專利名稱：探針卡用臺車和使用該臺車的探針卡的操作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在進行高溫檢查或低溫檢査的檢査裝置上裝卸探針卡 時使用的探針卡用臺車，更詳細地說，涉及能夠在將用臺車搬送的探 針卡安裝在檢查裝置上之后，立刻進行晶片等的被檢查體的高溫檢查 或低溫檢查，而且能夠縮短被檢査體的檢查時間的探針卡用臺車和使 用該臺車的探針卡的操作方法。
背景技術：
在進行晶片等的被檢査體(以下以"晶片"代表)的高溫檢查或
低溫檢査的情況下，使用設置有探針卡的檢查裝置。例如圖6所示， 該檢查裝置具有相互鄰接的裝載室1和探測室2。
如圖6所示，裝載室1包括以盒為單位載置晶片W的載置部3， 從盒內(nèi)一個個地搬送晶片W的晶片搬送機構(未圖示)，和在搬送晶 片W的途中進行晶片的預對準的副卡盤(未圖示)。
如圖6所示，探測室2包括載置通過裝載室1的晶片搬送機構 搬送來的晶片W的能夠調(diào)節(jié)溫度的主卡盤4;配置在主卡盤4上方的 頂板5的大致中央的探針卡6;和進行探針卡6的探針6A與主卡盤4 上的晶片W的電極墊的對準的對準機構7，在通過對準機構7進行晶 片W的電極墊與探針6A的對準之后，通過主卡盤4將晶片W加熱或 冷卻至規(guī)定的溫度，在各個溫度下進行晶片W的高溫檢査或低溫檢查。
如圖6所示，對準機構7具有對晶片W進行攝像的第一攝像單元 7A和對探針進行攝像的第二攝像單元7B，以第一攝像單元7A通過對 準橋(alignment bridge) 7C在探測室2的背面和探針中心之間移動的 方式構成。探針卡6通過連接環(huán)8與測試頭9電連接。
在被檢査體的檢査中，具有例如在IO(TC左右的高溫區(qū)域進行的高 溫檢査和例如在一數(shù)十'C的低溫區(qū)域進行的低溫檢査。在進行高溫檢 查的情況下，通過溫度調(diào)節(jié)器(以下簡稱"溫調(diào)器")將主卡盤4的溫
度設定為例如檢查溫度IO(TC，并進行晶片W的檢查。在進行低溫檢 查的情況下，通過內(nèi)置在主卡盤4中的溫調(diào)器將主卡盤4上的晶片W 設定在一數(shù)十x:的檢査溫度，并在該溫度下進行晶片的低溫檢查。
在進行高溫檢査或低溫檢查的情況下，必須根據(jù)各個檢查更換探 針卡6。探針卡6隨著晶片W的大口徑化和器件的微細化而重量化， 不能由操作員進行搬送。因此，在保管場所和檢査裝置之間搬送探針 卡6時使用臺車。
例如圖7 (a)所示，在更換檢查裝置的探針卡6的情況下，如同 圖的(d)所示，使用臺車10將接下來使用的探針卡6'從保管場所搬 送至檢查裝置的探測室2的正面。如圖7 (b)所示，該臺車10的搬送 機構11包括支承探針卡6的臂IIA、前后移動引導該臂11A的第一導 軌IIB，和支承第一導軌11B并且在臺車10上沿前后方向移動的支承 基板IIC。
此處如圖7 (b)的箭頭所示，通過臺車10上的搬送機構11將探 測室2內(nèi)的探針卡6搬出，如同圖的(c)的箭頭所示，將搬出到臺車 10上的探針卡6收納在收納箱60內(nèi)。如同圖的(a)、 (b)所示，該收 納箱60被設置在裝載室1的側面。接著，從該收納箱60取出由臺車 10搬送的探針卡6'，如同圖的(d)的箭頭所示，移載到臺車10上 的搬送機構11上，進一步如同圖的(e)的箭頭所示，使用搬送機構 11將探針卡6'搬入探測室2內(nèi)，并安裝在探測室2內(nèi)。而且，當探 針卡6'被搬入探測室2內(nèi)時，探針卡6通過主卡盤4自動安裝在規(guī)定 的位置。
使用新的探針卡6'，例如在將晶片加熱至10(TC并進行晶片的高 溫檢查的情況下，在進行檢查之前使主卡盤接近探針卡6'，通過被溫 調(diào)器加熱的主卡盤對探針卡進行預熱，直至高溫檢查的環(huán)境溫度。通 過預熱探針卡6'熱膨脹，所以在高溫檢查時不會由于探針卡6'的熱 膨脹導致探針(未圖示)的針尖產(chǎn)生位置偏移，能夠使探針和晶片的 電極墊準確接觸，能夠進行可靠性高的高溫檢查。此外，在進行低溫 檢查的情況下，通過主卡盤冷卻探針卡。
但是在進行晶片的高溫檢査的情況下，在更換探針卡6時將新的 探針卡6'安裝在檢查裝置上，由于每次都必須進行預熱直至規(guī)定的檢
查溫度，所以對應于該預熱時間，晶片的高溫檢查的開始時間延遲， 結果檢査時間增長，在檢查時間的縮短上存在極限。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題而提出的，其目的在于提供探針卡用 臺車和使用該臺車的探針卡的操作方法，在將探針卡安裝在檢查裝置 上之后，能夠不預熱就開始被檢查體的檢査，從而能夠縮短檢査時間。
本發(fā)明的第一方面的探針卡用臺車，其搬送在進行高溫檢查或低 溫檢查的檢查裝置中使用的探針卡，其特征在于，包括裝卸自由地 安裝上述探針卡的臺座；和將安裝在該臺座上的上述探針卡加熱或冷 卻至上述被檢査體的檢查所要求的規(guī)定的溫度的溫度調(diào)節(jié)機構。
此外，本發(fā)明的第二方面的探針卡用臺車的特征在于，在第一方 面所述的發(fā)明中，上述溫度調(diào)節(jié)機構具有檢測上述探針卡的溫度的溫 度傳感器。
本發(fā)明的第三方面的探針卡用臺車的特征在于，在第二方面所述 的發(fā)明中，上述溫度調(diào)節(jié)機構具有根據(jù)上述溫度傳感器的檢測值對上 述探針卡已達到規(guī)定的溫度的情況進行通知的通知單元。
此外，本發(fā)明的第四方面的探針卡用臺車的特征在于，在第一方 面 第三方面中的任一項所述的發(fā)明中，在上述臺座上鄰接形成有載 置其他探針卡的載置部。
此外，本發(fā)明的第五方面的探針卡的操作方法，是在進行高溫檢 査或低溫檢查的檢査裝置上裝卸探針卡時的探針卡的操作方法，其特 征在于，包括將上述探針卡安裝在臺車的臺座上的工序；通過上述 臺車內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)機構將安裝在上述臺座上的上述探針卡加熱或冷卻 至上述高溫檢査或低溫檢查所要求的規(guī)定的溫度的工序；和將調(diào)整到 上述規(guī)定的溫度的上述探針卡安裝在上述檢査裝置上的工序。
此外，本發(fā)明的第六方面的探針卡的操作方法的特征在于，在第 五方面所述的發(fā)明中，具有在將上述探針卡安裝在上述檢査裝置上之 前，卸下上述檢查裝置內(nèi)的其他探針卡的工序。
本發(fā)明的第七方面的探針卡的操作方法的特征在于，在第五方面 或第六方面所述的發(fā)明中，具有對上述探針卡已達到規(guī)定的溫度的情
況進行通知的工序。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在將探針卡安裝在檢查裝置上之后，能夠 不進行預熱就開始被檢查體的檢查，從而能夠縮短檢査時間的探針卡 用臺車和使用該臺車的探針卡的操作方法。


圖1 (a)、 (b)為分別表示本發(fā)明的探針卡用臺車的一實施方式的
圖，(a)為其長度方向的截面圖，(b)為其平面圖。
圖2 (a)、 (b)為表示使用圖1所示的臺車的本發(fā)明的探針卡的操
作方法的一實施方式的工序圖。
圖3 (a)、 (b)為表示圖2所示的工序的后續(xù)工序的工序圖。
圖4為表示圖3所示的工序的后續(xù)工序的工序圖。
圖5 (a)、 (b)為分別表示本發(fā)明的探針卡用臺車的另一實施方式
的相當于圖1 (a)、 (b)的圖。
圖6為斷裂表示檢査裝置的一個例子的正面的一部分的正面圖。 圖7 (a) (e)為分別表示現(xiàn)有的探針卡的操作方法的一個例子
的工序圖。 符號說明 6、 6' 探針卡
20、 20A溫調(diào)臺車(探針卡用臺車)
21A 臺座
21B載置部
22溫度調(diào)節(jié)機構
W晶片(被檢查體)
具體實施例方式
以下，對圖1 圖4所示的本發(fā)明的探針卡用臺車的一實施方式進 行說明，對與現(xiàn)有技術相同或相當?shù)牟糠謽俗⑾嗤姆枴６?，?更換前后的探針卡上標注與現(xiàn)有技術相同的符號"6"、 "6'"以進行說明。
例如圖1 (a)、 (b)所示，本實施方式的探針卡用臺車20包括
臺車主體21;在臺車主體21的上面形成為開口部并且用于裝卸探針卡
6'的臺座21A;配置在臺座21A的下方的溫度調(diào)節(jié)機構22;和對溫 度調(diào)節(jié)機構22供電的供電裝置23，通過來自供電裝置23的供電使溫 度調(diào)節(jié)機構22動作，加熱或冷卻安裝在臺座21A上的探針卡6'。以 下將本實施方式的探針卡用臺車20稱為溫調(diào)臺車20以進行說明。
臺座21A以能夠設置例如帶卡支架(cardholder)的探針卡6'的 方式構成。溫度調(diào)節(jié)機構22具有加熱器和冷卻器。在臺車主體21上 配置有未圖示的檢測溫度調(diào)節(jié)機構22的溫度的溫度傳感器、溫度設定 單元和開關，在通過溫度設定單元設定為規(guī)定的高溫度或低溫度之后， 閉合開關，則加熱器或冷卻器動作，加熱或冷卻探針卡6'。當探針卡 6'被加熱或冷卻至檢查所要求的溫度時，溫度傳感器檢測出該溫度， 并進行通知。當操作員得知探針卡6'已達到規(guī)定的溫度時，斷開開關， 使溫度調(diào)節(jié)機構22停止，如后述那樣將探針卡6'安裝到檢查裝置上。
此外，溫度調(diào)節(jié)機構22也可以由單獨的加熱器或單獨的冷卻器構 成。此外，即使不在臺車主體21上設置溫度設定單元，也能夠通過溫 度傳感器得知探針卡6'已達到規(guī)定的溫度的事實。
如圖1 (a)、 (b)所示，在臺車主體21的背面設置有容納收容探 針卡6'的收納箱60的收納部24。如同圖的(a)所示，收納箱60以 通過鉸鏈(hinge)開閉的方式構成，打開收納箱60，取出探針卡6'。 此外，在臺車主體21上，在臺座21A的后方(同圖的左側)形成有暫 時載置收納探針卡6'的收納箱60的載置部21B。在臺車主體21的兩 側面的下端部，前后隔開規(guī)定間隔安裝有兩對腳輪(caster) 25。而且， 收納箱60并不限定于通過鉸鏈開閉的類型。
在將探針卡6'從保管場所向檢査裝置搬送的情況下，從保管場所 取出收納探針卡6'的收納箱60，將收納箱60收納在收納部24并進 行搬送。在將探針卡6'安裝在臺座21A上時，如圖1 (b)所示，操 作員從收納部24取出收納箱60并向載置部21B進行載置，打開收納 箱60取出探針卡6'，并安裝在臺座21A上。當探針卡6'被安裝在 臺座21A上時，通過溫度調(diào)節(jié)機構22將探針卡6'加熱或冷卻至預先 設定的規(guī)定的溫度。當探針卡6'被加熱或冷卻至規(guī)定的溫度時，能夠 通過溫度傳感器的檢測得知該情況。將加熱或冷卻后的探針卡6'如后述那樣與檢查裝置的探針卡6進行交換。
接著，參照圖2 圖4對使用本實施方式的臺車的探針卡的操作方
法進行說明。
首先，操作員將探針卡6'以收納在收納箱60中的狀態(tài)從保管場 所中取出，并載置在溫調(diào)臺車20的載置部21B上。如圖2 (a)所示， 打開載置在載置部21B上的收納箱60。之后，操作員從收納箱60中 取出探針卡6'，將探針卡6'安裝在臺座21A上。將變空的收納箱 60收納在收納部24中。然后，例如在進行高溫檢查的情況下，操作員 在通過溫度調(diào)節(jié)機構22的溫度設定單元設定至規(guī)定的溫度(例如100 。C)之后，閉合開關，使溫度調(diào)整機構22的加熱器運行。如同圖的(b) 所示，操作員在利用溫度調(diào)整機構22將探針卡6'加熱至規(guī)定的溫度 的過程中使溫調(diào)臺車20前進至規(guī)定的檢査裝置。
然后，如圖3 (a)所示，通過預先配置在探測室2的正面的臺車 10上的搬送機構11，將探針卡6從探測室2搬出到臺車10上之后， 如同圖的(a)中箭頭所示，操作員將臺車10上的探針卡6移載到溫 調(diào)臺車20的載置部21B。此時，因為臺座21A的探針卡6'被加熱至 規(guī)定的溫度，所以如同圖的(b)中箭頭所示，將該探針卡6'從溫調(diào) 臺車20移載到臺車10的搬送機構11上。
接著，當操作員通過臺車10的搬送機構11將探針卡6'搬入探測 室2內(nèi)時，探針卡6'在探測室2內(nèi)自動安裝在規(guī)定的場所。此時，因 為探針卡6'已經(jīng)被加熱至高溫檢査所要求的溫度，所以能夠立刻開始 晶片的高溫檢查。在此期間，取出探針卡6'而變空的收納箱60立于 裝載室1的側面。使從檢査裝置取出的探針卡6通過溫調(diào)臺車20返回 保管場所。而且，因為臺車10具有搬送機構11，所以僅在將探針卡6 '搬入搬出探測室2時使用。
根據(jù)以上說明的本實施方式，在搬送進行高溫檢查的檢查裝置中 使用的探針卡6'時，使用包括裝卸自由地安裝探針卡6'的臺座21A、 和將安裝在該臺座21A上的探針卡6'加熱至晶片的檢查所要求的規(guī) 定的溫度的溫度調(diào)節(jié)機構22的溫調(diào)臺車20，將探針卡6'搬送至檢査 裝置，所以探針卡6'在安裝于檢查裝置之前已被加熱至晶片的高溫檢 査所要求的溫度，因此，只要將探針卡6'安裝在檢査裝置內(nèi)，不需要
像現(xiàn)有技術那樣對探針卡進行預熱就能夠立刻進行檢查，省略了預熱 所需的時間，能夠縮短晶片的檢查時間，從而能夠提高檢查的通過量。 此外，根據(jù)本實施方式，因為溫度調(diào)節(jié)機構22具有檢測被加熱的
探針卡6'的溫度的溫度傳感器，所以能夠可靠地檢測出探針卡6'為 檢査所要求的溫度。進一步，因為溫度調(diào)節(jié)機構22具有根據(jù)溫度傳感 器的檢測值對探針卡6'已達到規(guī)定的溫度的情況進行通知的通知單 元，所以能夠可靠地得知探針卡6'已被預熱的情況，能夠迅速地安裝 探針卡6'，有助于進一步縮短檢查時間。此外，因為在溫調(diào)臺車20 的臺車主體21的上面形成有與臺座21A鄰接的載置部21B，所以在更 換探針卡6'的情況下，能夠將使用后的探針卡6從檢查裝置中移載并 暫時安置在載置部21B上。
此外，例如圖5 (a)、 (b)所示，本發(fā)明的溫調(diào)臺車也能夠省略暫 時載置探針卡6'的載置部。如同圖的(a)、 (b)所示，本實施方式的 溫調(diào)臺車20A，在臺車主體21上僅設置有臺座21A，在臺車主體21 的內(nèi)部設置有溫度調(diào)節(jié)機構22和供電裝置23。因為該溫調(diào)臺車20A 在臺車主體21上沒有載置部，所以不能夠將從檢査裝置取出的探針卡 6暫時安置在臺車主體21上，在此之外具有與圖1的(a)、 (b)所示 的溫調(diào)臺車20相同的功能。
而且，本發(fā)明不受上述實施方式的任何限制，能夠根據(jù)需要適當 變更各構成要素。例如在上述實施方式中對被檢查體的高溫檢查進行 了說明，但同樣也能夠適用于被檢査體的低溫檢査。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明能夠應用于進行晶片等的被檢査體的電特性檢查的檢査裝置中。
權利要求
1.一種探針卡用臺車，其搬送在進行高溫檢查或低溫檢查的檢查裝置中使用的探針卡，其特征在于，包括裝卸自由地安裝所述探針卡的臺座；和將安裝在該臺座上的所述探針卡加熱或冷卻至所述被檢查體的檢查所要求的規(guī)定的溫度的溫度調(diào)節(jié)機構。
2. 如權利要求l所述的探針卡用臺車，其特征在于 所述溫度調(diào)節(jié)機構具有檢測所述探針卡的溫度的溫度傳感器。
3. 如權利要求2所述的探針卡用臺車，其特征在于 所述溫度調(diào)節(jié)機構具有根據(jù)所述溫度傳感器的檢測值對所述探針卡已達到規(guī)定的溫度的情況進行通知的通知單元。
4. 如權利要求1 權利要求3中任一項所述的探針卡用臺車，其特征在于在所述臺座上鄰接形成有載置其他探針卡的載置部。
5. —種探針卡的操作方法，是在進行高溫檢查或低溫檢查的檢查 裝置上裝卸探針卡時的探針卡的操作方法，其特征在于，包括將所述探針卡安裝在臺車的臺座上的工序；將安裝在所述臺座上的所述探針卡通過所述臺車內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)機構加熱或冷卻至所述高溫檢査或低溫檢査所要求的規(guī)定的溫度的工序；和將調(diào)整到所述規(guī)定的 溫度的所述探針卡安裝在所述檢查裝置上的工序。
6. 如權利要求5所述的探針卡的操作方法，其特征在于，包括在將所述探針卡安裝在所述檢查裝置上之前，卸下所述檢查裝置 內(nèi)的其他探針卡的工序。
7. 如權利要求5或權利要求6所述的探針卡的操作方法，其特征在于，包括 對所述探針卡已達到規(guī)定的溫度的情況進行通知的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種探針卡用臺車和使用該臺車的探針卡的操作方法，在檢查裝置上安裝探針卡之后，不需要預熱，能夠縮短對應于預熱時間的檢查時間。本發(fā)明的探針卡用臺車(20)在搬送進行高溫檢查或低溫檢查的檢查裝置中使用的探針卡(6′)時使用，包括裝卸自由地安裝探針卡(6′)的臺座(21A)；和將安裝在該臺座(21A)上的探針卡(6′)加熱至晶片的檢查所要求的規(guī)定的溫度(例如100℃)的溫度調(diào)節(jié)機構(22)。
文檔編號G01R31/26GK101354428SQ20081008698
公開日2009年1月28日 申請日期2008年4月3日 優(yōu)先權日2007年7月25日
發(fā)明者長坂旨俊 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社