專利名稱：同軸電纜探針結(jié)構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種同軸電纜探針結(jié)構，可以高頻率測量集成電路或其他電子元件的 電氣特性。
背景技術：
至今開發(fā)出許多種探測總成，以供量測集成電路或其他形式的微電子元件，其中 代表性總成是使用電路板，上側(cè)形成長形導線痕跡，作為信號和地線，探針連接于各信號痕 跡末端，故呈現(xiàn)針尖朝下的徑向延伸排列，以供與受測試微電子元件的焊墊(Pad)選擇性 連接，此種探針在高頻率的測量時，因高頻率阻抗不易控制，故在信號傳輸過程中會發(fā)生高 頻信號反射及損失等問題，因此前述傳統(tǒng)的探針已不適合使用在具高頻特性的電路量測。因此，陸續(xù)又開發(fā)出如圖4 6的探針結(jié)構，其中，圖4為美國專利US4871964號， 其纜線a的中心導體b是突出于介質(zhì)材料及外導體的切面dl，接地導體c是與位于或鄰近 于所述纜線a —端的外部導體d的一部分相結(jié)合。但所述結(jié)構由于信號與接地部分具有不 同結(jié)構，因此其接觸力不均勻，將使信號與接地部分的空間產(chǎn)生變形，而無法良好的控制阻 抗。此外，對于共平面的信號傳輸線而言，圓形的信號線設計并不理想，因為電磁場將會集 中于圓形導體的邊緣，增加高頻損失。圖5為美國專利US5506515號，其在纜線e —端，包括有內(nèi)部導體g、外部導體h以 及內(nèi)部電介質(zhì)i是形成有一共同的切面Π及一半圓柱形的凹陷f，所述凹陷f包括有內(nèi)部 導體g、外部導體h以及內(nèi)部電介質(zhì)i。第一與第二彈性導體手指部j、k是分別連接至所述 內(nèi)部導體g與外部導體h ；每一手指部j、k包括有可自我支撐的懸臂jl、kl部分，所述懸臂 jl、kl部分是延伸穿出所述纜線e的切面Π，但其結(jié)構缺點在于A、在高頻率情況下，內(nèi)部 導體g于切面Π及外部導體h于凹陷f的不連續(xù)將會造成阻抗的不匹配；B、半圓柱形凹陷 是為一 2D的制造流程，其成本較高，且無法簡單地控制凹陷尺寸(例如深度)，此凹陷尺寸 與阻抗匹配高度相關；C、一般同軸電纜，外部導體的厚度是小于中心導體的直徑，通過使用 相分離的接地導體，所述第二彈性導體與同軸纜線外部導體的連接區(qū)是小于中央導體與第 一彈性導體，因此第二彈性導體與外部導體的連接力小于中央導體與第一彈性導體，但在 測試中，若手指部jl、kl非水平放置而是呈現(xiàn)一橫向傾角，則第二彈性導體的某一手指部 kl將需要較高的承受力，但第二彈性導體與外部導體的連接力卻小于中央導體與第一彈性 導體，故第二彈性導體便容易受損。圖6為美國專利US5853295號所公開的一種呈角度的連接器m，用于將一同軸連 接器轉(zhuǎn)變至一平面結(jié)構，所述同軸側(cè)末端是一個成一角度的平面末端。不過，此連接器并非 為市售產(chǎn)品，其在應用上的成本較高，且與同軸纜線組件不同的是，在完成平面?zhèn)饶┒私Y(jié)構 前，我們無法如同對于同軸纜線一般簡單地對所述呈角度的連接器的電性表現(xiàn)加以測試， 同時由于連接器結(jié)構不具彈性，我們亦無法如同對于同軸纜線一般地將呈角度的連接器加 以塑形。有鑒于此，本發(fā)明人不斷的研發(fā)與改善，于是有本發(fā)明的產(chǎn)生。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種低成本、連續(xù)接面佳、以及有效降低反射噪聲且增 強機構強度的同軸電纜探針結(jié)構。為達上述的目的，本發(fā)明為一種同軸電纜探針結(jié)構，包括一同軸電纜及一探測件， 其中所述同軸電纜是由一內(nèi)導體經(jīng)一介質(zhì)材料充填固定于一外導體內(nèi)，其中所述同軸電纜 介質(zhì)材料及外導體設有一切面，且內(nèi)導體突出于所述切面并形成一末端，而所述同軸電纜 設有一切削部，所述切削部相對于所述同軸電纜形成一斜面，使內(nèi)導體、介質(zhì)材料、外導體 皆外露于所述斜面上，且所述斜面是延伸至內(nèi)導體的末端；所述探測件包括第一、第二及第 三探測針體，每一探測針體具有前、后兩介面部，其中第二探測針體的前介面部是與外露于 斜面上的內(nèi)導體電性連接，所述突出于切面的內(nèi)導體與第二探測針體電性連接并機械結(jié)合 形成一懸臂結(jié)構，而第一、三探測針體的前介面部是供電性連接于同軸電纜的外導體上，而 每一探測針體的后介面部是供用于接觸待測元件的焊墊(Pad)。實施時，所述第一及第三探測針體的前介面部是本質(zhì)上相互連接，供電性連接于 同軸電纜在第二探測針體前介面部的兩側(cè)及前側(cè)的外導體上，且第一及第三探測針體間形 成一供第二探測針體容納的空間。實施時，所述外露于斜面上的內(nèi)導體末端部分面積是經(jīng)切削后，形成一拉長狀的 橢圓形狀。實施時，所述第一、第二及第三探測針體的前介面部是設為平板狀，供結(jié)合于同軸 電纜上，而第一、第二及第三探測針體的后介面部則設為尖狀，用以接觸待測元件的焊墊。為了達到上述目的，本發(fā)明還提供一種同軸電纜探針結(jié)構，包括一同軸電纜，是由一內(nèi)導體經(jīng)介質(zhì)材料充填固定于一外導體內(nèi)，其中所述同軸電 纜介質(zhì)材料及所述外導體有一切面且所述內(nèi)導體突出于所述切面并形成一末端，而所述同 軸電纜設有一切削部，所述切削部相對于所述同軸電纜是形成一斜面，使所述內(nèi)導體、所述 介質(zhì)材料、所述外導體皆外露于所述斜面上，且所述斜面是延伸至所述內(nèi)導體的末端；以及一探測件，包括第一、第二及第三探測針體，所述每一探測針體具有前、后兩介面 部，其中所述第一及第三探測針體的前介面部是本質(zhì)上相互連接，供電性連接于所述同軸 電纜在第二探測針體前介面部兩側(cè)及前側(cè)的外導體上，而所述每一探測針體的后介面部是 供用于接觸待測元件的焊墊。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果在于成本低、連續(xù)接面佳、可有效降低反射 噪聲且可增強機構強度。為便于對本發(fā)明能有更深入的了解，現(xiàn)由一實施例詳述于后
圖1為本發(fā)明實施例同軸電纜探針結(jié)構的立體外觀分解圖；圖2為本發(fā)明實施例中同軸電纜的外觀示意圖；圖3為本發(fā)明實施例同軸電纜探針結(jié)構的立體外觀示意圖；圖4為現(xiàn)有技術美國專利US4871964號的結(jié)構示意圖；圖5為現(xiàn)有技術美國專利US5506515號的結(jié)構示意圖6為現(xiàn)有技術美國專利US5853295號的結(jié)構示意圖。附圖標記說明1-同軸電纜；10-切面；11-內(nèi)導體；110-末端；12-介質(zhì)材料； 13-外導體；14-切削部；141-斜面；2-探測件；21-第一探測針體；211-前介面部；212-后 介面部；22-第二探測針體；221-前介面部；222-后介面部；23-第三探測針體；231-前介 面部；232-后介面部；3-空間；a-纜線；b-中心導線；C-接地導線；d_外部導線；dl_切面； e-纜線；f_凹陷；fl-切面；g_內(nèi)部導體；h-外部導體；i-內(nèi)部電介質(zhì)；j_第一彈性導體手 指部；jl_懸臂；k-第二彈性導體手指部；kl-懸臂；m-連接器。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術特征和優(yōu)點作更詳細的說明。請參閱圖1 3，圖式內(nèi)容為本發(fā)明同軸電纜探針結(jié)構的一實施例，其是由一同軸 電纜1及一探測件2所組成。所述同軸電纜1是由一內(nèi)導體11經(jīng)介質(zhì)材料12充填固定于一外導體13內(nèi)，所述 同軸電纜1介質(zhì)材料12及外導體13設有一切面10，使內(nèi)導體11突出于切面10并形成一 末端110，所述同軸電纜1設有一切削部14，所述切削部14相對于所述同軸電纜1形成一 斜面141，使內(nèi)導體11、介質(zhì)材料12、外導體13皆外露于所述斜面141上，且所述斜面141 是延伸至內(nèi)導體11的末端110，而內(nèi)導體11經(jīng)切削后，形成一拉長狀的橢圓形狀，且平坦地 外露于所述斜面141上。所述探測件2包括第一、第二及第三探測針體21、22、23，每一探測針體具有前、后 兩介面部211、212、221、222、231、232，所述第一、第二及第三探測針體21、22、23的前介面 211、221、231部設為平板狀，供電性連接于同軸電纜1上，而第一、第二及第三探測針體21、 22、23的后介面212、222、232部則設為尖狀，用以接觸待測元件的焊墊。其中，第二探測針 體22的前介面部221是與外露于斜面141的內(nèi)導體11電性連接，突出于所述切面10的內(nèi) 導體11與第二探測針體22電性連接并機械結(jié)合形成一懸臂結(jié)構，而第一及第三探測針體 21,23的前介面部211、231是供電性連接于同軸電纜1的外導體13上，本實施例將第一及 第三探測針體21、23的前介面部211、231設為本質(zhì)上相互連接，供電性連接于同軸電纜1 在第二探測針體22前介面部221的兩側(cè)及前側(cè)的外導體13上，且第一及第三探測針體21、 23間形成一供第二探測針體22容納的空間3。因此，實施時，當同軸電纜1切削形成切削部后，同軸電纜1內(nèi)導體11末端110可 突出于切面10，而內(nèi)導體11末端110經(jīng)切削后，形成一拉長狀的橢圓形狀，且平坦地外露于 所述斜面141上，又本發(fā)明第一、第二及第三探測針體21、22、23前介面部211、221、231是 設成平板狀，使內(nèi)導體11可完全與第二探測針體22的前介面部221接觸，第一與第三探測 針體21、23的前介面部211、231則分別電性連接于第二探測針體22前介面部221的兩側(cè) 及前側(cè)的外導體13上。由此，本發(fā)明的同軸電纜探針結(jié)構即可設計安裝在探針站的支持探針構件上，使 可活動至適當位置，第一、第二及第三探測針體21、22、23的后介面部212、222、232接觸待 測元件如晶圓上個別組件的焊墊。因此，本發(fā)明通過在同軸電纜1與探測件2所要結(jié)合的末端上有切削部14，并使 切削后內(nèi)導體11末端110突出于切面10，外露于斜面141的內(nèi)導體11與第二探測針體22前介面部221結(jié)合，因此在相同的懸臂長度下，可減少同軸電纜內(nèi)導體11破壞面積，進而降 低反射噪聲及傳輸損失。另外，外導體13與第一及第三探測針體21、23的前介面部211、 231結(jié)合后，形成更大的焊點，同時因外導體13末端直接形成一連續(xù)性接面，與第一及第三 探測針體21、23達到更佳的接觸，降低電訊上的落差，使阻抗匹配更好，有效降低反射噪聲 的問題。 以上說明對本發(fā)明而言只是說明性的，而非限制性的，本領域普通技術人員理解， 在不脫離以下所附權利要求所限定的精神和范圍的情況下，可做出許多修改，變化，或等 效，但都將落入本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
權利要求
一種同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，其包括一同軸電纜，是由一內(nèi)導體經(jīng)一介質(zhì)材料充填固定于一外導體內(nèi)，其中所述同軸電纜介質(zhì)材料及外導體設有一切面，且所述內(nèi)導體突出于所述切面并形成一末端，而所述同軸電纜設有一切削部，所述切削部相對于所述同軸電纜形成一斜面，使所述內(nèi)導體、所述介質(zhì)材料、所述外導體皆外露于所述斜面上，且所述斜面延伸至所述內(nèi)導體的末端；以及一探測件，包括第一、第二及第三探測針體，所述每一探測針體具有前、后兩介面部，其中所述第二探測針體的前介面部是與外露于所述斜面上的內(nèi)導體連接，突出于所述切面的內(nèi)導體與所述第二探測針體電性連接并機械結(jié)合形成一懸臂結(jié)構，而所述第一、三探測針體的前介面部是供電性連接于所述同軸電纜的外導體上，所述每一探測針體的后介面部是供用于接觸待測元件的焊墊。
2.根據(jù)權利要求1所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，所述第一及第三探測針體 間形成一供所述第二探測針體容納的空間。
3.根據(jù)權利要求1所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，外露于所述斜面上的內(nèi)導 體經(jīng)切削后，形成一拉長狀的橢圓形狀。
4.根據(jù)權利要求1所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，所述第一、第二及第三探測 針體的前介面部設為平板狀，供結(jié)合于所述同軸電纜上，而所述第一、第二及第三探測針體 的后介面部則設為尖狀，用以接觸待測元件的焊墊。
5.根據(jù)權利要求1所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，所述第一及第三探測針體 的前介面部是本質(zhì)上相互連接，供電性連接于所述同軸電纜在第二探測針體前介面部兩側(cè) 及前側(cè)的外導體上。
6.一種同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，包括一同軸電纜，是由一內(nèi)導體經(jīng)介質(zhì)材料充填固定于一外導體內(nèi)，其中所述同軸電纜介 質(zhì)材料及所述外導體有一切面且所述內(nèi)導體突出于所述切面并形成一末端，而所述同軸電 纜設有一切削部，所述切削部相對于所述同軸電纜是形成一斜面，使所述內(nèi)導體、所述介質(zhì) 材料、所述外導體皆外露于所述斜面上，且所述斜面是延伸至所述內(nèi)導體的末端；以及一探測件，包括第一、第二及第三探測針體，所述每一探測針體具有前、后兩介面部，其 中所述第一及第三探測針體的前介面部是本質(zhì)上相互連接，供電性連接于所述同軸電纜在 所述第二探測針體前介面部兩側(cè)及前側(cè)的外導體上，而所述每一探測針體的后介面部是供 用于接觸待測元件的焊墊。
7.根據(jù)權利要求6所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，所述第一及第三探測針體 間形成一供所述第二探測針體容納的空間。
8.根據(jù)權利要求6所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，所述外露于斜面上的內(nèi)導 體經(jīng)切削后，形成一拉長狀的橢圓形狀。
9.根據(jù)權利要求6所述的同軸電纜探針結(jié)構，其特征在于，所述第一、第二及第三探測 針體的前介面部是設為平板狀，供結(jié)合于所述同軸電纜上，而所述第一、第二及第三探測針 體的后介面部則設為尖狀，用以接觸待測元件的焊墊。
全文摘要
一種同軸電纜探針結(jié)構，包括一同軸電纜及一探測件，其中所述同軸電纜是由一內(nèi)導體經(jīng)一介質(zhì)材料充填固定于一外導體內(nèi)，其中所述同軸電纜介質(zhì)材料及外導體設有一切面，且內(nèi)導體突出于所述切面并形成一末端，而所述同軸電纜設有一切削部，所述切削部相對于所述同軸電纜形成一斜面，使內(nèi)導體、介質(zhì)材料、外導體皆外露于所述斜面上，且所述斜面是延伸至內(nèi)導體的末端；所述探測件包括第一、第二及第三探測針體，每一探測針體具有前、后兩介面部，其中第二探測針體的前介面部是與外露于斜面上的內(nèi)導體電性連接，而第一、三探測針體的前介面部是供電性連接于同軸電纜的外導體上，而每一探測針體的后介面部是供用于接觸待測元件的焊墊(Pad)。
文檔編號G01R1/073GK101957390SQ200910158140
公開日2011年1月26日 申請日期2009年7月13日 優(yōu)先權日2009年7月13日
發(fā)明者劉世明 申請人:均揚電子股份有限公司