本發(fā)明涉及一種用于微系統(tǒng)的位置檢測的傳感器的信號的無傳感器式溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ā?/p>

背景技術(shù)：

在運(yùn)動的微結(jié)構(gòu)中、例如在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中，通常使用用于位置檢測的傳感器、所謂的位置傳感器(Lagesensor)或方位傳感器(Positionssensor)。用于位置檢測的傳感器具有在物理上幾乎不可避免的溫度相關(guān)性，該溫度相關(guān)性通過熱偏移和熱靈敏度來確定。對傳感器信號V_sig的所述熱效應(yīng)的影響可以通過以下公式1和2來描述。

其中，TCO以mV/K為單位，T以℃為單位，V_sig以V為單位

V_sig＝V_sig,To(1+TCS1(T-T₀)¹+TCS2(T-T₀)²+...+TCSn(T-T₀)ⁿ) (2)

其中，TCS以1/K為單位，T以℃為單位，V_sig以V為單位。

MEMS傳感器元件例如可以基于電容效應(yīng)或壓電效應(yīng)?？梢愿鶕?jù)“開環(huán)”原理或“閉環(huán)”原理來運(yùn)行MEMS的運(yùn)動結(jié)構(gòu)，傳感器元件應(yīng)當(dāng)確定所述運(yùn)動結(jié)構(gòu)的方位。在“閉環(huán)”運(yùn)行中，調(diào)節(jié)參量回引到調(diào)節(jié)器上。所述調(diào)節(jié)參量——在此情形中為運(yùn)動結(jié)構(gòu)的方位——的測量通過傳感器元件來求取。

參量TCO(熱系數(shù)偏移)描述傳感器電壓信號的偏移的與溫度變化相關(guān)的絕對變化的大小。因此，單位是mV/K?？俆CO理論上在整個冪級數(shù)中具有份額(線性的、二次冪的、三次冪的等)。然而，不主要的份額(例如僅僅線性或二次冪)的使用對于大多應(yīng)用而言足夠。

參量TCS(熱系數(shù)偏移)描述傳感器電壓信號的靈敏度的與溫度變化相關(guān)的相對變化的大小。因此，單位是1/K?？俆CS理論上在整個冪級數(shù)中具有份額(線性的、二次冪的、三次冪的等)。然而，不主要的份額(例如僅僅線性或二次冪)的使用對于大多應(yīng)用而言同樣足夠。

DE 8804598 U1描述了一種補(bǔ)償熱偏移和熱靈敏度誤差的方法。為了在運(yùn)行中校正傳感器信號的溫度效應(yīng)，通常事先求取傳感器元件的溫度系數(shù)。在運(yùn)行中，傳感器元件的溫度則通過附加的溫度傳感器來求取并且因此基于物理公式1和2來校正信號的所不期望的變化。

對于多種應(yīng)用而言，溫度特征值的或溫度系數(shù)TCO、TCS的變化通常對于在補(bǔ)償時(shí)以額定值(Nominalwerten)工作而言過大，所述額定值沒有對于每一個傳感器元件分開地求取。因此，每傳感器元件的溫度系數(shù)必須單獨(dú)通過耗費(fèi)的并且極其成本密集的熱校準(zhǔn)、通常通過在加熱室中將傳感器元件加熱到不同溫度上來求取并且對于校正持續(xù)地存儲在例如分析處理芯片上。重要的是，偏移系數(shù)通常具有大的方差。相反，靈敏度系數(shù)的方差通常更小，其中，典型值為5％以下。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

根據(jù)本發(fā)明的用于微系統(tǒng)的運(yùn)動元件的位置檢測的傳感器的信號的無傳感器式溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?，其中，所述微系統(tǒng)具有用于調(diào)節(jié)所述運(yùn)動元件的運(yùn)動的調(diào)節(jié)器，所述方法原則上包括以下步驟：

在用于位置檢測的傳感器的參考溫度時(shí)檢測調(diào)節(jié)器信號的參考偏移和/或參考振幅；

在改變的溫度時(shí)檢測所述調(diào)節(jié)器信號的測量偏移和/或測量振幅；

確定參考偏移與測量偏移之間和/或參考振幅與測量振幅之間的熱偏差；以及

基于所確定的熱偏差改變用于位置檢測的傳感器的信號以便補(bǔ)償所述信號的熱偏差。

根據(jù)本發(fā)明的方法具有以下優(yōu)點(diǎn)：省去在探測運(yùn)動——例如微鏡的或質(zhì)量振動裝置(Masseschwinger)的周期性運(yùn)動的傳感器的生產(chǎn)中對于每一個傳感器元件單獨(dú)實(shí)施的成本密集的熱校準(zhǔn)的必要性。

本發(fā)明的核心構(gòu)想是熱偏移和熱靈敏度的通過特征參量“調(diào)節(jié)器輸出的偏移和振幅”在生產(chǎn)溫度時(shí)的測量的探測方法以及所述參量用于確定通過位置傳感器的偏移和靈敏度誤差定義的熱偏差的方向和/或大小的使用。所述補(bǔ)償例如可以通過由傳感器信號計(jì)算熱偏差來實(shí)現(xiàn)。這可以通過差構(gòu)成或者和構(gòu)成或者通過成比例的和/或線性的信號匹配來實(shí)現(xiàn)。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)一方面是在未分別了解傳感器溫度或傳感器溫度系數(shù)的情況下偏移的和靈敏度誤差的調(diào)節(jié)和因此熱校準(zhǔn)和溫度檢測的省去。

也能夠?qū)崿F(xiàn)，間接由置于所述調(diào)節(jié)器后方的單元的信號檢測所述測量偏移和/或所述測量振幅。替代調(diào)節(jié)器輸出信號，為此也可以使用相關(guān)的信號、例如運(yùn)動微系統(tǒng)的驅(qū)動單元的信號。也可以在開環(huán)運(yùn)行中分析處理驅(qū)動信號的變化、例如在溫度升高時(shí)增大的電流消耗并且應(yīng)用所描述的方法。作為另外的替代的信號，也可以使用用于位置檢測的壓電式電容傳感器的電容。所述變型方案示出所述方法的通過不同測量點(diǎn)和/或測量參量的靈活性。

可以在用于位置檢測的傳感器的生產(chǎn)溫度時(shí)檢測參考偏移和/或參考振幅。在傳感器的生產(chǎn)期間——例如在功能測試期間可以簡單且可靠地實(shí)現(xiàn)溫度測量，所述溫度測量必須實(shí)施僅僅一次。

有利地，可以在微系統(tǒng)的改變的運(yùn)行溫度時(shí)檢測測量偏移和/或測量振幅。微系統(tǒng)的或傳感器的改變的運(yùn)行溫度的測量在運(yùn)行期間、即在進(jìn)行的運(yùn)動期間實(shí)現(xiàn)，從而不需要附加的檢測。

優(yōu)選地，確定熱偏差的方向?？梢缘皇潜仨毚_定大小。方向的簡單確定——例如通過正負(fù)號(Vorzeichen)變換的識別——足以借助所述信息、例如借助PID調(diào)節(jié)器補(bǔ)償熱偏差。

在一種特別的實(shí)施方式中設(shè)置，對于用于位置檢測的一個或多個構(gòu)造相同的傳感器確定熱偏移系數(shù)和/或熱靈敏度系數(shù)，其中，基于所述熱偏移系數(shù)以及在參考偏移與測量偏移之間的熱偏差和/或基于所述熱靈敏度系數(shù)以及在參考振幅與測量振幅之間的熱偏差來求取用于位置檢測的傳感器的溫度。傳感器元件的溫度求取中的優(yōu)點(diǎn)是在不使用附加硬件的情況下的無傳感器式求取，即不使用附加的模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換器、分析處理電路等。此外，不存在傳感器的單獨(dú)熱校準(zhǔn)的必要性。取而代之，僅僅必須在熱方面校準(zhǔn)傳感器類別或傳感器類型，這可以通過少量樣本的測量以及測量結(jié)果的隨后求平均來實(shí)現(xiàn)。因?yàn)榱私膺\(yùn)行中的溫度，所以附加地實(shí)現(xiàn)以下可能性：例如在系統(tǒng)中或芯片上的第一次運(yùn)行中校準(zhǔn)而不必在生產(chǎn)過程中的校準(zhǔn)時(shí)校準(zhǔn)確定的熱參數(shù)。

在借助本方法計(jì)算溫度時(shí)可以組合不同的方案，例如通過偏移求取溫度、通過靈敏度求取的溫度和/或通過系統(tǒng)中或芯片上的另一溫度檢測求取的溫度，以便合理性驗(yàn)證溫度信號或者提高準(zhǔn)確度或分辨率。

有利地設(shè)置，微系統(tǒng)是電磁系統(tǒng)和/或微靜電系統(tǒng)。這種系統(tǒng)例如是微鏡應(yīng)用，如其用于使微鏡運(yùn)動以便投影圖像那樣)、在高溫計(jì)和/或加速度傳感器、用于周期性運(yùn)動的壓力傳感器以及例如動力總成領(lǐng)域——例如在噴射系統(tǒng)中——中的質(zhì)量振動裝置。

附加地也可以考慮，將優(yōu)選周期性運(yùn)動的結(jié)構(gòu)有針對性地在不首要利用該運(yùn)動的情況下設(shè)置在傳感器元件中，以便為了傳感器的熱補(bǔ)償或者溫度求取而使用所述周期性運(yùn)動的結(jié)構(gòu)。因此，能夠完全或者之后在運(yùn)行的系統(tǒng)中或在芯片上實(shí)施避免耗費(fèi)的熱校準(zhǔn)。這允許成本節(jié)省。

根據(jù)本發(fā)明的微系統(tǒng)——其用于運(yùn)動微元件的位置檢測的傳感器的信號的無傳感器式溫度補(bǔ)償，所述微系統(tǒng)具有用于調(diào)節(jié)所述微元件的運(yùn)動的調(diào)節(jié)器設(shè)置，設(shè)有用于在用于位置檢測的傳感器的參考溫度時(shí)檢測所述信號的參考偏移和/或參考振幅并且用于在改變的溫度時(shí)檢測調(diào)節(jié)器信號的測量偏移和/或測量振幅的探測單元，設(shè)有用于確定參考偏移與測量偏移之間和/或參考振幅與測量振幅之間的熱偏差的偏差調(diào)節(jié)裝置，并且設(shè)有用于補(bǔ)償用于位置檢測的傳感器的信號的熱偏差的電路元件。與前述相同的優(yōu)點(diǎn)和修改適用。

優(yōu)選地設(shè)置，所述探測單元檢測所述調(diào)節(jié)器的輸出信號并且與至少一個偏差調(diào)節(jié)裝置連接，其中，所述至少一個偏差調(diào)節(jié)裝置與所述微系統(tǒng)的反饋節(jié)點(diǎn)連接。這允許信號的偏移和振幅的分開處理。

替代地設(shè)置，所述探測單元檢測所述調(diào)節(jié)器的輸出信號并且與偏差調(diào)節(jié)裝置連接，其中，所述偏差調(diào)節(jié)裝置與偏差匹配單元連接。因此，例如可以通過偏差匹配單元直接校正傳感器信號。

附圖說明

根據(jù)附圖和隨后的描述進(jìn)一步闡述本發(fā)明的實(shí)施例。附圖示出：

圖1：參考偏移的和參考振幅的檢測原理；

圖2：調(diào)節(jié)器信號的由于溫度變化引起的偏移移位的示意圖；

圖3：調(diào)節(jié)器信號的通過用于位置檢測的傳感器的熱靈敏度誤差引起的振幅偏差的示圖；

圖4：用于確定熱偏差的框圖；

圖5：用于無傳感器式溫度補(bǔ)償?shù)南到y(tǒng)的框圖；

圖6：用于無傳感器式溫度補(bǔ)償?shù)奶娲到y(tǒng)的框圖；

圖7：用于基于熱偏移確定溫度的框圖；以及

圖8：用于基于熱靈敏度信號確定溫度的框圖。

具體實(shí)施方式

圖1示例性示出用于調(diào)節(jié)微系統(tǒng)的運(yùn)動的調(diào)節(jié)器的輸出或輸出信號1。相對于時(shí)間繪出輸出參量，例如電壓。在此，調(diào)節(jié)器輸出用于調(diào)節(jié)周期性運(yùn)動的周期信號。運(yùn)動優(yōu)選也保持不變，即所述運(yùn)動具有相同振幅。在保持不變的周期性運(yùn)動的情形中，可以直接且快速地實(shí)施傳感器信號的比較。然而，本發(fā)明不限于保持不變的周期性運(yùn)動，而是也能夠處理任何運(yùn)動。在這些情形中可能要求，需要匹配或者計(jì)算步驟、例如標(biāo)度，以便能夠比較不同的傳感器信號。

在圖1中示出的信號1可以是或者調(diào)節(jié)器的輸出信號或者用于微系統(tǒng)的位置檢測的傳感器的信號。在生產(chǎn)系統(tǒng)或用于位置檢測的傳感器時(shí)，信號1根據(jù)可能的校準(zhǔn)步驟在生產(chǎn)溫度時(shí)具有偏移2和振幅3。所述偏移2和所述振幅3作為人為零點(diǎn)或參考偏移2或者作為參考振幅3存儲。

如果用于位置檢測的傳感器作為單個獨(dú)立自主的元件制造，則在圖1中示出的信號變化曲線1相應(yīng)于用于位置檢測的傳感器的輸出信號。在集成系統(tǒng)例如在芯片上、如在ASIC(專用集成電路)中的情形中，在圖1中示出的信號變化曲線1可以是系統(tǒng)的調(diào)節(jié)器的輸出信號。

因此，在用于位置檢測的傳感器的參考溫度時(shí)檢測并且存儲參考數(shù)據(jù)集。一次檢測的參考溫度可以簡單地是生產(chǎn)溫度，所述生產(chǎn)溫度在生產(chǎn)用于位置檢測的傳感器或者微系統(tǒng)的時(shí)刻存在。

如果現(xiàn)在通過溫度變化、例如在完全制造的系統(tǒng)的運(yùn)行中在用于位置檢測的傳感器中產(chǎn)生熱偏移，則系統(tǒng)的調(diào)節(jié)器進(jìn)行反應(yīng)并且如此調(diào)節(jié)運(yùn)動結(jié)構(gòu)，使得傳感器信號的偏移保持恒定。在圖2中定性地示出調(diào)節(jié)器信號的偏移如何表現(xiàn)。在圖2中示出兩個曲線。所述曲線或信號變化曲線1示出在參考溫度時(shí)例如在用于位置檢測的傳感器的生產(chǎn)時(shí)的參考信號。給所述信號分配參考偏移2。信號變化曲線1a示出在變化的、具有所測量的偏移2a的溫度時(shí)的調(diào)節(jié)器信號。

微系統(tǒng)、尤其調(diào)節(jié)路徑和/或驅(qū)動單元(Treibereinheit)如此構(gòu)型，使得所述微系統(tǒng)在溫度變化時(shí)和/或在運(yùn)行狀態(tài)變化時(shí)不產(chǎn)生調(diào)節(jié)器的值得一提的偏移。因此，調(diào)節(jié)器信號的偏移的變化是用于位置檢測的傳感器的熱偏移的直接度量。

圖3示出與圖2相似的示圖，然而其中此次在調(diào)節(jié)器信號中存在振幅偏差，所述振幅偏差通過用于位置檢測的傳感器的熱靈敏度誤差產(chǎn)生。在圖3中再次示出調(diào)節(jié)器信號的兩個信號變化曲線。在參考溫度時(shí)的信號1具有參考振幅3，而在變化的溫度時(shí)的調(diào)節(jié)器信號1a具有在此延伸地示出的測量振幅3a。微系統(tǒng)、尤其調(diào)節(jié)路徑和/或驅(qū)動單元同樣如此構(gòu)型，使得所述微系統(tǒng)在溫度變化時(shí)和/或在其他運(yùn)行狀態(tài)變化時(shí)不產(chǎn)生調(diào)節(jié)器的值得一提的振幅偏差。因此，調(diào)節(jié)器振幅的偏差是位置傳感器的熱靈敏度誤差的直接度量。

在圖4中示出用于檢測熱偏差、即偏移誤差或偏移偏差和/或振幅誤差或振幅偏差的可能的實(shí)現(xiàn)。所檢測的參考值4、更確切說參考偏移2和/或參考振幅3以及由信號1檢測的測量值5、如測量偏移2a和/或測量振幅3a輸送給減法器6。信號1的測量偏移例如通過低通濾波或者最大和最小振幅的檢測來求取。減法器6由調(diào)節(jié)器信號1a的當(dāng)前的測量偏移2a減去所存儲的人為的零點(diǎn)參數(shù)或參考偏移2。得出的信號可以在信號處理裝置7中進(jìn)一步被處理。例如可以實(shí)施低通濾波、平均值構(gòu)成和可能的補(bǔ)償，以便例如考慮在運(yùn)行中調(diào)節(jié)器的引導(dǎo)參量()的可能的變化。信號處理裝置7現(xiàn)在輸出熱偏差8或者如在此所考慮的那樣輸出用于位置檢測的傳感器的熱偏移。

在圖4中示出的結(jié)構(gòu)或者可以檢測熱偏移或熱靈敏度誤差或包含兩個分量的熱偏差。在單個檢測的情形中，在圖4中示出的結(jié)構(gòu)可以兩倍地構(gòu)造，一方面用于檢測熱偏移而另一方面用于檢測熱靈敏度誤差。

與偏移的已經(jīng)描述的檢測類似地，借助在圖4中示出的結(jié)構(gòu)或電路檢測或探測靈敏度誤差。調(diào)節(jié)器信號1被檢測并且信號的振幅被求取，例如通過最大和最小振幅的檢測?，F(xiàn)在，在減法器6中，由調(diào)節(jié)器信號的當(dāng)前振幅5減去所存儲的人為的零點(diǎn)參數(shù)4。得出的信號在信號處理裝置7中被進(jìn)一步處理并且作為熱偏差或熱靈敏度誤差8輸出。

所算出的信號8直接說明熱偏差8的方向。在靈敏度誤差的情形中，這是信號的壓縮或拉伸，而在熱偏移的情形中是熱偏移的方向或正負(fù)號。調(diào)節(jié)器可以借助所述信息直接抵抗朝人為零點(diǎn)的增大的振幅偏差或者抵抗朝人為零點(diǎn)的增大的偏差來調(diào)節(jié)。

兩種探測種類不影響。偏移和靈敏度誤差可以并行地求取。校正則可以根據(jù)常見的調(diào)節(jié)技術(shù)方法實(shí)現(xiàn)。

在圖5中示出具有運(yùn)動微元件11的微系統(tǒng)10、例如MEMS或微鏡。驅(qū)動電路12將調(diào)節(jié)信號或控制信號us輸出到運(yùn)動元件11上，以便控制其運(yùn)動。運(yùn)動元件11的方位或運(yùn)動由用于位置檢測的傳感器13檢測。用于位置檢測的傳感器13輸出信號ym到減法器或加法器14上。在此，減法器或加法器14構(gòu)成反饋節(jié)點(diǎn)。減法器14從引導(dǎo)參量w減去傳感器信號ym并且將輸入?yún)⒘縠輸出到調(diào)節(jié)器15上。調(diào)節(jié)器15將調(diào)節(jié)器信號u輸出到驅(qū)動電路12上，從而產(chǎn)生閉合調(diào)節(jié)回路。

調(diào)節(jié)器信號u再次輸送給偏差探測裝置16。該探測單元16例如可以具有在圖4中示出的結(jié)構(gòu)中的一個或者兩個。偏差探測裝置16檢測或探測熱偏移和熱靈敏度誤差。熱偏移輸送給偏差調(diào)節(jié)裝置17，所述偏差調(diào)節(jié)裝置由熱偏移算出調(diào)節(jié)參量wo，所述調(diào)節(jié)參量正地輸送給減法器14。靈敏度誤差從偏差探測裝置16輸出到另一偏差調(diào)節(jié)裝置17上，所述另一偏差調(diào)節(jié)裝置由所述值和引導(dǎo)參量w求取所推導(dǎo)的引導(dǎo)參量ws，所推導(dǎo)的引導(dǎo)參量正地輸入到減法器14中。在圖5中示出的電路或在此示出的調(diào)節(jié)模型補(bǔ)償用于位置檢測的傳感器13的熱偏差或者補(bǔ)償其輸出信號ym的熱偏差。

傳感器信號ym的偏移和靈敏度也可以替代地直接在用于位置檢測的傳感器13的信號輸出端上求取。在此，然而要注意的是，在調(diào)節(jié)之前必須實(shí)現(xiàn)信息獲取。為此，需要以比調(diào)節(jié)器的采樣率高多倍的采樣率的檢測，因?yàn)榉駝t所述調(diào)節(jié)器在檢測之前會調(diào)節(jié)傳感器13的可探測的偏移。

對于檢測、求取和/或補(bǔ)償通?？梢栽O(shè)置閾值，以便防止系統(tǒng)的過快速且過頻繁的響應(yīng)。特別地，用于位置檢測的傳感器13的信號ym的熱偏差的補(bǔ)償僅僅在超出或低于確定的也可匹配的閾值的情況下實(shí)現(xiàn)。

在圖6中示出微系統(tǒng)10的另一示例，所述微系統(tǒng)包括運(yùn)動微元件11，例如微鏡。運(yùn)動元件11由驅(qū)動電路12控制。運(yùn)動元件11的運(yùn)動或者一個或多個坐標(biāo)由用于位置檢測的傳感器13檢測。用于位置檢測的傳感器13的信號ym被反饋并且在減法器或加法器14中由引導(dǎo)參量w減去。在此，減法器或加法器14構(gòu)成反饋節(jié)點(diǎn)。在減法器14中在此產(chǎn)生的輸入?yún)⒘縠輸送給調(diào)節(jié)器15。調(diào)節(jié)器15接著將調(diào)節(jié)器信號u輸出到驅(qū)動電路12上，所述驅(qū)動電路然后以控制信號us控制運(yùn)動元件。運(yùn)動元件11的以y表示的方位再次用作用于位置檢測的傳感器13的輸入信號。

此外，調(diào)節(jié)器信號u由調(diào)節(jié)器15輸送給偏差探測裝置16，所述偏差探測裝置例如相應(yīng)于在圖4中示出的結(jié)構(gòu)。偏差探測裝置16的輸出輸送給偏差調(diào)節(jié)裝置17。偏差調(diào)節(jié)裝置17產(chǎn)生控制或調(diào)節(jié)信號wy，所述控制或調(diào)節(jié)信號輸送給偏差匹配單元18。偏差匹配單元18還得到用于位置檢測的傳感器13的輸出信號ym1。用于位置檢測的傳感器13的具有熱偏差的所述信號ym1現(xiàn)在由偏差匹配單元18借助校正值wy來校正并且作為在熱方面已校正的信號ym反饋。

在圖7中示出用于偏移的偏差調(diào)節(jié)器17的可能的實(shí)現(xiàn)。所求取的偏移借助P調(diào)節(jié)器元件19、I調(diào)節(jié)器元件20和D調(diào)節(jié)器元件21、即經(jīng)典的PID調(diào)節(jié)器來處理，由加法器22相加并且作為信號wo輸出。

在圖8中示出用于靈敏度誤差的偏差調(diào)節(jié)裝置17或者靈敏度信號。在此，靈敏度偏差也輸送給具有其元件19、20和21的PID調(diào)節(jié)器，所述元件的輸出端與加法器22連接。此外，給加法器22輸送值1。加法器22的輸出端與乘法器24連接，也給所述乘法器輸送引導(dǎo)參量w。這兩個值的相乘產(chǎn)生所推導(dǎo)的引導(dǎo)參量ws。

在圖7和圖8中示出的偏差調(diào)節(jié)器17也可以考慮用于確定用于位置檢測的傳感器13的溫度。為此，偏差調(diào)節(jié)器17分別具有存儲器或者查找表23，在所述存儲器或者查找表中存儲基于TCO值和/或TCS值的參考值。替代地，也可以設(shè)置ASIC或相似電路，借此可以根據(jù)公式1和/或公式2計(jì)算用于位置檢測的傳感器13的溫度。

因此，能夠由用于偏移誤差的和/或靈敏度誤差的所求取的信號附加地求取傳感器元件13的溫度T。所求取的偏移誤差的以及靈敏度誤差的大小與傳感器元件13的溫度直接關(guān)聯(lián)。所述物理關(guān)聯(lián)由公式1和2顯而易見。

偏移誤差信號或靈敏度誤差信號與用于位置檢測的傳感器13的溫度之間的明確唯一的關(guān)系始終給定。所述關(guān)系或相關(guān)性的具體形式此外通過由公式1或公式2的冪級數(shù)的TCO值或TCS值確定。

因?yàn)橥ǔＶ苯诱{(diào)節(jié)所探測的誤差，所以在運(yùn)行中也力求使所求取的誤差信號趨近于零。為了同時(shí)能夠調(diào)節(jié)熱誤差并且檢測溫度，可以讀取偏差調(diào)節(jié)器17的存儲器單元。PID調(diào)節(jié)器的積分單元21的輸出隱性地包含當(dāng)前熱偏移的或當(dāng)前熱靈敏度誤差的絕對值。借助對公式1或公式2中的TCO系數(shù)或TCS系數(shù)的了解，然后可以直接算出用于位置檢測的傳感器13的溫度。在此，根據(jù)本發(fā)明的溫度檢測的準(zhǔn)確性幾乎僅僅取決于TCO系數(shù)或TCS系數(shù)的了解的準(zhǔn)確性。因此，主要的靈敏度系數(shù)的方差例如通常非常小，例如小于5％。由此，在使用額定靈敏度值的情況下也可以實(shí)現(xiàn)溫度求取的對于多種應(yīng)用足夠的準(zhǔn)確性。