本發(fā)明大體上涉及測試設(shè)備，特別是涉及用于測試受測裝置(例如，半導(dǎo)體裝置)的測試設(shè)備。更具體地，本發(fā)明涉及一種構(gòu)造成探針心的探針設(shè)備，該探針心與測試設(shè)備一起使用以用于電探測受測裝置如半導(dǎo)體晶圓。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體工業(yè)持續(xù)需要接近半導(dǎo)體晶圓上的許多電子裝置。隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展且裝置變得愈來愈小且愈來愈復(fù)雜，許多電裝置、最常見的半導(dǎo)體裝置及晶圓上相互間的電連接，當(dāng)這些裝置呈晶圓形式時，必須進行電測試，例如測試泄露電流及極低操作電流。另外，通常需要在寬溫度范圍內(nèi)評估電流及裝置特性以理解溫度如何影響裝置。同樣，由于半導(dǎo)體技術(shù)連續(xù)且迅速改變，因此半導(dǎo)體裝置的大小及這些電接觸墊變得愈來愈小。

為了有效量測呈晶圓形式的半導(dǎo)體裝置，使用探針來接觸晶圓的表面上的導(dǎo)電墊。這些探針之后電連接到測試儀器。通常，額外的電互連組件如電路板構(gòu)成這些探針與測試儀器之間的連接部分。為了使電測量的降級最小化，必須設(shè)計這些探針及互連組件以將量測信號與外部電干擾、穿過介電材料的泄露電流、寄生電容、摩擦電噪聲、壓電噪聲及介電吸收等等隔離。

用于半導(dǎo)體裝置的晶圓級電測試的典型探針卡可包括永久接合到電路板的探針，該電路板設(shè)計成接口到特定測試儀器。接觸墊大小、接觸墊布局或測試儀器接口的改變需要更換整個探針卡組件。一種替代方法是使用連接到電路板的探針心，之后該電路板設(shè)計成接口到特定測試儀器。接觸墊大小或接觸墊布局的改變需要更換該探針心。測試儀器接口的改變需要更換該電路板。

因此，持續(xù)需要用于電探測半導(dǎo)體裝置(如半導(dǎo)體晶圓)的改進的半導(dǎo)體測試裝備。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明大體上涉及測試設(shè)備，特別是涉及用于測試受測裝置(例如，半導(dǎo)體裝置)的測試設(shè)備。更具體地，本發(fā)明涉及一種構(gòu)造成探針心的探針設(shè)備，該探針心與測試設(shè)備一起使用以用于電探測受測裝置如半導(dǎo)體晶圓。

描述了測試裝備例如在系統(tǒng)中測試半導(dǎo)體裝置是有用的。更具體地，描述了探針設(shè)備可以用于電探測受測裝置如半導(dǎo)體晶圓。通常，該探針設(shè)備是可相對于另一測試設(shè)備或組件如電路板鎖定及解鎖的探針心，且其中該探針心具有一個或多個探針，該一個或多個探針可探測該裝置且電連接到可將信號從該探針心傳輸?shù)嚼缙渌麥y試裝備的觸點。

本文中所描述的實施例提供了一種將探針心相對于電路板鎖定及解鎖的鎖閂組件。該鎖閂組件通過將該探針心準(zhǔn)確地定位到該電路板而將該探針心配合到該電路板。在一些實施例中，該鎖閂組件可與該探針心嚙合以相對于電路板將該探針心對準(zhǔn)，且通過旋轉(zhuǎn)該鎖閂組件的一個或多個組件將該探針心向下壓抵于該電路板以將該探針心與該電路板鎖定。

在一些實施例中，探針心探針可以是線針，這些線針可具有連接到其他測試裝備的電連接及觸點。

在一些實施例中，探針心包括具有嚙合部件的頂板，該嚙合部件可與該鎖閂組件對準(zhǔn)且與該鎖閂組件嚙合，以通過旋轉(zhuǎn)該鎖閂組件的一個或多個組件而被向下按壓。在一些實施例中，該嚙合部件可以是凸耳部件，該凸耳部件是從該探針心的頂板徑向突出的突出部。

在一些實施例中，提供安裝工具以將該探針心夾持到鎖閂組件或探針心載體或從該鎖閂組件或該探針心載體解鎖該探針心。該安裝工具可與該探針心和/或該鎖閂組件對準(zhǔn)以相對于電路板將該探針心鎖定及解鎖。在一些實施例中，該安裝工具可相對于電路板或載體解鎖該探針心且同時夾持該探針心。在一些實施例中，該安裝工具可將該探針心鎖定到該電路板或該載體和同時從該探針心釋放。

本文中所描述的實施例可允許以低損壞風(fēng)險容易地安裝及移除探針心。本文中所描述的實施例亦可提供可容易更換的探針心和這些探針心與電路板之間的中間接口，而不需要使電測量降級。

揭露了一種用于測試受測裝置的探針設(shè)備。該設(shè)備包括：探針心，該探針心包括頂板、絲線引導(dǎo)機構(gòu)、多個探針線以及探針塊；電路板；以及鎖閂組件，該鎖閂組件用于將該探針心可拆卸地固定到該電路板，該鎖閂組件包括：夾緊機構(gòu)，該夾緊機構(gòu)用于將該探針心壓抵于該電路板；以及導(dǎo)板，該導(dǎo)板設(shè)置在該夾緊機構(gòu)與該電路板之間，該導(dǎo)板用于使該探針心相對于該電路板定向在特定位置中。

揭露了一種用于測試受測裝置的探針設(shè)備。該設(shè)備包括：電路板，該電路板具有嚙合組件；以及探針心，該探針心包括：頂板，該頂板包括一個或多個嚙合部件，該一個或多個嚙合部件用于當(dāng)該探針心夾緊到該電路板時提供該探針心相對于該電路板的粗略對準(zhǔn)；絲線引導(dǎo)機構(gòu)，該絲線引導(dǎo)機構(gòu)包括定位于該線導(dǎo)周邊的一個或多個凹口，該一個或多個凹口在該探針心夾緊到該電路板時提供精細(xì)對準(zhǔn)；多個探針線；以及探針塊，其中該探針心與該嚙合組件是可嚙合的。

揭露了一種在用于測試受測裝置的探針設(shè)備中使用的探針心。該探針心包括：頂板，該頂板包括一個或多個嚙合部件，當(dāng)該探針心夾緊到電路板時該一個或多個嚙合元件提供該探針心相對于該電路板的粗略對準(zhǔn)；絲線引導(dǎo)機構(gòu)，該絲線引導(dǎo)機構(gòu)包括定位于該線導(dǎo)周邊的一個或多個凹口，該一個或多個凹口在該探針心夾緊到該電路板時提供精細(xì)對準(zhǔn)；多個探針線；以及探針塊，其中該探針心與該嚙合組件是可嚙合的。

揭露了一種用于將探針心鎖閂到裝置的方法。該方法包括：使用安裝工具將力施加到驅(qū)動板，該驅(qū)動板用于對應(yīng)地旋轉(zhuǎn)鎖閂板；迫使該鎖閂板抵在該探針心上的嚙合組件，從而將該探針心夾緊到該裝置；以及當(dāng)該探針心夾緊到該裝置時將該安裝工具從該探針心移除。

附圖說明

參考形成本發(fā)明的一部分且圖解說明在本說明書中所描述的是統(tǒng)及方法可以實施的實施例的附圖。

圖1a是根據(jù)一些實施例的探針測試設(shè)備的剖面圖。

圖1b展示了根據(jù)一些實施例的可與圖1a的導(dǎo)板嚙合的絲線引導(dǎo)機構(gòu)的各種幾何形狀。

圖1c圖解說明了根據(jù)一些實施例的夾緊機構(gòu)與圖1a的探針心的頂板之間的各種嚙合。

圖2是根據(jù)一些實施例的圖1a的探針心的剖面圖。

圖3a展示了根據(jù)一些實施例的探針心的側(cè)視圖。

圖3b展示了根據(jù)一些實施例的圖3a的探針心的仰視圖。

圖4a圖解說明了根據(jù)一些實施例的圖1a的探針心的第一變體。

圖4b圖解說明了根據(jù)一些實施例的圖1a的探針心的第二變體。

圖4c圖解說明了根據(jù)一些實施例的圖1a的探針心的第三變體。

圖4d圖解說明了根據(jù)一些實施例的圖1a的探針心的第四變體。

圖4e圖解說明根據(jù)一些實施例的圖1a的探針心的第五變體。

圖5a是根據(jù)一些實施例的在延伸位置中的套筒的側(cè)面示意圖。

圖5b是根據(jù)一些實施例的在縮回位置中的圖5a的套筒的側(cè)面示意圖。

圖6a是根據(jù)一些實施例的在未夾緊位置中的圖1a的探針測試設(shè)備的側(cè)面示意圖。

圖6b是根據(jù)一些實施例的在夾緊位置中的圖1a的探針測試設(shè)備的側(cè)面示意圖。

圖7是根據(jù)一些實施例的探針心及鎖閂組件的立體側(cè)視圖。

圖8是根據(jù)一些實施例的圖7的鎖閂組件的剖面圖。

圖9a是根據(jù)一些實施例的在向上位置中的安裝工具的剖面圖。

圖9b是根據(jù)一些實施例的在向下位置中的圖9a的安裝工具的剖面圖。

圖9c是具有探針心的頂板的圖9a的安裝工具的端視圖。

圖9d是根據(jù)一些實施例的圖9a的安裝工具的側(cè)視力圖圖。

圖10a是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的剖面圖。

圖10b是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的另一剖面圖。

圖10c是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的另一剖面圖。

圖10d是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的另一剖面圖。

圖10e是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的另一剖面圖。

圖10f是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的另一剖面圖。

圖10g是根據(jù)一些實施例的與探針心及鎖閂組件嚙合的圖9a的安裝工具的另一剖面圖。

圖11是根據(jù)一些實施例的探針心載體立體圖。

圖12a是根據(jù)一些實施例的在未夾緊位置中的圖1a的探針測試設(shè)備的側(cè)面示意圖。

圖12b是根據(jù)一些實施例的在中間位置中的圖1a的探針測試設(shè)備的側(cè)面示意圖。

圖12c是根據(jù)一些實施例的在夾緊位置中的圖1a的探針測試設(shè)備的側(cè)面示意圖。

圖13圖解說明了根據(jù)一些實施例的探針心10的仰視圖。

相同的標(biāo)號至始至終表示相同的部件。

具體實施方式

本發(fā)明大體上涉及測試設(shè)備，特別是涉及用于測試受測裝置(例如，半導(dǎo)體裝置)的測試設(shè)備。更具體地，本發(fā)明涉及一種構(gòu)造成探針心的探針設(shè)備，該探針心與測試設(shè)備一起使用以用于電探測受測裝置如半導(dǎo)體晶圓。

圖1a是根據(jù)一些實施例的探針測試設(shè)備100的剖面圖。探針測試設(shè)備100包括探針心110、電路板122及用于容納探針心110并連接到探針心110的鎖閂組件120。根據(jù)下文圖6a到圖6b和/或圖12a到圖12c額外詳細(xì)地討論鎖閂組件120的一些實施例。安裝工具130用于將探針心110夾持到鎖閂組件120或?qū)⑻结樞?10從鎖閂組件120釋放。

鎖閂組件120包括用于將探針心110夾緊到電路板122及導(dǎo)板125上的夾緊機構(gòu)124。安裝工具130可驅(qū)動夾緊機構(gòu)124以將探針心110鎖定到電路板122或?qū)⑻结樞?10從電路板122解鎖。在一些實施例中，安裝工具130可驅(qū)動夾緊機構(gòu)124以將探針心110鎖定到探針心載體或?qū)⑻结樞?10從該探針心載體解鎖(如根據(jù)圖11所展示及描述的探針心載體140)。探針測試設(shè)備100可進一步包括加固框架123。

探針心110包括探針塊112、具有延伸穿過探針塊112的一端的探針線113、用于引導(dǎo)探針線113的探針尾113’的絲線引導(dǎo)機構(gòu)114及覆蓋絲線引導(dǎo)機構(gòu)114的頂板115。根據(jù)一些實施例，絲線引導(dǎo)機構(gòu)114可以是大體上圓柱形的幾何形狀。根據(jù)一些實施例，頂板115可具有可變的幾何形狀。下文根據(jù)圖4a到圖4e展示及描述了頂板115的可能的幾何形狀的例子，然而應(yīng)當(dāng)了解，根據(jù)本文中所描述的原則，頂板115的一個或多個其它幾何形狀可起作用。

通過探針心110的絲線引導(dǎo)機構(gòu)114及鎖閂組件120的導(dǎo)板125可提供探針心110與電路板122之間的精細(xì)對準(zhǔn)。圖1b圖解說明了具有彼此嚙合的各個不同變化的幾何形狀的絲線引導(dǎo)機構(gòu)114與導(dǎo)板125之間的各種引導(dǎo)設(shè)置的俯視圖。絲線引導(dǎo)機構(gòu)114與導(dǎo)板125之間的嚙合可使探針心110相對于電路板122(或其他裝置，如圖11的探針心載體140)定向在特定位置。圖1b未圖解說明導(dǎo)板125。應(yīng)當(dāng)了解，導(dǎo)板125將采用類似于如圖解說明的突出部或腔的幾何形狀。圖1b中所展示的帶有“是”的實施例可在絲線引導(dǎo)機構(gòu)隨溫度改變大小時使該絲線引導(dǎo)機構(gòu)的中心居中。非運動及運動方法兩者均進行展示。在一些實施例中，該引導(dǎo)設(shè)置可不需要用運動方法達(dá)成的精確度，且因此可避免運動觸點所需的偏置力增加復(fù)雜性。在一些實施例中，為了在溫度范圍內(nèi)提供適當(dāng)?shù)姆€(wěn)定性，可提供接觸陶瓷/金屬探針子組件如探針塊112的運動設(shè)置。

在一些實施例中，可提供導(dǎo)板125與絲線引導(dǎo)機構(gòu)114之間的緊密空隙，如約25μm到50μm?？赏ㄟ^使用如導(dǎo)板125和/或絲線引導(dǎo)機構(gòu)114上的倒角或半徑來使導(dǎo)板125與絲線引導(dǎo)機構(gòu)114之間的接觸面積最小化，以將黏合的可能性最小化。在一些實施例中，可給將導(dǎo)板125及絲線引導(dǎo)機構(gòu)114靠近定位且使兩者平行以減小黏合風(fēng)險的探針心110、鎖閂組件120和/或工具130提供一個或多個粗略對準(zhǔn)特征。

例如，通過夾緊機構(gòu)124將探針心110夾緊到電路板122(或其他裝置，如圖11的探針載體140)將探針心110的頂板115迫抵于電路板122。

圖1c圖解說明了各種幾何形狀及機構(gòu)的夾緊機構(gòu)124與頂板115之間的嚙合。在一些實施例中，該嚙合設(shè)計成總是通電(例如，不得不將夾緊機構(gòu)124撬開以釋放探針心110)。在其他實施例中，該嚙合可在“接通”和“關(guān)斷”之間切換。在一些實施例中，當(dāng)安裝工具130的保護套筒部分插入時可將夾緊機構(gòu)124撬開，以將探針心110夾持到鎖閂組件120或?qū)⑻结樞?10從鎖閂組件120釋放?？刹倏v各種實施例以使探針心110朝電路板122移動。當(dāng)施加力到水平楔的實施例的任一側(cè)或兩側(cè)時，可向下驅(qū)迫該水平楔。通過偏心凸輪的實施例的旋轉(zhuǎn)運動向下驅(qū)迫該偏心凸輪。切向楔可用于通過引起傾斜楔平移的旋轉(zhuǎn)朝電路板122驅(qū)迫探針心110和通過與另一傾斜楔的接觸朝電路板122驅(qū)迫探針心110。圖解說明了樞轉(zhuǎn)操作桿變動，其中操作桿的旋轉(zhuǎn)可引起與探針心110的上表面接觸，從而朝電路板122向下驅(qū)迫探針心110。采用壓縮彈簧柱塞實施例的偏心可用于施加旋轉(zhuǎn)力，該旋轉(zhuǎn)力繼而引起彈簧柱塞朝電路板122向下驅(qū)迫探針心110。在另一實施例中，具有彈簧鼻的四連桿鉸接夾可接受向下的力，該向下力可繼而施加到探針心110的上表面以朝電路板122向下驅(qū)迫探針心110。

圖2是根據(jù)一些實施例的探針心110的剖面圖。在圖2中所展示的實施例中，探針塊112包括設(shè)置有用于容納探針線113的通道的板112a及接合到板112a的組件112b。組件112b的形狀是環(huán)形和設(shè)置有用于容納對準(zhǔn)銷162的對準(zhǔn)開口160。板112可由例如陶瓷材料制成。組件112b可由例如金屬材料制成。

絲線引導(dǎo)機構(gòu)114包括上絲線引導(dǎo)機構(gòu)14及下絲線引導(dǎo)機構(gòu)16，該上絲線引導(dǎo)機構(gòu)14及下絲線引導(dǎo)機構(gòu)16設(shè)置有在它們之間的用于引導(dǎo)探針線113的通道。探針線113夾緊于上絲線引導(dǎo)機構(gòu)14與下絲線引導(dǎo)機構(gòu)16之間。每個探針線113具有延伸出板112a以形成探針尖的第一端113a和與第一端相對的第二端113b。在一些實施例中，絲線引導(dǎo)機構(gòu)114成型為允許探針線113朝向其第二端113b以一傾斜角延伸。第二端113b用于接觸電路板122上的各個墊。在一些實施例中，第二端113b可作為用于正機械止動的彈性觸點。在一些實施例中，第二端113b可形成帶窩探針尾，該帶窩探針尾可以是例如v形或u形。這些帶窩探針尾可以是(例如)鍍金的。探針線113的第二端113b可電連接到識別印刷線路板(ID PWB板)116。ID PWB板116可包括識別(ID)裝置、用于執(zhí)行診斷測試的無源或有源元件和/或用于改進信號完整性的裝置。這些ID裝置可包括例如可擦可編程只讀存儲器(EPROM)和電阻器。這些無源或有源元件可包括例如二極管、電阻器和/或電容器。用于改進信號完整性的這些裝置可包括(例如)電阻器、電容器和/或電感器。在一些實施例中，探針線113可由端接到IDPWB板116的第二端113b組成。

頂板115設(shè)有凹坑172，該凹坑172在頂板115的中心下側(cè)處具有凹腔。對準(zhǔn)銷162由對準(zhǔn)開口160容納以對準(zhǔn)探針心110的這些組件。探針心110的這些組件，例如頂板115及絲線引導(dǎo)機構(gòu)114，每個可具有用于與對準(zhǔn)銷162對準(zhǔn)的孔和/或狹槽。

圖3a及圖3b(分別)圖解說明了根據(jù)一些實施例的探針心110的側(cè)視圖及仰視圖。探針心110的頂板115具有大體上圓形形狀和定位于頂板115的周邊的嚙合組件115a到115c(在圖解說明的實施例中，嚙合組件115a到115c亦稱為“凸耳組件”115a到115c)。頂板115上的凸耳組件115a到115c可提供正定向、作為粗略對準(zhǔn)特征且可由鎖閂例如圖1a的夾緊機構(gòu)124嚙合，以將探針線113的第二端113b推抵于電路板122。探針心110的絲線引導(dǎo)機構(gòu)114包括定位于絲線引導(dǎo)機構(gòu)114的周邊的凹口114a到114c。凹口114a到114c可為絲線引導(dǎo)機構(gòu)114提供精細(xì)對準(zhǔn)特征。在一些實施例中，凹口114a到114c可與導(dǎo)板125上的凸塊如圖7中所展示的凸塊114a’到114c’嚙合，以提供它們之間的精細(xì)對準(zhǔn)。凹口114a到114c與凸塊114a’到114c’之間的嚙合可以是非運動的或運動的。在一些實施例中，該嚙合可允許圍繞絲線引導(dǎo)機構(gòu)114的中心的熱膨脹。應(yīng)當(dāng)理解，凸耳組件115a到115c可無需與凹口114a到114c對準(zhǔn)。

圖4a到圖4e圖解說明了根據(jù)各種實施例的探針心110的變體110a到110e。探針心110可經(jīng)成型以指示其定向。圖4a到圖4e展示了探針心110的各種幾何形狀。虛線表示探針線113的第二端113b在絲線引導(dǎo)機構(gòu)114中的范圍。圖4a到圖4e中所展示的探針心110的頂板的各個幾何形狀允許探針心110僅以一個定向與鎖閂組件或處理工具接口。

圖1a的安裝工具130可以特定的定向，如由圖4a到圖4e中所展示的探針心110a到110e的這些特定形狀所指示的定向，裝配于探針心110上。夾緊機構(gòu)124可不嚙合直到工具130適當(dāng)?shù)囟ㄏ蚝屯耆溆谔结樞?10上。

當(dāng)探針心110包含于工具130中時，可保護探針線113免受可能的損害。如圖5a到圖5b中所示，保護套筒35可保護探針線113及探針線尾113’。保護套筒35可鎖閂于圖5a中所展示的延伸位置中以覆蓋探針線113。當(dāng)圖1a的安裝工具130插入到鎖閂組件120或探針心載體中時，保護套筒35可從該延伸位置釋放到圖5b中所展示的縮回位置。在一些實施例中，套筒35具有不對稱形狀且各個內(nèi)輪廓35a或外輪廓35b可充當(dāng)密鑰。在一些實施例中，套筒35可具有經(jīng)濟有效的圓柱形形狀。在對稱形狀如圓柱形的情況中，套筒35側(cè)面中的一個或多個狹槽可充當(dāng)密鑰。

圖6a及圖6b圖解說明了根據(jù)一個實施例的在未夾緊位置及夾緊位置的圖1a的探針測試設(shè)備100。夾緊機構(gòu)124包括驅(qū)動板24、鎖閂板26及設(shè)置在驅(qū)動板24與鎖閂板26之間的彈性部件28。彈性部件28可以是，例如壓縮彈簧。導(dǎo)板125設(shè)置在夾緊機構(gòu)124與電路板122之間，以提供探針心110與電路板122之間的精細(xì)對準(zhǔn)。導(dǎo)板125可通過例如螺絲夾緊到電路板122。驅(qū)動板24包括具有軸承624a的支腿624，軸承624a接觸導(dǎo)板125的下表面。支腿624延伸穿過鎖閂板26，從而當(dāng)驅(qū)動板24旋轉(zhuǎn)時，鎖閂板26可與驅(qū)動板24一起旋轉(zhuǎn)。在未夾緊位置中，首先將鎖閂板26壓抵于導(dǎo)板125。當(dāng)鎖閂板26連同驅(qū)動板24一起旋轉(zhuǎn)且在導(dǎo)板125上滑動時，鎖閂板26上的輪廓化的表面524與探針心110的凸耳組件115a到115c嚙合。接著，鎖閂板26將探針心110向下推到夾緊位置，在該夾緊位置探針心110完全抵靠座落在電路板122且鎖閂板26定位于凸耳組件115a到115c的頂部上。在夾緊位置中，由夾緊機構(gòu)124將絲線引導(dǎo)機構(gòu)114牢牢地壓抵于電路板122。在一些實施例中，彈性部件28可施加大于例如探針線113可產(chǎn)生的總力加上晶圓探測力的100％的力，以將絲線引導(dǎo)機構(gòu)114正偏置抵靠于電路板122而不考慮隨溫度的容差迭加或大小改變。在一些實施例中，例如，聚四氟乙烯可設(shè)置在鎖閂板26與導(dǎo)板125之間以減小鎖閂板26與導(dǎo)板125之間的摩擦。PTFE可以是具有高溫黏合劑的黏貼膜上的涂層的形式。在一些實施例中，在鎖閂板26與凸耳組件115a到115c之間，各個嚙合表面，例如輪廓化的表面524，可進行硬化及拋光，或涂布潤滑膜，該潤滑膜具有能夠承受來從小接觸區(qū)域的非常高的負(fù)載。

圖7是探針心110及鎖閂組件120的立體側(cè)視圖。鎖閂組件120設(shè)有腔129以容納探針心110。手柄128連接到驅(qū)動板24。手柄128允許用戶使驅(qū)動板24相對于導(dǎo)板125旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動板24及鎖閂板26包括各個凹口115a’到115c’，以當(dāng)探針心110插入到鎖閂組件120的腔129中時容納凸耳組件115a到115c。鎖閂組件120包括位于導(dǎo)板125的內(nèi)周邊的精細(xì)對準(zhǔn)凸塊114a’到114c’。當(dāng)探針線113的第二端113b接近電路板122時，精細(xì)對準(zhǔn)凸塊114a’到114c’可嚙合圖3b中所示的探針心110的各個凹口114a到114c。

圖8是具有展示為透明的驅(qū)動板24的鎖閂組件120的剖面圖。驅(qū)動板24的支腿624從驅(qū)動板24向下延伸穿過鎖閂板26中的凹口。當(dāng)通過手柄128或圖1a的安裝工具130使驅(qū)動板24旋轉(zhuǎn)時，鎖閂板26通過支腿624連同驅(qū)動板24一起旋轉(zhuǎn)。支腿624亦跨過導(dǎo)板125的外邊緣以允許驅(qū)動板24和鎖閂板26與導(dǎo)板125同心對準(zhǔn)。兩個支腿624攜帶在圓周方向上沿著導(dǎo)板125的下側(cè)滾動的滾珠軸承624a(根據(jù)圖6a到圖6b額外詳細(xì)描述的支腿624、滾珠軸承624a和相對位置)。支腿624亦具有塑料螺絲626，該塑料螺絲626與向下推動驅(qū)動板24時剛剛通過導(dǎo)板125且作為阻擋的滾珠軸承624a的軸平行。鎖閂板122的波浪形的下表面包括一個或多個小凹部524a，該一個或多個小凹部524a與探針心凸耳115a到115c嚙合于鎖閂位置中以幫助保持鎖閂位置。如圖8中所展示，小凹部524a是鎖閂板26與底板/導(dǎo)板125之間的小間隙。該小間隙可充當(dāng)止動裝置，以當(dāng)小凹部524a落在各個探針心凸耳115a到115c上時幫助將鎖閂板26鎖定于閉合位置中。

探針心110的高度可以最小化，從而可使用具有約30mm工作距離的高功率顯微物鏡。當(dāng)插入探針心110時驅(qū)動板24及鎖閂板26不在正確位置中時，凸耳組件115a到115c仍可向下掉落穿過驅(qū)動板24中的凹口115a’到115c’和鎖閂板26。凸耳組件115a到115c與探針線113的第二端113b之間的短垂直距離可使探針線113的第二端113b在凸耳組件115a到115c落在對準(zhǔn)凸塊114a’到114c’的頂面上之前能夠撞擊導(dǎo)板125中的對準(zhǔn)凸塊114a’到114c’。該撞擊可導(dǎo)致失效模式。可通過以下方式避免該失效模式，例如：1)添加當(dāng)探針心110未鎖住時使鎖閂板24處于正確(完全打開)的位置中的鎖閂件；2)在頂板115上面添加防護件以限制插入/提取定向；或3)將鎖閂件添加到安裝工具130以當(dāng)組件未對準(zhǔn)時阻止探針心110插入。

圖9a到圖9d圖解說明了根據(jù)一個實施例的安裝工具130。安裝工具130將探針心110夾持到鎖閂組件120或?qū)⑻结樞?10從鎖閂組件120釋放。安裝工具130包括手柄子組件及套筒子組件。該手柄子組件包括彼此連接的手柄31、在軸向方向上延伸的軸32、頂部部件33及棘爪34。頂部部件33包括向下延伸的銷332。該套筒子組件包括具有安全連鎖鎖閂的套筒35。套筒35可相對于該手柄子組件滑動且旋轉(zhuǎn)。彈性部件36定位于這些第一與第二子組件之間以將套筒35推抵于棘爪34。彈性部件36可以是例如壓縮彈簧。

圖9a中的安裝工具130位于向上位置，在該向上位置棘爪34被偏置抵靠于套筒35。圖9b中的安裝工具130位于向下位置，在該向下位置套筒35被向上驅(qū)迫與頂部部件33接觸。探針心110的凸耳組件115a到115c(圖3a中所示)嚙合于套筒35的各個狹槽351中。當(dāng)使用者通過手柄31旋轉(zhuǎn)該手柄子組件時，棘爪34可與探針心110的頂板115的凹坑172嚙合或解嚙。

圖9c圖解說明了棘爪34與探針心110的頂板115嚙合。凹坑172具有截頂圓圈的形狀。棘爪34成型使得在第一位置處棘爪34可通過該截頂圓圈，且當(dāng)棘爪34相對于頂板115旋轉(zhuǎn)到第二位置時，棘爪34可抓住該頂板并固定到探針心110。在一些實施例中，棘爪34從該第一位置到該第二位置旋轉(zhuǎn)約45度。

圖9d圖解說明頂部部件33與套筒35之間的聯(lián)鎖機構(gòu)，其中頂部部件33展示為透明的。該連鎖機構(gòu)包括在頂部部件33的一側(cè)的銷331及在套筒35的一側(cè)的凹槽351。凹槽351包括形成U形的橫向部分351a和在橫向部分351a的端部的垂直部分351b。當(dāng)銷331與凹槽351的橫向部分351a嚙合時，可阻止套筒35的垂直運動。當(dāng)銷331與垂直部分351b中的一者嚙合時，套筒35可在軸向方向向下移動。該連鎖機構(gòu)可阻止該手柄子組件在“夾持”位置與“釋放”位置之間部分地提升。

圖10a到圖10f圖解說明了當(dāng)鎖閂組件120從探針心110的未夾緊過渡到夾緊時安裝工具130如何從探針心110的夾持過渡到釋放。在圖10a中，安裝工具130是空的和靠近容納于鎖閂組件120中的探針心110。鎖閂組件120可將探針心110壓抵于電路板(未示出)。套筒35通過套筒鎖閂352剛性地鎖定到手柄子組件(參見圖10b)。當(dāng)安裝工具130在探針心110上方向下滑動時，套筒中的狹槽351(參見圖10a)可與探針心110的頂板115上的凸耳組件115a到115c對準(zhǔn)(參見圖10b及圖3a)。當(dāng)套筒35完全停留在探針心110上時，可以釋放套筒鎖閂352(參見圖10b)以允許該手柄子組件落下(參見圖10c)。彈性部件36仍可對該手柄子組件提供進一步向下運動的抵抗。在手柄行進的底部處，棘爪34抵靠探針心110的頂部停止，棘爪34的一部分突出進入探針心110的頂板115中的凹腔172。工具頂部部件中的銷332(參見圖10a)也與鎖閂組件120的驅(qū)動板24中的孔332’(參見圖10a)嚙合。將手柄31旋轉(zhuǎn)約45度可使工具130的棘爪34及鎖閂組件120的頂板24同時旋轉(zhuǎn)以將探針心110鎖定到安裝工具130及將探針心110從鎖閂組件120釋放(參見圖10d)。接著，將安裝工具130及探針心110從鎖閂組件120提起(參見圖10e)。彈性部件36(參見圖10e)可保持套筒35抵靠鎖閂組件120直到探針心110的頂部接觸套筒35的底部。隨著進一步的向上運動，套筒鎖閂352落下以將套筒35鎖定于向下位置，以保護探針心110(參見圖10f)。

圖10g是與探針心110的頂板115嚙合的安裝工具130的剖面圖。套筒35的端部上的套筒引導(dǎo)特征354可與鎖閂組件120的導(dǎo)板125中的特征122a嚙合。當(dāng)套筒35相對于鎖閂組件120不正確地對準(zhǔn)時，套筒35不能進入鎖閂組件120的足夠遠(yuǎn)的位置以驅(qū)動鎖閂組件120以及探針心110不可落入鎖閂組件120中。當(dāng)探針心110與鎖閂組件120沒有準(zhǔn)確地對準(zhǔn)時，這可阻止探針尾113’落到鎖閂精細(xì)對準(zhǔn)凸塊114a’到114c’的頂部。在處理期間也有助于保護探針113。

圖11展示了在運送及處理期間可保護探針心110的探針心載體140。探針心載體140可包括盒41。在盒41中，形成上部件42及下部件43以容納探針心110。鎖閂盤44中的孔47可嚙合安裝工具130的頂部部件33中的銷332。上部件42包括凸起區(qū)域45以驅(qū)動套筒鎖閂352。下部件43包括可與套筒35的套筒引導(dǎo)特征354嚙合的套筒對準(zhǔn)特征46。安裝工具130在探針心載體140的操作方式可與在鎖閂組件120的操作方式相同。

圖12a到圖12c圖解說明了根據(jù)一些實施例的在未夾緊位置1200a、中間位置1200b及夾緊位置1200c的圖1a的探針測試設(shè)備100的側(cè)面示意圖1200a到1200c。圖12a到圖12c中所圖解說明的實施例可以是例如圖6a到圖6b中所圖解說明的實施例的替代方案。圖12a到圖12c的形狀可與圖6a到圖6b的形狀相同或類似。圖12a到圖12c中所圖解說明的鎖閂組件120可與具有如圖13所圖解說明的探針心頂板1305的探針心一起使用。

夾緊機構(gòu)124包括驅(qū)動板1220、鎖閂板1225、彈性部件1210及滾動部件1212。彈性部件1210可以是例如懸臂彈簧。導(dǎo)板1240設(shè)置在夾緊機構(gòu)124與電路板122之間，以提供探針心110與電路板122之間的精細(xì)對準(zhǔn)。導(dǎo)板1240可通過例如螺絲夾緊到電路板122。在圖12a到圖12c所圖解說明的鎖閂組件120中，夾緊頂板1215附接到導(dǎo)板1240。彈性部件1210可附接到夾緊頂板1215。彈性部件1210用于抑制向上運動。通常選擇彈性部件1210使得當(dāng)偏斜時，彈性部件1210抵消提升力、探針心110與電路板122之間的接觸力及當(dāng)探針線113接觸受測裝置時所產(chǎn)生的力。在一些實施例中，彈性部件1210的多個部分可由夾緊頂板1215支撐以阻止彈性部件1210的變形。

驅(qū)動板1220及鎖閂板1225被輪廓化，從而滾動組件1212引起鎖閂板1225與驅(qū)動板1220一起旋轉(zhuǎn)。這些輪廓包括凹窩，這些凹窩設(shè)計成使得驅(qū)動板1220和鎖閂板1225在驅(qū)動板1220的運動過程中一起移動且在驅(qū)動板1220的運動過程中的多個時間段相對于彼此移動。提升彈簧1235提供足夠的力將驅(qū)動板1220、鎖閂板1225及滾動組件1212驅(qū)迫在一起，同時彈性部件1210抑制向上運動。在一些實施例中，驅(qū)動板1220及鎖閂板1225的這些輪廓化的表面可進行硬化及拋光，或涂布有能夠承受來自接觸區(qū)域的非常高負(fù)載的潤滑膜。

當(dāng)鎖閂板1225連同驅(qū)動板1220一起旋轉(zhuǎn)且在A方向上沿著PTFE滑行墊1230滑動時，鎖閂板1225與驅(qū)動板1220上的輪廓化的表面與滾動組件1212嚙合。接著，鎖閂板1225將探針心110向下推動到夾緊位置，在該夾緊位置探針心110完全坐抵于電路板1222且鎖閂板1225定位于嚙合組件1310a到1310c的頂部。在所圖解說明的實施例中，嚙合組件1310a到1310c是瓣組件1310a到1310c。鎖閂板止動銷1265附接到鎖閂板1235。鎖閂板止動銷1265用于在A方向上與鎖閂板1225一起平移。鎖閂板止動銷1265的一部分設(shè)置在導(dǎo)板1240中的狹槽1270內(nèi)。狹槽1270提供夾緊位置1200c及未夾緊位置1200a中的止動且可阻止鎖閂板1225的不必要的運動。

在夾緊位置中，夾緊機構(gòu)124將絲線引導(dǎo)機構(gòu)114牢牢地壓抵于電路板122。在一些實施例中，彈性部件1210可施加大于，例如探針線113可產(chǎn)生的總力加上晶圓探測力的100％的力，以將絲線引導(dǎo)機構(gòu)114正偏置抵靠于電路板122而不考慮隨溫度的容差迭加或大小改變。

圖13圖解說明了根據(jù)一些實施例的探針心110的仰視圖。探針心110的頂板1255具有大體上修圓的箭頭形狀(例如，類似于圖4c的110c)和延伸超過探針塊112及絲線引導(dǎo)機構(gòu)114周邊的瓣組件1310a到1310c。頂板1255上的瓣組件1310a到1310c可提供正定向，作為粗略對準(zhǔn)特征且可被鎖閂例如圖1a的夾緊機構(gòu)124嚙合，以將探針線113的第二端113b推抵于電路板122。探針心110的絲線引導(dǎo)機構(gòu)114包括定位于絲線引導(dǎo)機構(gòu)114的周邊的凹口114a到114c。凹口114a到114c可為絲線引導(dǎo)機構(gòu)114提供精細(xì)對準(zhǔn)特征。在一些實施例中，凹口114a到114c可與導(dǎo)板125上的凸塊如圖7中所示的凸塊114a’到114c’嚙合，以提供它們之間的精細(xì)對準(zhǔn)。凹口114a到114c與凸塊114a’到114c’之間的嚙合可以是非運動的或運動的。在一些實施例中，該嚙合可允許圍繞絲線引導(dǎo)機構(gòu)114的中心的熱膨脹。應(yīng)當(dāng)了解，瓣組件1310a到1310c可不需要與凹口114a到114c對準(zhǔn)。

上面已經(jīng)特別參考當(dāng)前較佳的但是是例示性的實施例闡述了本申請的眾多創(chuàng)新教導(dǎo)，其中這些創(chuàng)新教導(dǎo)有利地應(yīng)用到可容易地互換的探針心和處理工具以探測半導(dǎo)體裝置的特殊問題。然而，應(yīng)當(dāng)理解，這些實施例僅為本文中的創(chuàng)新教導(dǎo)的許多有利使用的一些例子。通常，在本申請的說明書中作出的敘述沒有必然地限制各種所要求保護的發(fā)明的任何一個。此外，一些敘述可應(yīng)用于一些發(fā)明特征，但是不應(yīng)用于其他發(fā)明特征。通常，除非另有指示，否則在不失一般性的情況下單個數(shù)元件也可以是多個，反之亦然。

方面：

應(yīng)當(dāng)了解，方面1到9的任一項可與方面10到14、15到19或20到23的任一項組合。方面10到14的任一項可與方面15到19或20到23的任一項組合。方面15到19的任一項可與方面20到23的任一項組合。

方面1一種用于測試受測裝置的探針設(shè)備，該設(shè)備包括：

探針心，該探針心包括頂板、絲線引導(dǎo)機構(gòu)、多個探針線以及探針塊；

電路板；以及

鎖閂組件，該鎖閂組件用于將該探針心可拆卸地固定到該電路板，該鎖閂組件包括：

夾緊機構(gòu)，該夾緊機構(gòu)用于將該探針心壓抵于該電路板；以及

導(dǎo)板，該導(dǎo)板設(shè)置在該夾緊機構(gòu)與該電路板之間，該導(dǎo)板用于使該探針心相對于該電路板定向在特定位置中。

方面2根據(jù)方面1的探針設(shè)備，其中該導(dǎo)板夾緊到該電路板。

方面3根據(jù)方面1到2中任一項的探針設(shè)備，其中該鎖閂組件包括位于該導(dǎo)板的內(nèi)周邊的一個或多個精細(xì)對準(zhǔn)凸塊。

方面4根據(jù)方面1到3中任一項的探針設(shè)備，其中該探針心包括一個或多個凹口，該一個或多個凹口與一個或多個精細(xì)對準(zhǔn)凸塊是可嚙合的，以提供該探針心相對于該電路板的特定對準(zhǔn)。

方面5根據(jù)方面1到4中任一項的探針設(shè)備，其中該夾緊機構(gòu)包括：

驅(qū)動板，該驅(qū)動板用于相對于該電路板旋轉(zhuǎn)；

鎖閂板，該鎖閂板設(shè)置于該驅(qū)動板與該電路板之間且可與該導(dǎo)板滑動接觸；以及

彈性部件，該彈性部件設(shè)置于該驅(qū)動板與該鎖閂板之間，

其中該鎖閂板用于與該驅(qū)動板旋轉(zhuǎn)且相對于該導(dǎo)板滑動，該鎖閂板與該探針心的一個或多個嚙合部件是可嚙合的，以提供夾緊力，從而將該探針心維持于夾緊位置。

方面6根據(jù)方面1到4中任一項的探針設(shè)備，其中該夾緊機構(gòu)包括：

驅(qū)動板，該驅(qū)動板用于相對于該電路板旋轉(zhuǎn)；

滑行墊，該滑行墊通過壓縮彈簧附接到該導(dǎo)板；

鎖閂板，該鎖閂板設(shè)置于該驅(qū)動板與該電路板之間且可與該滑行墊滑動接觸；

夾緊頂板，該夾緊頂板附接到該導(dǎo)板；以及

彈性部件，該彈性部件設(shè)置于該夾緊頂板與該驅(qū)動板之間，

其中該鎖閂板用于與該驅(qū)動板旋轉(zhuǎn)且相對于該導(dǎo)板滑動，該鎖閂板與該探針心的一個或多個嚙合部件是可嚙合的，以提供夾緊力，從而將該探針心維持于夾緊位置。

方面7根據(jù)方面1到6中任一項的探針設(shè)備，該探針設(shè)備進一步包括鎖閂板止動銷，該鎖閂板止動銷用于限制該鎖閂板相對于該電路板的運動，該止動銷設(shè)置在該導(dǎo)板中的狹槽內(nèi)。

方面8根據(jù)方面1到7中任一項的探針設(shè)備，該探針設(shè)備進一步包括處理工具，該處理工具與該夾緊機構(gòu)是可嚙合的。

方面9根據(jù)方面6到8中任一項的探針設(shè)備，其中該鎖閂組件通過旋轉(zhuǎn)該鎖閂板驅(qū)動。

方面10一種用于測試受測裝置的探針設(shè)備，該設(shè)備包括：

電路板，該電路板具有嚙合組件；以及

探針心，該探針心包括：

頂板，該頂板包括一個或多個嚙合部件，該一個或多個嚙合部件用于當(dāng)該探針心夾緊到該電路板時提供該探針心相對于該電路板的粗略對準(zhǔn)；

絲線引導(dǎo)機構(gòu)，該絲線引導(dǎo)機構(gòu)包括定位于該線導(dǎo)周邊的一個或多個凹口，該一個或多個凹口在該探針心夾緊到該電路板時提供精細(xì)對準(zhǔn)；

多個探針線；以及

探針塊，

其中該探針心與該嚙合組件是可嚙合的。

方面11根據(jù)方面10的探針設(shè)備，其中該嚙合組件包括：

夾緊機構(gòu)，該夾緊機構(gòu)用于將該探針心壓抵于該電路板；以及

導(dǎo)板，該導(dǎo)板設(shè)置在該夾緊機構(gòu)與該電路板之間，該導(dǎo)板用于使該探針心相對于該電路板定向在特定位置中。

方面12根據(jù)方面10到11中任一項的探針設(shè)備，其中當(dāng)該探針設(shè)備處于測試組態(tài)時該探針心與該嚙合組件嚙合。

方面13根據(jù)方面10到12中任一項的探針設(shè)備，其中該頂板包括指示該探針心相對于該嚙合組件的可嚙合定向的幾何形狀。

方面14根據(jù)方面10到13中任一項的探針設(shè)備，其中該嚙合組件夾緊到該電路板。

方面15一種在用于測試受測裝置的探針設(shè)備中使用的探針心，該探針心包括：

頂板，該頂板包括一個或多個嚙合部件，當(dāng)該探針心夾緊到電路板時該一個或多個嚙合元件提供該探針心相對于該電路板的粗略對準(zhǔn)；

絲線引導(dǎo)機構(gòu)，該絲線引導(dǎo)機構(gòu)包括定位于該線導(dǎo)周邊的一個或多個凹口，該一個或多個凹口在該探針心夾緊到該電路板時提供精細(xì)對準(zhǔn)；

多個探針線；以及

探針塊，

其中該探針心與該嚙合組件是可嚙合的。

方面16根據(jù)方面15的探針心，其中該嚙合組件為將該探針心固定到該電路板的鎖閂組件。

方面17根據(jù)方面15的探針心，其中該嚙合組件為處理工具。

方面18根據(jù)方面15的探針心，其中該嚙合組件為探針心載體。

方面19根據(jù)方面15到18中任一項的探針心，其中該頂板包括指示該探針心相對于該嚙合組件的可嚙合定向的幾何形狀。

方面20一種用于將探針心鎖閂到裝置的方法，該方法包括：

使用安裝工具將力施加到驅(qū)動板，該驅(qū)動板用于對應(yīng)地旋轉(zhuǎn)鎖閂板；

迫使該鎖閂板抵在該探針心上的嚙合組件，從而將該探針心夾緊到該裝置；以及

當(dāng)該探針心夾緊到該裝置時將該安裝工具從該探針心移除。

方面21根據(jù)方面20的方法，其中施加力包括施加向下的力及旋轉(zhuǎn)力到該驅(qū)動板。

方面22根據(jù)方面20到21中任一項的方法，其中該裝置包括電路板或探針心載體中的一者。

方面23根據(jù)方面20到22中任一項的方法，該方法進一步包括在將該探針心鎖閂到該裝置之前將鎖閂組件的一個或多個部分固定到該裝置。

下列術(shù)語特別描述于整個說明書且不意在限制：

不限于半導(dǎo)體裝置

本發(fā)明特別適用于探測半導(dǎo)體裝置，但本教導(dǎo)的使用不限于探測半導(dǎo)體裝置。該他裝置可應(yīng)用到本發(fā)明教導(dǎo)。因此，雖然本說明書描述了探測“半導(dǎo)體”裝置，但此術(shù)語應(yīng)廣泛地解釋以包括探測任何適合的裝置。

不限于低電流

本發(fā)明可與其他測試裝備一起應(yīng)用以解決量測低于100fA的電流的問題，但本教導(dǎo)的電流范圍不限于低于100fA。例如，本發(fā)明可與其他測試裝備一起應(yīng)用以量測半導(dǎo)體裝置中的為100fA或100fA以上的電流。因此，雖然本說明書描述了“低電流”或“量測低于100fA的電流”，但這些術(shù)語應(yīng)廣泛地解釋以包括流過半導(dǎo)體裝置的可為100fA或100fA以上的任何電流。本發(fā)明亦可與其他測試裝備一起應(yīng)用以解決在高溫下量測高頻率信號的問題。

不限于寬溫度

本發(fā)明可解決供在窄或受限操作溫度范圍中使用的可容易地互換的探針心的問題。本教導(dǎo)不限于特定的操作溫度范圍。本申請允許測試者在寬操作溫度范圍內(nèi)，不僅在低操作溫度下而且在高操作溫度下如高達(dá)300℃及以上的操作溫度對半導(dǎo)體裝置進行電探測。因此，雖然本說明書描述了“寬溫度范圍”或“在寬操作溫度范圍中量測電流”，但這些術(shù)語應(yīng)廣泛地解釋以包括半導(dǎo)體裝置的任何適合操作或測試的溫度范圍。

不限于探針

本發(fā)明通過使用探針例如，線針探針，該線針探針從接觸晶圓的針尖延伸到接觸電路板的成形探針線尾，可解決受測裝置(例如，半導(dǎo)體晶圓)與該電路板互連的問題。然而，本發(fā)明的教導(dǎo)中的任何內(nèi)容都不限于接觸該晶圓的其他探針技術(shù)的應(yīng)用、用于接觸該探針卡的其他電接觸技術(shù)或該晶圓與電路板觸點之間的其他電互連。

不限于信號觸點/纜線及防護觸點/纜線

本發(fā)明可與信號觸點/纜線和/或防護觸點/纜線一起應(yīng)用，以解決使用同軸或三軸信號纜線的半導(dǎo)體裝置的測量電流的問題。然而，本文的教導(dǎo)的任何內(nèi)容都不將本發(fā)明的教導(dǎo)的應(yīng)用限制到具有更多或更少層的信號纜線。具有任意層數(shù)的信號纜線可具有本文的教導(dǎo)的有利使用。

不限于金屬

本發(fā)明可與由金屬制成的針及驅(qū)動防護件一起應(yīng)用。本發(fā)明不承認(rèn)有關(guān)于可使用何種類型的金屬影響本文的教導(dǎo)的任何限制。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，在不失一般性的情況下，可使用任何導(dǎo)電材料實施本發(fā)明的教導(dǎo)。

不限于介電質(zhì)

本發(fā)明可與各種介電材料一起應(yīng)用，例如用于提供組件之間的電絕緣的介電材料。本發(fā)明不承認(rèn)有關(guān)于可使用何種類型的介電影響本文的教導(dǎo)的任何限制。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，在不失一般性的情況下，可使用任何非導(dǎo)電、高度耐熱材料來實施本發(fā)明的教導(dǎo)。

本申請案所揭露的實施例在所有方面被視為說明性的而非限制性的。本發(fā)明的范疇由隨附的申請權(quán)利要求指示而非前面的描述指示；且在權(quán)利要求的意義及等效范圍內(nèi)的全部改變旨在包括于本文中。