本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

集成電路在晶圓測(cè)試時(shí)，工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)是一個(gè)整體，工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間需要接收對(duì)方發(fā)來(lái)的指令并且還需發(fā)送指令給對(duì)方，它們之間需要通過(guò)各自的連線達(dá)到通訊的目的，工作站和測(cè)試機(jī)之間需要通過(guò)PCI接口相互連接，工作站和探針臺(tái)之間需要通過(guò)GPIO接口相互連接，它們都是通過(guò)實(shí)體的線在兩者之間連接，實(shí)體線必然會(huì)受到線本身長(zhǎng)度的影響，太短可能無(wú)法接上相應(yīng)的接口，太長(zhǎng)又容易被外力影響導(dǎo)致松動(dòng)等問(wèn)題，并且需要考慮生產(chǎn)車(chē)間的實(shí)際布局需求。

現(xiàn)有技術(shù)一：工作站和測(cè)試機(jī)通過(guò)PCI接口連接

參考圖1，工作站全程控制測(cè)試程序的運(yùn)作，測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)試并且返還給工作站檢測(cè)的結(jié)果，所以它們之間需要通訊。測(cè)試機(jī)上都有一塊專(zhuān)門(mén)的硬件板是負(fù)責(zé)通訊的，上面有PCI接口，通過(guò)實(shí)體線連接到工作站上，達(dá)到兩者之間的通訊。一旦在測(cè)試工程中這個(gè)線脫落了或損壞了，操作人員很難發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，造成測(cè)試時(shí)間的浪費(fèi)，并且線的長(zhǎng)度決定了兩者的空間布局。

現(xiàn)有技術(shù)二：工作站和探針臺(tái)通過(guò)GPIO接口連接

繼續(xù)參考圖1，工作站需要控制探針臺(tái)的移動(dòng)，并且探針臺(tái)也需要告訴工作站測(cè)試的芯片坐標(biāo)，來(lái)完成數(shù)據(jù)，所以它們之間需要通過(guò)GPIB線來(lái)達(dá)到通訊的目的。GPIB線不宜過(guò)長(zhǎng)，不宜彎曲，否則會(huì)導(dǎo)致通訊不上的問(wèn)題，一旦損壞，更換比較麻煩，因?yàn)樘结樑_(tái)的GPIB接口是比較隱蔽的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)，節(jié)省空間和降低了布線難度。

一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括：探針臺(tái)，用于得到當(dāng)前位置坐標(biāo)，并將測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示；工作站，用于將所述當(dāng)前位置坐標(biāo)和開(kāi)始測(cè)試指令發(fā)送給測(cè)試機(jī)，并接收測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)，用于根據(jù)當(dāng)前位置坐標(biāo)開(kāi)始測(cè)試；探針臺(tái)接收器，用于接收測(cè)試結(jié)果；探針臺(tái)發(fā)送器，用于向工作站發(fā)送位置坐標(biāo)；工作站接收器，用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果；工作站發(fā)送器，用于向測(cè)試機(jī)發(fā)送位置坐標(biāo)，向測(cè)試機(jī)發(fā)送測(cè)試開(kāi)始指令以及向探針臺(tái)發(fā)送測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)發(fā)送器，用于向工作站發(fā)送測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)接收器，用于接收位置坐標(biāo)和測(cè)試開(kāi)始指令。

本發(fā)明的與現(xiàn)有技術(shù)相比，優(yōu)點(diǎn)在于：

本發(fā)明通過(guò)在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)上各安裝一個(gè)無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器來(lái)達(dá)到無(wú)線通訊的目的，就可以避免實(shí)體線所帶來(lái)的不便，并且方便生產(chǎn)車(chē)間的布局，達(dá)到節(jié)省空間和降低布線難度的目的。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的下列附圖在此作為本發(fā)明的一部分用于理解本發(fā)明。附圖中示出了本發(fā)明的實(shí)施例及其描述，用來(lái)解釋本發(fā)明的原理。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的連接方式；

圖2為本發(fā)明的晶圓測(cè)試系統(tǒng)通過(guò)用無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器替換實(shí)體線的示意圖；

圖3為本發(fā)明的晶圓測(cè)試系統(tǒng)各設(shè)備之間的交互關(guān)系。

具體實(shí)施方式

在下文的描述中，給出了大量具體的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本發(fā)明更為徹底的理解。然而，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見(jiàn)的是，本發(fā)明可以無(wú)需一個(gè)或多個(gè)這些細(xì)節(jié)而得以實(shí)施。在其他的例子中，為了避免與本發(fā)明發(fā)生混淆，對(duì)于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進(jìn)行描述。

應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明能夠以不同形式實(shí)施，而不應(yīng)當(dāng)解釋為局限于這里提出的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例將使公開(kāi)徹底和完全，并且將本發(fā)明的范圍完全地傳遞給本領(lǐng)域技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚，層和區(qū)的尺寸以及相對(duì)尺寸可能被夸大。自始至終相同附圖標(biāo)記表示相同的元件。

集成電路在晶圓測(cè)試時(shí)，工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)是一個(gè)整體，工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間需要接收對(duì)方發(fā)來(lái)的指令并且還需發(fā)送指令給對(duì)方，它們之間需要通過(guò)各自的連線達(dá)到通訊的目的，工作站和測(cè)試機(jī)之間需要通過(guò)PCI接口相互連接，工作站和探針臺(tái)之間需要通過(guò)GPIO接口相互連接，它們都是通過(guò)實(shí)體的線在兩者之間連接，實(shí)體線必然會(huì)受到線本身長(zhǎng)度的影響，太短可能無(wú)法接上相應(yīng)的接口，太長(zhǎng)又容易被外力影響導(dǎo)致松動(dòng)等問(wèn)題，并且需要考慮生產(chǎn)車(chē)間的實(shí)際布局需求。

本發(fā)明是為了解決集成電路在晶圓測(cè)試時(shí)工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間使用實(shí)體線通訊所造成各種不便的問(wèn)題，因此提供了一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括探針臺(tái)，用于得到當(dāng)前位置坐標(biāo)，并將測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示；工作站，用于將所述當(dāng)前位置坐標(biāo)和開(kāi)始測(cè)試指令發(fā)送給測(cè)試機(jī)，并接收測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)，用于根據(jù)當(dāng)前位置坐標(biāo)開(kāi)始測(cè)試；探針臺(tái)接收器，用于接收測(cè)試結(jié)果；探針臺(tái)發(fā)送器，用于向工作站發(fā)送位置坐標(biāo)；工作站接收器，用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果；工作站發(fā)送器，用于向測(cè)試機(jī)發(fā)送位置坐標(biāo)，向測(cè)試機(jī)發(fā)送測(cè)試開(kāi)始指令以及向探針臺(tái)發(fā)送測(cè)試結(jié)果；探針臺(tái)接收器，接收測(cè)試結(jié)果。

在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)各安裝一個(gè)無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器，它們之間通過(guò)無(wú)線傳送的方式進(jìn)行通訊，每個(gè)無(wú)線接收器只接受與自己綁定的無(wú)線發(fā)送器發(fā)送的指令，互不干擾。在沒(méi)有了實(shí)體線的約束后，車(chē)間里的設(shè)備布局可以更靈活，例如可以將工作站排成一排，方便技術(shù)人員查看數(shù)據(jù)，也不必?fù)?dān)心人員的走動(dòng)會(huì)將某一根線給扯掉或松動(dòng)，一旦量產(chǎn)起來(lái)線的連接性不好會(huì)造成測(cè)試上的問(wèn)題，也不易被發(fā)現(xiàn)，而無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器本身有對(duì)信號(hào)的檢測(cè)功能，一旦出現(xiàn)問(wèn)題能比較快的發(fā)現(xiàn)，從而節(jié)省了很多排查故障的時(shí)間，提高了測(cè)試效率。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的連接方式，工作站通過(guò)PCI接口連線到測(cè)試機(jī)達(dá)到通訊目的，同時(shí)工作站通過(guò)GPIB接口連線到探針臺(tái)達(dá)到通訊目的，兩者都為實(shí)體線連接。

圖2為本發(fā)明通過(guò)用無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器替換實(shí)體線的示意圖，在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)上各安裝一個(gè)無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器，通過(guò)無(wú)線通訊達(dá)到交互效果。

圖3為本發(fā)明各設(shè)備之間的交互關(guān)系，工作站的無(wú)線接收器1用來(lái)接收測(cè)試機(jī)的無(wú)線發(fā)送器2和探針臺(tái)的無(wú)線發(fā)送器3發(fā)送的指令，測(cè)試機(jī)的無(wú)線接收器2和探針臺(tái)的無(wú)線接收器3用來(lái)接收工作站的無(wú)線發(fā)送器1發(fā)送的指令。

下面結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

如圖2所示，本發(fā)明提供一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括探針臺(tái)101，用于得到當(dāng)前位置坐標(biāo)，并將測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示；工作站100，用于將所述當(dāng)前位置坐標(biāo)和開(kāi)始測(cè)試指令發(fā)送給測(cè)試機(jī)102，并接收測(cè)試機(jī)102的測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)102，用于根據(jù)當(dāng)前位置坐標(biāo)開(kāi)始測(cè)試；探針臺(tái)發(fā)送器101a，用于向工作站發(fā)送位置坐標(biāo)；探針臺(tái)接收器101b，用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果；工作站發(fā)送器100a，用于向測(cè)試機(jī)102發(fā)送位置坐標(biāo)，向測(cè)試機(jī)發(fā)送測(cè)試開(kāi)始指令以及向探針臺(tái)發(fā)送測(cè)試結(jié)果；工作站接收器100b，用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)發(fā)送器102a，用于向工作站發(fā)送測(cè)試結(jié)果；測(cè)試機(jī)接收器102b，用于接收所述工作站發(fā)出的所述位置坐標(biāo)。

具體的，晶圓測(cè)試以及最后測(cè)試通常是利用探針臺(tái)101和測(cè)試機(jī)102進(jìn)行測(cè)試，所述探針臺(tái)可以為現(xiàn)有技術(shù)中的探針臺(tái)，例如，利用一個(gè)具有若干探針的探針卡，將探針與固定在承載臺(tái)上的晶圓的集成電路進(jìn)行接觸，向所述集成電路施加測(cè)試信號(hào)，以判斷其電學(xué)性能是否良好。

探針臺(tái)101可以為現(xiàn)有技術(shù)中的探針臺(tái)，探針臺(tái)包括承載臺(tái)(chuck)與探針卡，探針卡上設(shè)置有若干個(gè)探針，測(cè)試過(guò)程中將探針卡固定在一水平平臺(tái)上，保持探針卡不動(dòng)；承載臺(tái)上放置晶圓(wafer)，承載臺(tái)可以沿X、Y、Z方向移動(dòng)，使得晶圓與探針卡下方的探針相接觸。

所述測(cè)試機(jī)102可以為現(xiàn)有技術(shù)中的測(cè)試機(jī)，用于控制探針臺(tái)101對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。

并且，所述探針臺(tái)101還包括顯示器，用于顯示測(cè)試結(jié)果。

所述探針臺(tái)發(fā)送器101a，為射頻發(fā)送器，用于發(fā)送位置坐標(biāo)給工作站。

所述探針臺(tái)接收器101b，為射頻接收器，用于接收測(cè)試結(jié)果。

所述工作站接收器100b，用于接收探針臺(tái)發(fā)送的位置坐標(biāo)，以及接收測(cè)試機(jī)返回的測(cè)試結(jié)果。

工作站100，用于根據(jù)位置坐標(biāo)向測(cè)試機(jī)102發(fā)出測(cè)試開(kāi)始指令，例如工作站100可以為處理器。

工作站發(fā)送器100a，用于向測(cè)試機(jī)102發(fā)出測(cè)試開(kāi)始指令，并向探針臺(tái)101發(fā)出工作指令。

測(cè)試機(jī)接收器102b，用于接收測(cè)試開(kāi)始指令以及測(cè)試指令，從而和探針臺(tái)101配合開(kāi)始測(cè)試。

測(cè)試機(jī)102，用于根據(jù)工作站100的測(cè)試指令開(kāi)始控制探針臺(tái)101開(kāi)始測(cè)試。

測(cè)試機(jī)發(fā)送器102a，用于將測(cè)試結(jié)果發(fā)送給工作站100。

工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)是一個(gè)整體，它們之間需要不斷相互通訊來(lái)完成整個(gè)測(cè)試，所以需要無(wú)線接收器和無(wú)線發(fā)送器這兩個(gè)設(shè)備來(lái)完成。

在本實(shí)施例中，每個(gè)設(shè)備都有自己的MAC地址，可以預(yù)先在無(wú)線接收器里設(shè)備需要接收的無(wú)線發(fā)送器的MAC地址，保證只接受指定的設(shè)備指令，工作站需要接收測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的指令，所以綁定兩個(gè)MAC地址，而測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)只接收工作站的指令，因此只需各綁定一個(gè)MAC地址即可，這樣在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)兩兩之間達(dá)到了絕對(duì)的一對(duì)一通訊。

參考圖3，首先探針臺(tái)通過(guò)探針臺(tái)發(fā)送器101a發(fā)送給工作站接收器100b指令告訴工作站當(dāng)前的坐標(biāo)，工作站收到指令后通過(guò)工作站發(fā)送器100a發(fā)送指令給測(cè)試機(jī)接收器102b開(kāi)始測(cè)試，測(cè)試完成后測(cè)試機(jī)通過(guò)測(cè)試機(jī)發(fā)送器102a發(fā)送指令給工作站接收器100b，告訴測(cè)試結(jié)果，然后工作站再通過(guò)工作站發(fā)送器100a發(fā)給探針臺(tái)接收器101b測(cè)試結(jié)果，探針臺(tái)收到指令后在自己的顯示屏上顯示出結(jié)果，供人工查看，并開(kāi)始移到下一個(gè)晶圓位置上，重復(fù)之前的動(dòng)作。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。