部4夾持玻璃基板3位置不動(dòng)，所以能夠滿足玻璃基板在制程中不同品種的不同高度帶來的無法匹配的技術(shù)問題。

具體地，如圖1所示，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在臺架2上的螺母22、設(shè)置在底座1上的絲杠11，以及驅(qū)動(dòng)絲杠11轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，絲杠11沿縱向延伸。這樣，通過絲杠11相對于螺母22的轉(zhuǎn)動(dòng)，由于為螺紋配合因此能夠?qū)崿F(xiàn)臺架2相對于底座1的上下運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型中，為了節(jié)省材料，臺架2可以形成上表面封閉的方形框架，螺母22可以形成在方形框架的底架上，并且絲杠11的高度可以小于方形框架的高度，以保證臺架2沿著絲杠11上下運(yùn)動(dòng)的過程中不會抵頂至方形框架的上表面。采用這種絲杠螺母傳動(dòng)設(shè)計(jì)的調(diào)節(jié)方式，具有磨損小、傳動(dòng)效率高、傳動(dòng)平穩(wěn)、壽命長以及精度高等優(yōu)點(diǎn)。

進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括水平延伸的轉(zhuǎn)軸71和連接在該轉(zhuǎn)軸71與絲杠11之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，轉(zhuǎn)軸71的外端設(shè)置有調(diào)節(jié)輪盤8。通過設(shè)置傳動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使得轉(zhuǎn)軸相對于絲杠任意方向布置，而水平和延伸的轉(zhuǎn)軸71可以方便調(diào)節(jié)輪盤8的安裝和操作。其中，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的具體形式可以是為減速箱7，減速箱7包括輸入軸和輸出軸，轉(zhuǎn)軸71為減速箱的輸入軸，減速箱的輸出軸連接絲杠11。這樣，可以在減速箱7的作用下使調(diào)節(jié)輪盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與絲杠11的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線相互垂直，使得調(diào)節(jié)輪盤8在水平方向的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為絲杠11沿著豎直方向的運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)臺架2在豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，這里，減速箱7可以選用變比為10:1、15:1、20:1等的減速箱，減速箱具有結(jié)構(gòu)緊湊，傳動(dòng)平穩(wěn)等優(yōu)點(diǎn)，可以保證本實(shí)用新型提供的玻璃基板厚度測量裝置測量過程的穩(wěn)定性。其他的變形方式中，也可以采用萬向節(jié)、蝸輪蝸桿等傳動(dòng)方式，其原理與目的類似以上描述，此處不再一一贅述。

如圖1所示，本實(shí)用提供的玻璃基板厚度測量裝置的底座1上還設(shè)置有多個(gè)軸承座9，輸入軸上可轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在多個(gè)軸承座9上，多個(gè)軸承座9上安裝有鎖緊輪盤10。具體地，軸承座9可以為間隔設(shè)置的兩個(gè)，這里，軸承座9一方面是為了支撐減速箱7的輸入軸，另一方面，由于絲杠螺母傳動(dòng)不具備鎖緊功能，故可以在其中一個(gè)軸承座9安裝鎖緊輪盤10，鎖緊輪盤10和軸承座9之間可以是螺紋連接，這樣，當(dāng)臺架2達(dá)到預(yù)設(shè)高度值以后，通過旋轉(zhuǎn)鎖緊輪盤10頂緊減速箱的輸入軸使其固定，能夠保證測量裝置中臺架2不會出現(xiàn)滑動(dòng)等問題。

另外，測量裝置的底座1上設(shè)置有用于測量臺架2當(dāng)前高度的測量尺12，具體可以是游標(biāo)尺，游標(biāo)尺豎直布置，臺架2上還設(shè)置有與游標(biāo)尺配合使用的指針13，可以根據(jù)指針13在游標(biāo)尺上的指示，來旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)輪盤8以完成臺架豎直方向的運(yùn)動(dòng)，準(zhǔn)確地達(dá)到預(yù)設(shè)高度值。

如圖1所示，本實(shí)用提供的玻璃基板厚度測量裝置的底座1上豎直地設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)柱14，臺架2上對應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)可滑動(dòng)地套設(shè)在該導(dǎo)柱14上的滑套15，導(dǎo)柱14的上端形成有用于限制滑套15滑脫的限位凸臺16，限位凸臺16可以為螺母，該螺母可以采用焊接的方式固定在導(dǎo)柱14的頂端，也可以采用螺紋連接的方式安裝于導(dǎo)柱14的頂端。另外，本實(shí)用新型中導(dǎo)柱14可以為四個(gè)并呈矩形布置，臺架2形成為矩形框架，滑套15為設(shè)置在矩形框架四角上的滑動(dòng)軸承，這里，滑動(dòng)軸承可以選用直線軸承，并且為了保證結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，直線軸承的設(shè)置為四個(gè)，且該四個(gè)直線軸承水平安裝以與導(dǎo)柱14相配合。絲杠11安裝于變速箱7的高度可以等于導(dǎo)柱14的高度，這里，根據(jù)玻璃基板尺寸的不同，導(dǎo)柱14的直徑范圍可以是30mm-100mm，長度可以是800mm-1000mm，絲杠11直徑可以是40mm-100mm，長度可以是800mm-1000mm。

具體測量過程可以參考如下步驟，玻璃基板3通過第一夾持部夾持，由傳送機(jī)構(gòu)將玻璃基板由上一工序直線傳動(dòng)到玻璃基板厚度測量裝置上方停止，通過測量平臺上的第二夾持部保證玻璃基板穩(wěn)定地垂直吊裝，測厚傳感器沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)完成厚度測量，第二夾持部松開玻璃基板，玻璃基板在在傳送機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下直線運(yùn)動(dòng)到下一工序，這里，需要說明的是，第二夾持部和導(dǎo)軌相互平行地設(shè)置在測量平臺上，以保證玻璃基板厚度測量的準(zhǔn)確性。玻璃基板厚度測量的過程中需要將A品種玻璃基板更換為B品種玻璃基板，假設(shè)A品種玻璃基板板長為La，B品種玻璃基板板長為Lb，這里，“板長”指的是玻璃基板在豎直方向的玻璃基板的長度，A品種玻璃基板與B品種玻璃基板之間的板長差則為L＝Lb-La，如果L>0，這時(shí)，可以依據(jù)指針在標(biāo)尺上的指示正向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)輪盤使臺架向下運(yùn)動(dòng)高度L，旋緊鎖緊輪盤，完成調(diào)整，測厚傳感器沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)完成A品種玻璃基板的厚度測量。如果L<0，這時(shí)，可以依據(jù)指針在標(biāo)尺上的指示反向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)輪盤使臺架向上運(yùn)動(dòng)高度L，旋緊鎖緊輪盤，完成調(diào)整，測厚傳感器沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)完成B品種玻璃基板的厚度測量。

以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本公開的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本公開并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本公開的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對本公開的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本公開的保護(hù)范圍。

另外需要說明的是，在上述具體實(shí)施方式中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進(jìn)行組合。為了避免不必要的重復(fù)，本公開對各種可能的組合方式不再另行說明。

此外，本公開的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本公開的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本公開所公開的內(nèi)容。