技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于檢測(cè)透明基底瑕疵的光學(xué)裝置及方法。用于檢測(cè)透明基底內(nèi)部瑕疵的光學(xué)裝置包括：用于在預(yù)定低分辨率下檢測(cè)基底的第一檢測(cè)單元，包括第一感光元件以及位于所述基底和第一感光元件之間的第一鏡頭，其中第一感光元件和所述第一鏡頭放置成：使得物面相對(duì)于所述基底傾斜設(shè)置；用于在預(yù)定高分辨率下檢測(cè)基底的第二檢測(cè)單元，包括第二感光元件以及位于基底和所述第二感光元件之間的第二鏡頭，以及處理器，用于將第一檢測(cè)單元檢測(cè)到的瑕疵的一部分確定為有待第二檢測(cè)單元檢測(cè)的瑕疵，以及用于根據(jù)第二檢測(cè)單元所成的像確定瑕疵的類(lèi)型。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭媛;朱嘉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：法國(guó)圣戈班玻璃公司
文檔號(hào)碼：201510301023
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.03
技術(shù)公布日：2016.12.21