專利名稱：探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種探針卡，更具體地講，涉及一種包括與 用于半導(dǎo)體裝置的傳導(dǎo)墊接觸的探針的探針卡。
背景技術(shù)：
通常通過(guò)一系列的單元工藝(例如，加工工藝(fab process )、電芯片分 類(electrical die sorting, EDS)工藝和封裝工藝)來(lái)制造半導(dǎo)體裝置。在加 工工藝中,在半導(dǎo)體基底(例如，硅晶片)上裝配各種電路和裝置，在EDS 工藝中，檢查電路的電學(xué)特性并檢測(cè)晶片中有缺陷的芯片。然后，將所述裝 置與晶片單獨(dú)分開，在封裝工藝中，將每個(gè)裝置密封在環(huán)氧樹脂中并封裝成單獨(dú)的半導(dǎo)體裝置?？赏ㄟ^(guò)檢查工具(例如，探針卡)來(lái)執(zhí)行用于檢測(cè)半導(dǎo)體裝置中有缺陷 的芯片的EDS工藝。探針卡的多個(gè)探針與半導(dǎo)體裝置接觸，并且電信號(hào)被施 加到探針卡，通過(guò)探針檢測(cè)關(guān)于電信號(hào)的響應(yīng)信號(hào)，從而檢測(cè)半導(dǎo)體裝置的 有缺陷的芯片。探針卡通常包括具有電路圖案的第一結(jié)構(gòu)、在其底表面上具 有多個(gè)探針的第二結(jié)構(gòu)以及用于將電路圖案和所述探針電連接的連接器。當(dāng)前，探針卡的尺寸具有隨著晶片尺寸的增加而增加的趨勢(shì)。但是，探 針卡的大尺寸會(huì)引起第二基底結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，由于第二基底結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)而使第 二基底結(jié)構(gòu)的探針可能不會(huì)分布在同一平面上。因此，會(huì)出現(xiàn)探針和半導(dǎo)體 裝置的傳導(dǎo)墊的接觸失敗，從而使探針卡的可靠性變差。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明提供了 一種用于防止基底結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)并改善基底結(jié)構(gòu)的水 平面的探針卡。根據(jù)本發(fā)明的各方面，提供了一種探針卡，該探針卡包括第一基底結(jié) 構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電路圖案；第二基 底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸。第二基底結(jié)構(gòu)包括分別連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔的多個(gè)通孔、位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的多個(gè)螺釘孔和位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多個(gè)探針。探針卡還包括柔性連接介質(zhì)，該柔性連接介質(zhì)通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)支撐螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合 到第二基底結(jié)構(gòu)的所述螺釘孔，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)壓緊 螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓住第二基底結(jié)構(gòu)，從而控 制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。在示例性實(shí)施例中，所述支撐螺釘和所述壓緊螺釘彼此代替。 在示例性實(shí)施例中，該探針卡還可包括中央螺釘，所述中央螺釘穿透第 一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的中央部分，從而控制第二基底 結(jié)構(gòu)的水平面。在示例性實(shí)施例中，第二基底結(jié)構(gòu)包括基底，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表 面接觸，并且包括分別連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔的多個(gè)第二通孔；多 個(gè)引導(dǎo)桿，結(jié)合到所述基底的下表面，并包括分別連接到所述基底的第二通 孔的多個(gè)第三通孔；多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，所述引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)結(jié)合到所述引導(dǎo)桿 的每個(gè)，并且包括多個(gè)第四通孔，從而每個(gè)探針通過(guò)第四通孔被結(jié)合到每個(gè) 引導(dǎo)構(gòu)件，第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔包括所述第二通孔和所述第三通孔。每 個(gè)引導(dǎo)桿通過(guò)至少一個(gè)結(jié)合螺釘被結(jié)合到所述基底。多個(gè)結(jié)合螺釘沿著所述 引導(dǎo)桿的邊緣部分布置，從而所述引導(dǎo)桿可被防止向下下垂。在示例性實(shí)施例中，所述探針卡還可包括下輔助板，結(jié)合到第一基底 結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基底結(jié)構(gòu)位于所述第六通孔中；多 個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，從而支撐第 二基底結(jié)構(gòu)。所述彈性構(gòu)件可包括片簧。在示例性實(shí)施例中，所述探針卡還可包括多個(gè)邊緣螺釘，穿透第一基 底結(jié)構(gòu)，并將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分，從而控制第二基底結(jié)構(gòu) 的水平面；多個(gè)支撐件，與所述邊緣螺釘和第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分接觸， 并將由邊緣螺釘引起的壓力傳遞到第二基底結(jié)構(gòu)。所述支撐件可呈球形。所 述探針卡還可包括多個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件，所述增強(qiáng)構(gòu)件介于所述支撐件與第二基底 結(jié)構(gòu)的上表面的邊緣部分之間，并且具有比第二基底結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度大的強(qiáng)度。 所述增強(qiáng)構(gòu)件可插入到第二基底結(jié)構(gòu)中，從而每個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件的頂表面與第二 基底結(jié)構(gòu)的上表面共面。在示例性實(shí)施例中，所述探針卡還可包括上輔助板，所述上輔助板以其 下表面與第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu)造結(jié)合到第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面， 從而在上輔助板和第 一基底結(jié)構(gòu)之間留出保持空間，并使第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案位于保持空間中。上輔助板可包括主體，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面，并且包括第五通孔，第一基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案通過(guò)所述第五通孔被暴露；帽，以第五通孔被帽遮蓋的構(gòu)造結(jié)合到主體，以 使所述通孔的內(nèi)部轉(zhuǎn)變成保持空間。第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板通過(guò)從第一基 底結(jié)構(gòu)的下表面穿透第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的第一螺釘而彼此結(jié)合，并且 第一基底結(jié)構(gòu)和下輔助板通過(guò)從下輔助板的下表面穿透下輔助板、第一基底 結(jié)構(gòu)和上輔助板的第二螺釘而彼此結(jié)合。所述探針卡還可包括絕緣膜，所述 絕緣膜位于第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面上，從而防止熱傳遞到第一基底 結(jié)構(gòu)上。所述探針卡還可包括多個(gè)插入構(gòu)件，所述多個(gè)插入構(gòu)件以其從第一 基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面突出的構(gòu)造穿透第一基底結(jié)構(gòu)，從而第一基底結(jié) 構(gòu)分別與上輔助板、下輔助板和第二基底結(jié)構(gòu)隔開。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種探針卡，該探針卡包括第一基底 結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電路圖案；第二 基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸。第二基底結(jié)構(gòu)包括分別連接到第 一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔的多個(gè)通孔和位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多個(gè)探 針。該探針卡還包括上輔助板，以其下表面與第一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開 的構(gòu)造結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面，從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間 留出保持空間，并使第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案位于保持空間中； 下輔助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基底結(jié) 構(gòu)位于所述第六通孔中；多個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu) 的下表面接觸，從而支撐第二基底結(jié)構(gòu)；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu) 的第 一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)邊緣 螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)，并將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分，從而 控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐件，與所述邊緣螺釘和第二基底結(jié)構(gòu) 的邊緣部分接觸，并將由邊緣螺釘引起的壓力傳遞到第二基底結(jié)構(gòu)。在示例性實(shí)施例中，該探針卡還可包括中央螺釘，所述中央螺釘穿透上 輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)并結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的中央部分，從而控制第二基 底結(jié)構(gòu)的水平面。所述探針卡還可包括多個(gè)支撐螺釘，穿透上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)， 并選擇性地結(jié)合到位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的中央部分與外圍部分之間的 多個(gè)螺釘孔；多個(gè)壓緊螺釘，穿透上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞 螺釘孔壓住第二基底結(jié)構(gòu)，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。所述支撐螺釘 和所述壓緊螺釘彼此代替。在示例性實(shí)施例中，所述彈性構(gòu)件包括片簧，并且所述支撐件呈球狀。在示例性實(shí)施例中，所述上輔助板包括主體，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的 上表面，并且包括第五通孔，第一基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案通過(guò)所述 第五通孔被暴露；帽，以第五通孔被帽遮蓋的構(gòu)造結(jié)合到主體，以使所述通 孔的內(nèi)部轉(zhuǎn)變成保持空間。在示例性實(shí)施例中，所述第二基底結(jié)構(gòu)包括基底，與第一基底結(jié)構(gòu)的 下表面接觸，并且包括分別連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔的多個(gè)第二通孔； 多個(gè)引導(dǎo)桿，結(jié)合到所述基底的下表面，并包括分別連接到所述基底的第二 通孔的多個(gè)第三通孔；多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，所述引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)結(jié)合到所述引導(dǎo) 桿的每個(gè)，并且包括多個(gè)第四通孔，從而每個(gè)探針通過(guò)第四通孔被結(jié)合到每 個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔包括所述第二通孔和所述第三通孔。 每個(gè)引導(dǎo)桿通過(guò)至少一個(gè)結(jié)合螺釘被結(jié)合到所述基底，多個(gè)結(jié)合螺釘沿著所 述引導(dǎo)桿的邊緣部分布置，從而所述引導(dǎo)桿可^f皮防止向下下垂。在示例性實(shí)施例中，所述探針卡還可包括多個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件，所述增強(qiáng)構(gòu)件 介于所述支撐件與第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的邊緣部分之間，并且具有比第二 基底結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度大的強(qiáng)度。所述增強(qiáng)構(gòu)件插入到第二基底結(jié)構(gòu)中，使得每個(gè) 增強(qiáng)構(gòu)件的頂表面與第二基底結(jié)構(gòu)的上表面共面。在示例性實(shí)施例中，第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板通過(guò)從第一基底結(jié)構(gòu)的下 表面穿透第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的螺釘而彼此結(jié)合。在示例性實(shí)施例中，第一基底結(jié)構(gòu)和下輔助板通過(guò)從下輔助板的下表面 穿透下輔助板、第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的螺釘而彼此結(jié)合。在示例性實(shí)施例中，所述探針卡還可包括絕緣膜，所述絕緣膜位于第一 基底結(jié)詢的上表面和下表面上，從而防止熱傳遞到第一基底結(jié)構(gòu)上。在示例性實(shí)施例中，所述探針卡還可包括多個(gè)插入構(gòu)件，所述多個(gè)插入 構(gòu)件以其從第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面突出的構(gòu)造穿透第一基底結(jié)構(gòu)，從而第一基底結(jié)構(gòu)分別與上輔助板、下輔助板和第二基底結(jié)構(gòu)隔開。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種探針卡，該探針卡包括第一基底 結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電路圖案；第二 基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸。第二基底結(jié)構(gòu)包括分別連接到第 一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔的多個(gè)通孔、位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的多個(gè)螺釘 孔和位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多個(gè)探針。該探針卡還包括上輔助板， 以其下表面與第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu)造結(jié)合到第 一基底結(jié)構(gòu)的上表 面，從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間留出保持空間，并使第一基底結(jié)構(gòu) 的上表面上的電路圖案位于保持空間中；下輔助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的 下表面，并且包括第六通孔，第二基底結(jié)構(gòu)位于所述第六通孔中；多個(gè)彈性 構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，從而支撐第二基底 結(jié)構(gòu)；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述 通孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)支撐螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性 地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的所述螺釘孔，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多 個(gè)壓緊螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓住第二基底結(jié)構(gòu)， 從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種探針卡，該探針卡包括第一基底 結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電路圖案；第二 基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸。第二基底結(jié)構(gòu)包括分別連接到第 一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔的多個(gè)通孔、位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的中央部分 與外圍部分之間的多個(gè)螺釘孔以及位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多個(gè)探針。 該探針卡還包括上輔助板，以其下表面與第一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu) 造結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面，從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間留出 保持空間，并使第一基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案位于保持空間中；下輔 助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基底結(jié)構(gòu)位 于所述第六通孔中；多個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下 表面接觸，從而支撐第二基底結(jié)構(gòu)；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)邊緣螺釘， 穿透第一基底結(jié)構(gòu)，并將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分，從而控制第 二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐件，與所述邊緣螺釘和第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣 部分接觸，并將由邊緣螺釘引起的壓力傳遞到第二基底結(jié)構(gòu)；中央螺釘，所 述中央螺釘穿透上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)并結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的中央部分，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的所述螺釘孔，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)壓緊螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓住第二基底 結(jié)構(gòu)，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種探針卡，該探針卡包括第一基底 結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，位于第一基底結(jié)構(gòu)之下；多個(gè)柔性連接介質(zhì)，通過(guò)所述第二通孔 和第三通孔電連接到電路圖案和所述探針。第二基底結(jié)構(gòu)可包括與第一基底 結(jié)構(gòu)的下表面接觸的基底，并包括分別連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔的多 個(gè)第二通孔和結(jié)合到所述基底的下表面的多個(gè)引導(dǎo)桿，第二基底結(jié)構(gòu)包括分 別連接到所述基底的第二通孔的多個(gè)第三通孔以及多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，所述多個(gè) 引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)結(jié)合到所述引導(dǎo)桿的每個(gè)，并且所述多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件包括多個(gè) 第四通孔，從而所述探針的每個(gè)通過(guò)第四通孔結(jié)合到所述引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)， 第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔包括所述第二通孔和所迷第三通孔。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，探針卡包括用于調(diào)節(jié)基底的水平面的多個(gè) 螺釘，從而探針卡的基底的水平面分別通過(guò)位于所述基底的外圍部分、中央 部分和中間部分的螺釘被控制，從而改善水平面控制的精度。


通過(guò)下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將 會(huì)變得清楚，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的探針卡的結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖2是示出圖1中的探針卡的分解剖視圖；圖3是示出圖1中的探針卡的第二基底結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖4是示出圖3中所示的第二基底的引導(dǎo)桿的仰視圖；圖5是示出圖1中所示的探針卡的邊緣螺釘(edge bolt)的剖視圖；圖6是示出圖1中所示的探針卡的中央螺釘(centerbolt)的剖視圖；圖7是示出圖1中所示的探針卡的支撐螺釘?shù)钠室晥D；圖8是示出圖1中所示的探針卡的壓緊螺釘(pressing bolt)的剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下，將參照附圖更加全面地描述本發(fā)明，本發(fā)明的示例示出在附圖中。 然而，本發(fā)明可以以多種不同的形式來(lái)實(shí)施，不應(yīng)該被理解為局限于在此闡 述的實(shí)施例。更為確切的是，提供這些實(shí)施例以使本發(fā)明的公開將是徹底和 完全的，并將本發(fā)明的范圍完全地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。在附圖中，為 了清晰起見，會(huì)夸大層和區(qū)域的尺寸和相對(duì)尺寸。應(yīng)該理解的是，當(dāng)元件或?qū)颖环Q作在另一元件或?qū)?上"，或者被稱作"連 接到"或"結(jié)合到"另一元件或?qū)訒r(shí)，該元件或?qū)涌梢灾苯釉诹硪辉驅(qū)?上，或直接連接或結(jié)合到另一元件或?qū)?，或者也可以存在中間元件或中間層。 相反，當(dāng)元件被稱作"直接"在另一元件"上"或"直接連接到"或者"直 接結(jié)合到"另一元件或?qū)訒r(shí)，不存在中間元件或中間層。相同的標(biāo)號(hào)將始終 指示相同的元件。如在這里使用的，術(shù)語(yǔ)"和/或"包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)所列 的項(xiàng)目的任意組合和所有組合。應(yīng)該理解的是，盡管在這里可使用術(shù)語(yǔ)"第一"、"第二"、"第三"等來(lái) 描述不同的元件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區(qū)域、 層和/或部分并不受這些術(shù)語(yǔ)的限制。這些術(shù)語(yǔ)僅是用來(lái)將一個(gè)元件、組件、 區(qū)域、層和/或部分與另一個(gè)元件、組件、區(qū)域、層和/或部分區(qū)分開來(lái)。因此， 在不脫離本發(fā)明的教導(dǎo)的情況下，下面討論的第一元件、第一組件、第一區(qū) 域、第一層或第一部分可被命名為第二元件、第二組件、第二區(qū)域、第二層 或第二部分。在這里可4吏用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，如"之下"、"在…下方"、"下面的"、"之 上"和"上面的"等，用來(lái)簡(jiǎn)單地描述如圖中所示的一個(gè)元件或特征與其它 元件或特征的關(guān)系。應(yīng)該理解的是，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)意在包含除了在附圖中描 述的方位之外的裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果在附圖中裝置 被翻轉(zhuǎn)，則描述為其它元件或特征"之下"或"在"其它元件或特征"下方" 的元件隨后將被定位為其它元件或特征"之上"。因此，示例性術(shù)語(yǔ)"下面的" 可包括上方和下方兩種方位。所述裝置可被另外定位(旋轉(zhuǎn)卯度或者在其它 方位)，相應(yīng)地解釋這里使用的空間相對(duì)描述用語(yǔ)。這里使用的術(shù)語(yǔ)僅為了描述特定實(shí)施例的目的，而不意圖限制本發(fā)明。 如這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù) 形式。還將理解的是，當(dāng)在本說(shuō)明書中使用術(shù)語(yǔ)"包含"和/或"包括"時(shí)， 說(shuō)明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或附加一個(gè)或多個(gè)其它特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或其組合。在此參照作為本發(fā)明的理想實(shí)施例(和中間結(jié)構(gòu))的示例性示例的剖視圖 來(lái)描述本發(fā)明的實(shí)施例。這樣，預(yù)計(jì)會(huì)出現(xiàn)例如由制造技術(shù)和/或公差的變化 引起的示例的形狀變化。因此，本發(fā)明的實(shí)施例不應(yīng)該被理解為限制于在此 示出的區(qū)域的具體形狀，而應(yīng)該包括例如由制造導(dǎo)致的形狀偏差。例如，示 出為矩形的注入?yún)^(qū)域在其邊緣通常具有倒圓或彎曲的特征和/或注入濃度的 梯度，而不是從注入?yún)^(qū)域到非注入?yún)^(qū)域的二元變化。同樣地，通過(guò)注入形成 的掩埋區(qū)域可導(dǎo)致在掩模區(qū)域和通過(guò)其發(fā)生注入的表面之間的區(qū)域中出現(xiàn)一 定程度的注入。因此，在圖中示出的區(qū)域?qū)嶋H上是示意性的，它們的形狀并 不意圖示出裝置的區(qū)域的實(shí)際形狀，也不意圖限制本發(fā)明的范圍。有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所通常理解的意思相同的意思。將進(jìn)一 步理解，除非這里明確定義，否則術(shù)語(yǔ)(例如在通用的字典中定義的術(shù)語(yǔ))應(yīng)該 被解釋為具有與相關(guān)領(lǐng)域的上下文中它們的意思相同的意思，而不是理想地 或者過(guò)于正式地解釋它們的意思。圖1是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的探針卡的結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖2是示 出圖1中的探針卡的分解剖視圖。參照?qǐng)D1和圖2,根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的探針卡100可包括第一 基底結(jié)構(gòu)110、第二基底結(jié)構(gòu)120、上輔助板130和下輔助板140、彈性構(gòu)件 150、柔性連接介質(zhì)160、多個(gè)邊緣螺釘170、多個(gè)支撐件172、中央螺釘174、 多個(gè)支撐螺釘176、多個(gè)壓緊螺釘178、結(jié)合螺釘180、 182和184、絕緣膜 190以及插入構(gòu)件192。第一基底結(jié)構(gòu)IIO可包括第一基底112和連接件114。 第一基底結(jié)構(gòu)110形成為盤狀，并且包括多個(gè)第一通孔116。電路圖案 形成在第一基底結(jié)構(gòu)110的上表面上。多個(gè)連接件114分別位于第一基底112 的上表面上，與第一通孔116相鄰。連接件114電連接到電路圖案。電連接到測(cè)試頭的頂針(pogo pin)的連接端子沿著第 一基底112的上表 面的邊緣部分布置，并且電連接到電路圖案。圖3是示出圖1中的探針卡的第二基底結(jié)構(gòu)的剖視圖。 參照?qǐng)D3,第二基底結(jié)構(gòu)120可位于第一基底結(jié)構(gòu)110的下表面上。在 示例性的實(shí)施例中，第二基底結(jié)構(gòu)120可包括第二基底121、多個(gè)引導(dǎo)桿122、多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件123和多個(gè)探針124。第二基底121形成為板狀，并且位于第一基底112的下表面。第二基底 121可包括分別與第一通孔116對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二通孔126。每個(gè)第二通孔126 連接到對(duì)應(yīng)的第一通孔116。第二基底121可包括在其上表面的中央部分和 外圍部分之間的多個(gè)螺釘孔129。所述多個(gè)螺釘孔129相對(duì)于第二基底121 的上表面的中央部分可布置成圓形或者發(fā)射狀。第二基底121可包含陶瓷成 分或者鐵合金。鐵合金的示例可包括作為因瓦合金而公知的鐵-鎳(Fe-Ni)合 金、作為超因瓦低膨脹系數(shù)合金(supper invar )而公知的鐵-鎳-鈷(Fe-Ni-Co ) 合金、作為不銹因瓦合金(stainless invar)而公知的鐵-鈷-鉻(Fe- Co -Cr )合 金以及鐵-鉛(Fe-Pb)合金。圖4是示出圖3中所示的第二基底的引導(dǎo)桿的仰視圖。參照?qǐng)D4,每個(gè)引導(dǎo)桿122形成為桿狀，并且在第二基底121的下表面 上彼此隔開一定距離。每個(gè)引導(dǎo)桿122可包括多個(gè)第三通孔127而不是一個(gè) 長(zhǎng)孔，以使引導(dǎo)桿122可以充分地防止由于熱而產(chǎn)生的變形。第三通孔127 連接到第二通孔126。引導(dǎo)桿122通過(guò)第一結(jié)合螺釘180結(jié)合到第二基底121。在本實(shí)施例中， 每個(gè)引導(dǎo)桿122形成為長(zhǎng)條形狀并且可被容易地彎曲，以使多個(gè)第一結(jié)合螺 釘180沿著引導(dǎo)桿122的邊緣部分布置，從而防止引導(dǎo)桿122偏轉(zhuǎn)。引導(dǎo)桿122可包括熱膨脹系數(shù)達(dá)到大約零的材料，例如鐵合金。鐵合金 的示例可包括鐵-鎳(Fe-Ni)合金、或者包含大約63.5 %的鐵(Fe )和大約 36.5 %的鎳(Ni)的因瓦合金、鐵-鎳-鈷(Fe-Ni-Co)合金、或者包含大約63 %的鐵(Fe )、大約32 %的鎳(Ni)以及大約5 %的鈷(Co )的超因瓦低膨脹 系數(shù)合金、鐵-鈷-鉻(Fe-Co-Cr)合金、或者包含大約36.5 %的鐵(Fe )、大 約9.5 %的鉻(Ni)以及大約54%的鈷(Co)的不銹因瓦合金以及包含大約 57%的鐵(Fe)和大約43%的鉛(Pb )的鐵-鉛(Fe-Pb )合金。引導(dǎo)構(gòu)件123可呈板狀并且可包括第四通孔128。第四通孔128的數(shù)量 和間距與將被檢查的半導(dǎo)體裝置的傳導(dǎo)墊的數(shù)量和間距相同。第四通孔128 可以按照一對(duì)第四通孔128彼此面對(duì)或者彼此交替的方式進(jìn)行布置。在示例 性實(shí)施例中，引導(dǎo)構(gòu)件123可包括含有硅(Si)的材料。每個(gè)探針124與半導(dǎo)體裝置的傳導(dǎo)墊直接接觸，并且電信號(hào)可在探針卡 100和半導(dǎo)體裝置之間通過(guò)探針124進(jìn)行通信。臺(tái)階部分形成在每個(gè)探針124的上部，并且向下插入到每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件123的每個(gè)第四通孔128中。每個(gè)探 針124的臺(tái)階部分可橫放在每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件123上的每個(gè)第四通孔128的外圍 部分，從而每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件123可支撐探針124。粘合劑(例如，環(huán)氧樹脂) 可被插入每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件123和每個(gè)探針124的臺(tái)階部分之間。端子從每個(gè)探 針124向上突出，并且位于與每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件123的中心相鄰的位置。探針124可通過(guò)對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員公知的各種修改的固定方法 和工具結(jié)合到引導(dǎo)構(gòu)件123。結(jié)合有探針124的引導(dǎo)構(gòu)件123可以按照將探針124插入到引導(dǎo)桿122 的第三通孔127中的構(gòu)造安裝在引導(dǎo)桿122的下表面。上輔助板130可包括主體132和帽134,并且可包含鋁或者鋁合金。主體132結(jié)合到第一基底112的上表面，并且包括第五通孔136,第一 基底112的連接件114通過(guò)該第五通孔136被暴露。主體132增強(qiáng)第一基底 112的上部的強(qiáng)度，從而防止第一基底112變形(例如，偏轉(zhuǎn)和扭轉(zhuǎn))。帽134可打開或者關(guān)閉第五通孔136。當(dāng)帽134結(jié)合到主體132上，并 且第五通孔136被帽124遮蓋時(shí)，在上輔助板130和第一基底112之間形成 保持空間138,以使連接件114從第一基底110突出并且位于保持空間138 中。因此，當(dāng)連接件114與柔性連接介質(zhì)160之間連4妻失敗時(shí)，帽134從主 體132上的分離足以修復(fù)所述連接失敗，因此，上輔助板130不需要從第一 基底結(jié)構(gòu)110上分離。第二結(jié)合螺釘182可將第一基底112和上輔助板130的主體132進(jìn)行結(jié) 合。在本實(shí)施例中，第二結(jié)合螺釘182穿透第一基底112并且旋入上輔助板 130的主體132中。下輔助板140形成為板狀，并且包括用于支持第二基底結(jié)構(gòu)120的第六 通孔142,從而下輔助板140形成為環(huán)狀板。在本實(shí)施例中，下輔助板140 可包含鐵-鎳(Fe-Ni)合金或者因瓦合金。下輔助板140支持第二基底結(jié)構(gòu) 120并被結(jié)合到第一基底112的下表面。尤其是，第二基底121位于下輔助 板140的第六通孔142中，從而第二基底結(jié)構(gòu)120的第二基底121的側(cè)壁被 下輔助板140包圍。下輔助板140的頂表面結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)110的第一 基底121的下表面。下輔助板140增強(qiáng)第一基底結(jié)構(gòu)110的下部的強(qiáng)度，從 而防止第一基底112變形(例如，偏轉(zhuǎn)或者扭轉(zhuǎn))。第三結(jié)合螺釘184可將第一基底121和下輔助板140進(jìn)行結(jié)合。在本實(shí)施例中，第三結(jié)合螺釘184穿透下輔助板140和第一基底121,并被向上旋 入到上輔助板130的主體132中。一對(duì)彈性構(gòu)件150固定到第六通孔142的側(cè)壁的下部，并彈性地支撐第 二基底121的下表面，尤其是，彈性地支撐第二基底121的下表面的邊緣部 分。彈性構(gòu)件150可包括彈簧構(gòu)件(例如，片簧)。彈性構(gòu)件150的彈力會(huì)引起第二基底121的變形。包括臺(tái)階部分的輔助 環(huán)(未顯示)還可位于下輔助板140和第二基底121之間，并且第二基底121 由輔助環(huán)的臺(tái)階部分輔助性地支撐。在本示例中，輔助環(huán)可具有比第二基底 121大的強(qiáng)度。下輔助板140的彈性構(gòu)件150還可支撐輔助環(huán)，從而對(duì)第二 基底121的支撐力通過(guò)輔助環(huán)被均勻地分布，而不會(huì)引起第二基底121的任 何變形。連接介質(zhì)160彈性地連接到每個(gè)探針124的端子并連接到第一基底結(jié)構(gòu) 110的連接件114。在本實(shí)施例中，連接介質(zhì)160通過(guò)焊接固定到每個(gè)探針124 的端子并固定到第一基底結(jié)構(gòu)IIO的連接件114。密封構(gòu)件還可被設(shè)置到本示 例性實(shí)施例的探針卡100，從而柔性連接介質(zhì)160與每個(gè)探針124的端子的 連接區(qū)域以及從引導(dǎo)構(gòu)件123突出的探針124從周圍被密封。密封構(gòu)件的示 例可包括環(huán)氧樹脂。連接介質(zhì)160可穿透第一基底112的第一通孔116、第二 基底121的第二通孔126和引導(dǎo)桿122的第三通孔127。連接介質(zhì)160可包 括柔性傳導(dǎo)構(gòu)件(例如，柔性印刷電路板，F(xiàn)PCB)。圖5是圖1中所示的探針卡的邊緣螺釘?shù)钠室晥D。參照?qǐng)D5,邊緣螺釘170可穿透上輔助板130的主體132和第 一基底112, 將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)120的第二基底121的邊緣部分。第二基底121 的水平面可通過(guò)邊緣螺釘170對(duì)由彈性構(gòu)件150支撐的第二基底121的壓力 來(lái)控制。支撐件172與第二基底121的邊緣部分接觸并支撐邊緣螺釘170。邊緣 螺釘170的壓力可通過(guò)支撐件172傳遞到第二基底121。支撐件172可具有球形。增強(qiáng)構(gòu)件125可介于支撐件172和第二基底121的上表面之間。在本實(shí) 施例中，增強(qiáng)構(gòu)件125可插入到第二基底121的上表面中，從而增強(qiáng)構(gòu)件125 的頂表面可與第二基底121的上表面共面。增強(qiáng)構(gòu)件125可具有比第二基底 121大的強(qiáng)度。這樣，可充分防止第二基底121被支撐件172傳遞的邊緣螺釘170的壓力損壞。圖6是示出圖1中所示的探針卡的中央螺釘?shù)钠室晥D。參照?qǐng)D6,中央螺釘174可穿透上輔助板130的帽134和第一基底121, 并可結(jié)合到第二基底121的上表面的中央部分。中央螺釘174可防止第二基 底121的上表面的中央部分向下偏轉(zhuǎn)，從而改善第二基底121的水平面。圖7是示出圖1中所示的探針卡的支撐螺釘?shù)钠室晥D，圖8是示出圖1 中所示的壓緊螺釘?shù)钠室晥D。參照?qǐng)D7和圖8，支撐螺釘176可穿透上輔助板130的帽134和第一基 底112，并與第二基底121的螺釘孔129結(jié)合。壓緊螺釘178可穿透上輔助 板130的帽134和第一基底112,并圍繞著螺釘孔129壓靠第二基底121。作 為示例性實(shí)施例，當(dāng)壓緊螺釘178的直徑大于螺釘孔129的直徑時(shí)，壓緊螺 釘178可壓住螺釘孔129的上部。相反，當(dāng)壓緊螺釘178的直徑小于螺釘孔 129的直徑時(shí)，壓緊螺釘178可壓住每個(gè)螺釘孔129的下部。此外，第二基 底121的與螺釘孔129相鄰的孔相鄰部分可具有比第二基底121的任何其它 部分大的強(qiáng)度，從而充分防止螺釘孔129和螺釘孔129中的螺紋由于壓緊螺 釘178而損壞。這樣，可通過(guò)支撐螺釘176和壓緊螺釘178來(lái)控制第二基底 121的水平面。支撐螺釘176和壓緊螺釘178可根據(jù)第二基底121的中央部分和外圍部 分的水平面而彼此替換。例如，當(dāng)?shù)诙?21向下下垂或者向下偏轉(zhuǎn)時(shí)， 支撐螺釘176可代替壓緊螺釘178使用。相反地，當(dāng)?shù)诙?21向上彎曲 時(shí)，壓緊螺釘178可代替支撐螺釘176使用。絕緣膜190位于第一基底112的上表面和下表面上。絕緣膜190可防止 半導(dǎo)體裝置中的熱被傳導(dǎo)到第一基底112。絕緣膜190可包括聚酰亞胺。因 此，可通過(guò)絕緣膜190來(lái)充分地防止第一基底112的熱變形。插入構(gòu)件192可形成為圓柱形并且穿透第一基底112,以使插入構(gòu)件192 可從第一基底112的上表面和下表面突出。因此，第一基底112可通過(guò)插入 構(gòu)件192與上輔助板130、下輔助板140和第二基底121隔開，從而充分地 防止從半導(dǎo)體裝置到第一基底結(jié)構(gòu)110的熱傳導(dǎo)。因此，可以通過(guò)插入構(gòu)件 192來(lái)充分地防止第一基底結(jié)構(gòu)110的熱變形。插入構(gòu)件192可形成為細(xì)長(zhǎng)的板狀，并且可介于第一基底112與上輔助 板130之間、第一基底112與下輔助板140之間以及第一基底112與第二基底121之間。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，探針卡包括多個(gè)螺釘，所述多個(gè)螺釘用于 調(diào)整基底的水平面，以使探針卡的基底的水平面分別通過(guò)基底的外圍以及中 央和中間部分的螺釘被控制，從而改善水平面控制的精確性?；椎耐鈬?分與探針卡的探針接觸，基底的中央部分與基底的中心相鄰?；椎闹虚g部 分的范圍在基底的外圍部分和中央部分之間。此外，探針卡可包括用于防止 結(jié)合到基底的引導(dǎo)桿的偏轉(zhuǎn)的多個(gè)結(jié)合螺釘。此外，探針卡還可包括用于防 止基底的熱變形的絕緣膜或者插入構(gòu)件。雖然已經(jīng)描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，但是應(yīng)該理解，本發(fā)明不限于 這些示例性實(shí)施例，可以在不脫離權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情 況下，由本領(lǐng)域技術(shù)人員進(jìn)行各種改變和修改。
權(quán)利要求
1、一種探針卡，包括第一基底結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，第二基底結(jié)構(gòu)包括分別連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔的多個(gè)通孔、位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的多個(gè)螺釘孔和位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多個(gè)探針；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)支撐螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的所述螺釘孔，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)壓緊螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓住第二基底結(jié)構(gòu)，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。
2、 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其中，所述支撐螺釘和所述壓緊螺釘彼 此代替。
3、 如權(quán)利要求1所述的探針卡，還包括中央螺釘，所述中央螺釘穿透第 一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的中央部分，從而控制第二基底 結(jié)構(gòu)的水平面。
4、 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其中，第二基底結(jié)構(gòu)包括基底，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，并且包括分別連接到第一基底結(jié) 構(gòu)的第一通孔的多個(gè)第二通孔；多個(gè)引導(dǎo)桿，結(jié)合到所述基底的下表面，并包括分別連接到所述基底的 第二通孔的多個(gè)第三通孔；多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，所述引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)結(jié)合到所述引導(dǎo)桿的每個(gè)，并且包 括多個(gè)第四通孔，從而每個(gè)探針通過(guò)第四通孔被結(jié)合到每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，第二 基底結(jié)構(gòu)的所述通孔包括所述第二通孔和所述第三通孔。
5、 如權(quán)利要求4所述的探針卡，其中，每個(gè)引導(dǎo)桿通過(guò)至少一個(gè)結(jié)合螺 釘被結(jié)合到所述基底。
6、 如權(quán)利要求5所述的探針卡，其中，多個(gè)結(jié)合螺釘沿著所述引導(dǎo)桿的 邊緣部分布置，從而所述引導(dǎo)桿被防止向下下垂。
7、 如權(quán)利要求1所述的探針卡，還包括下輔助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基 底結(jié)構(gòu)位于所述第六通孔中；多個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，從而 支撐第二基底結(jié)構(gòu)。
8、 如權(quán)利要求7所述的探針卡，其中，所述彈性構(gòu)件包括片簧。
9、 如權(quán)利要求7所述的探針卡，還包括多個(gè)邊緣螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)，并將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)的邊 緣部分，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐件，與所述邊緣螺釘和第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分接觸，并將由 邊緣螺釘引起的壓力傳遞到第二基底結(jié)構(gòu)。
10、 如權(quán)利要求9所述的探針卡，其中，所述支撐件呈球形。
11、 如權(quán)利要求9所述的探針卡，還包括多個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件，所述增強(qiáng)構(gòu)件 介于所述支撐件與第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的邊緣部分之間，并且具有比第二 基底結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度大的強(qiáng)度。
12、 如權(quán)利要求11所述的探針卡，其中，所述增強(qiáng)構(gòu)件插入到第二基底 結(jié)構(gòu)中，使得每個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件的頂表面與第二基底結(jié)構(gòu)的上表面共面。
13、 如權(quán)利要求7所述的纟笨針卡，還包括上輔助板，所述上輔助板以其 下表面與第一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu)造結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面， 從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間留出保持空間，并使第一基底結(jié)構(gòu)的上 表面上的電路圖案位于保持空間中。
14、 如權(quán)利要求13所述的探針卡，其中，上輔助板包括主體，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面，并且包括第五通孔，第一基底結(jié) 構(gòu)的上表面上的電路圖案通過(guò)所述第五通孔被暴露；巾冒，以第五通孔被所述帽遮蓋的構(gòu)造結(jié)合到主體，以使所述通孔的內(nèi)部 轉(zhuǎn)變成保持空間。
15、 如權(quán)利要求13所述的探針卡，其中，第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板通過(guò) 從第 一基底結(jié)構(gòu)的下表面穿透第 一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的第 一螺釘而彼此結(jié) 合，并且第一基底結(jié)構(gòu)和下輔助板通過(guò)從下輔助板的下表面穿透下輔助板、 第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的第二螺釘而彼此結(jié)合。
16、 如權(quán)利要求13所述的探針卡，還包括絕緣膜，所述絕緣膜位于第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面上，從而防止熱傳遞到第一基底結(jié)構(gòu)上。
17、 如權(quán)利要求13所述的探針卡，還包括多個(gè)插入構(gòu)件，所述多個(gè)插入 構(gòu)件以其從第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面突出的構(gòu)造穿透第一基底結(jié)構(gòu)， 從而第一基底結(jié)構(gòu)分別與上輔助板、下輔助板和第二基底結(jié)構(gòu)隔開。
18、 一種探針卡，包括第一基底結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電 路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，第二基底結(jié)構(gòu)包括分別 連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔的多個(gè)通孔和位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的 多個(gè)探針；上輔助板，以其下表面與第一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu)造結(jié)合到第一 基底結(jié)構(gòu)的上表面，從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間留出保持空間，并 使第 一 基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案位于保持空間中；下輔助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基底結(jié)構(gòu)位于所述第六通孔中；多個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，從而支撐第二基底結(jié)構(gòu)；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)邊緣螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)，并將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)的邊 緣部分，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐件，與所述邊緣螺釘和第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分接觸，并將由 邊緣螺釘引起的壓力傳遞到第二基底結(jié)構(gòu)。
19、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，還包括中央螺釘，所述中央螺釘穿透 上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)并地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的中央部分，從而控制第 二基底結(jié)構(gòu)的水平面。
20、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，還包括多個(gè)支撐螺釘，穿透上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)，并選擇性地結(jié)合到位于 第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的中央部分與外圍部分之間的多個(gè)螺釘孔；多個(gè)壓緊螺釘，穿透上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓 住第二基底結(jié)構(gòu)，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。
21、 如權(quán)利要求20所述的探針卡，其中，所述支撐螺釘和所述壓緊螺釘 彼此代替。
22、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，其中，所述彈性構(gòu)件包括片簧，并且 所述支撐件呈球狀。
23、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，其中，上輔助板包括主體，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面，并且包括第五通孔，第一基底結(jié) 構(gòu)的上表面上的電路圖案通過(guò)所述第五通孔被暴露；巾冒，以第五通孔被所述帽遮蓋的構(gòu)造結(jié)合到主體，以使所述通孔的內(nèi)部 轉(zhuǎn)變成保持空間。
24、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，其中，第二基底結(jié)構(gòu)包括基底，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，并且包括分別連接到第一基底結(jié) 構(gòu)的第 一通孔的多個(gè)第二通孔；多個(gè)引導(dǎo)桿，結(jié)合到所述基底的下表面，并包括分別連接到所述基底的 第二通孔的多個(gè)第三通孔；多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，所述引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)結(jié)合到所述引導(dǎo)桿的每個(gè)，并且包 括多個(gè)第四通孔，從而每個(gè)探針通過(guò)第四通孔被結(jié)合到每個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，第二 基底結(jié)構(gòu)的所述通孔包括所述第二通孔和所述第三通孔。
25、 如權(quán)利要求24所述的探針卡，其中，每個(gè)引導(dǎo)桿通過(guò)至少一個(gè)結(jié)合 螺釘被結(jié)合到所述基底。
26、 如權(quán)利要求25所述的探針卡，其中，多個(gè)結(jié)合螺釘沿著所述引導(dǎo)桿 的邊緣部分布置，從而所述引導(dǎo)桿被防止向下下垂。
27、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，還包括多個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件，所述增強(qiáng)構(gòu)件 介于所述支撐件與第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的邊緣部分之間，并且具有比第二 基底結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度大的強(qiáng)度。
28、 如權(quán)利要求27所述的探針卡，其中，所述增強(qiáng)構(gòu)件插入到第二基底 結(jié)構(gòu)中，使得每個(gè)增強(qiáng)構(gòu)件的頂表面與第二基底結(jié)構(gòu)的上表面共面。
29、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，其中，第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板通過(guò) 從第一基底結(jié)構(gòu)的下表面穿透第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的螺釘而彼此結(jié)合。
30、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，其中，第一基底結(jié)構(gòu)和下輔助板通過(guò) 從下輔助板的下表面穿透下輔助板、第一基底結(jié)構(gòu)和上輔助板的螺釘而彼此 結(jié)合。
31、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，還包括絕緣膜，所述絕緣膜位于第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面上，從而防止熱傳遞到第一基底結(jié)構(gòu)上。
32、 如權(quán)利要求18所述的探針卡，還包括多個(gè)插入構(gòu)件，所述多個(gè)插入 構(gòu)件以其從第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面突出的構(gòu)造穿透第一基底結(jié)構(gòu)， 從而第一基底結(jié)構(gòu)分別與上輔助板、下輔助板和第二基底結(jié)構(gòu)隔開。
33、 一種探針卡，包括第一基底結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電 路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，第二基底結(jié)構(gòu)包括分別 連接到第 一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔的多個(gè)通孔、位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的 多個(gè)螺釘孔和位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多個(gè)探針；上輔助板，以其下表面與第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu)造結(jié)合到第一 基底結(jié)構(gòu)的上表面，從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間留出保持空間，并 使第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案位于保持空間中；下輔助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基 底結(jié)構(gòu)位于所述第六通孔中；多個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，從而 支撐第二基底結(jié)構(gòu)；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第一基底結(jié)構(gòu)的第一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通 孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)支撐螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的所 述螺釘孔，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)壓緊螺釘，穿透第 一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓住第二基底 結(jié)構(gòu)，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。
34、 一種探針卡，包括第一基底結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電 路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，第二基底結(jié)構(gòu)包括分別 連接到第 一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔的多個(gè)通孔、位于第二基底結(jié)構(gòu)的上表面的 中央部分與外圍部分之間的多個(gè)螺釘孔以及位于第二基底結(jié)構(gòu)的下表面的多 個(gè)探針；上輔助板，以其下表面與第 一基底結(jié)構(gòu)的上表面隔開的構(gòu)造結(jié)合到第一 基底結(jié)構(gòu)的上表面，從而在上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)之間留出保持空間，并使第 一 基底結(jié)構(gòu)的上表面上的電路圖案位于保持空間中；下輔助板，結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的下表面，并且包括第六通孔，第二基底結(jié)構(gòu)位于所述第六通孔中；多個(gè)彈性構(gòu)件，固定到下輔助板并與第二基底結(jié)構(gòu)的下表面接觸，從而 支撐第二基底結(jié)構(gòu)；柔性連接介質(zhì)，通過(guò)第 一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔和第二基底結(jié)構(gòu)的所述通 孔電連接到電路圖案和探針；多個(gè)邊緣螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)，并將壓力施加到第二基底結(jié)構(gòu)的邊 緣部分，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐件，與所述邊緣螺釘和第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分接觸，并將由 邊緣螺釘引起的壓力傳遞到第二基底結(jié)構(gòu)；中央螺釘，所述中央螺釘穿透上輔助板和第一基底結(jié)構(gòu)并結(jié)合到第二基 底結(jié)構(gòu)的中央部分，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)支撐螺釘，穿透第 一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的所 述螺釘孔，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面；多個(gè)壓緊螺釘，穿透第一基底結(jié)構(gòu)并選擇性地圍繞螺釘孔壓住第二基底 結(jié)構(gòu)，從而控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。
35、 一種探針卡，包括第一基底結(jié)構(gòu)，具有在其中央部分的多個(gè)第一通孔和在其上表面上的電 路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，位于第一基底結(jié)構(gòu)之下，第二基底結(jié)構(gòu)包括與第一基底 結(jié)構(gòu)的下表面接觸的基底，并包括分別連接到第一基底結(jié)構(gòu)的第 一通孔的多 個(gè)第二通孔和結(jié)合到所述基底的下表面的多個(gè)引導(dǎo)桿，第二基底結(jié)構(gòu)包括分 別連接到所述基底的第二通孔的多個(gè)第三通孔以及多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件，所述多個(gè) 引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)結(jié)合到所述引導(dǎo)桿的每個(gè)，并且所述多個(gè)引導(dǎo)構(gòu)件包括多個(gè) 第四通孔，從而所述探針的每個(gè)通過(guò)第四通孔結(jié)合到所述引導(dǎo)構(gòu)件的每個(gè)， 第二基底結(jié)構(gòu)的所述通孔包括所述第二通孔和所述第三通孔；多個(gè)柔性連接介質(zhì)，通過(guò)所述第二通孔和第三通孔電連接到電路圖案和 所述探針。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種探針卡，該探針卡包括第一基底結(jié)構(gòu)，具有電路圖案；第二基底結(jié)構(gòu)，與第一基底結(jié)構(gòu)接觸，并具有多個(gè)探針。上輔助板和下輔助板分別結(jié)合到第一基底結(jié)構(gòu)的上表面和下表面。彈性構(gòu)件固定到下輔助板并支撐第二基底結(jié)構(gòu)。柔性連接介質(zhì)電連接到電路圖案和探針。邊緣螺釘和中央螺釘分別結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的邊緣部分和中央部分。支撐螺釘結(jié)合到第二基底結(jié)構(gòu)的螺釘孔，壓緊螺釘圍繞著螺釘孔壓住第二基底結(jié)構(gòu)。因此，可容易地控制第二基底結(jié)構(gòu)的水平面。
文檔編號(hào)G01R1/073GK101271126SQ200810086830
公開日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2008年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月19日
發(fā)明者樸雄紀(jì), 申詠佑 申請(qǐng)人:美高Tn株式會(huì)社