專利名稱：探針座結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種改進的探針座結構，尤其涉及一種利用滑接元件滑接于滑塊，可克服組裝上或元件本身的誤差，從而使得該改進的探針座能順利調(diào)整。
背景技術：
一般公知的探針座用來檢測半導體晶片、印刷電路板等的電性性能，該探針座主要分為四個塊體，并設有X、Y、Z三個軸的調(diào)整元件及探針，其分別設置于這些塊體中，調(diào)整該X軸調(diào)整元件，帶動該Y軸調(diào)整元件、該Z軸調(diào)整元件、該探針及其所屬的這些塊體往X軸方向移動；調(diào)整該Y軸的調(diào)整元件，帶動該Z軸調(diào)整元件、該探針及其所屬的這些塊體往Y軸方向移動；調(diào)整該Z軸的調(diào)整元件，帶動該探針及其所屬的塊體往Z軸方向移動，故分別調(diào)整這些調(diào)整元件可將探針微調(diào)至精確的探測位置。由于組裝過程復雜且所需精確度極高，而公知的探針座在塊體及塊體間并無任何對位的結構輔助組裝，以致組裝時需費時對位及產(chǎn)生對位不精確的缺點，且于組裝時并無定位塊，以基于該定位塊依序進行相關元件組裝，而造成組裝上的困難及組裝誤差值依序增加。
除此之外，基本上以再好的設備制作出來的元件，其本身都還是會有誤差存在，再加上組裝上的誤差，會產(chǎn)生公知探針座的調(diào)整元件無法順利調(diào)整的情況，在一實施例中，請參考圖1A至圖1C的示意圖，公知的調(diào)整元件1a，其包括滑塊11a、固定元件12a和調(diào)整軸13a，該固定元件12a設置于該滑塊11a中，也就是說，該固定元件12a與該滑塊11a無法相對轉(zhuǎn)動與移動，該調(diào)整軸13a螺接于該固定元件12a。本實施例還包括具有凹槽41a的塊體4a，該凹槽41a的兩相對側面上分別具有滑軌42a，該調(diào)整軸13a的兩端分別樞接于該凹槽41a內(nèi)的相對兩側面，該滑塊11a的兩相對側面分別具有滑道111a，其滑接于該凹槽41a內(nèi)的另外兩相對側面上的滑軌42a，因此轉(zhuǎn)動該調(diào)整軸13a，即帶動該滑塊11a僅沿著該滑軌42a方向移動。然而，如圖1A為該調(diào)整元件1a的側視圖及圖1B為該調(diào)整元件1a的俯視圖所示，其該調(diào)整軸13a與該滑塊11a不平行，而當轉(zhuǎn)動調(diào)整軸13a時，由于該滑塊11a的移動受限于該滑軌42a及該調(diào)整軸13a而無法移動，因此會產(chǎn)生該調(diào)整軸13a無法旋轉(zhuǎn)或旋轉(zhuǎn)不順的現(xiàn)象，該滑塊11a也因此無法移動或移動不順。
因此，由上可知，上述公知的探針座在生產(chǎn)、組裝及使用上，顯然具有不足與缺點，而待改善。

發(fā)明內(nèi)容
為了達到上述目的，本實用新型提供一種改進的探針座結構，其中包括第一塊體，其具有第一凹槽；X軸調(diào)整元件，其設置于該第一凹槽中；第二塊體，其一側面具有固定該X軸調(diào)整元件的一端的第二U型槽及另一側面具有第二凹槽；Y軸調(diào)整元件，其設置于該第二凹槽中；第三塊體，其一側面具有固定該Y軸調(diào)整元件的一端的第三U型槽及另一側面具有第三凹槽；Z軸調(diào)整元件，其設置于該第三凹槽中；以及第四塊體，其具有固定該Z軸調(diào)整元件的一端的第四U型槽；其中該X軸調(diào)整元件、該Y軸調(diào)整元件及該Z軸調(diào)整元件分別具有滑塊、滑接于該滑塊的滑接元件及螺接于該滑接元件的調(diào)整軸。即分別調(diào)整這些調(diào)整元件，以使該第四塊體可精確調(diào)整至所需位置。而該滑接元件滑接于該滑塊，因此若具有組裝上或元件本身的誤差，該滑塊可相對于該滑接元件上下移動或轉(zhuǎn)動，而讓該調(diào)整軸順利轉(zhuǎn)動。
其中這些U型槽的開口寬度與這些凹槽的開口寬度一致且相互對應，如此，可作為組裝對位的參考。
本實用新型還包括定位塊，在該探針座組裝前，先將該定位塊固定，再將一塊體組裝于該定位塊上，如此依序?qū)⑵溆嘣佬蚪M裝，如此可增進組裝速度及精確性。
為了能更進一步了解本實用新型為達到預定目的所采取的技術、手段及功效，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，相信本實用新型的目的、特征與特點，當可由此得深入且具體的了解，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型加以限制。


圖1A為公知調(diào)整元件的示意圖；圖1B圖1B為公知調(diào)整元件的示意圖；圖1C為公知調(diào)整元件的示意圖；圖2為本實用新型調(diào)整元件的立體圖；圖3為本實用新型調(diào)整元件的分解圖；圖4為本實用新型探針座的立體圖；圖5為本實用新型探針座的剖視圖；圖6為本實用新型探針座的剖視圖；圖7A為本實用新型調(diào)整元件的側視示意圖；圖7B為本實用新型調(diào)整元件的側視示意圖；圖8A為本實用新型調(diào)整元件的俯視示意圖；圖8B為本實用新型調(diào)整元件的俯視示意圖；以及圖9為本實用新型定位塊的示意圖。
其中，附圖標記說明如下(公知)1a 調(diào)整元件 11a 滑塊111a 滑道12a 固定元件13a 調(diào)整軸4a 塊體 41a 凹槽42a 滑軌(本實用新型)100 探針座4第一塊體 41第一凹槽43 樞接孔44 樞接槽45 U型窗46 滑軌
5第二塊體51 第二凹槽52 第二U型槽55 U型窗6第三塊體61第三凹槽62 第三U型槽65 U型窗7第四塊體72第四U型槽8定位塊 81定位孔82 卡榫83 定位孔9定位塊1x X軸調(diào)整元件1y Y軸調(diào)整元件1z Z軸調(diào)整元件1調(diào)整元件111 滑塊11滑道112 滑接孔12 滑接元件121 滑接柱122 螺接孔13 調(diào)整軸14 轉(zhuǎn)輪具體實施方式
本實用新型的第一實施例，請參考圖2及圖3為本實用新型的調(diào)整元件1的立體圖及分解圖。這些調(diào)整元件1分別包含滑塊11、滑接元件12及調(diào)整軸13。
該滑塊11具有滑接孔112及另外相對的兩側均具有滑道111，該滑接元件12的一端向外延伸一圓柱型滑接柱121，該滑接孔112的直徑略大于該滑接柱121的直徑0.002至0.5毫米，以使該滑接柱121滑接于該滑接孔112但不至松脫。該滑接元件12其垂直于該滑接柱121的一側，具有穿透該滑接元件12的其內(nèi)具有螺紋的螺接孔122，該調(diào)整軸13其表面具有螺紋，并且該調(diào)整軸螺接于該螺接孔122中，因此轉(zhuǎn)動該調(diào)整軸13，即帶動該滑塊11移動。
本實用新型的第二實施例，請參考圖4、圖5及圖6，該探針座100包含第一塊體4、第二塊體5、第三塊體6、第四塊體7及三個調(diào)整元件，這些調(diào)整元件依三個軸的軸向，分為X軸調(diào)整元件1x、Y軸調(diào)整元件1y及Z軸調(diào)整元件1z。
該第一塊體4具有第一凹槽41，該X軸調(diào)整元件1x設置于該第一凹槽41中，該第一凹槽41的相對側壁分別有樞接孔43、樞接槽44及該第一凹槽41的相對側壁分別有U型窗45，該調(diào)整軸13的一端樞接于該樞接槽44，另一端貫穿該樞接孔43而固定于轉(zhuǎn)輪14，這些U型窗45的開口平行相對，其寬度可供該滑塊11的進出。該第一凹槽41的另一兩相對側壁上分別具有滑軌46，該滑塊11的滑道111接合于該滑軌46，以限定該滑塊11以該滑軌46的方向移動。
該第二塊體5，其一側面具有第二U型槽52及另一側面具有第二凹槽51，該滑塊11固定于該第二U型槽52，該第二U型槽52的開口寬度與該第一凹槽41及這些U型窗45的開口寬度一致且相對應，因此可作為組裝上的參考及對準之用。因此當轉(zhuǎn)動該轉(zhuǎn)輪14帶動該第二塊體5以X軸方向移動。
同理，該Y軸調(diào)整元件1y設置于該第二凹槽中51中，并與該X軸調(diào)整元件1x相同設置，該第二凹槽中51與該第一凹槽41相同設置，該第三塊體6，其一側面具有固定該Y軸調(diào)整元件1y的一端的第三U型槽62及另一側面具有第三凹槽61，當調(diào)整該Y軸調(diào)整元件1y即帶動該第三塊體6以X軸方向移動。
該第二凹槽51的相對側壁分別有U型窗55，該第三U型槽62的開口寬度與該第二凹槽51及這些U型窗55的開口寬度一致且相對應，因此可作為組裝上的參考及對準之用。
同理，該Z軸調(diào)整元件1z設置于該第三凹槽中61中，并與X軸調(diào)整元件1x相同設置，該第三凹槽中61與該第一凹槽41相同設置。該第四塊體7，其一側面具有固定該Z軸調(diào)整元件1z的一端的第四U型槽72，當調(diào)整該Z軸調(diào)整元件1z即帶動該第四塊體7于Z軸方向移動。
該第三凹槽61的相對側壁分別有U型窗65，該第四U型槽72的開口寬度與該第三凹槽61及這些U型窗65的開口寬度一致且相對應，因此可作為組裝上的參考及對準之用。
因此分別調(diào)整該探針座100的這些調(diào)整元件1，即可使該探針座100精確對位。然而在元件制作上及組裝上的誤差，本實用新型以該滑塊11的滑接孔112的直徑比該滑接柱121的直徑大0.002至0.5毫米，以使該滑接柱121滑接于該滑接孔112但不至松脫。請參考圖5及圖6，該滑塊11的移動受限于該滑軌46的方向，且該調(diào)整軸13樞接于該第一塊體4僅可轉(zhuǎn)動但無法移動，然而，當該調(diào)整軸13與該滑塊11不平行，而當轉(zhuǎn)動該調(diào)整軸13時，由于該滑接元件12滑接于該滑塊11，并該滑接孔112的直徑大于該滑接柱121的直徑，故該滑接柱121帶動該滑塊11產(chǎn)生移動時，該滑接柱121在該滑塊11的滑接孔112中產(chǎn)生適當?shù)奈灰萍稗D(zhuǎn)動，以使該調(diào)整軸13順利轉(zhuǎn)動，如圖7A及圖7B中的側視示意圖，該滑塊11產(chǎn)生左右移動時，該滑接元件12相對于該滑塊11產(chǎn)生上下移動，如圖8A及圖8B的俯視示意圖，該滑塊11產(chǎn)生左右移動時，該滑接元件12相對于該滑塊11產(chǎn)生擺動。如此可解決公知技術中這些調(diào)整元件轉(zhuǎn)動不順的問題。
請參考圖4及圖9，為達到組裝該探針座100的方便及準確性，該探針座100還包括該定位塊8，其具有多個定位孔81，在多個定位孔81上插有多個卡榫82，該第三塊體6的一側面具有多個定位孔83，在實際組裝時，先將該定位塊8定位后，分別將這些卡榫82插入在這些定位孔83中，并將該第三塊體6的這些定位孔83對準接合這些卡榫82，之后依序接合組裝其余部分。如此可增進該探針座100的組裝速度及精確性。該探針座100還包括定位塊9，其具有如同該定位塊8的功能，將該定位塊9定位后，將該第一塊體4固定于該定位塊9，之后依序接合組裝其余部分。
綜上所述，本實用新型的改進的探針座結構，使探針座結構的組裝更為精確及快速，使由于結構性的誤差而引起的調(diào)整元件無法精確調(diào)整的問題得以解決。
然而，以上所述，僅為本實用新型最優(yōu)化的具體實施例的詳細說明與附圖，但本實用新型的特征并不局限于此，并非用以限制本實用新型，本實用新型的所有范圍應以下述的權利要求的范圍為準，凡合于本實用新型權利要求范圍的精神及其類似變化的實施例，皆應包含于本實用新型的范疇中，任何本領域的技術人員在本實用新型的領域內(nèi)，可輕易思及的變化或修飾皆可涵蓋在以下本實用新型的權利要求的范圍內(nèi)。
權利要求1.一種探針座結構的調(diào)整元件，其特征在于包括滑塊，其具有滑接孔；滑接元件，其具有滑接于該滑塊的滑接柱；以及調(diào)整軸，其螺接于該滑接元件；其中該滑接孔的直徑比該滑接柱的直徑大0.002至0.5毫米。
2.根據(jù)權利要求1所述的探針座結構的調(diào)整元件，其特征在于所述滑塊相對的兩側各具有滑道。
3.根據(jù)權利要求1所述的探針座結構的調(diào)整元件，其特征在于該滑接元件具有穿透該滑接元件的螺接孔。
4.一種探針座結構，其特征在于包括第一塊體，其具有第一凹槽；X軸調(diào)整元件，其設置于該第一凹槽中；第二塊體，其一側面具有與該第一凹槽開口相對的第二U型槽及另一側面具有第二凹槽，該第二U型槽固定該X軸調(diào)整元件的一端；Y軸調(diào)整元件，其設置于該第二凹槽中；第三塊體，其一側面具有與該第二凹槽開口相對的第三U型槽及另一側面具有第三凹槽，該第三U型槽固定該Y軸調(diào)整元件的一端；Z軸調(diào)整元件，其設置于該第三凹槽中；以及第四塊體，其具有與該第三凹槽開口相對的第四U型槽，該第四U型槽固定該Z軸調(diào)整元件的一端；其中該X軸調(diào)整元件、該Y軸調(diào)整元件及該Z軸調(diào)整元件分別具有滑塊、滑接于該滑塊的滑接元件及螺接于該滑接元件的調(diào)整軸。
5.根據(jù)權利要求4所述的探針座結構，其特征在于該滑塊包括滑接孔，該滑接元件包括滑接柱，該滑接孔直徑比該滑接柱的直徑大0.002至0.5毫米。
6.根據(jù)權利要求4所述的探針座結構，其特征在于所述滑塊相對的兩側各具有滑道，所述凹槽相對的兩側各具有滑接于該滑道的滑軌。
7.根據(jù)權利要求4所述的探針座結構，其特征在于所述凹槽的相對側壁分別包括樞接孔及樞接槽，所述調(diào)整軸的一端分別樞接于所述樞接孔，另一端樞接于所述樞接槽。
8.根據(jù)權利要求4所述的探針座結構，其特征在于所述調(diào)整元件以所述滑塊固定于所述U型槽。
9.根據(jù)權利要求4所述的探針座結構，其特征在于還包括卡合于該第三塊體的定位塊。
10.根據(jù)權利要求9所述的探針座結構，其特征在于該第三塊體及該定位塊分別具有多個定位孔及與這些定位孔接合的卡榫。
11.根據(jù)權利要求9所述的探針座結構，其特征在于該第三塊體具有多個定位孔，并且該定位塊具有插入這些定位孔的卡榫。
專利摘要一種探針座結構，其包括三個調(diào)整元件及多個互相接合的塊體，這些調(diào)整元件分別包括滑塊、滑接于該滑塊的滑接元件及螺接于該滑接元件的調(diào)整軸，這些調(diào)整元件分別設置于這些塊體中，以控制三個軸方向的移動。因該滑接元件滑接于該滑塊，故可克服組裝上或元件本身的誤差所造成調(diào)整軸無法順利調(diào)整的情況，該相鄰的塊體均具有其開口寬度一致且互相對應的U型槽與凹槽，以作為組裝對位的參考。因此，本實用新型的探針座結構使探針座結構的組裝更為精確及快速，使由于結構性的誤差而引起調(diào)整元件無法精確調(diào)整的問題得以解決。
文檔編號G01R1/073GK2921838SQ20062011228
公開日2007年7月11日 申請日期2006年5月29日 優(yōu)先權日2006年5月29日
發(fā)明者鄭坤山 申請人:宜特電子股份有限公司