專利名稱：：確定機(jī)床或測(cè)量機(jī)中的幾何誤差的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種確定才幾床或測(cè)量才幾中的幾^可誤差的方法。本發(fā)明優(yōu)選地《旦不是排他地應(yīng)用于測(cè)量才幾，為了簡(jiǎn)潔起見，隨后的描述參照測(cè)量機(jī)進(jìn)行，但僅僅是以實(shí)例的方式。
背景技術(shù)：
：從WO2005/019769中可知道一種確定才幾器中幾祠3吳差的方法，在該專利中操作機(jī)器以使測(cè)量空間中的背反射器(back-reflector)沿著相對(duì)于坐標(biāo)軸定向的三維網(wǎng)格(grid)移動(dòng)，并接著獲得網(wǎng)格點(diǎn)。反射器,皮位于一幾器底座(machinebed)上且包括干涉〗義的光學(xué)跟蹤裝置或"激光跟蹤器"跟蹤；每個(gè)所獲得的網(wǎng)格點(diǎn)與同激光源相關(guān)耳關(guān)的預(yù)定參考點(diǎn)之間的實(shí)際距離由干涉測(cè)量法測(cè)量；如所知的，這個(gè)3巨離可在不存在干涉4義的未知死鴻4圣(deadpath)的情況下^皮確定。用跟蹤器激光在測(cè)量才幾底座上的不同位置4丸行相同的梯:作次序。才艮據(jù)機(jī)器的動(dòng)力學(xué)模型，處理所獲得的點(diǎn)的坐標(biāo)以及由干涉儀測(cè)得的距離，以計(jì)算才幾器的誤差參^:。上面簡(jiǎn)要描述的已知方法具有如下缺點(diǎn)需要極為精確的、因此復(fù)雜、高成本的能夠沿著激光束的方向變化進(jìn)行連續(xù)的干涉測(cè)量的激光跟蹤器。此外，對(duì)于激光跟蹤器的每個(gè)位置，它引入了千涉儀的死路徑、以及激光^L蹤器位置形式的額外未知量。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的是提供一種確定笛卡爾機(jī)器中的幾何誤差的方法，i殳計(jì)該方法以消除通常與已知方法相關(guān)的前述*夾點(diǎn)。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種確定機(jī)床或測(cè)量機(jī)(該測(cè)量機(jī)包括用于在測(cè)量空間內(nèi)移動(dòng)標(biāo)革巴的移動(dòng)單元)中的幾祠^吳差的方法，該方包括以下步驟在測(cè)量空間內(nèi)確定方向；利用移動(dòng)單元將標(biāo)靶沿著所述方向移動(dòng)到多個(gè)點(diǎn)；利用測(cè)量裝置測(cè)量每個(gè)所述點(diǎn)距離沿著所述方向定位的原點(diǎn)的橫坐標(biāo)；利用所述機(jī)器獲得每個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)；對(duì)測(cè)量空間內(nèi)的多個(gè)方向重復(fù)前述的步驟；以及才艮據(jù)測(cè)量裝置測(cè)得的橫坐標(biāo)和由所述機(jī)器獲得的點(diǎn)的坐標(biāo)來確定所述機(jī)器的誤差參數(shù)。將參照附圖，通過實(shí)例的方式描述本發(fā)明的優(yōu)選且非限制性的實(shí)施例，附圖中圖1示出了根據(jù)本方法操作的測(cè)量機(jī)和千涉儀測(cè)量裝置；圖2示出了圖1的干涉儀測(cè)量裝置。具體實(shí)施例方式圖1中的標(biāo)號(hào)l表示作為整體的測(cè)量機(jī)，該測(cè)量機(jī)包括平的底座2,該底座具有水平參考面3且用于支撐將^^皮測(cè)量的物體(未示出)，該水平參考面平4亍于一組三個(gè)的笛卡爾軸X、Y、Z中的兩個(gè)水平軸X、Y;以及移動(dòng)單元4。單元4包括可沿著軸Y相對(duì)于底座2移動(dòng)的橋"l妄件(bridge)5，并進(jìn)而包括兩個(gè)豎直件6和7，以及在豎直件6和7之間延伸且平行于軸X的橫向構(gòu)件8。單元4還包括托架(carriage)9,托架安裝至4黃向構(gòu)件8且可沿著軸X在一黃向構(gòu)〗牛8上移動(dòng)；以及測(cè)量頭部10，安裝至纟乇架9并可沿著軸Z相^j"于^6架9移動(dòng)。頭部10的底端方^J也安裝有已知的雙軸連接裝置11，該雙軸連接裝置用于定向地支撐使用中的探針(未示出)且方便地包括具有垂直軸A(即，平行于軸Z)和水平軸B(即，平4亍于平面XY)的雙軸"肘節(jié)"。為了才艮據(jù)本發(fā)明的方法來確定才幾器1的幾何誤差，連接裝置配備有包括背反射器12的標(biāo)靶，該背反射器可以是任何已知類型的，例如貓眼或三面直角沖菱4竟。才艮據(jù)本發(fā)明的方法還4吏用干涉4義測(cè)量裝置13來實(shí)施，即，這樣一種儀器它能夠產(chǎn)生激光束14且使該激光束沿著可隨兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)自由度(方位角和仰角)變化的方向而定向，并且利用干涉測(cè)量法確定沿這個(gè)方向定位的背反射器相對(duì)于預(yù)定原點(diǎn)的一黃坐標(biāo)。裝置13(圖2)方便地包括已知的商用干涉儀15、以及具有兩個(gè)自由度的光束偏轉(zhuǎn)器19。光束偏轉(zhuǎn)器19可以通過已知的配備有鏡子17的讀數(shù)器(indexinghead)16限定，鏡子接收由干涉儀15產(chǎn)生的激光束14,并沿著由4竟子17的方位限定的方向反射該激光束。根據(jù)本發(fā)明的方法，裝置13纟皮連續(xù)地i殳定在才幾器1的測(cè)量空間內(nèi)的不同位置處；并且在裝置13的每個(gè)4立置中，沿著不同方向連續(xù);也產(chǎn)生;敫光束14，下文中每個(gè)方向由可變下標(biāo)j表示。適當(dāng)?shù)剡x擇裝置13在測(cè)量空間內(nèi)的連續(xù)位置的凄t目、以及從每個(gè)位置產(chǎn)生的激光束的數(shù)目和方向，以覆蓋整個(gè)測(cè)量空間，這在隨后將更詳細(xì)地解釋。機(jī)器1裝備有第一控制單元18，該第一控制單元用于控制沿著各個(gè)坐標(biāo)軸驅(qū)動(dòng)機(jī)器的移動(dòng)部件5、9、IO的電動(dòng)機(jī)(未示出)，并且該第一控制單元在使用中還獲取并存儲(chǔ)由探針獲得的坐標(biāo)。裝置13由用于沿著預(yù)定方向定向激光束14的第二控制單元20控制，并且，如果該第二控制單元是針對(duì)第一控制單元設(shè)計(jì)的，則它可以結(jié)合在第一控制單元18中，或者為了同步的目的，該第二控制單元可以與第一4空制單元18相耳關(guān)。裝置13方便地包括光接收器21，該光接收器用于跟據(jù)從背反射器返回的激光束的強(qiáng)度來產(chǎn)生信號(hào)。光接收器21方便地通過第二控制單元20連接至第一控制單元18,以^使得第一控制單元能夠根據(jù)所述信號(hào)通過反饋控制來使背反射器12沿著光束方向移動(dòng)。下面描述實(shí)施才艮據(jù)本發(fā)明的方法的一種實(shí)施方式。在將裝置13設(shè)置到測(cè)量空間內(nèi)的第一位置處后，沿著由單位矢量n]定義的第一方向(j=l)產(chǎn)生第一激光束14。隨后操作機(jī)器1,以將背反射器12沿著光束的方向設(shè)置到連續(xù)的點(diǎn)Pn處。針對(duì)每個(gè)點(diǎn)，都獲得矢量Pu(u),該矢量的組成部分是由機(jī)器1獲得的點(diǎn)坐標(biāo)且包含因誤差參數(shù)u(未知)造成的誤差、以及每個(gè)點(diǎn)相對(duì)于原點(diǎn)的橫坐標(biāo)ln(該橫坐標(biāo)采用干涉測(cè)量方法測(cè)量并且可々I定它是精確的)。原點(diǎn)可以沿著光束方向4壬意選取，并且事實(shí)上，原點(diǎn)通過將裝置13中的干涉4義的計(jì)數(shù)器調(diào)零來設(shè)定。橫坐標(biāo)由裝置13測(cè)得的每個(gè)點(diǎn)沿著由單位矢量n！限定的線對(duì)齊，并且每個(gè)點(diǎn)可以在與裝置結(jié)合為一體的參照系統(tǒng)中通過精確的矢量liHiin!表達(dá)。為了在機(jī)器1的機(jī)器-軸參照系統(tǒng)中比較由機(jī)器測(cè)得的矢量lu與對(duì)應(yīng)的Pn,兩者必需都在相同的參照系統(tǒng)中表達(dá)，這通過由未知旋轉(zhuǎn)矩陣R,和平移矢量t,限定的旋轉(zhuǎn)-平移來實(shí)現(xiàn)。隨后將裝置設(shè)置到多個(gè)連續(xù)位置j處，對(duì)于每個(gè)位置j，重復(fù)針對(duì)位置j二l而描述的相同的步驟。隨后，可以計(jì)算誤差參ltu,這通過針對(duì)每個(gè)點(diǎn)，相對(duì)于誤差參數(shù)將誤差函數(shù)(由機(jī)器1的參照系統(tǒng)中的矢量Pij(U)(受誤差的影響)與旋轉(zhuǎn)變換矢量lij之間的差的總和來定義)最小化成旋轉(zhuǎn)矩陣Rj,并最小化成平移矢量tj來實(shí)現(xiàn)/(1)其中Pij(U)表示根據(jù)誤差參數(shù)u的第j條激光束上第i個(gè)點(diǎn)的機(jī)器坐標(biāo)；lij表示點(diǎn)的坐標(biāo)，這些點(diǎn)的橫坐標(biāo)相對(duì)于共用原點(diǎn)由裝置在與它結(jié)合為一體的參照系統(tǒng)中獲得；Rj和tj分別表示旋轉(zhuǎn)矩陣和平移矢量，通過它們將矢量lij轉(zhuǎn)換到才凡器參照系統(tǒng)(N.B.對(duì)于激光束的每個(gè)方向j均具有一個(gè)矩陣r和一個(gè)矢量t)。假設(shè)關(guān)于Rj初始近似值的小角度可直接從由機(jī)器1獲得的坐標(biāo)中得到，問題是可分離變量的其中之一，并且旋轉(zhuǎn)-平移(Rj，tj)可分別預(yù)先估計(jì)。這些解法使得光束14的每條線j均與對(duì)應(yīng)的點(diǎn)Pij的最小二乘行一致，并^f吏得多個(gè)點(diǎn)lij的重心與多個(gè)點(diǎn)Py的對(duì)應(yīng)重心一致。因此(1)3皮簡(jiǎn)^f匕成其中nj表示根據(jù)點(diǎn)Pjj計(jì)算的最小二乘行j的單位矢量；^表示通過機(jī)器獲得的點(diǎn)沿第j條激光束的重心，即，它們的均值；i;表示通過裝置13獲得的沿著第j條激光束的橫坐標(biāo)的均值。(2)將機(jī)器讀數(shù)在各個(gè)方向j上的投影與由裝置獲得的對(duì)應(yīng)橫坐標(biāo)之間的差的總和最小化。隨后，利用動(dòng)力學(xué)模型將點(diǎn)Py表達(dá)為機(jī)器誤差參數(shù)u的函數(shù)P,(u)-，,+(P"P一)(3)其中^表示點(diǎn)Py在沒有幾何機(jī)器誤差情況下的位置；eij是幾何機(jī)器誤差，它不僅作為誤差參數(shù)u的函數(shù)，并且還作為測(cè)量空間中的位置Pjj以及纟笨針或工具的偏移pij的函數(shù)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(3)中表達(dá)的動(dòng)力學(xué)模型必須適合所考慮的具體機(jī)器的動(dòng)力學(xué)。一些可用于多種等級(jí)的機(jī)器的動(dòng)力學(xué)模型可以在文獻(xiàn)中獲知。通過非限制性實(shí)例，剛體動(dòng)力學(xué)才莫型(Hocken,R.，Simpson,J.,Borchardt，B.,Lazar，J.，Stein，P.,1977,"Threedimensionalmetrology",AnnalsoftheCIRP26/2/1977:403-408;后來在Balsamo，A.，1995"EffectsofarbitrarycoefficientsofCMMerrormapsonprobequalification",A腿lsoftheCIRP44/1/1995:475-478中修改的公式)將機(jī)器誤差表示為其中tx、ty、tz是表示平移誤差的矢量(每個(gè)軸三個(gè)分量):(<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(5)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>、rv、rz是表示旋轉(zhuǎn)誤差的矢量(每個(gè)軸三個(gè)分量):<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>hx、hy、hz是阿貝臂，垂直于它們發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)+Phv="、、~(7)、是矢量積符號(hào),這個(gè)模型具有18個(gè)誤差函數(shù)，矢量tx、ty、tz和rx、ry、rz的每個(gè)分量各一個(gè)誤差函數(shù)，它們可以以列表或解析的形式(通過線性或多項(xiàng)式插值、傅立葉或指數(shù)展開等)表達(dá)。在列表表達(dá)的情況下，未知的誤差參數(shù)u通過在適當(dāng)?shù)牟蓸娱g隔處獲得的函凄史值限定；在多項(xiàng)式表達(dá)的情況下，誤差參數(shù)u通過多項(xiàng)式的各次數(shù)的系數(shù)來限定；以及在傅立葉或指數(shù)級(jí)數(shù)表達(dá)的情況下，誤差參凄tu通過級(jí)數(shù)的系數(shù)表達(dá)。通過將(5)、(6)、(7)代入到(4)中，再將(4)代入(3)中，并且，最后將(3)代入(2)中，可進(jìn)4亍最小化并且確定未知參數(shù)u。如本領(lǐng)域的技術(shù)人員所公知的，例如，/人上述公開的第二個(gè)中所知，最小化要求施加約束以消除自由度的任意性，這種任意性與理想?yún)⒄障到y(tǒng)的才幾器空間中的任意位置相關(guān)，相對(duì)于該理想?yún)⒄障到y(tǒng)估算幾何誤差。否則，這些自由度就會(huì)阻止算法的執(zhí)行并且在計(jì)算中導(dǎo)致奇點(diǎn)。更具體地，剛體模型具有21個(gè)需要被如下多個(gè)等式約束的自由度cu=o,(8)其中C是具有21-f亍的約束矩陣，且具有與誤差參凄tu相同的列數(shù)。通過實(shí)例，并且參照列表誤差函數(shù)表達(dá)式，上述4壬意參數(shù)可以如下設(shè)定。對(duì)每個(gè)i吳差函凄t要求(impose)—個(gè)0重心S~=0，(9)其中h表示誤差函lt(h=l，...，18),而k表示具體的表值。對(duì)于正確的系統(tǒng)軸(相對(duì)于機(jī)器軸)的定位，它給出了18個(gè)約束，而留下了三個(gè)。更具體:l也，對(duì)于正確的系統(tǒng)和才幾器系統(tǒng)各自的X軸和XY平面的平均平行度的要求而給出了三個(gè)等式<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>其中，h表示三個(gè)直線度函凄ttxy、txz或tyz;《表示^j"應(yīng)函婆th(即，分別為x、x或y)的當(dāng)前坐標(biāo)；&表示采樣點(diǎn)沿著軸線的橫坐標(biāo)；&表示采樣點(diǎn)沿著軸線的橫坐標(biāo)的均值。一旦要求了上述約束，(2)就可以求解，并確定動(dòng)力學(xué)模型的誤差參數(shù)u。為了更精確地確定誤差參數(shù)，應(yīng)該重復(fù)上述步-驟多次，重復(fù)次^:應(yīng)該大于裝置13的位置的理_論最小#:。此外，對(duì)于裝置13的每個(gè)位置，沿著光束的每個(gè)方向的獲取值的凄史量越大，并且方向的lt量越大，則確定誤差參凄t的精度就越高。最后，為了確定所有的誤差函數(shù)，背反射器必須以不同的偏移量安裝。對(duì)于沿光束14方向的完整系列的獲取值，偏移量方《更地維持恒定，以避免由背反射器的空間各向異性和連接裝置方位角的確定而引起的測(cè)量不確定性。針對(duì)沿不同方向的獲取值，或者針對(duì)沿相同方向的重復(fù)的獲耳又值，可以采用不同的偏移量。^U又通過實(shí)例，4十》于測(cè)量空間中的25個(gè)不同的光束方向和三個(gè)不同的裝置位置，可以合理地完成IOO個(gè)獲取值。非常簡(jiǎn)潔地，實(shí)施根據(jù)本發(fā)明的方法的實(shí)際步驟可以如下。將裝置13i殳置到測(cè)量空間中的第一位置處。隨后，沿著不同方向連續(xù)地產(chǎn)生激光束以覆蓋盡可能寬的立體角；對(duì)于每個(gè)光束方向，操作機(jī)器1以沿著光束14移動(dòng)背反射器12;以及通過裝置13和才幾器1同步地獲取沿光束方向的點(diǎn)。因此，第一控制單元18將機(jī)器坐標(biāo)Xj、yi、Zi以及值li存儲(chǔ)在特定的表格中，該表格例如可以是如下所示的類型<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>裝置13讀數(shù)的均值T、以及機(jī)器坐標(biāo)的均值^、y、5根據(jù)所存儲(chǔ)的值來計(jì)算。并且，在裝置13的所有位置中，針對(duì)所有的激光束方向重復(fù)上述操作。一旦獲得了數(shù)據(jù)，就使用上述數(shù)學(xué)方法計(jì)算機(jī)器的誤差參數(shù)，并且將該誤差參數(shù)存儲(chǔ)在第一控制單元18中，用于利用等式(4)進(jìn)行隨后的測(cè)量補(bǔ)償。從前面的描述中，根據(jù)本發(fā)明的確定測(cè)量機(jī)幾何誤差的方法的優(yōu)點(diǎn)將是很清楚的。通過每次沿一個(gè)方向的測(cè)量，即，在測(cè)量過程中激光束不轉(zhuǎn)動(dòng)，可使用直線前進(jìn)型的裝置，該裝置不需要背反射器跟蹤能力或特別高的角度瞄準(zhǔn)精度。事實(shí)上，該機(jī)器的精確定位能力就是實(shí)際上跟蹤光束方向的能力，而在由干涉儀進(jìn)行的測(cè)量暫停時(shí)發(fā)生角度位置的變化，因此，這種變化對(duì)測(cè)量沒有影響。此外，所測(cè)量的點(diǎn)都沿一個(gè)方向?qū)R，簡(jiǎn)化了對(duì)未知的S走轉(zhuǎn)-平移的確定(該^走轉(zhuǎn)-平移對(duì)于將裝置測(cè)量值轉(zhuǎn)換至機(jī)器參照系統(tǒng)是必需的)，并且合計(jì)起來以通常的方式筒便地計(jì)算測(cè)得點(diǎn)的最小二乘行。此外，將系統(tǒng)的原點(diǎn)定位在測(cè)得點(diǎn)的重心處在一開始就消除了確定干涉j義的位置和死^各徑的需要。很顯然，可以對(duì)在此描述的本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行改變，然而，這種改變不能背離所附權(quán)利要求中限定的范圍。具體地，除了橋4妾件類型的之外，才艮據(jù)本發(fā)明的方法可以應(yīng)用于任何類型的測(cè)量機(jī)，例如，水平臂機(jī)器、柱型機(jī)器、甚至關(guān)節(jié)連4妻的機(jī)器人4幾器等，并且還適用于校正才幾床的幾何誤差。盡管本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例采用干涉4義測(cè)量裝置，^旦也可以4吏用其他沖支術(shù)來獲得沿不同方向的4黃坐標(biāo)，例如，利用覆蓋主軸(坐標(biāo)平面的3個(gè)軸向?qū)蔷€和4個(gè)體對(duì)角線)的自動(dòng)致動(dòng)系統(tǒng)定向的且能夠沿著一個(gè)方向平移以覆蓋整個(gè)測(cè)量線的光步^見?？梢岳貌煌墓ぞ咂屏縼頊y(cè)量標(biāo)準(zhǔn)尺寸，以便確定其他不可獲得的誤差函數(shù)。也可以采用諸如傳統(tǒng)的金屬線和巻軸系統(tǒng)的一^換方法。最后，可以利用包括光纖連接至讀數(shù)器的激光源的系統(tǒng)來獲得沿不同測(cè)量軸的4黃坐才示。權(quán)利要求1.一種確定機(jī)床(1)或測(cè)量機(jī)中的幾何誤差的方法，所述測(cè)量機(jī)包括用于在測(cè)量空間內(nèi)移動(dòng)標(biāo)靶的移動(dòng)單元(4)，所述方法包括以下步驟在測(cè)量空間內(nèi)確定方向；利用所述移動(dòng)單元(4)將所述標(biāo)靶沿著所述方向移動(dòng)到多個(gè)點(diǎn)；利用測(cè)量裝置(13)測(cè)量每個(gè)所述點(diǎn)距離沿著所述方向定位的原點(diǎn)的橫坐標(biāo)；利用所述機(jī)器(1)獲得每個(gè)所述點(diǎn)的坐標(biāo)；對(duì)所述測(cè)量空間內(nèi)的多個(gè)方向重復(fù)前述的步驟；以及根據(jù)由所述測(cè)量裝置(13)測(cè)得的橫坐標(biāo)以及由所述機(jī)器(1)獲得的所述點(diǎn)的坐標(biāo)來確定所述機(jī)器的誤差參數(shù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述原點(diǎn)是由所述測(cè)量裝置(13)沿所述方向測(cè)得的點(diǎn)的重心。3.才艮據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特4正在于，對(duì)于每個(gè)所述方向，所述確定誤差參數(shù)的步驟包括以下步驟根據(jù)由所述機(jī)器(1)獲得的坐標(biāo)來確定靠近連續(xù)點(diǎn)的線；以及要求所述線沿著所述方向定4立。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述確定誤差參數(shù)的步驟包括要求根據(jù)由所述機(jī)器(1)獲得的坐標(biāo)而計(jì)算的所述點(diǎn)的重心與根據(jù)由所述測(cè)量裝置(13)測(cè)得的橫坐標(biāo)而計(jì)算的所述點(diǎn)的重心一致的步-驟。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述確定誤差參數(shù)的步驟包括將由所述機(jī)器(1)獲得的每個(gè)點(diǎn)在所述方向上的投影與由所述測(cè)量裝置(13)獲得的橫坐標(biāo)之間的差值的總和最小化的步驟。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述測(cè)量空間內(nèi)確定方向的步驟包括沿所述方向產(chǎn)生激光束(14)的步驟。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述測(cè)量每個(gè)所述點(diǎn)距離沿著所述方向定位的原點(diǎn)的4黃坐標(biāo)的步驟利用構(gòu)成所述測(cè)量裝置(13)的一部分的激光干涉儀(15)進(jìn)行。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述標(biāo)耙是背反射器(12)。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法包括利用由致動(dòng)裝置(16)控制的反射器(17),通過偏轉(zhuǎn)由所述干涉儀(15)產(chǎn)生的激光束，而沿著不同方向產(chǎn)生連續(xù)激光束(14)的步-驟。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括至少兩個(gè)沿著兩個(gè)不同方向獲取各點(diǎn)的步-驟；只t于所述兩個(gè)步艱《，所述標(biāo)耙以不同的偏移量安裝在所述移動(dòng)單元(4)上。全文摘要本發(fā)明提供了一種確定機(jī)床或測(cè)量機(jī)中的幾何誤差的方法，該測(cè)量機(jī)具有用于在測(cè)量空間內(nèi)移動(dòng)標(biāo)靶的移動(dòng)單元，該方法包括以下步驟在測(cè)量空間內(nèi)確定第一方向；利用移動(dòng)單元將標(biāo)靶沿著該方向移動(dòng)到多個(gè)點(diǎn)；利用測(cè)量裝置測(cè)量每個(gè)點(diǎn)距離沿著第一方向定位的原點(diǎn)的橫坐標(biāo)；利用機(jī)器獲得每個(gè)點(diǎn)的坐標(biāo)；對(duì)測(cè)量空間內(nèi)的多個(gè)方向重復(fù)前述的步驟；以及根據(jù)由測(cè)量裝置測(cè)得的橫坐標(biāo)和由機(jī)器獲得的點(diǎn)的坐標(biāo)來確定所述機(jī)器的誤差參數(shù)。文檔編號(hào)G01B21/02GK101349556SQ20081009697公開日2009年1月21日申請(qǐng)日期2008年5月12日優(yōu)先權(quán)日2007年5月10日發(fā)明者亞歷山德羅·巴爾薩莫,米凱萊·韋爾迪申請(qǐng)人:?？怂箍禍y(cè)量技術(shù)有限公司;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