本發(fā)明涉及檢查端子單元、具有該檢查端子單元的探針卡(probe card)以及該檢查端子單元的制造方法。

背景技術(shù)：

以往，作為檢查端子單元，存在專利文獻1所述的檢查端子單元。該現(xiàn)有的檢查端子單元具有多個彈簧接觸元件，所述多個彈簧接觸元件在犧牲基板上進行制造，在位于該犧牲基板上的期間內(nèi)被安裝于電子元件的端子上。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1:日本特開2008-46139號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

然而，在所述現(xiàn)有的檢查端子單元中，由于通過銅焊、焊接或軟釬焊等方法將多個彈簧接觸元件固定于犧牲基板上，因此，彈簧接觸元件的定位精度產(chǎn)生偏差。此外，為了在確保彈簧接觸元件的定位精度的同時組裝檢查端子單元，除時間和勞動力外，還需要作業(yè)員熟練，因此生產(chǎn)性較低。

本發(fā)明鑒于所述問題，目的在于提供一種檢查針的定位精度較高且生產(chǎn)性較高的檢查端子單元。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的檢查端子單元的特征在于，所述檢查端子單元具有：至少2個檢查針，在它們的一端具有與被檢查元件接觸的接觸部，并且，在它們的另一端具有與基板連接的連接部；以及保持部，其將排列設(shè)置的所述至少2個檢查針保持成一體。

本發(fā)明的探針卡的特征在于，所述探針卡具有所述檢查端子單元。

本發(fā)明的檢查端子單元的制造方法的特征在于，按照相互不接觸地以任意的間距排列的位置關(guān)系通過電鑄法形成至少2個檢查針之后，在維持著所述位置關(guān)系的狀態(tài)下，利用具有絕緣性的保持部一體化。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的檢查端子單元，排列設(shè)置的至少2個檢查針由保持部保持成一體。因此，能夠?qū)⒍鄠€檢查針作為一體配置于基板上，能夠以較高的精度對檢查針進行定位。其結(jié)果是，能夠容易地組裝檢查端子單元，能夠提高檢查端子單元的生產(chǎn)性。

根據(jù)本發(fā)明的探針卡，能夠提供具有檢查針的定位精度較高且生產(chǎn)性較高的檢查端子單元的探針卡。

根據(jù)本發(fā)明的檢查端子單元的制造方法，能夠制造檢查針的定位精度較高且生產(chǎn)性較高的檢查端子單元。

附圖說明

圖1是示出將本發(fā)明的第1實施方式的檢查端子單元安裝于探針卡的基板上的狀態(tài)的立體圖。

圖2是圖1的檢查端子單元的俯視圖。

圖3是圖1的檢查端子單元的窄幅部側(cè)的端部的放大立體圖。

圖4是用于說明圖1的檢查端子單元的制造方法的截面示意圖。

圖5是示出圖1的檢查端子單元的窄幅部側(cè)端部的變形例的示意圖。

圖6是示出圖1的檢查端子單元的窄幅部側(cè)端部的變形例的另一示意圖。

圖7是示出圖1的檢查端子單元的寬幅部側(cè)端部的第1變形例的示意圖。

圖8是示出圖1的檢查端子單元的寬幅部側(cè)端部的第2變形例的示意圖。

圖9是示出圖1的檢查端子單元的寬幅部側(cè)端部的第3變形例的示意圖。

圖10是示出圖1的檢查端子單元的寬幅部側(cè)端部的第4變形例的示意圖。

圖11是示出圖1的檢查端子單元的寬幅部側(cè)端部的第5變形例的示意圖。

圖12是示出圖1的檢查端子單元的寬幅部側(cè)端部的第6變形例的示意圖。

圖13是示出本發(fā)明的第2實施方式的檢查端子單元的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

圖14是示出本發(fā)明的第3實施方式的檢查端子單元的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

圖15是示出本發(fā)明的第4實施方式的檢查端子單元的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

圖16是示出本發(fā)明的第5實施方式的檢查端子單元的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

圖17是示出本發(fā)明的第6實施方式的探針卡的俯視示意圖。

圖18是示出本發(fā)明的第7實施方式的探針卡的俯視示意圖。

具體實施方式

(第1實施方式)

[結(jié)構(gòu)]

圖1是示出將本發(fā)明的第1實施方式的檢查端子單元10安裝于探針卡1的基板3上的狀態(tài)的立體圖。此外，圖2是圖1的檢查端子單元10的俯視圖，圖3是圖1的檢查端子單元10的窄幅部側(cè)端部的放大立體圖。

如圖1～圖3所示，第1實施方式的檢查端子單元10具有多個檢查針20和保持該多個檢查針20的保持部30。檢查針20分別是通過電鑄法形成的，具有相互不接觸地以規(guī)定的間距排列的位置關(guān)系。

如圖1、圖2所示，檢查針20由窄幅部21、寬幅部22以及與窄幅部21和寬幅部22連續(xù)的中間部23構(gòu)成并形成為一體。窄幅部21和寬幅部22在同一方向上平行地延伸。

窄幅部21以與被檢查元件2的電極對應的寬度尺寸形成，在其自由端部具有作為突出連接的接觸部的一例的觸點24。如圖3所示，該觸點24構(gòu)成為在檢查針20的延伸方向上具有圓弧形狀并與被檢查元件2的電極接觸。

寬幅部22以與所述基板3的被連接部4對應的寬度尺寸形成，在其自由端部具有與基板3的被連接部4連接的連接部25。

保持部30是由絕緣性的材料構(gòu)成的，如圖3所示，被配置成覆蓋窄幅部21和中間部23的一面的一部分。通過該保持部30，檢查針20在以規(guī)定的間距排列設(shè)置的狀態(tài)下一體化。

在檢查端子單元10中，多個檢查針20被配置成：相鄰的窄幅部21的間隔是固定的，并且相鄰的寬幅部22的間隔大于相鄰的窄幅部21的間隔。檢查針20的窄幅部21的間距例如為0.1mm，寬幅部22的間距例如為0.5mm。

[制造方法]

圖4是用于說明圖1的檢查端子單元的制造方法的截面示意圖。

使用圖4對第1實施方式的檢查端子單元10的制造方法進行說明。

首先，在由導電性平板81和設(shè)置于該導電性平板81上的絕緣性部件82構(gòu)成的母型80上形成貫通絕緣性部件82而到達導電性平板81的多個腔83。該多個腔83具有與構(gòu)成檢查端子單元10的各檢查針20相同的形狀，相互不接觸地以規(guī)定的間距排列設(shè)置。

接下來，將母型80沉浸在電解槽中的電解液中。然后，與導電性平板81相對地配置電極(相對電極)，并對導電性平板81與相對電極之間施加電壓。由此，使電解液中的金屬電沉積于從腔83露出的導電性平板81。

當繼續(xù)對導電性平板81與相對電極之間施加電壓時，金屬朝向電壓施加方向?qū)臃e于導電性平板81上。然后，在金屬層到達規(guī)定位置的時刻，即形成期望的檢查針20的時刻，中止電壓施加。

接著，去除配置于所形成的檢查針20周圍的絕緣性部件82，利用與該絕緣性部件82相同的材料形成覆蓋檢查針20整個上表面(不與導電性平板81相接的面)的絕緣膜。然后，去除絕緣膜的不必要的部分而形成保持部30，從而完成檢查端子單元10的制造。

所述檢查端子單元10的排列設(shè)置的至少2個檢查針20由保持部30保持成一體。因此，能夠?qū)⒍鄠€檢查針20一體地配置于探針卡1的基板3上，能夠以較高的精度對檢查針20進行定位。其結(jié)果是，能夠容易地組裝檢查端子單元，能夠提高檢查端子單元10的生產(chǎn)性。

此外，通過使用電鑄法，能夠容易地得到檢查針的定位精度較高且生產(chǎn)性較高的檢查端子單元10。

[變形例]

圖5和圖6是示出圖1的檢查端子單元10的窄幅部21側(cè)端部的變形例的示意圖。此外，圖7～圖12是示出圖1的檢查端子單元10的窄幅部22側(cè)端部的變形例的示意圖。

即，在所述檢查端子單元10中，雖然以均勻的間距配置全部窄幅部21，但并不限于此。例如，如圖5所示，也可以以使窄幅部21的間隔各不相同的方式以隨機間距進行配置。由此，檢查端子單元10的設(shè)計自由度得到擴大，能夠應對各種被檢查元件。

此外，在所述檢查端子單元10中，將檢查針20設(shè)置成窄幅部21側(cè)的末端位于同一直線上，但并不限于此。例如，如圖6所示，也可以將檢查針20設(shè)置成在俯視時窄幅部21側(cè)的末端參差不齊。由此，檢查端子單元10的設(shè)計自由度得到擴大，能夠應對各種被檢查元件。

在所述檢查端子單元中，在全部的檢查針20上設(shè)置有作為接觸部的觸點24，但并不限于此。例如，也可以按照每個檢查針20而設(shè)置大小不同的觸點，也可以完全不設(shè)置觸點。

總之，只要是檢查端子單元10的窄幅部21側(cè)的端部能夠與被檢查元件的電極接觸的形狀和配置即可，可以根據(jù)檢查端子單元10的設(shè)計而采用任意的形狀和配置。

另一方面，如圖7所示，也可以設(shè)置覆蓋檢查針20的寬幅部22的保持部130。通過設(shè)置保持部130，能夠在維持著相互不接觸地以任意的間距排列的位置關(guān)系的狀態(tài)下使檢查針20可靠地一體化，能夠提高檢查端子單元10的尺寸精度。

此外，如圖8所示，也可以通過將保持部130的長度方向的兩端定位于設(shè)置在探針卡1的基板3上的定位部131并固定，對檢查端子單元10進行定位。由此，能夠提高檢查端子單元10的定位精度。

如圖9所示，也可以以使檢查端子單元10的寬幅部22側(cè)的末端參差不齊的方式來設(shè)置檢查針20。由此，檢查端子單元10的設(shè)計自由度得到擴大，能夠應對各種探針卡的基板。此外，通過使末端參差不齊，能夠增大連接部25的寬度尺寸。由此，圖2所示的與探針卡1的基板3之間的連接變得容易。

如圖10所示，也可以在檢查針20的連接部25的各個連接部設(shè)置孔40。例如，也可以在圖2所示的探針卡1的基板3的被連接部4設(shè)置與孔40對應的突起，通過使該突起與孔40嵌合而將檢查端子單元10固定于基板3。由此，能夠提高檢查端子單元10的定位精度。

如圖11所示，也可以在檢查針20的寬幅部22側(cè)的末端一體地形成搬送用的載體50。在該載體50與寬幅部22之間分別具有窄幅的切斷部51，通過切斷該切斷部51，能夠?qū)z查端子單元10分離。通過設(shè)置載體50，能夠在維持著相互不接觸地以任意的間距排列的位置關(guān)系的狀態(tài)下使檢查針20以較高的定位精度容易地一體化，并且能夠?qū)z查端子單元10定位于基板3上。因此，能夠防止產(chǎn)生檢查端子單元10的制造誤差，能夠提高定位精度。

如圖12所示，也可以在檢查針20的連接部25形成圓柱形狀的突起60。例如，也可以在圖2所示的探針卡1的基板3的被連接部4設(shè)置與突起60對應的孔(未圖示)，通過使突起60與孔嵌合而將檢查端子單元10固定于基板3。由此，能夠提高檢查端子單元10的定位精度。

另外，只要具有檢查端子單元10的寬幅部22側(cè)的端部能夠與設(shè)置于探針卡1的基板3上的被連接部4連接的形狀和配置即可，可以根據(jù)檢查端子單元10的設(shè)計而采用任意的形狀和配置。

檢查端子單元10只要具有至少2個檢查針20即可，可以根據(jù)檢查端子單元10的設(shè)計等而具有2個以上的檢查針20。

檢查針20不限于通過電鑄法而形成的情況，如果可能，也可以使用任意的方法而形成。

保持部30只要能夠保持全部的檢查針20并固定檢查針20即可，并不限于圖1～圖3所示的覆蓋窄幅部21和中間部23的一部分的平面形狀。保持部的形狀例如可以根據(jù)形成保持部的材料或檢查針的數(shù)量和大小來適當?shù)刈兏?/p>

(第2實施方式)

圖13是示出本發(fā)明的第2實施方式的檢查端子單元110的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

第2實施方式的檢查端子單元110是由保持部30使具有連接部125的多個檢查針120一體化而成的。如圖13的(B)所示，該連接部125具有大致U字狀的截面形狀。

另外，檢查針120除連接部125外，具有與第1實施方式的檢查針20大致相同的結(jié)構(gòu)。因此，對與第1實施方式相同的部分標注相同的標號并省略說明。

(第3實施方式)

圖14是示出本發(fā)明的第3實施方式的檢查端子單元210的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

第3實施方式的檢查端子單元210是交替地配置第1實施方式的檢查針20和檢查針220并由保持部30一體化而成的，其中，第1實施方式的檢查針20具有下方(圖14的(B)的下側(cè))突出設(shè)置有觸點24的窄幅部21，檢查針220具有上方(圖14的(B)的上側(cè))突出設(shè)置有觸點24的窄幅部221。

另外，檢查針220除窄幅部221外，具有與第1實施方式的檢查針20大致相同的結(jié)構(gòu)。因此，對與第1實施方式相同的部分標注相同的標號并省略說明。

(第4實施方式)

圖15是示出本發(fā)明的第4實施方式的檢查端子單元310的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

第4實施方式的檢查端子單元310是由保持部30使第1實施方式的檢查針20和檢查針320一體化而成的，其中，檢查針320具有長度比第1實施方式的檢查針20短的窄幅部321。在該檢查端子單元310中，以使窄幅部321側(cè)的端部參差不齊的方式來交替地配置檢查針20、320。如圖15的(B)所示，窄幅部321的觸點324形成得比窄幅部21的觸點24小。

另外，檢查針320除窄幅部321外，具有與第1實施方式的檢查針20大致相同的結(jié)構(gòu)。因此，對與第1實施方式相同的部分標注相同的標號并省略說明。

(第5實施方式)

圖16是示出本發(fā)明的第5實施方式的檢查端子單元410的圖，其中，(A)是立體圖，(B)是主視圖，(C)是俯視圖。

第5實施方式的檢查端子單元410是由保持部30使檢查針420一體化而形成的，所述檢查針420在窄幅部421具有波紋狀的彈簧部425。彈簧部425形成于中間部23與觸點24之間且未被保持部30覆蓋的位置上。

另外，檢查針420除窄幅部421外，具有與第1實施方式的檢查針20相同的結(jié)構(gòu)。因此，對與第1實施方式相同的部分標注相同的標號并省略說明。

(第6實施方式)

圖17是示出本發(fā)明的第6實施方式的探針卡101的俯視示意圖。

第6實施方式的探針卡101具有基板(未圖示)、安裝于該基板上的2個定位部件70、71以及由該定位部件70、71進行定位的2個檢查端子單元11、12。在該檢查端子單元11、12中，由保持部230將檢查針20的窄幅部21保持成一體。

另外，檢查端子單元11、12除保持部230外，具有與第1實施方式的檢查端子單元10相同的結(jié)構(gòu)。因此，對與第1實施方式相同的部分標注相同的標號并省略說明。

檢查端子單元11、12被配置成檢查針20的窄幅部21側(cè)的末端彼此相對并且相互不接觸。此外，定位部件70、71的兩端部彼此相對，并且隔開規(guī)定的間隔地配置。在該定位部件70、71之間配置有檢查端子單元11、12的保持部230。檢查端子單元11、12的保持部230與定位部件70、71之間例如由粘接劑粘接而被固定。

這樣，通過經(jīng)由定位部件70、71將檢查端子單元11、12固定在探針卡101的基板上，能夠以較高的定位精度將檢查端子單元11、12安裝在基板上。由此，能夠得到具有較高的定位精度的探針卡101。

另外，定位部件70、71只要能夠?qū)z查端子單元11、12進行定位而維持檢查端子單元11、12的位置關(guān)系即可，能夠采用任意的形狀。

(第7實施方式)

圖18是示出本發(fā)明的第7實施方式的探針卡201的俯視示意圖。

第7實施方式的探針卡201具有基板(未圖示)、安裝于該基板上的4個定位部件72、73、74、75以及由該定位部件72、73、74、75進行定位的4個檢查端子單元13、14、15、16。另外，對與第1實施方式相同的部分標注相同的標號并省略說明。

檢查端子單元13、14以檢查針20的窄幅部21側(cè)的端部參差不齊且較長的窄幅部21a的末端與較短的窄幅部21b的末端相對的方式配置成鋸齒狀。此外，檢查端子單元15、16的窄幅部21側(cè)的端部被配置成與檢查端子單元13、14的窄幅部21側(cè)的側(cè)面相對。另外，檢查端子單元13、14、15、16分別由僅設(shè)置于窄幅部21的保持部230一體化，被配置成相互不接觸。

定位部件72、73、74、75分別隔開規(guī)定的間隔配置在未圖示的基板上。并且，在定位部件72、73之間配置有檢查端子單元15的保持部230，在定位部件73、74之間配置有檢查端子單元14的保持部230，在定位部件74、75之間配置有檢查端子單元16的保持部230，在定位部件75、72之間配置有檢查端子單元13的保持部230。檢查端子單元13、14、15、16的保持部230與定位部件72、73、74、75之間例如由粘接劑粘接而被固定。

這樣，通過利用定位部件72、73、74、75將檢查端子單元13、14、15、16固定在探針卡201的基板上，能夠以較高的定位精度將檢查端子單元13、14、15、16安裝在基板上。由此，能夠得到具有較高的定位精度的探針卡201。

在所述第1實施方式～第7實施方式和變形例中敘述的構(gòu)成要素當然也可以適當進行組合，此外，也可以適當進行選擇、替換或刪除。

對本發(fā)明和實施方式總結(jié)如下。

本發(fā)明的檢查端子單元的特征在于，所述檢查端子單元具有：

至少2個檢查針20，在它們的一端具有與被檢查元件2接觸的接觸部24、324，并且，在它們的另一端具有與基板3連接的連接部25；以及

保持部30，其將排列設(shè)置的所述至少2個檢查針20保持成一體。

根據(jù)本發(fā)明，排列設(shè)置的至少2個檢查針20由保持部30保持成一體。因此，能夠?qū)⒍鄠€檢查針20作為一體配置于基板3上，能夠以較高的精度對檢查針20進行定位。其結(jié)果是，能夠容易地組裝檢查端子單元10，能夠提高檢查端子單元10的生產(chǎn)性。

作為本發(fā)明的實施方式，也可以是，所述檢查針20是通過電鑄法形成的。

根據(jù)本實施方式，能夠容易地得到檢查針20的定位精度較高的檢查端子單元10。

作為本發(fā)明的實施方式，也可以是，所述保持部30是由與通過電鑄法形成所述檢查針20時使用的絕緣性部件相同的材料形成的。

根據(jù)本實施方式，能夠?qū)⒃跈z查針20的形成中使用的絕緣性部件轉(zhuǎn)用于保持部30的形成，因此，能夠減少要使用的材料的種類。其結(jié)果是，能夠提高檢查端子單元10的生產(chǎn)性。

根據(jù)本發(fā)明的實施方式，也可以是，在所述檢查針20的一端設(shè)置有作為所述接觸部的觸點24、324。

根據(jù)本實施方式，通過在接觸部設(shè)置觸點24、324，能夠調(diào)整接觸部與被檢查元件2之間的接觸壓力。因此，能夠得到接觸可靠性較高的檢查端子單元10。

本發(fā)明的探針卡1、101、201的特征在于，所述探針卡1、101、201具有所述檢查端子單元10。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供具有檢查針20的定位精度較高且生產(chǎn)性較高的檢查端子單元10的探針卡1、101、201。

本發(fā)明的檢查端子單元10的制造方法的特征在于，按照相互不接觸地以任意的間距排列的位置關(guān)系通過電鑄法形成至少2個檢查針之后，在維持著所述位置關(guān)系的狀態(tài)下，利用具有絕緣性的保持部30一體化。

根據(jù)本發(fā)明，能夠制造檢查針20的定位精度較高且生產(chǎn)性較高的檢查端子單元10。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明的檢查端子單元能夠用于探針卡。此外，本發(fā)明的探針卡能夠用于半導體制造的晶片檢查等。

標號說明

1、101、201：探針卡；

2：被檢查元件；

3：基板；

4：被連接部；

10、11、12、13、14、15、16、110、210、310、410：檢查端子單元；

20、120、220、320、420：檢查針；

21、221、321、421：窄幅部；

22：寬幅部；

23：中間部；

24、324：觸點(接觸部)；

25、125：連接部；

30、130、230：保持部；

40：孔；

50：載體；

51：切斷部；

60：突起；

70、71、72、73、74、75：定位部件；

131：定位部；

425：彈簧部。