技術(shù)編號：5837715
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在進(jìn)行高溫檢查或低溫檢査的檢査裝置上裝卸探針卡 時使用的探針卡用臺車，更詳細(xì)地說，涉及能夠在將用臺車搬送的探 針卡安裝在檢查裝置上之后，立刻進(jìn)行晶片等的被檢查體的高溫檢查 或低溫檢查，而且能夠縮短被檢査體的檢查時間的探針卡用臺車和使 用該臺車的探針卡的操作方法。背景技術(shù)在進(jìn)行晶片等的被檢査體(以下以"晶片"代表)的高溫檢查或低溫檢査的情況下，使用設(shè)置有探針卡的檢查裝置。例如圖6所示， 該檢查裝置具有相互鄰接的裝載室1和探測室2。如圖6所示，裝載室...
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