技術(shù)編號(hào):11889762
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及測(cè)試設(shè)備,特別是涉及用于測(cè)試受測(cè)裝置(例如,半導(dǎo)體裝置)的測(cè)試設(shè)備。更具體地,本發(fā)明涉及一種構(gòu)造成探針心的探針設(shè)備,該探針心與測(cè)試設(shè)備一起使用以用于電探測(cè)受測(cè)裝置如半導(dǎo)體晶圓。背景技術(shù)半導(dǎo)體工業(yè)持續(xù)需要接近半導(dǎo)體晶圓上的許多電子裝置。隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展且裝置變得愈來(lái)愈小且愈來(lái)愈復(fù)雜,許多電裝置、最常見(jiàn)的半導(dǎo)體裝置及晶圓上相互間的電連接,當(dāng)這些裝置呈晶圓形式時(shí),必須進(jìn)行電測(cè)試,例如測(cè)試泄露電流及極低操作電流。另外,通常需要在寬溫度范圍內(nèi)評(píng)估電流及裝置特性以理解溫度如何影響裝置。同樣...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。