本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)：

一直以來(lái)，例如已知有對(duì)IC元件等電子部件的電特性進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置。該電子部件檢查裝置一般具有檢查IC元件的檢查部和電子部件搬運(yùn)裝置，該電子部件搬運(yùn)裝置具有用于將IC元件搬運(yùn)至檢查部的搬運(yùn)部。另外，在電子部件檢查裝置中，存在一邊將IC元件冷卻或加熱至規(guī)定溫度、一邊檢查IC元件的情況。

作為這樣的電子部件檢查裝置的一個(gè)例子，例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種具備檢查IC元件的電特性的檢查部的IC處理機(jī)。在該專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，IC處理機(jī)內(nèi)的溫度、氣體等各種設(shè)定條件、IC元件的合格率等被顯示于操作畫(huà)面。

另外，在現(xiàn)有的電子部件檢查裝置安裝有電子部件搬運(yùn)裝置，該電子部件搬運(yùn)裝置用于將IC元件搬運(yùn)至檢查部的保持部。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2表示的電子部件搬運(yùn)裝置中，載置IC元件并將該IC元件從第一位置(規(guī)定位置)移動(dòng)至第二位置(規(guī)定位置)的移動(dòng)部按照IC元件的搬運(yùn)路徑被配置于多個(gè)位置，作為移動(dòng)部，存在有使IC元件沿X方向移動(dòng)的部分。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-97899號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2014-085230號(hào)公報(bào)

然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示的IC處理機(jī)中，無(wú)法在操作畫(huà)面上對(duì)IC處理機(jī)的各部分的動(dòng)作進(jìn)行操作。因此例如在進(jìn)行IC處理機(jī)的各部分的動(dòng)作確認(rèn)等的情況下，需要使IC處理機(jī)整體移動(dòng)。

另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2所示的電子部件搬運(yùn)裝置中，有時(shí)會(huì)定期地進(jìn)行用于對(duì)移動(dòng)部從第一位置移動(dòng)至第二位置所需的動(dòng)作時(shí)間進(jìn)行變更 的維護(hù)。然而，對(duì)于動(dòng)作時(shí)間的變更，例如進(jìn)行維護(hù)的作業(yè)人員使用秒表來(lái)進(jìn)行，因該作業(yè)人員按壓開(kāi)始按鈕的時(shí)機(jī)、按壓停止按鈕的時(shí)機(jī)而使動(dòng)作時(shí)間的變更產(chǎn)生偏差。在該情況下，存在未正確變更用于獲得所希望的生產(chǎn)率的移動(dòng)部的動(dòng)作時(shí)間的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分所做出的，能夠作為以下方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置的特征在于，具有：多個(gè)動(dòng)作部；以及操作部，其能夠?qū)Χ鄠€(gè)所述動(dòng)作部中的至少一個(gè)動(dòng)作部進(jìn)行操作。

由此，能夠操作各動(dòng)作部。因此例如能夠進(jìn)行動(dòng)作部的動(dòng)作確認(rèn)。

應(yīng)用例2

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述操作部能夠分別獨(dú)立地對(duì)多個(gè)所述動(dòng)作部進(jìn)行操作。

由此，例如能夠僅對(duì)多個(gè)動(dòng)作部中欲進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)的動(dòng)作部進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)。

應(yīng)用例3

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述動(dòng)作部是能夠開(kāi)閉的閘門(mén)。

由此，能夠進(jìn)行閘門(mén)的動(dòng)作確認(rèn)。

應(yīng)用例4

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，具有顯示所述操作部的顯示部。

由此，能夠一邊目視確認(rèn)顯示部、一邊進(jìn)行操作部的操作。

應(yīng)用例5

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述顯示部顯示動(dòng)作部的動(dòng)作狀態(tài)。

由此，能夠在顯示部顯示動(dòng)作部的動(dòng)作狀態(tài)。因此能夠一邊進(jìn)行動(dòng)作部的操作、一邊確認(rèn)動(dòng)作狀態(tài)。

應(yīng)用例6

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述操作部在所述動(dòng)作部的動(dòng)作確認(rèn)時(shí)顯示。

由此，能夠進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)。

應(yīng)用例7

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述顯示部具有操作按鈕，該操作按鈕進(jìn)行使所述動(dòng)作部動(dòng)作的指示。

由此，能夠通過(guò)操作操作按鈕之類(lèi)的簡(jiǎn)單的方法來(lái)操作動(dòng)作部。

應(yīng)用例8

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述操作按鈕用矩形顯示。

使操作按鈕為矩形，使其他部分的形狀與矩形不同，由此能夠容易目視確認(rèn)操作按鈕。

應(yīng)用例9

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述操作按鈕是發(fā)光的部分，在操作所述操作按鈕而使所述動(dòng)作部成為動(dòng)作狀態(tài)時(shí)，所述操作按鈕的亮度增加。

由此，能夠知曉是否操作了操作按鈕。

應(yīng)用例10

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述顯示部具有動(dòng)作狀態(tài)顯示部，該動(dòng)作狀態(tài)顯示部顯示所述動(dòng)作部是否處于動(dòng)作狀態(tài)。

由此，能夠通過(guò)目視確認(rèn)知曉動(dòng)作部是否處于動(dòng)作狀態(tài)。

應(yīng)用例11

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述動(dòng)作狀態(tài)顯示部用圓形顯示。

使動(dòng)作狀態(tài)顯示部為圓形，使其他部分的形狀與圓形不同，由此能夠容易目視確認(rèn)動(dòng)作狀態(tài)顯示部。

應(yīng)用例12

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述動(dòng)作狀態(tài)顯示部是發(fā)光的部分，在所述動(dòng)作狀態(tài)時(shí)，所述動(dòng)作狀態(tài)顯示部的亮度增加。

由此，能夠通過(guò)目視確認(rèn)知曉動(dòng)作部是否處于動(dòng)作狀態(tài)。

應(yīng)用例13

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，在所述顯示部中，所述操作按鈕以及所述動(dòng)作狀態(tài)顯示部的至少中心部的明暗發(fā)生變化。

由此，能夠容易觀察操作按鈕以及動(dòng)作狀態(tài)顯示部。

應(yīng)用例14

本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具有：多個(gè)動(dòng)作部；操作部，其能夠?qū)Χ鄠€(gè)所述動(dòng)作部中的至少一個(gè)動(dòng)作部進(jìn)行操作；以及檢查部，其檢查電子部件。

由此，能夠操作各動(dòng)作部。因此例如能夠進(jìn)行動(dòng)作部的動(dòng)作確認(rèn)。

應(yīng)用例15

本應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置的特征在于，具有：移動(dòng)部，其使能夠載置電子部件的載置部件移動(dòng)；以及移動(dòng)時(shí)間顯示部，其顯示所述移動(dòng)部的移動(dòng)時(shí)間。

由此，電子部件搬運(yùn)裝置的操作者等作業(yè)人員能夠目視確認(rèn)顯示于移動(dòng)時(shí)間顯示部的移動(dòng)時(shí)間，因而能夠確認(rèn)：為了獲得該裝置中所希望 的生產(chǎn)率，移動(dòng)時(shí)間設(shè)定得是否適當(dāng)，即移動(dòng)部是否正確地進(jìn)行動(dòng)作。

應(yīng)用例16

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述移動(dòng)時(shí)間是從所述移動(dòng)部動(dòng)作開(kāi)始時(shí)至動(dòng)作結(jié)束時(shí)的時(shí)間。

由此，移動(dòng)部的移動(dòng)時(shí)間成為進(jìn)行如下判斷的足夠的時(shí)間，即判斷為了獲得在電子部件搬運(yùn)裝置中所希望的生產(chǎn)率設(shè)定得是否適當(dāng)。

應(yīng)用例17

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，具有能夠變更所述移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部。

由此，在需要變更移動(dòng)部的移動(dòng)時(shí)間的情況下，能夠迅速地進(jìn)行該變更。

應(yīng)用例18

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述移動(dòng)時(shí)間變更部通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)操作能夠進(jìn)行所述移動(dòng)時(shí)間的變更。

由此，對(duì)移動(dòng)時(shí)間變更部的操作變得簡(jiǎn)單，因而提高移動(dòng)時(shí)間變更部的操作性即維護(hù)性，并且能夠正確地操作移動(dòng)時(shí)間變更部。

應(yīng)用例19

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述移動(dòng)時(shí)間變更部包括多個(gè)模式，所述多個(gè)模式在規(guī)定的范圍內(nèi)變更所述移動(dòng)部的移動(dòng)速度，來(lái)進(jìn)行所述移動(dòng)時(shí)間的變更，在變更所述移動(dòng)時(shí)間的情況下，選擇所述多個(gè)模式中的任一模式。

由此，能夠使移動(dòng)時(shí)間的變更盡量細(xì)微，即能夠進(jìn)行微變更，因而能夠正確地進(jìn)行該移動(dòng)時(shí)間的變更。

應(yīng)用例20

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述移動(dòng)時(shí)間變更 部包括低速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部和高速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部，它們?cè)谥辽賰煞N規(guī)定的范圍內(nèi)變更所述移動(dòng)部的移動(dòng)速度，來(lái)進(jìn)行所述移動(dòng)時(shí)間的變更，在變更所述移動(dòng)時(shí)間的情況下，選擇所述低速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部和所述高速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部中的至少一方。

由此，能夠使移動(dòng)時(shí)間的變更盡量細(xì)微，因而能夠正確地進(jìn)行該移動(dòng)時(shí)間的變更。

應(yīng)用例21

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，所述移動(dòng)部在從動(dòng)作開(kāi)始至動(dòng)作結(jié)束期間，按照由所述高速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部變更后的移動(dòng)時(shí)間移動(dòng)，接著，按照由所述低速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部變更后的移動(dòng)時(shí)間移動(dòng)。

由此，移動(dòng)部能夠在動(dòng)作結(jié)束時(shí)以盡量低的速度停止，因而例如能夠防止在動(dòng)作結(jié)束時(shí)電子部件因碰撞、慣性而飛出。

應(yīng)用例22

在上述應(yīng)用例的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選為，具有抵接部，該抵接部與所述動(dòng)作結(jié)束時(shí)的所述移動(dòng)部抵接。

由此，進(jìn)行電子部件的定位，然后例如能夠利用相對(duì)于移動(dòng)部另外設(shè)置的把持部來(lái)把持該電子部件。

應(yīng)用例23

本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具有：移動(dòng)部，其載置并移動(dòng)電子部件；移動(dòng)時(shí)間顯示部，其顯示所述移動(dòng)部的移動(dòng)時(shí)間；以及檢查部，其檢查所述電子部件。

由此，電子部件檢查裝置的操作者等作業(yè)人員能夠目視確認(rèn)顯示在移動(dòng)時(shí)間顯示部的移動(dòng)時(shí)間，因而能夠確認(rèn)：為了獲得在該裝置中所希望的生產(chǎn)率，移動(dòng)時(shí)間設(shè)定得是否適當(dāng)，即移動(dòng)部是否正確地進(jìn)行動(dòng)作。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的電子部件檢查裝置的簡(jiǎn)要立體圖。

圖2是圖1所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖3是表示圖1所示的檢查裝置的一部分的框圖。

圖4是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖5是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖6是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖7是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖8是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖9是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖10是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖11是表示顯示在圖1所示的顯示器的窗口的圖。

圖12是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的電子部件檢查裝置的簡(jiǎn)要立體圖。

圖13是圖12所示的電子部件檢查裝置的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖14A是表示由圖13所示的電子部件檢查裝置具備的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)的托盤(pán)的狀態(tài)的俯視圖。

圖14B是表示由圖13所示的電子部件檢查裝置具備的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)的托盤(pán)的狀態(tài)的側(cè)視圖。

圖15是顯示在圖12所示的電子部件檢查裝置具備的顯示器的界面。

圖16是顯示在圖12所示的電子部件檢查裝置具備的顯示器的界面。

圖17是顯示在圖12所示的電子部件檢查裝置具備的顯示器的界面。

圖18是顯示在圖12所示的電子部件檢查裝置具備的顯示器的界面。

圖19是表示圖12所示的電子部件檢查裝置具備的移動(dòng)時(shí)間變更部的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的主視圖。

圖20是圖19所示的移動(dòng)時(shí)間變更部的放大圖。

圖21是包含圖19所示的移動(dòng)時(shí)間變更部的電路圖。

圖22是表示由圖14A以及圖14B所示的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)的托盤(pán)的搬運(yùn)速度的歷時(shí)變化的曲線圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的電子部件搬運(yùn)裝置、以及電子部件檢查裝置進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。

另外，在以下的實(shí)施方式中，為了便于說(shuō)明，在圖中示出相互正交的三個(gè)軸的情況下，將相互正交的三個(gè)軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸。另外，包括X軸與Y軸的XY平面為水平，Z軸為鉛垂。另外，將與X軸平行的方向也稱(chēng)為“X方向”，將與Y軸平行的方向也稱(chēng)為“Y方向”，將與Z軸平行的方向也稱(chēng)為“Z方向。另外，將X軸、Y軸以及Z軸各軸的箭頭方向稱(chēng)為正(+)側(cè)，將與箭頭相反的方向稱(chēng)為負(fù)(－)側(cè)。另外，將電子部件的搬運(yùn)方向的上游側(cè)也簡(jiǎn)稱(chēng)為“上游側(cè)”，將下游側(cè)也簡(jiǎn)稱(chēng)為“下游側(cè)”。另外，在本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)中所提及的“水平”并不限定于完全的水平，只要不阻礙電子部件的搬運(yùn)，也包括相對(duì)于水平稍微(例如不足5°左右)傾斜的狀態(tài)。

另外，以下的實(shí)施方式所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)例如是用于對(duì)BGA(Ball grid array：球柵陣列)封裝體、LGA(Land grid array：柵格陣列)封裝體等IC元件、LCD(Liquid Crystal Display：液晶顯示器)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS圖像傳感器)等電子部件的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為“檢查”)的裝置。此外， 在下文中為了便于說(shuō)明，對(duì)使用IC元件作為進(jìn)行檢查的上述電子部件的情況代表性地進(jìn)行說(shuō)明，將其設(shè)為“IC元件90”。

第一實(shí)施方式

圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的電子部件檢查裝置的簡(jiǎn)要立體圖。圖2是圖1所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖3是表示圖1所示的檢查裝置的一部分的框圖。圖4～圖11是表示顯示于圖1所示的顯示器的窗口的圖。

如圖1以及圖2所示，檢查裝置1具備搬運(yùn)IC元件90的電子部件搬運(yùn)裝置10、檢查部16以及具有顯示裝置40和操作裝置50的設(shè)定顯示部(顯示部)60。此外，在本實(shí)施方式中，由除檢查部16以及后述控制裝置30所具有的檢查控制部312之外的結(jié)構(gòu)構(gòu)成電子部件搬運(yùn)裝置10。

另外，如圖1以及圖2所示，檢查裝置1分為：托盤(pán)供給區(qū)域A1、元件供給區(qū)域(電子部件供給區(qū)域)A2、設(shè)置有檢查部16的檢查區(qū)域(檢查部配置區(qū)域)A3、元件回收區(qū)域(電子部件回收區(qū)域)A4以及托盤(pán)除去區(qū)域A5。在該檢查裝置1中，IC元件90從托盤(pán)供給區(qū)域A1至托盤(pán)除去區(qū)域A5依次經(jīng)由各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。此外，檢查裝置1構(gòu)成為能夠在常溫環(huán)境下、低溫環(huán)境下以及高溫環(huán)境下進(jìn)行檢查。

托盤(pán)供給區(qū)域A1是供給排列有未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC元件90的托盤(pán)200的區(qū)域。在托盤(pán)供給區(qū)域A1中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤(pán)200。

元件供給區(qū)域A2是將來(lái)自托盤(pán)供給區(qū)域A1的托盤(pán)200上的多個(gè)IC元件90分別供給至檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以跨越托盤(pán)供給區(qū)域A1與元件供給區(qū)域A2的方式設(shè)置有搬運(yùn)托盤(pán)200的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(搬運(yùn)部)11A、11B。

在元件供給區(qū)域A2設(shè)置有溫度調(diào)整部(均溫板soak plate)12、供給機(jī)器人(元件搬運(yùn)頭)13以及供給空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15。

溫度調(diào)整部12是配置IC元件90并對(duì)所配置的IC元件90進(jìn)行加熱或冷卻，將該IC元件90調(diào)整(控制)至適于檢查的溫度的裝置。在 圖2所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部12在Y方向上配置并固定有兩個(gè)。而且將通過(guò)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A從托盤(pán)供給區(qū)域A1搬入的托盤(pán)200上的IC元件90搬運(yùn)并載置于任一溫度調(diào)整部12。

此外，雖未圖示，但在溫度調(diào)整部12設(shè)置有對(duì)溫度調(diào)整部12中的IC元件90的溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)部。該溫度檢測(cè)部與控制裝置30電連接，并將檢測(cè)到的溫度的信息發(fā)送至控制裝置30。

另外，在溫度調(diào)整部12八行兩列地排列形成有供IC元件90配置的凹部。此外，在此，以X方向?yàn)樾?，以Y方向?yàn)榱小＜?，沿Y方向直線狀地配置有八個(gè)凹部，而且在沿X方向偏移的位置沿Y方向直線狀地配置有八個(gè)凹部。另外，在各凹部的開(kāi)口部設(shè)置有能夠開(kāi)閉的閘門(mén)12a。

圖2所示的供給機(jī)器人13是進(jìn)行IC元件90的搬運(yùn)的搬運(yùn)部，被支承為能夠在元件供給區(qū)域A2內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。該供給機(jī)器人13承擔(dān)IC元件90在從托盤(pán)供給區(qū)域A1搬入的托盤(pán)200與溫度調(diào)整部12之間的搬運(yùn)和IC元件90在溫度調(diào)整部12與后述的元件供給部14之間的搬運(yùn)。

供給空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15是沿X方向搬運(yùn)除去了全部IC元件90的狀態(tài)的空的托盤(pán)200的搬運(yùn)部(搬運(yùn)機(jī)構(gòu))。而且在該搬運(yùn)后，空的托盤(pán)200通過(guò)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11B從元件供給區(qū)域A2返回托盤(pán)供給區(qū)域A1。

檢查區(qū)域A3是檢查IC元件90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有元件供給部14、檢查部16、測(cè)定機(jī)器人(元件搬運(yùn)頭)17以及元件回收部18。

元件供給部14是將進(jìn)行過(guò)溫度調(diào)整(溫度控制)的IC元件90搬運(yùn)至檢查部16附近的搬運(yùn)部。該元件供給部14被支承為能夠在元件供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿X方向移動(dòng)。另外，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，元件供給部14在Y方向上配置有兩個(gè)，溫度調(diào)整部12上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于任一元件供給部14。此外，該搬運(yùn)通過(guò)供給機(jī)器人13來(lái)進(jìn)行。另外，元件供給部14構(gòu)成為能夠?qū)C元件90進(jìn)行加熱或冷卻。另外雖未圖示，但在元件供給部14設(shè)置有對(duì)元件供給部14 中的IC元件90的溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)部。

另外，在各元件供給部14兩行八列地排列形成有供IC元件90配置的凹部。而且，在各凹部的開(kāi)口部設(shè)置有能夠開(kāi)閉的閘門(mén)14a。

檢查部16是對(duì)IC元件90的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)的單元，并且是在檢查IC元件90的情況下保持該IC元件90的保持部。在檢查部16設(shè)置有多個(gè)探針，它們?cè)诒３諭C元件90的狀態(tài)下與該IC元件90的端子電連接。而且，IC元件90的端子與探針電連接(接觸)，從而經(jīng)由探針進(jìn)行IC元件90的檢查。另外，檢查部16構(gòu)成為能夠?qū)C元件90進(jìn)行加熱或冷卻。另外雖未圖示，但在檢查部16設(shè)置有對(duì)檢查部16中的IC元件90的溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)部。

測(cè)定機(jī)器人17是進(jìn)行IC元件90的搬運(yùn)的搬運(yùn)部，被支承為能夠在檢查區(qū)域A3內(nèi)移動(dòng)。該測(cè)定機(jī)器人17能夠?qū)脑┙o區(qū)域A2搬入的元件供給部14上的IC元件90搬運(yùn)并載置于檢查部16上。

此外，測(cè)定機(jī)器人17具有一對(duì)臂17a、17b。該臂17a、17b分別具有把持IC元件90的多個(gè)把持部(未圖示)。各把持部具備吸嘴170，能夠通過(guò)吸附IC元件90來(lái)把持該IC元件。另外，如圖2所示，各吸嘴170在臂17a、17b分別以?xún)尚邪肆械男辛袪钆渲谩６?，在?7a、17b分別以?xún)尚邪肆械男辛袪钆渲貌⒃O(shè)置有多個(gè)吸附傳感器171。

測(cè)定機(jī)器人17在檢查IC元件90的情況下，將IC元件90朝向檢查部16按壓，使IC元件90與檢查部16抵接。由此，如上所述，IC元件90的端子與檢查部16的探針電連接。此外，測(cè)定機(jī)器人17構(gòu)成為能夠?qū)C元件90進(jìn)行加熱或冷卻。另外雖未圖示，但在測(cè)定機(jī)器人17設(shè)置有對(duì)測(cè)定機(jī)器人17中的IC元件90的溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)部。

元件回收部18是將在檢查部16的檢查結(jié)束的IC元件90搬運(yùn)至元件回收區(qū)域A4的搬運(yùn)部。該元件回收部18被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與元件回收區(qū)域A4之間沿X方向移動(dòng)。另外，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，元件回收部18與元件供給部14同樣，在Y方向上配置有兩個(gè)，檢查部16上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于任一元件回收部18。此外，該搬運(yùn)通過(guò)測(cè)定機(jī)器人17進(jìn)行。另外雖未圖示，但也可以在元件回收部 18設(shè)置有對(duì)元件回收部18中的IC元件90的溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫度檢測(cè)部。

元件回收區(qū)域A4是對(duì)檢查結(jié)束的IC元件90進(jìn)行回收的區(qū)域。在該元件回收區(qū)域A4設(shè)置有回收用托盤(pán)19、回收機(jī)器人(元件搬運(yùn)頭)20以及回收空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu))21。另外，在元件回收區(qū)域A4還準(zhǔn)備三個(gè)空的托盤(pán)200。

回收用托盤(pán)19是供IC元件90載置的載置部，固定于元件回收區(qū)域A4內(nèi)，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，在X方向上排列配置有三個(gè)。另外，空的托盤(pán)200也是供IC元件90載置的載置部，在X方向上排列配置有三個(gè)。而且，移動(dòng)至元件回收區(qū)域A4的元件回收部18上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于上述回收用托盤(pán)19以及空的托盤(pán)200中的任一個(gè)。由此能夠根據(jù)檢查結(jié)果將IC元件90回收、分類(lèi)。

回收機(jī)器人20是進(jìn)行IC元件90的搬運(yùn)的搬運(yùn)部，被支承為能夠在元件回收區(qū)域A4內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。該回收機(jī)器人20能夠?qū)C元件90從元件回收部18搬運(yùn)至回收用托盤(pán)19、空的托盤(pán)200。此外，回收機(jī)器人20具有把持IC元件90的多個(gè)把持部(未圖示)。各把持部構(gòu)成為能夠吸附IC元件90，能夠通過(guò)吸附把持該IC元件90。

回收空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)21是使從托盤(pán)除去區(qū)域A5搬入的空的托盤(pán)200沿X方向搬運(yùn)的搬運(yùn)部(搬運(yùn)機(jī)構(gòu))。而且，在該搬運(yùn)后，空的托盤(pán)200配置于對(duì)IC元件90進(jìn)行回收的位置，即，能夠成為上述三個(gè)空的托盤(pán)200中的任一個(gè)。

托盤(pán)除去區(qū)域A5是對(duì)排列有處于檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)IC元件90的托盤(pán)200進(jìn)行回收、除去的區(qū)域。在托盤(pán)除去區(qū)域A5中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤(pán)200。此外，以跨越元件回收區(qū)域A4與托盤(pán)除去區(qū)域A5的方式設(shè)置有一個(gè)個(gè)搬運(yùn)托盤(pán)200的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(搬運(yùn)部)22A、22B。托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22A將載置有檢查完畢的IC元件90的托盤(pán)200從元件回收區(qū)域A4搬運(yùn)至托盤(pán)除去區(qū)域A5。托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22B將用于回收IC元件90的空的托盤(pán)200從托盤(pán)除去區(qū)域A5搬運(yùn)至元件回收區(qū)域A4。

以上說(shuō)明的各區(qū)域A1～A5相互由未圖示的壁部、閘門(mén)等分隔。上述 閘門(mén)分別構(gòu)成為能夠開(kāi)閉，與控制裝置30電連接來(lái)控制其動(dòng)作。

如圖3所示，控制裝置30具有控制檢查裝置1的各部分的功能，具有控制部31和存儲(chǔ)部32，該控制部31具有驅(qū)動(dòng)控制部311以及檢查控制部312。

驅(qū)動(dòng)控制部311控制各部分(托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A、11B、溫度調(diào)整部12、供給機(jī)器人13、供給空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)15、元件供給部14、檢查部16、測(cè)定機(jī)器人17、元件回收部18、回收機(jī)器人20、回收空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)21以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22A、22B)的驅(qū)動(dòng)等。

檢查控制部312能夠控制檢查等。例如也能夠根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部32內(nèi)的程序(軟件)來(lái)進(jìn)行配置于檢查部16的IC元件90的檢查等。

另外，控制部31也具有將各部分的驅(qū)動(dòng)、檢查結(jié)果等顯示于顯示裝置40的功能、根據(jù)來(lái)自操作裝置50的輸入進(jìn)行處理的功能等。

存儲(chǔ)部32對(duì)控制部31用于進(jìn)行各種處理的程序、數(shù)據(jù)等進(jìn)行存儲(chǔ)。

設(shè)定顯示部60具有顯示裝置40以及操作裝置50。

顯示裝置40具有顯示各部分的驅(qū)動(dòng)、檢查結(jié)果等的顯示器41。顯示器41例如能夠由發(fā)光的液晶顯示面板、有機(jī)EL等顯示面板等構(gòu)成。作業(yè)人員能夠經(jīng)由該顯示器41設(shè)定或者確認(rèn)檢查裝置1的各種處理、條件等。如圖1所示，顯示裝置40配置于檢查裝置1的+Z方向。

操作裝置50是鼠標(biāo)51等輸入元件，將與作業(yè)人員的操作對(duì)應(yīng)的操作信號(hào)輸出至控制部31。因此作業(yè)人員能夠使用鼠標(biāo)51對(duì)控制部31進(jìn)行各種處理等的指示。如圖1所示，鼠標(biāo)51(操作裝置50)在檢查裝置1的+X方向上配置于接近顯示裝置40的位置。另外，在本實(shí)施方式中，使用鼠標(biāo)51作為操作裝置50，但操作裝置50并不限定于此，例如也可以是鍵盤(pán)、跟蹤球、觸摸面板等輸入元件等。

在這樣的檢查裝置1中，操作鼠標(biāo)51在顯示于顯示裝置40的窗口上操作光標(biāo)，由此能夠使檢查裝置1的各部分(動(dòng)作部)動(dòng)作。以下，對(duì)該情況進(jìn)行說(shuō)明。

圖4是表示顯示在顯示裝置40的主畫(huà)面101的圖。圖4表示點(diǎn)擊在主畫(huà)面101內(nèi)的上側(cè)橫向排列的圖標(biāo)組102中的填入文字“Controller”的圖標(biāo)103后的狀態(tài)。

若點(diǎn)擊“Controller”圖標(biāo)103，則在圖標(biāo)103的下側(cè)與主畫(huà)面101重疊地顯示有子窗口104。在該子窗口104配置有多個(gè)(在圖示的結(jié)構(gòu)中為八個(gè))按鈕。若點(diǎn)擊上述按鈕中的“I/O Monitor”按鈕105，則如圖5所示那樣切換為窗口106。

在該窗口106內(nèi)，在下方中央部顯示有按鈕組107。該按鈕組107行列狀地配置有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為15個(gè))按鈕。另外，圖5表示點(diǎn)擊按鈕組107中的“Index Arm”按鈕108的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，在按鈕組107的上方，從左依次排列顯示有燈組(動(dòng)作狀態(tài)顯示部)109a、109b、按鈕組(操作按鈕)110a、110b以及按鈕組111a、111b。另外，顯示在該畫(huà)面內(nèi)的“Arm1”與臂17a對(duì)應(yīng)，“Arm2”與臂17b對(duì)應(yīng)。

燈組109a、109b顯示分別設(shè)置于測(cè)定機(jī)器人17的臂17a、17b的吸附傳感器171是否動(dòng)作。燈組109a顯示臂17a的吸附傳感器171的動(dòng)作狀態(tài)，燈組109b顯示臂17b的吸附傳感器171的動(dòng)作狀態(tài)。

在各燈組109a、109b中，圓形的燈(動(dòng)作狀態(tài)顯示部)109兩行八列地排列，各個(gè)燈109與吸附傳感器171一一對(duì)應(yīng)。若臂17a、17b的吸附傳感器171動(dòng)作，則與之對(duì)應(yīng)的位置的燈109發(fā)光。即，亮度增大。由此，作業(yè)人員能夠知曉與發(fā)光的燈109對(duì)應(yīng)的吸附傳感器171處于動(dòng)作狀態(tài)。另外，各燈109構(gòu)成為中心部發(fā)光，因此容易知曉發(fā)光的情況。

在按鈕組110a、110b中，正方形(矩形)的按鈕110兩行八列地排列，各個(gè)按鈕110與臂17a、17b的吸附傳感器171對(duì)應(yīng)。

在檢查裝置1中，操作鼠標(biāo)51在顯示裝置40的畫(huà)面上使光標(biāo)對(duì)準(zhǔn)按鈕110進(jìn)行點(diǎn)擊，由此能夠使與點(diǎn)擊的按鈕110對(duì)應(yīng)的吸附傳感器171動(dòng)作。由此能夠使吸附傳感器171分別獨(dú)立地動(dòng)作。

另外，若點(diǎn)擊操作各按鈕110(對(duì)按鈕111也同樣)，則按鈕110整體變亮。即，亮度增大。由此作業(yè)人員能夠知曉點(diǎn)擊了哪個(gè)按鈕。

此外，按鈕110(對(duì)按鈕111也同樣)呈正方形，燈109呈圓形。 即，按鈕110與燈109形狀不同，能夠防止作業(yè)人員將它們混淆。

在按鈕組111a、111b中，正方形(矩形)的按鈕111兩行八列地排列，各按鈕111與向跟臂17a、17b的IC元件90抵接的抵接部供給冷卻氣體的空氣閥對(duì)應(yīng)。

在檢查裝置1中，操作鼠標(biāo)51在顯示裝置40的畫(huà)面上使光標(biāo)對(duì)準(zhǔn)按鈕111進(jìn)行點(diǎn)擊，由此能夠使與點(diǎn)擊的按鈕111對(duì)應(yīng)的空氣閥動(dòng)作，向抵接部供給冷卻氣體。由此，能夠向抵接部分別獨(dú)立地供給冷卻氣體。

另外，測(cè)定機(jī)器人17中的吸附傳感器171的配置與顯示裝置40中的燈109以及按鈕110的配置相同。由此，作業(yè)人員容易邊在顯示裝置40進(jìn)行操作邊把握實(shí)際動(dòng)作的吸附傳感器171。

接下來(lái)，對(duì)圖6所示的窗口112進(jìn)行說(shuō)明。

在窗口112(對(duì)窗口118、125、132、139、141也同樣)中，各燈組以及各按鈕組與上述窗口106的燈組以及按鈕組的結(jié)構(gòu)相同，因此詳細(xì)說(shuō)明省略。另外，以下說(shuō)明的圓形的燈作為動(dòng)作狀態(tài)顯示部發(fā)揮功能，矩形的按鈕作為操作部(操作按鈕)發(fā)揮功能。

如圖6所示，若點(diǎn)擊按鈕組107的“Shuttle”按鈕，則切換為窗口112。在該窗口112中，在按鈕組107的上側(cè)，從左側(cè)依次排列顯示有燈組113、114、115以及按鈕116、117。

燈組113顯示配置于兩個(gè)元件供給部14的IC元件90是否正常地位于設(shè)置在元件供給部14的兜孔內(nèi)。在燈組113中，表示行的燈縱向排列有兩行，表示列的燈橫向排列有八列。另外，在上述燈的橫向右側(cè)顯示有表示IC元件90的有無(wú)的傳感器的燈。

燈組114顯示配置于兩個(gè)元件回收部18的IC元件90是否正常地位于設(shè)置在元件供給部18的兜孔內(nèi)。在燈組114中，表示行的燈縱向排列有兩行，表示列的燈橫向排列有八列。另外，在上述燈的橫向右側(cè)顯示有表示IC元件90的有無(wú)的傳感器的燈。

在燈組(動(dòng)作狀態(tài)顯示部)115中，縱向排列有燈115a和燈115b，所述燈115a以點(diǎn)亮的狀態(tài)表示設(shè)置于元件供給部14的各兜孔的開(kāi)口的 閘門(mén)14a處于打開(kāi)狀態(tài)，所述燈115b以點(diǎn)亮的狀態(tài)表示閘門(mén)14a處于關(guān)閉狀態(tài)。

另外，在燈組(動(dòng)作狀態(tài)顯示部)115中，在燈115a、115b的下側(cè)縱向排列有燈115c、115d。燈115c以點(diǎn)亮的狀態(tài)表示設(shè)置于元件回收部18的各兜孔的開(kāi)口的閘門(mén)(未圖示)處于打開(kāi)狀態(tài)，燈115d以點(diǎn)亮的狀態(tài)表示元件回收部18的閘門(mén)(未圖示)處于關(guān)閉狀態(tài)。

按鈕116能夠操作元件供給部14的閘門(mén)14a的動(dòng)作。操作鼠標(biāo)51點(diǎn)擊按鈕116，由此能夠使元件供給部14的閘門(mén)14a動(dòng)作。在點(diǎn)擊按鈕116使閘門(mén)14a處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，按鈕116變亮。另外，此時(shí)燈115b變亮。若從該狀態(tài)再次點(diǎn)擊按鈕116，則閘門(mén)14a變?yōu)榇蜷_(kāi)狀態(tài)，按鈕116變暗。

這種情況對(duì)按鈕117也同樣，能夠操作元件回收部18的閘門(mén)(未圖示)的動(dòng)作。

接下來(lái)，對(duì)圖7所示的窗口118進(jìn)行說(shuō)明。

如圖7所示，若點(diǎn)擊按鈕組107的“Loader”按鈕，則切換為窗口118。窗口118是用于顯示圖2中的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A及其附近的部分的動(dòng)作的畫(huà)面。

在窗口118顯示有示意圖119、燈組120、按鈕組121、示意圖122、燈組123以及按鈕組124。

示意圖119是在檢查裝置1中從+Z方向(正)側(cè)觀察托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A的圖。在示意圖119顯示有光傳感器201、光傳感器202、固定部件203以及閘門(mén)204。

在示意圖119的橫向右側(cè)顯示有燈組120。在燈組120中，縱向排列有五個(gè)圓形的燈120a、120b、120c、120d、120e。

在燈120a的橫向右側(cè)顯示有文字“Forward”，表示燈120a與檢測(cè)托盤(pán)200的有無(wú)的光傳感器201對(duì)應(yīng)(參照示意圖119)。

同樣地，在燈120b的橫向右側(cè)顯示有文字“Middle”，表示燈120b 與光傳感器202對(duì)應(yīng)。

同樣地，在燈120c的橫向右側(cè)顯示有文字“Lock”，表示燈120c與固定托盤(pán)200的固定部件203對(duì)應(yīng)。

在燈120d的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Open”，表示閘門(mén)204處于打開(kāi)狀態(tài)。

在燈120e的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Close”，表示閘門(mén)204處于關(guān)閉狀態(tài)。

在燈組120的橫向右側(cè)顯示有按鈕組121。在按鈕組121中，縱向排列顯示有按鈕121a、121b、121c、121d。

在按鈕121a的橫向右側(cè)顯示有文字“Tray Lock”，表示按鈕121a與固定部件203對(duì)應(yīng)。

在按鈕121b的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Valve”，表示按鈕121b與閘門(mén)204的閥對(duì)應(yīng)。

在按鈕121c的橫向右側(cè)顯示有文字“Turn”，表示按鈕121c進(jìn)行閘門(mén)204的閥的馬達(dá)的接通/斷開(kāi)的切換。

在按鈕121d的橫向右側(cè)顯示有文字“Low Speed”，表示進(jìn)行馬達(dá)的高速模式/低速模式的切換。

在按鈕組121的橫向右側(cè)顯示有示意圖122。示意圖122是從－Y方向(負(fù))側(cè)觀察托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A的圖。在示意圖122顯示有光傳感器205、升降機(jī)構(gòu)206以及分離爪224。

在示意圖122的橫向右側(cè)顯示有燈組123。在燈組123中，縱向排列顯示有燈123a、123b、123c、123d、123e。

在燈123a的橫向右側(cè)顯示有文字“Remaining Tray”，表示與光傳感器205對(duì)應(yīng)。

在燈123b的橫向右側(cè)顯示有文字“Exist”，表示對(duì)即將搬運(yùn)至托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A的托盤(pán)200進(jìn)行檢測(cè)的光傳感器205的動(dòng)作狀態(tài)。

燈123c、123d表示升降機(jī)構(gòu)206的動(dòng)作狀態(tài)。

在燈組123的橫向右側(cè)顯示有按鈕組124。在按鈕組124中，縱向排列有按鈕124a、124b、124c。

在按鈕124a的橫向右側(cè)顯示有文字“Separator”，表示能夠操作分離爪224的動(dòng)作。

在按鈕124b的橫向右側(cè)顯示有文字“Upper”，能夠使升降機(jī)構(gòu)206上升。

在按鈕124c的橫向右側(cè)顯示有文字“Middle”，能夠使升降機(jī)構(gòu)206下降。

這樣，兩個(gè)示意圖119、122顯示在一個(gè)窗口118。由此，在使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A及其周邊動(dòng)作中，能夠省略操作按鈕組107切換窗口。即，使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)11A及其周邊動(dòng)作通過(guò)一個(gè)窗口118就足夠，因此操作容易。

接下來(lái)，對(duì)圖8所示的窗口125進(jìn)行說(shuō)明。

如圖8所示，若點(diǎn)擊按鈕組107的“Auto1”按鈕，則切換為窗口125。窗口125是用于顯示圖2中的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22A及其附近的部分的動(dòng)作的畫(huà)面(對(duì)“Auto2”、“Auto3”也同樣)。

在窗口125顯示有示意圖126、燈組127、按鈕組128、示意圖129、燈組130以及按鈕131。

示意圖126是在檢查裝置1中從+Z方向(正)側(cè)觀察托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22A的圖。在示意圖126顯示有光傳感器207、固定部件208、閘門(mén)209、光傳感器210以及光傳感器211。

在示意圖126的橫向右側(cè)顯示有燈組127。在燈組127中，縱向排列有六個(gè)圓形的燈127a、127b、127c、127d、127e、127f。

在燈127a的橫向右側(cè)顯示有文字“Forward”，表示燈127a與檢測(cè)托盤(pán)200的有無(wú)的光傳感器207對(duì)應(yīng)(參照示意圖126)。

同樣地，在燈127b的橫向右側(cè)顯示有文字“Lock”，表示燈127b與固定托盤(pán)200的固定部件208對(duì)應(yīng)。

在燈127c的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Open”，表示閘門(mén)209處于打開(kāi)狀態(tài)。

在燈127d的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Close”，表示閘門(mén)209處于關(guān)閉狀態(tài)。

在燈127e的橫向右側(cè)顯示有文字“Middle”，表示燈127e與光傳感器210對(duì)應(yīng)。

在燈127f的橫向右側(cè)顯示有文字“Exist”，表示燈127f與光傳感器211對(duì)應(yīng)。

在燈組127的橫向右側(cè)顯示有按鈕組128。在按鈕組128中，縱向排列顯示有按鈕128a、128b、128c、128d。

在按鈕128a的橫向右側(cè)顯示有文字“Tray Lock”，表示按鈕128a與固定部件208對(duì)應(yīng)。

在按鈕128b的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Valve”，表示按鈕128b與閘門(mén)209的閥對(duì)應(yīng)。

在按鈕128c的橫向右側(cè)顯示有文字“Turn”，表示按鈕128c進(jìn)行閘門(mén)209的閥的馬達(dá)的接通/斷開(kāi)的切換。

在按鈕128d的橫向右側(cè)顯示有文字“Low Speed”，表示進(jìn)行馬達(dá)的高速模式/低速模式的切換。

在按鈕組128的橫向右側(cè)顯示有示意圖129。示意圖129是從－Y方向(負(fù))側(cè)觀察托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22A的圖。在示意圖129顯示有光傳感器212和升降機(jī)構(gòu)213。

在示意圖129的橫向右側(cè)顯示有燈組130。在燈組130中，縱向排列顯示有燈130a、130b、130c。

在燈130a的橫向右側(cè)顯示有文字“Full”，與光傳感器212對(duì)應(yīng)。

燈130b以及燈130c表示示意圖129中的使托盤(pán)200升降的升降機(jī)構(gòu)213的位置。

在燈130b的橫向右側(cè)顯示有按鈕131。在按鈕131的橫向右側(cè)顯示有文字“Upper/Middle”，表示按鈕131與升降機(jī)構(gòu)213的動(dòng)作對(duì)應(yīng)。

接下來(lái)，對(duì)圖9所示的窗口132進(jìn)行說(shuō)明。

如圖9所示，若點(diǎn)擊按鈕組107的“Empty1”按鈕，則切換為窗口132。窗口132是用于顯示圖2中的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22B及其附近的部分的動(dòng)作的畫(huà)面。

在窗口132顯示有示意圖133、燈組134、按鈕組135、示意圖136、燈組137以及按鈕組138。

示意圖133是在檢查裝置1中從+Z方向(正)側(cè)觀察托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22B的圖。在示意圖133顯示有光傳感器214、光傳感器215、固定部件216、閘門(mén)217以及光傳感器218。

在示意圖133的橫向右側(cè)顯示有燈組134。在燈組134中，六個(gè)圓形的燈134a、134b、134c、134d、134e、134f縱向排列。

在燈134a的橫向右側(cè)顯示有文字“Forward”，表示燈134a與檢測(cè)托盤(pán)200的有無(wú)的光傳感器214對(duì)應(yīng)。

在燈134b的橫向右側(cè)顯示有文字“Middle”，表示燈134b與檢測(cè)托盤(pán)200的有無(wú)的光傳感器215對(duì)應(yīng)。

在燈134c的橫向右側(cè)顯示有文字“Lock”，表示燈134c與固定托盤(pán)200的固定部件216對(duì)應(yīng)。

在燈134d的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Open”，表示閘門(mén)217處于打開(kāi)狀態(tài)。

在燈134e的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Close”，表示閘門(mén)217處于關(guān)閉狀態(tài)。

在燈134f的橫向右側(cè)顯示有文字“Middle LD”，表示燈134f與光 傳感器218對(duì)應(yīng)。

在燈組134的橫向右側(cè)顯示有按鈕組135。在按鈕組135中，縱向排列顯示有按鈕135a、135b、135c、135d、135e。

在按鈕135a的橫向右側(cè)顯示有文字“Tray Lock”，表示按鈕135a與固定部件216對(duì)應(yīng)。

在按鈕135b的橫向右側(cè)顯示有文字“Shutter Valve”，表示按鈕135b與閘門(mén)217的閥對(duì)應(yīng)。

在按鈕135c的橫向右側(cè)顯示有文字“Turn”，表示按鈕135c進(jìn)行閘門(mén)217的閥的馬達(dá)的接通/斷開(kāi)的切換。

在按鈕135d的橫向右側(cè)顯示有文字“Low Speed”，表示進(jìn)行馬達(dá)的高速模式/低速模式的切換。

在按鈕135e的橫向右側(cè)顯示有文字“Reverse”，表示進(jìn)行馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)方向的切換。

在按鈕組135的橫向右側(cè)顯示有示意圖136。示意圖136是從－Y方向(負(fù))側(cè)觀察托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)22B的圖。在示意圖136顯示有光傳感器219、光傳感器220、光傳感器221、升降機(jī)構(gòu)222以及分離爪223。

在示意圖136的橫向右側(cè)顯示有燈組137。在燈組137中，縱向排列顯示有燈137a、137b、137c、137d、137e、137f。

在燈137a的橫向右側(cè)顯示有文字“Full”，表示與光傳感器219對(duì)應(yīng)。

在燈137b的橫向右側(cè)顯示有文字“Remaining”，表示與光傳感器220對(duì)應(yīng)。

在燈137c的橫向右側(cè)顯示有文字“Exist”，表示與光傳感器221對(duì)應(yīng)。

燈137d～137f分別表示示意圖136中所示的升降機(jī)構(gòu)222的位置。

在燈組137的橫向右側(cè)顯示有按鈕組138。在按鈕組138中，縱 向排列配置有138a、138b、138c。

在按鈕138a的橫向右側(cè)顯示有文字“Separator”，能夠操作分離爪223的動(dòng)作。

在按鈕138b的橫向右側(cè)顯示有文字“Upper”，能夠使升降機(jī)構(gòu)222上升。

在按鈕138c的橫向右側(cè)顯示有文字“Middle”，能夠使升降機(jī)構(gòu)222下降。

接下來(lái)，對(duì)圖10所示的窗口139進(jìn)行說(shuō)明。

如圖10所示，若點(diǎn)擊按鈕組107的“Plate Cover”按鈕，則切換為窗口139。在窗口139顯示有燈組140。

燈組140具有燈140a、140b、140c、140d、140e。燈140a～140c縱向排列顯示。燈140d、140e縱向排列顯示于燈140a～140c的右側(cè)。

在燈140a的橫向左側(cè)顯示有文字“X Slide Cover origin”，燈140a表示設(shè)置于溫度調(diào)整部12的沿X方向開(kāi)閉的閘門(mén)關(guān)閉。

在燈140b的橫向左側(cè)顯示有文字“X Slide Cover middle”，燈140b表示設(shè)置于溫度調(diào)整部12的沿X方向開(kāi)閉的閘門(mén)打開(kāi)。

在燈140c的橫向左側(cè)顯示有文字“X Slide Cover left limit”，燈140c表示設(shè)置于溫度調(diào)整部12的沿X方向開(kāi)閉的閘門(mén)打開(kāi)至極限。

在燈140d的橫向左側(cè)顯示有文字“Y Slide Cover origin”，燈140d表示設(shè)置于溫度調(diào)整部12的沿Y方向開(kāi)閉的閘門(mén)關(guān)閉。

在燈140e的橫向左側(cè)顯示有文字“Y Slide Cover 30mm”，燈140e表示設(shè)置于溫度調(diào)整部12的沿Y方向開(kāi)閉的閘門(mén)打開(kāi)30mm。

接下來(lái)，對(duì)圖11所示的窗口141進(jìn)行說(shuō)明。

如圖11所示，若點(diǎn)擊按鈕組107的“Fix Tray&Other”按鈕，則切換為窗口141。在窗口141顯示有燈組142、按鈕組143。

燈組142由燈142a、142b、142c、142d、142e、142f、142g、142h、142i、142j、142k、142L構(gòu)成。燈142a～142g縱向排列顯示。燈142h～142L縱向排列顯示于燈142a～142g的右側(cè)。

在燈142a的橫向左側(cè)顯示有文字“Fix Tray 1”，燈142a表示在Fix Tray 1(維修托盤(pán)1)是否載置有IC元件90。

在燈142b的橫向左側(cè)顯示有文字“Fix Tray 2”，燈142b表示在Fix Tray 2(維修托盤(pán)2)是否載置有IC元件90。

在燈142c的橫向左側(cè)顯示有文字“Fix Tray 3”，燈142c表示在Fix Tray 3(維修托盤(pán)3)是否載置有IC元件90。

在燈142d的橫向左側(cè)顯示有文字“Double IC reset”。

在燈142e的橫向左側(cè)顯示有文字“Chamber Door”，燈142e表示檢查部16的閘門(mén)的開(kāi)閉狀態(tài)。

在燈142f的橫向左側(cè)顯示有文字“Air”，燈142f表示向檢查部16流入空氣。

在燈142g的橫向左側(cè)顯示有文字“Temporary Stage Floating Sensor1”，燈142g表示在臨時(shí)載置臺(tái)載置有IC元件90。

在燈142h的橫向左側(cè)顯示有文字“DockPlate Free L”。

在燈142i的橫向左側(cè)顯示有文字“DockPlate Free R”。

在燈142j的橫向左側(cè)顯示有文字“Front Cover Sensor”。

在燈142k的橫向左側(cè)顯示有文字“Front Cover Switch”。

在燈142L的橫向左側(cè)顯示有文字“Temporary Stage Floating Sensor2”，燈142L表示在臨時(shí)載置臺(tái)載置有IC元件90。

在按鈕組143中，顯示有按鈕143a、143b、143c、143d、143e、143f、143g、143h、143i、143j。按鈕143a～143e縱向排列顯示，按鈕143f～按鈕143j縱向排列顯示在按鈕143a～143e的右側(cè)。

在按鈕143a的橫向左側(cè)顯示有文字“FAN Start”，在按鈕143b的橫向左側(cè)顯示有文字“FAN Run”，在按鈕143c的橫向左側(cè)顯示有文字“FAN Reset”。上述按鈕143a～143c能夠進(jìn)行使檢查部16內(nèi)的風(fēng)扇動(dòng)作/停止的操作。

在按鈕143d的橫向左側(cè)顯示有文字“Heater ON”，在按鈕143e的橫向左側(cè)顯示有文字“Heater OFF”。按鈕143d、143e能夠切換檢查部16內(nèi)的加熱器的動(dòng)作/停止。

在按鈕143f的橫向左側(cè)顯示有文字“Cover Lock”。在按鈕143g的橫向左側(cè)顯示有文字“Double IC LED”。在按鈕143h的橫向左側(cè)顯示有文字“START”。在按鈕143i的橫向左側(cè)顯示有文字“Front Cover Lock”。在按鈕143j的橫向左側(cè)顯示有文字“Front Cover LED”。

如上所述，在檢查裝置1中，在顯示裝置40中顯示有使檢查裝置1的各部分動(dòng)作的按鈕(操作部)，通過(guò)點(diǎn)擊按鈕能夠使各部分獨(dú)立地動(dòng)作。另外，在檢查裝置1中，在顯示裝置40中顯示有顯示各部分的動(dòng)作狀態(tài)的燈。

以往，例如，在IC元件90的檢查之前進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)的情況下，使檢查裝置的各部分統(tǒng)一動(dòng)作，進(jìn)行各部分的檢查。與此相對(duì)，在檢查裝置1中，如上所述，能夠使檢查裝置1的各部分獨(dú)立地動(dòng)作，另外，能夠分別知曉各部分是否動(dòng)作。因此，在檢查裝置1中，特別是在進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)(維護(hù))時(shí)非常有利。

(第二實(shí)施方式)

圖12是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的電子部件檢查裝置的簡(jiǎn)要立體圖。圖13是圖12所示的電子部件檢查裝置的簡(jiǎn)要俯視圖。圖14A是表示由圖13所示的電子部件檢查裝置具備的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)的托盤(pán)的狀態(tài)的俯視圖，圖14B是表示圖13所示的電子部件檢查裝置具備的托盤(pán)的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖15～圖18分別是顯示在圖12所示的電子部件檢查裝置具備的顯示器的界面。圖19是表示圖12所示的電子部件檢查裝置具備的移動(dòng)時(shí)間變更部的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的主視圖。圖20是圖19所示的移動(dòng)時(shí)間變更部的放大圖。圖21是包含圖19所示的移動(dòng)時(shí)間變更部的電路圖。圖22是表示由圖14A以及圖14B所 示的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)搬運(yùn)的托盤(pán)的搬運(yùn)速度的歷時(shí)變化的曲線圖。

如圖13所示，檢查裝置1000分為：托盤(pán)供給區(qū)域B1、元件供給區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為“供給區(qū)域”)B2、檢查區(qū)域B3、元件回收區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為“回收區(qū)域”)B4以及托盤(pán)除去區(qū)域B5。而且，IC元件90從托盤(pán)供給區(qū)域B1至托盤(pán)除去區(qū)域B5依次經(jīng)由各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域B3進(jìn)行檢查。這樣，檢查裝置1000具備在各區(qū)域搬運(yùn)IC元件90的電子部件搬運(yùn)裝置、在檢查區(qū)域B3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部1016以及控制部1080。另外，如圖12所示，檢查裝置1000具備顯示器1300和信號(hào)燈1400。

此外，檢查裝置1000的配置有托盤(pán)供給區(qū)域B1、托盤(pán)除去區(qū)域B5的一方(圖13中的－Y方向側(cè))成為正面?zhèn)?，其相反?cè)即配置有檢查區(qū)域B3的一方(圖13中的+Y方向側(cè))被用作背面?zhèn)取?/p>

托盤(pán)供給區(qū)域B1是供給排列有未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC元件90的托盤(pán)(配置部件)200的供料部。在托盤(pán)供給區(qū)域B1中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤(pán)200。

供給區(qū)域B2是將配置于來(lái)自托盤(pán)供給區(qū)域B1的托盤(pán)200上的多個(gè)IC元件90分別供給至檢查區(qū)域B3的區(qū)域。此外，以跨越托盤(pán)供給區(qū)域B1與供給區(qū)域B2的方式設(shè)置有沿水平方向一個(gè)個(gè)搬運(yùn)托盤(pán)200的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A、1011B。托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A是能夠使托盤(pán)200連同載置于該托盤(pán)200的IC元件90沿Y方向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，能夠?qū)C元件90穩(wěn)定地送入供給區(qū)域B2。另外，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B是能夠使空的托盤(pán)200移動(dòng)的移動(dòng)部。

在供給區(qū)域B2設(shè)置有溫度調(diào)整部(均溫板soak plate)1012、元件搬運(yùn)頭1013以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(第一搬運(yùn)裝置)1015。

溫度調(diào)整部1012是供多個(gè)IC元件90載置的載置部，能夠?qū)υ摱鄠€(gè)IC元件90進(jìn)行加熱或冷卻。由此，能夠?qū)C元件90調(diào)整至適于檢查的溫度。在圖13所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部1012在Y方向上配置并固定有兩個(gè)。而且，通過(guò)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A從托盤(pán)供給區(qū)域B1搬入(搬運(yùn)來(lái))的托盤(pán)200上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于任一溫度調(diào)整部1012。

元件搬運(yùn)頭1013被支承為能夠在供給區(qū)域B2內(nèi)移動(dòng)。由此，元件搬運(yùn)頭1013承擔(dān)IC元件90在從托盤(pán)供給區(qū)域B1搬入的托盤(pán)200與溫度調(diào)整部1012之間的搬運(yùn)和IC元件90在溫度調(diào)整部1012與后述的元件供給部1014之間的搬運(yùn)。

托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1015是在供給區(qū)域B2內(nèi)沿X方向搬運(yùn)除去了全部IC元件90的狀態(tài)的空的托盤(pán)200的機(jī)構(gòu)。而且，在該搬運(yùn)后，空的托盤(pán)200通過(guò)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B從供給區(qū)域B2返回托盤(pán)供給區(qū)域B1。

檢查區(qū)域B3是檢查IC元件90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域B3設(shè)置有元件供給部(供給往復(fù)裝置)1014、檢查部1016、元件搬運(yùn)頭1017以及元件回收部(回收往復(fù)裝置)1018。

元件供給部1014是能夠供進(jìn)行過(guò)溫度調(diào)整的IC元件90載置并將該IC元件90搬運(yùn)(移動(dòng))至檢查部1016附近的移動(dòng)部。該元件供給部1014被支承為能夠在供給區(qū)域B2與檢查區(qū)域B3之間沿X方向在水平方向上移動(dòng)。另外，在圖13所示的結(jié)構(gòu)中，元件供給部1014在Y方向上配置有兩個(gè)，溫度調(diào)整部1012上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于任一元件供給部1014。

檢查部1016是對(duì)IC元件90的電特性進(jìn)行檢查、試驗(yàn)的單元。在檢查部1016設(shè)置有多個(gè)探針，它們?cè)诒３諭C元件90的狀態(tài)下與該IC元件90的端子電連接。而且，IC元件90的端子與探針電連接(接觸)，從而經(jīng)由探針進(jìn)行IC元件90的檢查。IC元件90的檢查根據(jù)存儲(chǔ)在連接于檢查部1016的測(cè)試儀所具備的檢查控制部的程序進(jìn)行。此外，在檢查部1016中，與溫度調(diào)整部1012同樣，能夠?qū)C元件90進(jìn)行加熱或冷卻，將該IC元件90調(diào)整至適于檢查的溫度。

元件搬運(yùn)頭1017被支承為能夠在檢查區(qū)域B3內(nèi)移動(dòng)。由此，元件搬運(yùn)頭1017能夠?qū)墓┙o區(qū)域B2搬入的元件供給部1014上的IC元件90搬運(yùn)并載置于檢查部1016上。

元件回收部1018是能夠供在檢查部1016檢查結(jié)束的IC元件90載置并使該IC元件90搬運(yùn)(移動(dòng))至回收區(qū)域B4的移動(dòng)部。該元件回收部1018被支承為能夠在檢查區(qū)域B3與回收區(qū)域B4之間沿X方向在水平方向上移動(dòng)。另外，在圖13所示的結(jié)構(gòu)中，元件回收部1018與 元件供給部1014同樣，在Y方向上配置有兩個(gè)，檢查部1016上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于任一元件回收部1018。該搬運(yùn)通過(guò)元件搬運(yùn)頭1017進(jìn)行。

回收區(qū)域B4是對(duì)檢查結(jié)束的多個(gè)IC元件90進(jìn)行回收的區(qū)域。在該回收區(qū)域B4設(shè)置有回收用托盤(pán)1019、元件搬運(yùn)頭1020以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(第二搬運(yùn)裝置)1021。另外，在回收區(qū)域B4還準(zhǔn)備空的托盤(pán)200。

回收用托盤(pán)1019是供IC元件90載置的載置部，固定于回收區(qū)域B4內(nèi)，在圖13所示的結(jié)構(gòu)中，沿X方向配置有三個(gè)。另外，空的托盤(pán)200也是供IC元件90載置的載置部，沿X方向配置有三個(gè)。而且，移動(dòng)至回收區(qū)域B4的元件回收部1018上的IC元件90被搬運(yùn)并載置于上述回收用托盤(pán)1019以及空的托盤(pán)200中的任一個(gè)。由此能夠根據(jù)檢查結(jié)果對(duì)IC元件90進(jìn)行回收、分類(lèi)。

元件搬運(yùn)頭1020被支承為能夠在回收區(qū)域B4內(nèi)移動(dòng)。由此，元件搬運(yùn)頭1020能夠?qū)C元件90從元件回收部1018搬運(yùn)至回收用托盤(pán)1019、空的托盤(pán)200。

托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1021是使從托盤(pán)除去區(qū)域B5搬入的空的托盤(pán)200在回收區(qū)域B4內(nèi)沿X方向搬運(yùn)的機(jī)構(gòu)。而且在該搬運(yùn)后，空的托盤(pán)200能夠配置于對(duì)IC元件90進(jìn)行回收的位置，即，能夠成為上述三個(gè)空的托盤(pán)200中的任一個(gè)。這樣，在檢查裝置1000中，在回收區(qū)域B4設(shè)置有托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1021，除此之外，在供給區(qū)域B2設(shè)置有托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1015。由此，與例如通過(guò)一個(gè)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行空的托盤(pán)200沿X方向的搬運(yùn)相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的IC元件90的搬運(yùn)個(gè)數(shù))的提高。

此外，作為托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1015、1021的結(jié)構(gòu)，并不特別限定，例如能夠舉出具有吸附托盤(pán)200的吸附部件、和將該吸附部件支承為能夠沿X方向移動(dòng)的滾珠絲杠等支承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。

托盤(pán)除去區(qū)域B5是對(duì)排列有處于檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)IC元件90的托盤(pán)200進(jìn)行回收、除去的排料部。在托盤(pán)除去區(qū)域B5中，能夠?qū)盈B多個(gè)托盤(pán)200。

另外，以跨越回收區(qū)域B4與托盤(pán)除去區(qū)域B5的方式設(shè)置有沿水平方向一個(gè)個(gè)搬運(yùn)托盤(pán)200的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A、1022B。托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A是能夠使托盤(pán)200連同載置于該托盤(pán)200的檢查完畢的IC元件90沿Y方向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，能夠?qū)z查完畢的IC元件90從回收區(qū)域B4搬運(yùn)至托盤(pán)除去區(qū)域B5。另外，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B是能夠使用于回收IC元件90的空的托盤(pán)200從托盤(pán)除去區(qū)域B5移動(dòng)至回收區(qū)域B4的移動(dòng)部。

控制部1080例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如對(duì)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A、1011B、溫度調(diào)整部1012、元件搬運(yùn)頭1013、元件供給部1014、托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1015、檢查部1016、元件搬運(yùn)頭1017、元件回收部1018、元件搬運(yùn)頭1020、托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1021以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A、1022B的各部分的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。

此外，上述測(cè)試儀的檢查控制部例如根據(jù)存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序來(lái)進(jìn)行配置于檢查部1016的IC元件90的電特性的檢查等。

操作人員能夠經(jīng)由顯示器1300設(shè)定或者確認(rèn)檢查裝置1000動(dòng)作時(shí)的溫度條件等。如圖12所示，該顯示器1300例如具有由液晶畫(huà)面構(gòu)成的顯示畫(huà)面1301，配置于檢查裝置1000的正面?zhèn)壬喜?+Z方向側(cè))。在托盤(pán)除去區(qū)域B5的+X方向側(cè)設(shè)置有載置鼠標(biāo)的鼠標(biāo)臺(tái)1600，該鼠標(biāo)在操作顯示在顯示器1300的畫(huà)面時(shí)使用。

另外，信號(hào)燈1400能夠通過(guò)發(fā)光的顏色的組合來(lái)報(bào)告檢查裝置1000的動(dòng)作狀態(tài)等。如圖12所示，信號(hào)燈1400配置于檢查裝置1000的上部(+Z方向側(cè))。此外，也能夠在檢查裝置1000內(nèi)置有揚(yáng)聲器1500，通過(guò)該揚(yáng)聲器1500也能夠報(bào)告檢查裝置1000的動(dòng)作狀態(tài)等。

如圖13所示，檢查裝置1000的托盤(pán)供給區(qū)域B1與供給區(qū)域B2之間被第一隔壁1061劃分(分隔)，供給區(qū)域B2與檢查區(qū)域B3之間被第二隔壁1062劃分，檢查區(qū)域B3與回收區(qū)域B4之間被第三隔壁1063劃分，回收區(qū)域B4與托盤(pán)除去區(qū)域B5之間被第四隔壁1064劃分。另外，供給區(qū)域B2與回收區(qū)域B4之間也由第五隔壁1065劃分。上述隔壁具有保證各區(qū)域的氣密性的功能。

此外，檢查裝置1000的最外層的外裝被罩覆蓋，該罩例如具有前 罩1070、側(cè)罩1071、側(cè)罩1072、后罩1073以及頂罩1074。此外，在比后罩1073靠?jī)?nèi)側(cè)處配置有內(nèi)側(cè)隔壁1066。

如上所述，檢查裝置1000作為載置IC元件90并使該IC元件90移動(dòng)的移動(dòng)部，具備托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A、元件供給部1014、元件回收部1018以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A。而且，在檢查裝置1000中，需要確認(rèn)：為了獲得所希望的生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的IC元件90的處理個(gè)數(shù))，上述移動(dòng)部的移動(dòng)時(shí)間設(shè)定得是否適當(dāng)。該確認(rèn)在各種維護(hù)時(shí)進(jìn)行，例如在檢查裝置1000出廠時(shí)進(jìn)行，或者在其出廠后在IC元件90的制造工廠內(nèi)使用時(shí)定期地進(jìn)行，或者在構(gòu)成移動(dòng)部的部件伴隨著持續(xù)使用而劣化的情況下更換該部件時(shí)進(jìn)行。

在下文中，對(duì)針對(duì)移動(dòng)部的維護(hù)進(jìn)行說(shuō)明，但作為該移動(dòng)部，以托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A為代表。

如圖14A以及圖14B所示，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A具有主動(dòng)帶輪1111、從動(dòng)帶輪1112以及帶1113。

主動(dòng)帶輪1111配置于托盤(pán)供給區(qū)域B1內(nèi)，與馬達(dá)1115連結(jié)。

從動(dòng)帶輪1112相對(duì)于主動(dòng)帶輪1111在+Y方向分離，配置于供給區(qū)域B2內(nèi)。

帶1113是掛繞在主動(dòng)帶輪1111與從動(dòng)帶輪1112的無(wú)端部帶。此外，帶1113具有兩條，相互在X方向上分離地配置。

在這種結(jié)構(gòu)的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A中，借助馬達(dá)1115的動(dòng)作旋轉(zhuǎn)的主動(dòng)帶輪1111的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由帶1113傳遞至從動(dòng)帶輪1112。由此，能夠?qū)⑤d置于帶1113上的托盤(pán)200從托盤(pán)供給區(qū)域B1搬運(yùn)至供給區(qū)域B2。

此外，優(yōu)選在主動(dòng)帶輪1111與從動(dòng)帶輪1112之間配置有防止帶1113撓曲的部件。由此，能夠穩(wěn)定地搬運(yùn)托盤(pán)200。

另外，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A具有作為在供給區(qū)域B2內(nèi)供托盤(pán)200抵接的抵接部的限位器1114。托盤(pán)200在從托盤(pán)供給區(qū)域B1移動(dòng)至供給區(qū)域B2時(shí)，在其移動(dòng)(動(dòng)作)結(jié)束的時(shí)刻與限位器1114抵接。借助 該抵接狀態(tài)，能夠連同托盤(pán)200完成各IC元件90的定位，由此，能夠利用元件搬運(yùn)頭1013把持該各IC元件90。

此外，限位器1114配置、固定于供給區(qū)域B2內(nèi)，由能夠與托盤(pán)200的行進(jìn)方向前方的端面抵接的塊狀或板狀的部件構(gòu)成。另外，作為限位器1114的構(gòu)成材料，并不特別限定，例如能夠使用不銹鋼、鋁等金屬材料、聚乙烯、尼龍等樹(shù)脂材料。

接下來(lái)，對(duì)顯示器1300的顯示畫(huà)面1301進(jìn)行說(shuō)明。

如圖16～圖18所示，在顯示器1300的顯示畫(huà)面1301映出維護(hù)界面1003。如圖15所示，該維護(hù)界面1003是從顯示在顯示畫(huà)面1301的菜單界面1004中選擇的界面。

在對(duì)維護(hù)界面1003進(jìn)行說(shuō)明之前，對(duì)菜單界面1004進(jìn)行說(shuō)明。

如圖15所示，菜單界面1004包括：第一菜單組1041、第二菜單組1042、第三菜單組1043、軟件名顯示欄1044、文件名顯示欄1045以及檢查部(插座)狀態(tài)顯示表1046。

第一菜單組1041包括按鈕1411～按鈕1416，按鈕1411被分配為“Exit”，按鈕1412被分配為“Shut down”，按鈕1413被分配為“Device Set”，按鈕1414被分配為“Unit Set”，按鈕1415被分配為“Maintenance”，按鈕1416被分配為“My Pad”。而且，通過(guò)操作按鈕1415顯示圖16～圖18的維護(hù)界面1003。

第二菜單組1042包括按鈕4201～按鈕4212，按鈕4201被分配為“Build”，按鈕4202被分配為“Start Mode”，按鈕4203被分配為“C.Select”，按鈕4204被分配為“C.Clear”，按鈕4205被分配為“Temp Monitor”，按鈕4206被分配為“Tower Light”，按鈕4207被分配為“Password”，按鈕4208被分配為“Security”，按鈕4209被分配為“Observer”，按鈕4210被分配為“Configuration”，按鈕4211被分配為“Controller”，按鈕4212被分配為“DIO Setting”。

第三菜單組1043包括設(shè)定檢查裝置1000的動(dòng)作條件的設(shè)定部1431～設(shè)定部1436，設(shè)定部1431被分配為“Temperature”，設(shè)定部1432被分配為“Tester”，設(shè)定部1433被分配為“Run Mode”，設(shè)定部1434 被分配為“Start Mode”，設(shè)定部1435被分配為“Bin Setting”，設(shè)定部1436被分配為“Rotation”。

在軟件名顯示欄1044顯示有用于使檢查裝置1000動(dòng)作的軟件的名稱(chēng)。

在文件名顯示欄1045顯示有用于使檢查裝置1000動(dòng)作的文件的名稱(chēng)。

在檢查部狀態(tài)顯示表1046顯示有檢查部1016中的檢查狀態(tài)。

接下來(lái)，對(duì)維護(hù)界面1003進(jìn)行說(shuō)明。

如圖16～圖18所示，維護(hù)界面1003包括元件供給部·回收部用菜單組1031、托盤(pán)供給·除去用菜單組1032、空托盤(pán)搬運(yùn)用菜單組1033、托盤(pán)搬運(yùn)用菜單組1034以及移動(dòng)時(shí)間顯示欄(移動(dòng)時(shí)間顯示部)1035。

元件供給部·回收部用菜單組1031包括設(shè)定元件供給部(供給往復(fù)裝置)1014以及元件回收部(回收往復(fù)裝置)1018的動(dòng)作條件的按鈕1311～按鈕1316。按鈕1311被分配為“In Shuttle 1”，按鈕1312被分配為“Out Shuttle 1”，按鈕1313被分配為“Out Fiber”，按鈕1314被分配為“In Shuttle 2”，按鈕1315被分配為“Out Shuttle 2”，按鈕1316被分配為“Out Fiber”。

托盤(pán)供給·除去用菜單組1032包括設(shè)定托盤(pán)供給區(qū)域B1以及托盤(pán)除去區(qū)域B5中的針對(duì)托盤(pán)200的動(dòng)作條件的按鈕1321～按鈕1323。按鈕1321被分配為“Loader”，按鈕1322被分配為“Unloader”，按鈕1323被分配為“Tray Lock”。

空托盤(pán)搬運(yùn)用菜單組1033包括設(shè)定托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1021的動(dòng)作條件的按鈕1331以及按鈕1332。按鈕1331被分配為“Position Check”，按鈕1332被分配為“Cylinder”。

托盤(pán)搬運(yùn)用菜單組1034包括使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A、托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B、三個(gè)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B動(dòng)作的按鈕1341a～1346b。

托盤(pán)搬運(yùn)用菜單組1034內(nèi)的標(biāo)題“Loader”是指“托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A”。而且，按鈕1341a被分配為使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A以高速模式動(dòng)作的“High SPD”按鈕，按鈕1341b被分配為使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A以低速模式動(dòng)作的“Low SPD”按鈕。

標(biāo)題“ReLoader 1”是指“托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B”。而且，按鈕1342a被分配為使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B以高速模式動(dòng)作的“High SPD”按鈕，按鈕1342b被分配為使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B以低速模式動(dòng)作的“Low SPD”按鈕。

標(biāo)題“ReLoader 2”是指“托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B”。而且，按鈕1343a被分配為使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B以高速模式動(dòng)作的“High SPD”按鈕，按鈕1343b被分配為使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B以低速模式動(dòng)作的“Low SPD”按鈕。

另外，根據(jù)檢查裝置1000的種類(lèi)不同，例如也能夠使托盤(pán)搬運(yùn)用菜單組1034還包括使托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1015以高速模式動(dòng)作的按鈕、以低速模式動(dòng)作的按鈕。

標(biāo)題“UnLoader 1”是指位于最接近供給區(qū)域B2的位置的“托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A”。而且，按鈕1344a被分配為使該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以高速模式動(dòng)作的速度“High SPD”按鈕，按鈕1344b被分配為使該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以低速模式動(dòng)作的“Low SPD”按鈕。

標(biāo)題“UnLoader 2”是指與UnLoader 1(卸載部1)鄰接的“托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A”。而且，按鈕1345a被分配為使該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以高速模式動(dòng)作的“High SPD”按鈕，按鈕1345b被分配為使該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以低速模式動(dòng)作的“Low SPD”按鈕。

標(biāo)題“UnLoader 3”是指與UnLoader 2(卸載部2)鄰接的“托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A”。而且，按鈕1346a被分配為使該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以高速模式動(dòng)作的“High SPD”按鈕，按鈕1346b被分配為使該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以低速模式動(dòng)作的“Low SPD”按鈕。

例如在選擇按鈕1341a的情況下，在移動(dòng)時(shí)間顯示欄1035帶括號(hào)地顯示以高速模式動(dòng)作的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A從一次動(dòng)作開(kāi)始至動(dòng)作 結(jié)束的實(shí)際時(shí)間即移動(dòng)時(shí)間t_11A。而且，檢查裝置1000的操作人員等作業(yè)人員在維護(hù)時(shí)能夠目視確認(rèn)顯示在該移動(dòng)時(shí)間顯示欄1035的移動(dòng)時(shí)間t_11A。由此，作業(yè)人員在維護(hù)時(shí)能夠確認(rèn)：為了獲得檢查裝置1000中的所希望的生產(chǎn)率，移動(dòng)時(shí)間t_11A設(shè)定得是否適當(dāng)，即，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A是否正確動(dòng)作。這樣，檢查裝置1000成為維護(hù)性?xún)?yōu)良的裝置。

此外，也可以構(gòu)成為，在選擇按鈕1341a的情況下，選擇該按鈕1341a的情況視覺(jué)上能夠識(shí)別。作為這種結(jié)構(gòu)，例舉有按鈕1341a的顏色發(fā)生變化、或者顯示在“LDR High”與顯示器1300(維護(hù)界面1003)等的結(jié)構(gòu)。

另外，如圖16～圖18所示，在移動(dòng)時(shí)間顯示欄1035顯示有移動(dòng)時(shí)間t_11A是否位于預(yù)先設(shè)定并存儲(chǔ)的數(shù)值即閾值t₀的范圍內(nèi)的判定結(jié)果R_11A和該閾值t₀。

判定結(jié)果R_11A用“OK”或“NG”來(lái)顯示。

閾值t₀在本實(shí)施方式中為“1.3±0.1[s]”，根據(jù)移動(dòng)時(shí)間t_11A是否進(jìn)入該范圍內(nèi)來(lái)選擇顯示“OK”和“NG”中的任一方。由此，作業(yè)人員能夠判斷是否應(yīng)該變更移動(dòng)時(shí)間t_11A。

例如在圖16所示的狀態(tài)下，移動(dòng)時(shí)間t_11A為1.3[s]。在該情況下，移動(dòng)時(shí)間t_11A位于閾值t₀的范圍內(nèi)，因此判定結(jié)果R_11A為“OK”。因此，作業(yè)人員能夠判定為為了獲得檢查裝置1000中的所希望的生產(chǎn)率，移動(dòng)時(shí)間t_11A設(shè)定得適當(dāng)。

另外，在圖17所示的狀態(tài)下，移動(dòng)時(shí)間t_11A為1.5[s]。在該情況下，移動(dòng)時(shí)間t_11A不在閾值t₀的范圍內(nèi)，因此判定結(jié)果R_11A為“NG”。因此，作業(yè)人員能夠判定為移動(dòng)時(shí)間t_11A設(shè)定得不適當(dāng)，需要移動(dòng)時(shí)間t_11A的變更。此外，在移動(dòng)時(shí)間顯示欄1035顯示有移動(dòng)時(shí)間t_11A過(guò)長(zhǎng)的情況的“LDR HIGH is Too Slow”。

在圖18所示的狀態(tài)下，移動(dòng)時(shí)間t_11A為1.1[s]。在該情況下，移動(dòng)時(shí)間t_11A也不在閾值t₀的范圍內(nèi)，因此判定結(jié)果R_11A為“NG”。因此，作業(yè)人員能夠判定為移動(dòng)時(shí)間t_11A設(shè)定得不適當(dāng)，需要移動(dòng)時(shí)間t_11A的變更。此外，在移動(dòng)時(shí)間顯示欄1035顯示有移動(dòng)時(shí)間t_11A過(guò)短的情況 的“LDR HIGH is Too Fast”。

如上所述，有時(shí)需要移動(dòng)時(shí)間t_11A的變更。對(duì)用于變更該移動(dòng)時(shí)間t_11A的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

如圖19所示，在檢查裝置1000的正面?zhèn)仍O(shè)置有面板1005，該面板1005具有作為能夠變更移動(dòng)時(shí)間t_11A的移動(dòng)時(shí)間變更部的變更用旋鈕(第一變更用旋鈕)1051。此外，如圖12所示，在覆蓋檢查裝置1000的正面?zhèn)鹊那罢?070設(shè)置有以能夠開(kāi)閉的方式設(shè)置的門(mén)1701。通過(guò)打開(kāi)該門(mén)1701使面板1005露出，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)該面板1005的操作。

該變更用旋鈕1051具有沿X方向排列配置的低速用旋鈕1511和高速用旋鈕1512。低速用旋鈕1511與高速用旋鈕1512用于在低速模式與高速模式兩個(gè)不同的移動(dòng)速度范圍內(nèi)變更托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的移動(dòng)速度，進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間t_11A的變更。此外，操作低速用旋鈕1511、高速用旋鈕1512的值例如也能夠反映在圖16～圖18所示的維護(hù)界面1003。

作為托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的低速模式下的移動(dòng)速度范圍，并不特別限定，例如優(yōu)選為5mm/s以上、20mm/s以下，更優(yōu)選為10mm/s以上、15mm/s以下。低速用旋鈕1511是在該范圍內(nèi)變更移動(dòng)時(shí)間t_11A的低速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部。

另外，作為托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的高速模式下的移動(dòng)速度范圍，并不特別限定，例如優(yōu)選為100mm/s以上、300mm/s以下，更優(yōu)選為150mm/s以上、250mm/s以下。高速用旋鈕1512是在該范圍內(nèi)變更移動(dòng)時(shí)間t_11A的高速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部。

而且，在變更移動(dòng)時(shí)間t_11A時(shí)，能夠選擇低速用旋鈕1511與高速用旋鈕1512中的至少一方的旋鈕進(jìn)行操作。此外，也可以構(gòu)成為與低速用旋鈕1511或高速用旋鈕1512的選擇操作連動(dòng)(關(guān)聯(lián))地操作與該旋鈕對(duì)應(yīng)的按鈕1341a或按鈕1341b。

另外，面板1005并不限定于圖12所示那樣的配置位置，例如也可以配置于顯示器1300的下側(cè)。在該情況下，能夠邊目視確認(rèn)顯示器1300邊容易且正確地操作面板1005。

此外，如圖19所示，在面板1005，除配置變更用旋鈕1051之外， 還從+Z方向側(cè)向－Z方向側(cè)沿Z軸依次配置有變更用旋鈕(第二變更用旋鈕)1052、變更用旋鈕(第三變更用旋鈕)1053、變更用旋鈕(第四變更用旋鈕)1054、變更用旋鈕(第五變更用旋鈕)1055以及變更用旋鈕(第六變更用旋鈕)1056。

變更用旋鈕1052是能夠變更作為“ReLoader 1”的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部。該變更用旋鈕1052也具有低速用旋鈕1521和高速用旋鈕1522，它們用于在低速模式與高速模式兩個(gè)不同的移動(dòng)速度范圍內(nèi)變更托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B的移動(dòng)速度，進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間的變更。

變更用旋鈕1053是能夠變更作為“ReLoader 2”的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部。該變更用旋鈕1053也具有低速用旋鈕1531和高速用旋鈕1532，它們用于在低速模式與高速模式兩個(gè)不同的移動(dòng)速度范圍內(nèi)變更托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B的移動(dòng)速度，進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間的變更。

變更用旋鈕1054是能夠變更作為“UnLoader 1”的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部。該變更用旋鈕1054也具有低速用旋鈕1541和高速用旋鈕1542，它們用于在低速模式與高速模式兩個(gè)不同的移動(dòng)速度范圍內(nèi)變更該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A的移動(dòng)速度，進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間的變更。

變更用旋鈕1055是能夠變更作為“UnLoader 2”的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部。該變更用旋鈕1055也具有低速用旋鈕1551和高速用旋鈕1552，它們用于在低速模式與高速模式兩個(gè)不同的移動(dòng)速度范圍內(nèi)變更該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A的移動(dòng)速度，進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間的變更。

變更用旋鈕1056是能夠變更作為“UnLoader 3”的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部。該變更用旋鈕1056也具有低速用旋鈕1561和高速用旋鈕1562，它們用于在低速模式與高速模式兩個(gè)不同的移動(dòng)速度范圍內(nèi)變更該托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A的移動(dòng)速度，進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間的變更。

另外，在面板1005標(biāo)注有用于識(shí)別哪個(gè)“變更用旋鈕”變更哪個(gè) “托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)”的名稱(chēng)“Loader”、“ReLoader 1”、“ReLoader 2”、“UnLoader 1”、“UnLoader 2”、“UnLoader 3”。

另外，還標(biāo)注有用于識(shí)別“低速用旋鈕”以及“高速用旋鈕”中哪個(gè)是“低速用旋鈕”哪個(gè)是“高速用旋鈕”的名稱(chēng)“Low”、“High”。

圖19中的變更用旋鈕1051～變更用旋鈕1056除在面板1005上的配置位置不同以外，是相同的結(jié)構(gòu)，因此對(duì)變更用旋鈕1051代表性地進(jìn)行說(shuō)明。

如圖20所示，低速用旋鈕1511(或高速用旋鈕1512)由從+Y方向觀察時(shí)呈圓形的部件構(gòu)成，是被支承為能夠以其中心O為轉(zhuǎn)動(dòng)中心轉(zhuǎn)動(dòng)的所謂的“撥盤(pán)式”操作部件。

如圖21所示，在低速用旋鈕1511內(nèi)置有可變電阻VR₅₁₁，在高速用旋鈕1512內(nèi)置有可變電阻VR₅₁₂?？勺冸娮鑆R₅₁₁的最大電阻值與可變電阻VR₅₁₂的最小電阻值相同。

可變電阻VR₅₁₁與可變電阻VR₅₁₂并聯(lián)連接在交流電源AC與從交流電源AC供給電力的托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的馬達(dá)1115之間。在交流電源AC與可變電阻VR₅₁₁之間設(shè)置有開(kāi)關(guān)SW₅₁₁，在交流電源AC與可變電阻VR₅₁₂之間設(shè)置有開(kāi)關(guān)SW₅₁₂。

在維護(hù)時(shí)，例如使開(kāi)關(guān)SW₅₁₁處于“接通”狀態(tài)，繞圖20中的順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)操作低速用旋鈕1511，由此可變電阻VR₅₁₁的電阻值減少。伴隨著該電阻值的減少，向馬達(dá)1115供給的電力增加。由此，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的移動(dòng)速度也增加，因而能夠縮短移動(dòng)時(shí)間t_11A。另一方面，使開(kāi)關(guān)SW₅₁₁處于“接通”狀態(tài)，繞圖20中的逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng)操作低速用旋鈕1511，由此可變電阻VR₅₁₁的電阻值增加。伴隨著該電阻值的增加，向馬達(dá)1115供給的電力減少。由此，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的移動(dòng)速度也減少，因而能夠延長(zhǎng)移動(dòng)時(shí)間t_11A。

這樣，通過(guò)低速用旋鈕1511的轉(zhuǎn)動(dòng)操作，可變電阻VR₅₁₁的電阻值發(fā)生變化，能夠進(jìn)行移動(dòng)時(shí)間t_11A的變更。這在操作高速用旋鈕1512時(shí)也同樣。而且，該變更在實(shí)際的IC元件90的通常檢查時(shí)也維持原來(lái)的狀態(tài)不變。由此，能夠正確地進(jìn)行針對(duì)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的動(dòng)作變 更，維護(hù)性?xún)?yōu)良。

此外，如上所述，可變電阻VR₅₁₁的最大電阻值與可變電阻VR₅₁₂的最小電阻值相同。在該情況下，低速模式下的移動(dòng)速度與高速模式下的移動(dòng)速度相同。

如圖20所示，在低速用旋鈕1511(或高速用旋鈕1512)的周?chē)鷺?biāo)注有0～10的刻度。通過(guò)使低速用旋鈕1511(或高速用旋鈕1512)的標(biāo)記1513對(duì)準(zhǔn)各刻度能夠有級(jí)地變更移動(dòng)時(shí)間t_11A。由此，能夠消除進(jìn)行維護(hù)的作業(yè)人員的個(gè)人差異。

另外，開(kāi)關(guān)SW₅₁₁以及開(kāi)關(guān)SW₅₁₂的接通/斷開(kāi)的切換由控制部1080進(jìn)行控制。該接通/斷開(kāi)的切換時(shí)機(jī)根據(jù)圖14A所示的第一傳感器1116的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行。此外，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A在動(dòng)作開(kāi)始時(shí)設(shè)定為高速模式，在中途切換為低速模式，保持該低速模式不變停止(參照?qǐng)D22)。

如圖14A所示，第一傳感器1116具有俯視下隔著兩條帶1113在X方向上分離地對(duì)置配置的發(fā)光部1116a和受光部1116b。從發(fā)光部1116a發(fā)出的光L₁₁₆被受光部1116b接收，但在從托盤(pán)供給區(qū)域B1進(jìn)入供給區(qū)域B2的托盤(pán)200夾在發(fā)光部1116a與受光部1116b之間時(shí)，光L₁₁₆被該托盤(pán)200遮擋。而且，在檢測(cè)到該遮光的情況下，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A從高速模式切換為低速模式，即開(kāi)關(guān)SW₅₁₂斷開(kāi)，開(kāi)關(guān)SW₅₁₁接通。

然后，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A在低速模式下動(dòng)作，但該動(dòng)作停止的時(shí)機(jī)根據(jù)圖14A所示的第二傳感器1117的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行。

如圖14A所示，第二傳感器1117俯視下位于比第一傳感器1116靠托盤(pán)200的搬運(yùn)方向前方。該第二傳感器1117具有俯視下隔著兩條帶1113在X方向上分離地對(duì)置配置的發(fā)光部1117a和受光部1117b。從發(fā)光部1117a發(fā)出的光L₁₁₇被受光部1117b接收，但在托盤(pán)200即將與限位器1114抵接(例如相距2mm～5mm)時(shí)，光L₁₁₇被該托盤(pán)200遮擋(遮光)。而且，在檢測(cè)到該遮光的情況下，開(kāi)關(guān)SW₅₁₁斷開(kāi)，停止向馬達(dá)1115供電。由此，托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的動(dòng)作停止，即，移動(dòng)的托盤(pán)200停止。此時(shí)，托盤(pán)200能夠以盡量低的速度與限位器1114 抵接。由此，能夠防止托盤(pán)200上的IC元件90因托盤(pán)200與限位器1114的碰撞而飛出。

以上，作為對(duì)移動(dòng)部的維護(hù)，以對(duì)托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A的維護(hù)為代表進(jìn)行了說(shuō)明，但托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011B、元件供給部1014、托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1015、元件回收部1018、托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022A以及托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1022B也能夠與托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)1011A同樣地進(jìn)行維護(hù)。

以上，根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于此，各部分的結(jié)構(gòu)可以置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。另外，也可以附加其他任意結(jié)構(gòu)件。

在上述第一實(shí)施方式中，設(shè)定顯示部60具備操作裝置50和顯示裝置40，但例如也可以是操作裝置與顯示裝置成為一體的結(jié)構(gòu)。作為操作裝置與顯示裝置成為一體的結(jié)構(gòu)，例舉有顯示裝置具有的顯示器成為觸摸面板的結(jié)構(gòu)。

此外，在按鈕組107中，針對(duì)除上述說(shuō)明過(guò)的按鈕以外的按鈕，也與上述同樣，能夠切換為新的窗口，能夠操作電子部件搬運(yùn)裝置10的各部分或者顯示動(dòng)作狀態(tài)。

另外，在上述第二實(shí)施方式中，能夠變更移動(dòng)部的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間變更部包括低速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部和高速模式用移動(dòng)時(shí)間變更部?jī)煞N變更部，但并不限定于此，也可以包括一種或三種以上的變更部。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1…檢查裝置；10…電子部件搬運(yùn)裝置；11A…托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；11B…托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；12…溫度調(diào)整部；12a…閘門(mén)；13…供給機(jī)器人；14…元件供給部；14a…閘門(mén)；15…供給空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；16…檢查部；17…測(cè)定機(jī)器人；17a…臂；17b…臂；170…吸嘴；171…吸附傳感器；18…元件回收部；19…回收用托盤(pán)；20…回收機(jī)器人；21…回收空托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；22A…托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；22B…托盤(pán)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；30…控制裝置；31…控制部；32…存儲(chǔ)部；40…顯示裝置；41…顯示器；50…操作裝置；51…鼠標(biāo)；60…設(shè)定顯示部；90…IC元件；101…主畫(huà)面；102…圖標(biāo)組；103…圖標(biāo)；104…子窗口；105…按鈕；106…窗口；107…按鈕組；108…按鈕；109…燈；109a…燈組；109b…燈組；110…按鈕； 110a…按鈕組；110b…按鈕組；111…按鈕；111a…按鈕組；111b…按鈕組；112…窗口；113…燈組；114…燈組；115…燈組；115a…燈；115b…燈；115c…燈；115d…燈；116…按鈕；117…按鈕；118…窗口；119…示意圖；120…燈組；120a…燈；120b…燈；120c…燈；120d…燈；120e…燈；121…按鈕組；121a…按鈕；121b…按鈕；121c…按鈕；121d…按鈕；122…示意圖；123…燈組；123a…燈；123b…燈；123c…燈；123d…燈；124…按鈕組；124a…按鈕；124b…按鈕；124c…按鈕；125…窗口；126…示意圖；127…燈組；127a…燈；127b…燈；127c…燈；127d…燈；127e…燈；127f…燈；128…按鈕組；128a…按鈕；128b…按鈕；128c…按鈕；128d…按鈕；129…示意圖；130…燈組；130a…燈；130b…燈；130c…燈；131…按鈕；132…窗口；133…示意圖；134…燈組；134a…燈；134b…燈；134c…燈；134d…燈；134e…燈；134f…燈；135…按鈕組；135a…按鈕；135b…按鈕；135c…按鈕；135d…按鈕；135e…按鈕；136…示意圖；137…燈組；137a…燈；137b…燈；137c…燈；137d…燈；137e…燈；137f…燈；138…按鈕組；138a…按鈕；138b…按鈕；138c…按鈕；139…窗口；140…燈組；140a…燈；140b…燈；140c…燈；140d…燈；140e…燈；141…窗口；142…燈組；142a…燈；142b…燈；142c…燈；142d…燈；142e…燈；142f…燈；142g…燈；142h…燈；142i…燈；142j…燈；142k…燈；142L…燈；143…按鈕組；143a…按鈕；143b…按鈕；143c…按鈕；143d…按鈕；143e…按鈕；143f…按鈕；143g…按鈕；143h…按鈕；143i…按鈕；143j…按鈕；200…托盤(pán)；201…光傳感器；202…光傳感器；203…固定部件；204…閘門(mén)；205…光傳感器；206…升降機(jī)構(gòu)；207…光傳感器；208…固定部件；209…閘門(mén)；210…光傳感器；211…光傳感器；212…光傳感器；213…升降機(jī)構(gòu)；214…光傳感器；215…光傳感器；216…固定部件；217…閘門(mén)；218…光傳感器；219…光傳感器；220…光傳感器；221…光傳感器；222…升降機(jī)構(gòu)；223…分離爪；224…分離爪；311…驅(qū)動(dòng)控制部；312…檢查控制部；A1…托盤(pán)供給區(qū)域；A2…元件供給區(qū)域；A3…檢查區(qū)域；A4…元件回收區(qū)域；A5…托盤(pán)除去區(qū)域。