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對(duì)流體流動(dòng)的物理參數(shù)敏感的元件的制造方法以及相應(yīng)的敏感元件與流程

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技術(shù)特征:

1.一種制造對(duì)流體流動(dòng)的至少一個(gè)物理參數(shù)敏感的元件的方法,包括單次浸漬周期(E7),使得預(yù)先裝配的敏感元件(10)能夠變成裝配好的敏感元件(10’),所述單次浸漬周期(E7)包括將所述預(yù)先裝配敏感元件(10)的芯部(4)浸漬在熔融玻璃(51)中,即以液體形式以及高溫的玻璃中,所述芯部(4)包括至少兩個(gè)縱向通道(7),連接到至少雙線繞組(5)的至少兩個(gè)傳導(dǎo)性連接線(3)縱向地穿過(guò)所述縱向通道,所述繞組(5)適于形成電阻或電感回路以便檢測(cè)所述物理參數(shù),所述浸漬使得能夠?qū)⑺鲞B接線(3)密封在所述通道(7)內(nèi)部,以在單次浸漬中填充所述通道并且涂覆所述芯部的外部,所述芯部在所述單次浸漬周期結(jié)束時(shí)被密封并且涂覆,所述單次浸漬周期包括以緩慢速度將所述芯部(4)部分浸漬在所述熔融玻璃中的步驟(E72),以及隨后的以快速度將所述芯部(4)完全浸漬在所述熔融玻璃中的步驟(E73)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述雙線繞組纏繞在所述芯部(4)的外表面上,所述浸漬使得能夠涂覆由此纏繞的所述芯部(4)的外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述繞組是“螺旋狀”纏繞在所述縱向通道(7)的內(nèi)部,所述浸漬使得能夠?qū)⑺鲞B接線保持在所述繞組上的適當(dāng)位置處并且控制所述繞組的匝之間的間距。

4.根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的方法,其中,所述預(yù)先裝配的敏感元件包括圍繞所述芯部(4)的管子(40),所述管子(40)優(yōu)選地由玻璃或陶瓷制成,所述管子使得能夠在浸漬過(guò)程中控制所述涂層的所述最小厚度。

5.根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的方法,其中,所述單次浸漬周期包括預(yù)加熱與清洗所述預(yù)裝配的敏感元件(10)的步驟(E71),其包括在不浸漬所述預(yù)裝配的敏感元件(10)的情況下將所述預(yù)裝配敏感元件(10)定位為靠近熔融玻璃,使所述熔融玻璃加熱所述預(yù)裝配敏感元件(10),從而使其達(dá)到接近熔融玻璃的溫度的溫度,即在所述熔融玻璃的溫度的75%與95%之間。

6.根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的方法,其中,所述單次浸漬周期包括從所述融熔玻璃緩慢提取所述芯部(4)的步驟(E74),以及隨后的從爐的熱區(qū)快速提取所述芯部的步驟(E75)。

7.根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的方法,在包括單次浸漬周期(E7)的所述步驟以后,包括通過(guò)在適當(dāng)與受控溫度下對(duì)玻璃進(jìn)行熱處理來(lái)實(shí)施應(yīng)力消除而使得所述裝配的敏感元件(10’)的電學(xué)行為穩(wěn)定的步驟(E8),以便獲得最終敏感元件。

8.根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的方法,其中,所述連接線與繞組由鉑合金制成,并且所述芯部例如通過(guò)添加氧化釔或氧化鎂而部分地或者全部地由穩(wěn)定的鋯制成。

9.根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的方法,其中,所述融熔玻璃具有400℃與1200℃之間的溫度,通常具有950℃的溫度。

10.一種通過(guò)根據(jù)上述權(quán)利要求中的一項(xiàng)的方法獲得的敏感元件。

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