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探針卡以及該探針卡所具備的層疊布線基板的制作方法

文檔序號:12511788閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種探針卡,其特征在于,是被檢查物的電氣檢查所使用的探針卡,具備:

母基板;

層疊布線基板,被安裝于上述母基板的一個主面;

電源供給用電極,設(shè)置于上述母基板;

電源用連接電極,形成于上述層疊布線基板的與上述母基板相反一側(cè)的主面,且連接有用于向上述被檢查物供給電源的探針;

電源線,將上述電源供給用電極和上述電源用連接電極連接;以及

熔斷部,被插入上述電源線且具有電流容量比上述電源線小的熔絲布線,

上述層疊布線基板具備被配置于上述母基板側(cè)的陶瓷層和層疊于上述陶瓷層的樹脂層,

上述電源線具有在上述母基板或者上述層疊布線基板的表面露出的露出部,

上述熔斷部被設(shè)置于上述電源線的上述露出部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡,其特征在于,

在上述熔斷部配置形成有上述熔絲布線的芯片部件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的探針卡,其特征在于,

上述熔絲布線的線寬形成得比上述電源線的線寬細(xì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任意一項所述的探針卡,其特征在于,

上述熔絲布線由導(dǎo)電膏形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任意一項所述的探針卡,其特征在于,

上述熔斷部被設(shè)置于上述層疊布線基板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針卡,其特征在于,

上述電源用連接電極在俯視時被配置于上述層疊布線基板的上述相反一側(cè)的主面的中央,

上述熔斷部被配置于該相反一側(cè)的主面的周緣部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任意一項所述的探針卡,其特征在于,

上述熔斷部被設(shè)置于上述母基板。

8.一種層疊布線基板,其特征在于,是被檢查物的電氣檢查所使用的探針卡所具備的層疊布線基板,具備:

陶瓷層;

樹脂層,層疊于上述陶瓷層;

電源用連接電極,形成于上述樹脂層的與上述陶瓷層相反一側(cè)的主面,且連接有用于向上述被檢查物供給電源的探針;

電源供給用外部電極,形成于上述陶瓷層的與上述樹脂層相反一側(cè)的主面;

電源線,將上述電源供給用外部電極和上述電源用連接電極連接;以及

熔斷部,被插入上述電源線且具有電流容量比上述電源線小的熔絲布線,

上述電源線具有在上述樹脂層的表面露出的露出部,

上述熔斷部被設(shè)置于上述電源線的上述露出部。

9.一種層疊布線基板,其特征在于,是被檢查物的電氣檢查所使用的探針卡所具備的層疊布線基板,具備:

陶瓷層;

樹脂層,形成為俯視時的面積小于上述陶瓷層,且層疊于上述陶瓷層;

電源用連接電極,形成于上述樹脂層的與上述陶瓷層相反一側(cè)的主面,且連接有用于向上述被檢查物供給電源的探針;

電源供給用外部電極,形成于上述陶瓷層的與上述樹脂層相反一側(cè)的主面;

電源線,將上述電源供給用外部電極和上述電源用連接電極連接;以及

熔斷部,被插入上述電源線且具有電流容量比上述電源線小的熔絲布線,

上述電源線具有在上述陶瓷層的與上述樹脂層對置的主面的未層疊有上述樹脂層的區(qū)域露出的露出部,

上述熔斷部被設(shè)置于上述電源線的上述露出部。

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