技術(shù)編號：12286762
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于微系統(tǒng)的位置檢測的傳感器的信號的無傳感器式溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?。背景技術(shù)在運(yùn)動的微結(jié)構(gòu)中、例如在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中，通常使用用于位置檢測的傳感器、所謂的位置傳感器(Lagesensor)或方位傳感器(Positionssensor)。用于位置檢測的傳感器具有在物理上幾乎不可避免的溫度相關(guān)性，該溫度相關(guān)性通過熱偏移和熱靈敏度來確定。對傳感器信號Vsig的所述熱效應(yīng)的影響可以通過以下公式1和2來描述。其中，TCO以mV/K為單位，T以℃為單位，V_sig以V為單位Vsig＝Vsig...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。