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檢查端子單元、探針卡以及檢查端子單元的制造方法與流程

文檔序號:12511785閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種檢查端子單元,其特征在于,所述檢查端子單元具有:

至少2個檢查針,在它們的一端具有與被檢查元件接觸的接觸部,并且,在它們的另一端具有與基板連接的連接部;以及

保持部,其將排列設(shè)置的所述至少2個檢查針保持成一體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查端子單元,其特征在于,

所述檢查針是通過電鑄法形成的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查端子單元,其特征在于,

所述保持部是由與通過電鑄法形成所述檢查針時使用的絕緣性部件相同的材料形成的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任意一項所述的檢查端子單元,其特征在于,

在所述檢查針的一端設(shè)置有作為所述接觸部的觸點。

5.一種探針卡,其中,所述探針卡具有權(quán)利要求1~4中的任意一項所述的檢查端子單元。

6.一種檢查端子單元的制造方法,其特征在于,

按照相互不接觸地以任意的間距排列的位置關(guān)系通過電鑄法形成至少2個檢查針之后,在維持著所述位置關(guān)系的狀態(tài)下,利用具有絕緣性的保持部一體化。

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