專利名稱：陣列測試裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于測試玻璃面板的陣列測試裝置。
背景技術：
一般來說，平板顯示器(FPD)是比具有布勞恩顯像管(Braun Tube)的傳統(tǒng)電視機或顯示器薄而且輕的圖像顯示器。液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)、場致發(fā)射顯示器(FED)以及有機發(fā)光二極管(OLED)是已開發(fā)并使用的平板顯示器的代表實例。這種FPD中的LCD是以向排列為矩陣形狀的液晶單元獨立地提供基于圖像信息的數(shù)據(jù)信號來控制液晶單元的透光性的方式來顯示預期圖像的圖像顯示器。IXD薄且輕，而且還具有包括功耗低以及操作電壓低在內(nèi)的許多其它優(yōu)點，因此被廣泛地使用。下面將詳細描述用在這種LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色濾光片和共用電極。之后，在與上玻璃面板相對的下玻璃面板上形成薄膜晶體管(TFT)和像素電極。隨后將配向?qū)臃謩e涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向?qū)右员銥殡S后在配向?qū)又g形成的液晶層中的液晶分子提供預傾角和配向方位。此后，通過將密封膠涂布至玻璃面板中的至少一個來形成密封膠圖案，以保持玻璃面板間的間隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板間的間隙。隨后，在玻璃面板之間形成液晶層，從而完成液晶面板。在上述過程中，測試具有TFT和像素電極的下玻璃面板(下文中稱為“玻璃面板”) 是否有缺陷的操作，是通過例如檢測柵極線或數(shù)據(jù)線是否斷線或者檢測像素單元是否顯色不佳來實現(xiàn)的。典型地，使用具有多個探針引腳的陣列測試裝置來測試玻璃面板。利用陣列測試裝置來對玻璃面板進行測試包括將探針引腳置于對應于形成在玻璃面板上的電極的位置、在壓力下將探針引腳與電極接觸、以及然后將電信號通過探針引腳施加至電極。設置在玻璃面板上的電極的位置以及電極的布置方式，也就是說，電極的數(shù)量以及各相鄰電極之間的距離，對于不同種類的玻璃面板而言是不同的。因此，利用單個陣列測試裝置來測試多種類型的玻璃面板必須包括將探針組件更換為具有與待測試玻璃面板的電極的位置和布置方式對應的探針引腳的另一個探針組件。然而，當測試多種類型的玻璃面板時，為了測試目的將探針組件更換為具有與玻璃面板的電極的位置和布置方式對應的探針引腳的另一個探針組件導致降低處理效率的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，針對以上現(xiàn)有技術中產(chǎn)生的問題提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是提供一種陣列測試裝置，其能夠在即使僅使用單個陣列裝置的情況下也能有效地測試具有不同的電極位置、布置方式和布置方位的不同種類的玻璃面板。為了實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明提供一種具有探針組件的陣列測試裝置，所述探針組件包括探針棒，其配備有設置在探針棒上的多個探針引腳；以及電信號施加單元，其選擇性地將電信號施加給與玻璃面板上的電極的布置方式相對應的探針引腳。


由以下結合附圖的詳細描述，將更加清楚地理解本發(fā)明前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點，其中圖I是圖示根據(jù)本發(fā)明第一個實施方式的陣列測試裝置的立體圖；圖2是圖I的陣列測試裝置的探針組件的立體圖；圖3和圖4是圖示圖2的探針組件的立體圖；圖5和圖6是圖不圖3的探針組件的探針棒和探針引腳的不意圖；以及圖7和圖8是圖示根據(jù)本發(fā)明第二個實施方式的陣列測試裝置中的探針組件的探針棒和探針引腳的示意圖。
具體實施例方式下文將參照附圖詳細說明根據(jù)本發(fā)明的陣列測試裝置的實施方式。如圖I所示，根據(jù)本發(fā)明第一個實施方式的陣列測試裝置包括將玻璃面板P加載到所述裝置上的加載單元10、測試由加載單元10加載的玻璃面板P的測試單元20、以及將已由測試單元20測試的玻璃面板P從所述裝置卸載的卸載單元30。測試單元20測試玻璃面板P的電缺陷。測試單元20包括透光支撐板21、測試模塊22、探針組件23以及控制單元(未示出)。由加載單元10加載的玻璃面板P放置在透光支撐板21上。測試模塊22測試放置在透光支撐板21上的玻璃面板P的電缺陷。探針組件23向放置在透光支撐板21上的玻璃面板P的電極E施加電信號?？刂茊卧刂茰y試模塊22和探針組件23。 如圖2至圖6所示，探針組件支撐框架50設置在透光支撐板21上方并沿著透光支撐板21的縱向(X軸方向)延伸預定長度。探針組件23安裝在探針組件支撐框架50上， 以能夠沿探針組件支撐框架50的縱向(X軸方向)移動。探針組件23包括探針棒70、升降單元80、轉(zhuǎn)動單元90和電信號施加單元100。探針棒70包括多個探針引腳60。升降單元 80沿Z軸方向移動探針棒70。轉(zhuǎn)動單元90繞Z軸轉(zhuǎn)動探針棒70。電信號施加單元100選擇性地將電信號施加給探針引腳60之中的與玻璃面板P上的電極E的布置方式相對應的一些探針引腳60。探針組件支撐框架50與Y軸驅(qū)動單元51連接，使得探針組件支撐框架50能夠借助于Y軸驅(qū)動單元51沿水平地垂直于探針組件支撐框架50的縱向(X軸方向)的方向(Y 軸方向)移動。而且，探針組件支撐框架50和探針組件23之間設置有X軸驅(qū)動單元52。X 軸驅(qū)動單元52沿探針組件支撐框架50的縱向移動探針組件23。可以使用諸如線性馬達、 滾珠絲杠等的各種線性驅(qū)動裝置作為Y軸驅(qū)動單元51和/或X軸驅(qū)動單元52。升降單元80設置在探針組件23上并且與探針棒70連接。例如使用液壓的致動器、使用電力的線性馬達等的各種裝置能夠用作升降單元，只要它能夠沿Z軸方向上下移動探針棒70。升降單元80的作用是向下移動探針棒70，使得探針引腳60按壓放置在透光支撐板21上的玻璃面板P的相應電極E。
另外，假設將沿著探針組件支撐框架50的縱向延伸的軸線指定為X軸、將水平地垂直于X軸并沿著玻璃面板P被加載到裝置上或從裝置上卸載的方向延伸的軸線指定為Y 軸、以及將豎直地垂直于X軸和Y軸的軸線指定為Z軸。基于此假設，轉(zhuǎn)動單元90的作用是繞Z軸轉(zhuǎn)動探針棒70。轉(zhuǎn)動單元90可以包括轉(zhuǎn)動軸,轉(zhuǎn)動軸設置在探針組件23上并與探針棒70連接，使得探針棒70可以由操作員手動轉(zhuǎn)動。可選地，轉(zhuǎn)動單元90可以包括轉(zhuǎn)動馬達，轉(zhuǎn)動馬達設置在探針組件23上并與探針棒70連接，使得探針棒70可以借助于轉(zhuǎn)動馬達自動繞Z軸轉(zhuǎn)動。在此情況下，理想的是使用步進馬達作為轉(zhuǎn)動馬達，用以精確控制探針棒70旋轉(zhuǎn)的角度。例如，如圖3所示，當電極E沿X軸方向布置在玻璃面板P上時，探針棒70可以借助于轉(zhuǎn)動單元90繞Z軸轉(zhuǎn)動，使得探針引腳60對準相應的電極E。如圖4 所示，當電極E沿Y軸方向布置在玻璃面板P上時，探針棒70也可以借助于轉(zhuǎn)動單元90繞 Z軸轉(zhuǎn)動，使得探針引腳60對準布置在玻璃面板P上的相應的電極E。這樣，設置轉(zhuǎn)動單元 90來應對具有沿不同方位布置的電極E的玻璃面板P。如果玻璃面板P上的電極E的布置方位始終恒定，則可以不設置轉(zhuǎn)動單元90。如圖5和圖6所示，探針棒70可以包括布置在相互間隔開不同距離的位置處的探針引腳60。例如，單個探針棒70上可以一同布置有第一類型探針引腳61和第二類型探針引腳62，第一類型探針引腳61的布置方式與具有第一布置類型的電極El的布置方式相同， 第二類型探針引腳62的布置方式與具有第二布置類型的電極E2的布置方式相同。電極E 的布置方式可以由電極E的數(shù)量以及各相鄰電極E之間的距離決定。探針引腳60的布置方式可以由探針引腳60的數(shù)量以及各個探針引腳60之間的距離決定。當然，本發(fā)明并不局限于在單個探針棒70上布置兩種類型的探針引腳61和62。例如，可以在單個探針棒70 上布置三種或更多種類型的探針引腳60，其具有與三種或更多種類型的電極E相對應的布置方式。電信號施加單兀100包括電信號發(fā)生器130、第一連接線111、第一開關112、第二連接線121、第二開關122和控制器140。電信號發(fā)生器130產(chǎn)生電信號。第一連接線111 將電信號發(fā)生器130連接至第一類型探針引腳61。第一開關112設置在第一連接線111 上，以允許將電信號發(fā)生器130產(chǎn)生的電信號施加給第一類型探針引腳61或中斷所述施加。第二連接線121將電信號發(fā)生器130連接至第二類型探針引腳62。第二開關122設置在第二連接線121上，以允許將電信號發(fā)生器130產(chǎn)生的電信號施加給第二類型探針引腳 62或中斷所述施加?？刂破?40控制第一開關112和第二開關122的操作。具有上述結構的電信號施加單元100的作用是將電信號施加給探針引腳60之中的與設置在玻璃面板P上的電極E的數(shù)量以及各相鄰電極E之間的距離相對應的一些探針引腳，從而將電信號施加至玻璃面板P的電極E。例如，如圖5所示，為了測試設置有具有第一布置類型的電極El的玻璃面板P，首先操作第一開關112以將第一類型探針引腳61與電信號發(fā)生器130連接，所述第一開關112連接至具有與第一類型電極El相同的布置方式的第一類型探針引腳61。同時，操作第二開關122以中斷第二類型探針引腳62與電信號發(fā)生器130的連接，所述第二開關122連接至具有與第二類型電極E2相同的布置方式的第二類型探針引腳62。結果，陣列測試裝置進入可以將電信號施加至第一類型電極El的狀態(tài)。 以相同的方式，如圖6所示，為了測試設置有具有第二布置類型的電極E2的玻璃面板P，操作第二開關122以將第二類型探針引腳62與電信號發(fā)生器130連接，所述第二開關122連接至具有與第二類型電極E2相同的布置方式的第二類型探針引腳62。同時，操作第一開關 112以中斷第一類型探針引腳61與電信號發(fā)生器130的連接，所述第一開關112連接至具有與第一類型電極El相同的布置方式的第一類型探針引腳61。結果，陣列測試裝置進入可以將電信號施加至第二類型電極E2的狀態(tài)。如上所述，本發(fā)明能夠以將電信號施加給探針引腳60之中的與玻璃面板P上的電極E的布置方式相對應的一些探針引腳的方式來應對形成在玻璃面板P上的電極E的各種布置類型。以下將說明具有上述結構的根據(jù)本發(fā)明第一個實施方式的陣列測試裝置的操作。首先，玻璃面板P由加載單元10加載到透光支撐板21上。隨后，探針組件23向玻璃面板P的電極E施加電信號以利用測試單兀20來測試玻璃面板P的電缺陷。在探針組件23向玻璃面板P的電極E施加電信號之前，探針組件23可以借助于探針組件支撐框架50沿Y軸方向移動，也可以借助于X軸驅(qū)動單元52沿X軸方向移動，其中探針組件支撐框架50借助于Y軸驅(qū)動單元51沿Y軸方向移動。通過沿X軸和/或Y軸方向移動，探針組件23移動到玻璃面板P的形成有電極E的部分。由此，設置在探針棒70 上的探針引腳60鄰近玻璃面板P的電極E放置。通過電信號施加單元100的操作，陣列測試裝置進入可以將電信號施加給探針引腳60之中的與玻璃面板P上的電極E的布置方式相對應的一些探針引腳的狀態(tài)。隨后，探針棒70通過升降單元80的操作向下移動，使得從探針棒70向下突伸的相應的探針引腳60按壓相應的電極E。在此狀態(tài)下，當借助于電信號施加單元100經(jīng)由探針棒70的選中的探針引腳60將電信號施加至電極E時，操作測試單元20的測試模塊22 以測試玻璃面板P的電缺陷。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明第一個實施方式的陣列測試裝置中，通過將電信號施加給探針引腳60之中的與形成在玻璃面板P上的電極E的布置方式相對應的一些選中的探針引腳的方式，無論電極E的布置類型如何，探針引腳60都可以適應于電極E。因此，與需要替換探針組件23的現(xiàn)有技術不同的是，即使在單個陣列測試裝置上加載具有不同布置類型的電極E—例如電極E的數(shù)量、各相鄰電極E之間的距離、或電極E的方位有所不同一的不同種類的玻璃面板P，本發(fā)明的陣列測試裝置也可以在不用替換探針組件23的情況下有效地測試玻璃面板P。下文將參照圖7和圖8具體說明根據(jù)本發(fā)明第二個實施方式的陣列測試裝置。在第二個實施方式的說明中，將使用與第一個實施方式相同的附圖標記來指代相同的部件， 并省略對其不必要的進一步說明。如圖7和圖8所示，根據(jù)本發(fā)明第二個實施方式的陣列測試裝置還包括至少一個公共探針引腳63，其與第一布置類型的電極El以及第二布置類型的電極E2相對應。電信號施加單元100還包括第三連接線131，其將電信號發(fā)生器130連接至公共探針引腳63 ； 以及第三開關132，其設置在第三連接線131上，以允許將電信號發(fā)生器130產(chǎn)生的電信號施加給公共探針引腳63或中斷所述施加?？刂破?40還控制第三開關132的操作。公共探針引腳63位于這樣的位置處此位置與可以共同對準一個探針引腳60的不同布置類型的電極E所處的位置相對應。電信號施加單元100將電信號施加給與布置在玻璃面板P上的電極E的數(shù)量相對應以及與每個相鄰電極E之間的距離相對應的探針引腳60，從而電信號施加到玻璃面板P 的電極E。這里，由于公共探針引腳63可以共同地用于具有第一布置類型的電極El中的一些以及具有第二布置類型的電極E2中的一些，因此在向具有第一布置類型的電極El或具有第二布置類型的電極E2施加電信號的過程中，操作第三開關132使得公共探針引腳63 與電信號發(fā)生器130連接。如上所述，根據(jù)本發(fā)明第二個實施方式的陣列測試裝置不僅包括與布置方式不同的電極El和E2分別對應的探針引腳61和62，還包括與布置方式不同的電極El和E2共同對應的公共探針引腳63。因此，第二個實施方式能夠避免當單個探針棒70上安裝有可分別與不同布置類型的電極El和E2相對應的探針引腳61和62時可能導致的探針引腳60之間的干擾的問題。本發(fā)明的實施方式所描述的技術主旨可以獨立地實施，也可以結合地實施。另外， 根據(jù)本發(fā)明的探針組件不僅可以用在向玻璃面板的電極施加電信號的裝置中，也可以用在向各種基板的電極施加電信號以測試其缺陷的裝置中。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的陣列測試裝置中，當利用單個測試裝置來測試具有不同布置類型的電極的不同種類的玻璃面板時，與需要根據(jù)玻璃面板的種類將探針組件替換為另一組件的現(xiàn)有技術不同的是，僅通過將電信號施加給探針引腳之中的與形成在玻璃面板上的電極的布置方式相對應的一些選中的探針引腳，就可以容易地將探針引腳對準相應的電極。由此，可以提高制造過程的效率。
權利要求
1.一種具有探針組件的陣列測試裝置，所述探針組件包括探針棒，所述探針棒配備有設置在所述探針棒上的多個探針引腳；以及電信號施加單元，所述電信號施加單元選擇性地將電信號施加給與玻璃面板上的電極的布置方式相對應的探針引腳。
2.如權利要求I所述的陣列測試裝置，其中所述電信號施加單元包括電信號發(fā)生器，所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生電信號；第一連接線，所述第一連接線將所述電信號發(fā)生器連接至具有第一布置類型的第一類型探針引腳；第一開關，所述第一開關設置在所述第一連接線上，所述第一開關允許將所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號施加給所述第一類型探針引腳或中斷所述施加；第二連接線，所述第二連接線將所述電信號發(fā)生器連接至具有第二布置類型的第二類型探針引腳；第二開關，所述第二開關設置在所述第二連接線上，所述第二開關允許將所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號施加給所述第二類型探針引腳或中斷所述施加；以及控制器，所述控制器控制所述第一開關和所述第二開關的操作。
3.如權利要求I所述的陣列測試裝置，其中所述多個探針引腳之中的至少一個探針引腳是與兩種或更多種布置類型的電極共同對應的公共探針引腳。
4.如權利要求3所述的陣列測試裝置，其中所述電信號施加單元包括電信號發(fā)生器，所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生電信號；第一連接線，所述第一連接線將所述電信號發(fā)生器連接至具有第一布置類型的第一類型探針引腳；第一開關，所述第一開關設置在所述第一連接線上，所述第一開關允許將所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號施加給所述第一類型探針引腳或中斷所述施加；第二連接線，所述第二連接線將所述電信號發(fā)生器連接至具有第二布置類型的第二類型探針引腳；第二開關，所述第二開關設置在所述第二連接線上，所述第二開關允許將所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號施加給所述第二類型探針引腳或中斷所述施加；第三連接線，所述第三連接線將所述電信號發(fā)生器連接至所述公共探針引腳；第三開關，所述第三開關設置在所述第三連接線上，所述第三開關允許將所述電信號發(fā)生器產(chǎn)生的電信號施加給所述公共探針引腳或中斷所述施加；以及控制器，所述控制器控制所述第一開關、所述第二開關和所述第三開關的操作。
5.如權利要求I至4中的任何一項所述的陣列測試裝置，其中所述探針組件上設置有旋轉(zhuǎn)單元，使得所述探針棒能夠旋轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種陣列測試裝置，包括設置有探針引腳的探針棒。所述陣列測試裝置構造為使得選擇性地將電信號施加給探針引腳之中的與形成在玻璃面板上的電極的布置方式相對應的一些探針引腳。因此，所述陣列測試裝置可以有效地測試電極的位置和布置類型有所不同的不同種類的玻璃面板。
文檔編號G01R1/073GK102540509SQ20111018485
公開日2012年7月4日 申請日期2011年7月4日 優(yōu)先權日2010年12月30日
發(fā)明者樸廷喜 申請人:塔工程有限公司