專利名稱：多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種活塞式氣體壓縮機(jī)，特別是涉及一種用于多晶硅行業(yè)的尾氣壓縮機(jī)的氣封裝置。
背景技術(shù)：
在多晶硅行業(yè)，由于壓縮機(jī)氣缸內(nèi)的壓縮介質(zhì)(氫氣占百分之九十多，剩下百分之幾是三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等)具有特殊性質(zhì)，因而一旦氣缸壓縮腔體中的壓縮介質(zhì)沿著不斷運(yùn)動(dòng)的活塞桿(動(dòng)密封)泄漏到機(jī)身內(nèi)，就會(huì)使機(jī)身內(nèi)的各處潤滑油與壓縮介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，生成粘稠的膠狀物質(zhì)，堵塞油過濾器，影響傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的潤滑，進(jìn)而影響到整個(gè)尾氣壓縮機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。為了盡可能地避免出現(xiàn)上述問題，現(xiàn)有的多晶硅行業(yè)用尾氣壓縮機(jī)，在氣缸與機(jī)身之間設(shè)置的中間座中采用填料密封與氣體吹掃密封相結(jié)合的方式，對(duì)沿著活塞桿往機(jī)身處泄漏的壓縮介質(zhì)進(jìn)行逐級(jí)填料密封與氮?dú)獯祾呦嘟Y(jié)合，以將泄漏至中間座內(nèi)的壓縮介質(zhì)徹底清除出去，從而避免由于壓縮介質(zhì)進(jìn)入機(jī)身而帶來的一系列不利后果。上述氮?dú)獯祾叽胧┰趯?shí)際使用過程中，泄漏至中間座的壓縮介質(zhì)經(jīng)常會(huì)因?yàn)閺U氣排放管線堵塞而不能及時(shí)排走，然而，壓縮機(jī)操作人員卻不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)而進(jìn)行處理，因而導(dǎo)致壓縮介質(zhì)越積越多最后就會(huì)泄漏至機(jī)身，給機(jī)身的各級(jí)潤滑系統(tǒng)帶來不利后果。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作簡便、便于壓縮機(jī)操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)廢氣排放管線是否暢通，從而能夠在不暢通時(shí)及時(shí)處理，以避免壓縮介質(zhì)泄漏至機(jī)身內(nèi)的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置。本實(shí)用新型一種多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，包括固定連接于氣缸與機(jī)身之間的中間座，氣缸內(nèi)的活塞桿穿過中間座與機(jī)身內(nèi)的連桿相連，中間座與氣缸連接處上穿過活塞桿的位置設(shè)有主填料，中間座與機(jī)身連接處上穿過活塞桿的位置設(shè)有擋油器填料，主填料和擋油器填料均通過填料盒與中間座固定連接，填料盒一端設(shè)有壓蓋，主填料和擋油器填料在活塞桿位置均通過至少兩組浮動(dòng)密封環(huán)與活塞桿動(dòng)密封，所述中間座上開設(shè)有吹掃氣進(jìn)氣口和第二排氣口，吹掃氣進(jìn)氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源，還包括浮子流量計(jì)，所述浮子流量計(jì)連接在吹掃氣進(jìn)氣口與該支路上的減壓閥之間。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)不同之處在于本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置， 在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，在吹掃氣進(jìn)氣口與減壓閥之間增設(shè)了浮子流量計(jì)，以使得在壓縮機(jī)運(yùn)行過程中，壓縮機(jī)操作人員可以根據(jù)浮子流量計(jì)中的浮子高度來判斷第二排氣口是否出現(xiàn)堵塞不暢通的情況，則操作人員可以據(jù)此隨時(shí)清理第二排氣口，保證從吹掃氣進(jìn)氣口進(jìn)入的氣體能夠有效對(duì)泄漏至機(jī)身側(cè)隔室內(nèi)的壓縮介質(zhì)進(jìn)行吹掃，以避免因泄漏壓縮介質(zhì)進(jìn)入機(jī)身而給機(jī)身帶來一系列不利后果。本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其中所述吹掃氣進(jìn)氣口連接的氣源為第
3一氮?dú)鈿庠?，第一氮?dú)鈿庠吹妮敵鰤毫?. 05-0. IMpa,第二排氣口與連通至安全區(qū)的管線連接。采用氮?dú)鈿庠词且驗(yàn)榈獨(dú)獬杀据^低，且氮?dú)獠慌c氣缸內(nèi)的壓縮氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其中所述中間座中設(shè)有隔板，將中間座分隔為靠近氣缸的氣缸側(cè)隔室和靠近機(jī)身的機(jī)身側(cè)隔室，隔板上穿過活塞桿的位置設(shè)有中間填料，中間填料通過填料盒與中間座固定連接，填料盒一端設(shè)有壓蓋，中間填料在活塞桿位置通過至少兩組浮動(dòng)密封環(huán)與活塞桿動(dòng)密封。采用這種結(jié)構(gòu)是為了實(shí)現(xiàn)氣缸與機(jī)身之間的空間隔離與逐級(jí)填料密封相結(jié)合，加強(qiáng)氣缸與機(jī)身之間的密封，防止氣缸內(nèi)的壓縮介質(zhì)泄漏至機(jī)身內(nèi)。本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其中所述主填料通過至少四組浮動(dòng)密封環(huán)與活塞桿動(dòng)密封，主填料內(nèi)設(shè)置氣室和充氣空腔，氣室與充氣空腔分別位于兩組浮動(dòng)密封環(huán)之間，且環(huán)繞活塞桿并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔設(shè)于氣室右側(cè)，所述氣缸側(cè)隔室上開設(shè)有第一排氣口和第一高壓進(jìn)氣口，氣室通過管路與第一排氣口相連通，充氣空腔通過管路與第一高壓進(jìn)氣口相連通，所述第一高壓進(jìn)氣口的入口端依次連接有壓力表、 減壓閥、截止閥和氫氣氣源，氫氣氣源的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，第一高壓進(jìn)氣口處的具體輸入壓力值可通過本支路上的減壓閥來控制。采用上述結(jié)構(gòu)，是為了將氣缸內(nèi)泄漏的壓縮介質(zhì)在其泄漏至主填料內(nèi)時(shí)通過第一排氣口排放出去，并在主填料處增加高壓氫氣阻塞密封裝置，阻止泄漏介質(zhì)繼續(xù)往右側(cè)泄漏，使用氫氣高壓阻塞，是為了避免其他氣體如氮?dú)膺M(jìn)入汽缸影響用戶的加工工藝。本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其中所述氣缸側(cè)隔室或機(jī)身側(cè)隔室上開設(shè)有第二高壓進(jìn)氣口，第二高壓進(jìn)氣口與位于中間填料與活塞桿之間且在兩組浮動(dòng)密封環(huán)之間的間隙通過管路相連通，所述第二高壓進(jìn)氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和第二氮?dú)鈿庠?，第二氮?dú)鈿庠吹妮敵鰤毫?. 15-0. 2Mpa，第二高壓進(jìn)氣口處的具體輸入壓力值可通過本支路上的減壓閥來控制。采用這種結(jié)構(gòu)，是為了在中間填料處增加一級(jí)高壓氣體阻塞密封，進(jìn)一步加強(qiáng)了整個(gè)氣封裝置的密封性能，阻止壓縮介質(zhì)經(jīng)中間填料進(jìn)一步往機(jī)身側(cè)泄漏。本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其中所述機(jī)身側(cè)隔室上開設(shè)有第三高壓進(jìn)氣口，第三高壓進(jìn)氣口與位于擋油器填料與活塞桿之間且在兩組浮動(dòng)密封環(huán)之間的間隙通過管路相連通，所述第三高壓進(jìn)氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和第三氮?dú)鈿庠?，第三氮?dú)鈿庠吹妮敵鰤毫?. 15-0. 2Mpa，第三高壓進(jìn)氣口處的具體輸入壓力值可通過本支路上的減壓閥來控制。采用這種結(jié)構(gòu)，是為了在擋油器填料處增加一級(jí)高壓氣體阻塞密封，進(jìn)一步加強(qiáng)了整個(gè)氣封裝置的密封效果，起到在壓縮介質(zhì)進(jìn)入機(jī)身前的最后的阻塞密封，阻止泄漏至此的壓縮介質(zhì)往機(jī)身內(nèi)泄漏。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置作進(jìn)一步說明。
圖1為本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置的局部剖視圖；圖3為圖2中I部分的局部放大圖；圖4為圖2中II部分的局部放大圖；[0018]圖5為圖2中III部分的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
如圖1至圖5所示，本實(shí)用新型一種多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，包括設(shè)于氣缸1 與機(jī)身2之間的雙隔室中間座，靠近氣缸1的為氣缸側(cè)隔室6，靠近機(jī)身2的為機(jī)身側(cè)隔室 7，兩隔室6、7通過隔板11分隔，氣缸1內(nèi)的活塞3通過活塞桿4與機(jī)身2內(nèi)的連桿相連， 氣缸側(cè)隔室6與氣缸1通過螺栓緊固連接，機(jī)身側(cè)隔室7與機(jī)身2通過螺栓緊固連接，其中氣缸側(cè)隔室6與氣缸1連接處上穿過活塞桿4的位置設(shè)有主填料8，隔板11上穿過活塞桿 4的位置設(shè)有中間填料9，機(jī)身側(cè)隔室7與機(jī)身2連接處上穿過活塞桿4的位置設(shè)有擋油器填料10，主填料8、中間填料9和擋油器填料10均通過填料盒22與雙隔室中間座通過螺栓連接，填料盒22上開設(shè)有使活塞桿4從中穿過的通孔，填料盒22 —端設(shè)有壓蓋33，以將填料盒22內(nèi)的填料8、9、10壓緊，中間填料9和擋油器填料10均通過兩組浮動(dòng)密封環(huán)12與活塞桿4動(dòng)密封，擋油器填料10內(nèi)浮動(dòng)密封環(huán)12的右側(cè)設(shè)有兩組刮油環(huán)21，主填料8通過七組浮動(dòng)密封環(huán)12與活塞桿4動(dòng)密封，主填料8內(nèi)設(shè)置氣室14和充氣空腔15，氣室14 與充氣空腔15分別位于兩組浮動(dòng)密封環(huán)12之間，且環(huán)繞活塞桿4并與活塞桿4的外表面相接觸，充氣空腔15設(shè)于氣室14右側(cè)，氣缸側(cè)隔室6上開設(shè)有第一排氣口 16和第一高壓進(jìn)氣口 17，氣室14通過管子與第一排氣口 16相連通，充氣空腔15通過密封墊圈、管子和卡套式接頭與第一高壓進(jìn)氣口 17相連通，機(jī)身側(cè)隔室7上開設(shè)有吹掃氣進(jìn)氣口 18、第二排氣口 19和第二高壓進(jìn)氣口 20，第三高壓進(jìn)氣口與第二高壓進(jìn)氣口 20為同一個(gè)進(jìn)氣口，第三氮?dú)鈿庠磁c第二氮?dú)鈿庠此臑橥粋€(gè)氮?dú)鈿庠?，下面所述的第二高壓進(jìn)氣口 20皆同指第三高壓進(jìn)氣口，第二氮?dú)鈿庠此慕酝傅谌獨(dú)鈿庠?，第二高壓進(jìn)氣口 20與位于中間填料 9與活塞桿4之間且在兩組浮動(dòng)密封環(huán)12之間的間隙通過卡套式接頭、管子和密封墊圈相連通，第二高壓進(jìn)氣口 20與位于擋油器填料10與活塞桿4之間且在兩組浮動(dòng)密封環(huán)12之間的間隙通過卡套式接頭、管子和密封墊圈相連通，吹掃氣進(jìn)氣口 18的入口端依次連接有浮子流量計(jì)110、壓力表111、減壓閥112、截止閥113和第一氮?dú)鈿庠从^，第一高壓進(jìn)氣口 17和第二高壓進(jìn)氣口 20的入口端均依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥，其中第一高壓進(jìn)氣口 17最外端還連接有氫氣氣源27，第二高壓進(jìn)氣口 20的最外端還連接有第二氮?dú)鈿庠此模瑲錃鈿庠?7的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa，第一氮?dú)鈿庠?8的輸出壓力為0. 05-0. IMpa, 第二氮?dú)鈿庠此牡妮敵鰤毫?. 15-0. 2Mpa，其中第一排氣口 16和第二排氣口 19分別與連通至安全區(qū)的管線連接。如圖1所示，本裝置在使用時(shí)，可首先調(diào)節(jié)吹掃氣進(jìn)氣口 18上的減壓閥112，通過觀察該支路上的壓力表111，將該減壓閥112的出口壓力調(diào)節(jié)至0. 05-0. IMpa之間的某一具體數(shù)值，以保證氮?dú)獯祾叩牧髁?，此后在壓縮機(jī)運(yùn)行過程中，操作人員可通過隨時(shí)觀察浮子流量計(jì)110中的浮子高度，來判斷第二排氣口是否暢通，以便于在發(fā)現(xiàn)第二排氣口不暢通時(shí)及時(shí)處理，避免泄漏至機(jī)身側(cè)隔室內(nèi)的壓縮介質(zhì)進(jìn)入機(jī)身；當(dāng)?shù)诙艢饪?19處不能零壓排放時(shí)，可通過調(diào)節(jié)減壓閥112適當(dāng)提高吹掃氣進(jìn)氣口 18處的進(jìn)氣壓力，以保證盡量在第二排氣口 19處零壓排放。以上所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，包括固定連接于氣缸(1)與機(jī)身( 之間的中間座，氣缸⑴內(nèi)的活塞桿⑷穿過中間座與機(jī)身⑵內(nèi)的連桿相連，中間座與氣缸⑴連接處上穿過活塞桿(4)的位置設(shè)有主填料(8)，中間座與機(jī)身( 連接處上穿過活塞桿(4)的位置設(shè)有擋油器填料(10)，主填料(8)和擋油器填料(10)均通過填料盒0 與中間座固定連接，填料盒0 —端設(shè)有壓蓋(33)，主填料(8)和擋油器填料(10)在活塞桿(4)位置均通過至少兩組浮動(dòng)密封環(huán)(12)與活塞桿(4)動(dòng)密封，所述中間座上開設(shè)有吹掃氣進(jìn)氣口(18)和第二排氣口(19)，吹掃氣進(jìn)氣口(18)的入口端依次連接有壓力表(111)、減壓閥 (112)、截止閥(11 和氣源，其特征在于還包括浮子流量計(jì)(110)，所述浮子流量計(jì)(110) 連接在吹掃氣進(jìn)氣口(18)與減壓閥(112)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述氣源為第一氮?dú)鈿庠?觀)，第一氮?dú)鈿庠?8)的輸出壓力為0.05-0. IMpa，第二排氣口(19)與連通至安全區(qū)的管線連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述中間座中設(shè)有隔板(11)，將中間座分隔為靠近氣缸的氣缸側(cè)隔室(6)和靠近機(jī)身的機(jī)身側(cè)隔室 (7)，隔板(11)上穿過活塞桿⑷的位置設(shè)有中間填料(9)，中間填料(9)通過填料盒02) 與中間座固定連接，填料盒0 —端設(shè)有壓蓋(33)，中間填料(9)在活塞桿(4)位置通過至少兩組浮動(dòng)密封環(huán)(1 與活塞桿(4)動(dòng)密封。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述主填料(8) 通過至少四組浮動(dòng)密封環(huán)(1 與活塞桿(4)動(dòng)密封，主填料(8)內(nèi)設(shè)置氣室(14)和充氣空腔(15)，氣室(14)與充氣空腔(15)分別位于兩組浮動(dòng)密封環(huán)(12)之間，且環(huán)繞活塞桿 (4)并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔(15)設(shè)于氣室(14)右側(cè)，所述氣缸側(cè)隔室 (6)上開設(shè)有第一排氣口(16)和第一高壓進(jìn)氣口(17)，氣室(14)通過管路與第一排氣口(16)相連通，充氣空腔(1 通過管路與第一高壓進(jìn)氣口(17)相連通，所述第一高壓進(jìn)氣口(17)的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述氣源為氫氣氣源(27)，氫氣氣源(Xl)的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述氣缸側(cè)隔室(6)或機(jī)身側(cè)隔室(7)上開設(shè)有第二高壓進(jìn)氣口(20)，第二高壓進(jìn)氣口00)與位于中間填料(9)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動(dòng)密封環(huán)(1 之間的間隙通過管路相連通，所述第二高壓進(jìn)氣口 OO)的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述氣源為第二氮?dú)鈿庠?四)，第二氮?dú)鈿庠?9)的輸出壓力為0. 15-0. 2Mpa。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述機(jī)身側(cè)隔室(7)上開設(shè)有第三高壓進(jìn)氣口，第三高壓進(jìn)氣口與位于擋油器填料(10)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動(dòng)密封環(huán)(1 之間的間隙通過管路相連通，所述第三高壓進(jìn)氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，其特征在于所述氣源為第三氮?dú)鈿庠?，第三氮?dú)鈿庠吹妮敵鰤毫?. 15-0. 2Mpa。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于多晶硅行業(yè)活塞式尾氣壓縮機(jī)的氣封裝置。其目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作簡便、便于壓縮機(jī)操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)廢氣排放管線是否暢通，從而能夠在不暢通時(shí)及時(shí)處理，以避免壓縮介質(zhì)泄漏至機(jī)身內(nèi)的多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置。本實(shí)用新型一種多晶硅尾氣壓縮機(jī)氣封裝置，包括固定連接于氣缸與機(jī)身之間的中間座，中間座上通過填料盒固定連接有主填料和擋油器填料，填料盒一端設(shè)有壓蓋，主填料和擋油器填料均通過至少兩組浮動(dòng)密封環(huán)與活塞桿動(dòng)密封，中間座上開設(shè)有吹掃氣進(jìn)氣口和第二排氣口，吹掃氣進(jìn)氣口的入口端依次連接有壓力表、減壓閥、截止閥和氣源，還包括連接在吹掃氣進(jìn)氣口與減壓閥之間的浮子流量計(jì)。
文檔編號(hào)F04B39/00GK202209263SQ20112029933
公開日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者劉曉霞, 張艷芷 申請(qǐng)人:北京金凱威通用機(jī)械有限公司