專利名稱：具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及如下構(gòu)成的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵(bellows pump)設(shè)置了一對(duì)伸縮自如的筒狀波紋管，在其間配置泵頭，通過聯(lián)動(dòng)軸使一對(duì)波紋管聯(lián)動(dòng)，將該筒狀波紋管的內(nèi)側(cè)作為半導(dǎo)體的處理液等泵供給流體的泵室，在其外側(cè)設(shè)置了用泵殼體劃分的工作氣室。
背景技術(shù)：
在這樣的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵中，已知有為了使左右一對(duì)波紋管聯(lián)動(dòng)而設(shè)置了將兩波紋管互相連接的聯(lián)動(dòng)軸，并將該聯(lián)動(dòng)軸配置在泵殼體的外部的結(jié)構(gòu)以及配置到泵室內(nèi)的結(jié)構(gòu)(例如專利文獻(xiàn)1)。前者采用使與各波紋管一體地移動(dòng)的部件延伸到泵殼體外，將聯(lián)動(dòng)軸連接到其延出端的結(jié)構(gòu)。而后者采用如下結(jié)構(gòu)在配置于泵殼體的中央的泵頭上設(shè)置開口到泵室的貫通孔，將聯(lián)動(dòng)軸插通到該貫通孔內(nèi)并使其與貫通孔的內(nèi)周面滑動(dòng)接觸，使軸的各端部延伸到泵室內(nèi)并可動(dòng)作地連結(jié)在設(shè)置于波紋管的自由端上的端板上。
在上述以往的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵中，對(duì)于采用將聯(lián)動(dòng)軸配置在泵殼體的外側(cè)的結(jié)構(gòu)，不僅存在將波紋管的動(dòng)作傳遞到聯(lián)動(dòng)軸的連接機(jī)構(gòu)復(fù)雜的問題，而且存在泵的整體大型化、增加制作成本的問題。而對(duì)于將聯(lián)動(dòng)軸配置到泵室內(nèi)的結(jié)構(gòu)，為了隔離兩泵室內(nèi)的流體，需要使聯(lián)動(dòng)軸在與泵頭的貫通孔緊密接觸的狀態(tài)下以該貫通孔為軸承而相對(duì)其滑動(dòng)，因此存在在滑動(dòng)部分產(chǎn)生磨損粉或磨損屑，使泵室內(nèi)的泵供給流體中混入了不希望有的不純物的問題。特別是在該泵室中的泵供給流體為要求較高純度的半導(dǎo)體處理液等的時(shí)候，這是極其嚴(yán)重的問題。
并且，在如上述那樣將半導(dǎo)體處理液或藥液作為泵供給流體來進(jìn)行處理的泵中，用耐蝕性較好的合成樹脂取代金屬作為泵室的與液體接觸的部分的材質(zhì)，目前無論從功能上還是從成本上都普遍希望所有的泵構(gòu)成部件都用合成樹脂構(gòu)成。這樣一來，即使是采用至少在與液體接觸的部分使用了合成樹脂的泵結(jié)構(gòu)的情況下，在將聯(lián)動(dòng)軸配置到泵室內(nèi)的結(jié)構(gòu)中也不能在聯(lián)動(dòng)軸與泵頭的貫通孔之間的滑動(dòng)部分使用潤(rùn)滑油等潤(rùn)滑劑，而且，由于會(huì)產(chǎn)生耐腐蝕性或磨損粉的問題，因此混入了滑動(dòng)性好的碳的樹脂也不能使用，勢(shì)必造成不得不采用使合成樹脂制的聯(lián)動(dòng)軸通過合成樹脂制的軸承相對(duì)于合成樹脂制的泵頭的貫通孔緊密接觸地滑動(dòng)的結(jié)構(gòu)。因此，即使是組裝時(shí)的微量變形也會(huì)給該滑動(dòng)部分帶來較大的負(fù)荷，即產(chǎn)生所謂的“咬死現(xiàn)象”，妨礙聯(lián)動(dòng)軸的順暢滑動(dòng)，有時(shí)還會(huì)導(dǎo)致泵停止動(dòng)作的情況。
日本專利特開2003-314458號(hào)公報(bào)實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型就是鑒于上述以往的諸多問題，目的是提供一種能夠防止泵供給流體中混入不希望有的不純物，并且構(gòu)成部件容易采用合成樹脂，而且功能和成本方面較好，小型化設(shè)計(jì)較容易的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵。
為了到達(dá)上述本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型提出了以下這樣一種具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的方案，所述隔膜泵以由以下部件構(gòu)成泵殼體；泵頭，沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線安裝到中央位置并進(jìn)行泵供給流體的吸入和吐出；左右一對(duì)筒狀波紋管，基端部在密封狀態(tài)下分別安裝到上述泵頭上，并在上述殼體內(nèi)可以沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線自由伸縮地以規(guī)定的行程往復(fù)運(yùn)動(dòng)；端板，以密封狀態(tài)連結(jié)到這些波紋管的自由端上，與上述泵頭一起運(yùn)動(dòng)，將波紋管內(nèi)部劃分成泵室并將該波紋管與殼體之間的空間劃分成工作氣室；聯(lián)動(dòng)軸，為了使另一個(gè)波紋管與上述一個(gè)波紋管的往復(fù)運(yùn)動(dòng)相聯(lián)動(dòng)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)而將端部與該一對(duì)端板相連結(jié)，插通到在上述泵頭上形成的貫通孔中并能夠沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線移動(dòng)；工作氣體供給機(jī)構(gòu)，選擇性地將工作氣體提供給上述左右一對(duì)工作氣室；閥機(jī)構(gòu)，為了控制泵供給流體流入或流出左右一對(duì)波紋管的泵室而安裝到上述泵頭上并與各泵室對(duì)應(yīng)地設(shè)置，所述左右一對(duì)波紋管響應(yīng)上述工作氣體供給機(jī)構(gòu)提供給上述左右一對(duì)工作氣室而導(dǎo)致的工作氣體的壓力變化而往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以以上構(gòu)成為前提，所述隔膜泵的特征在于在上述泵頭上形成的貫通孔在左右一對(duì)的工作氣室中開口，上述聯(lián)動(dòng)軸通過該貫通孔延伸到上述左右一對(duì)的工作氣室內(nèi)，該聯(lián)動(dòng)軸與該泵頭的貫通孔之間設(shè)置隔離左右一對(duì)的工作氣室的密封機(jī)構(gòu)。
在上述本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)中，聯(lián)動(dòng)軸在左右一對(duì)的工作氣室中開口的狀態(tài)下通過泵頭上設(shè)置的貫通孔延伸到該工作氣室內(nèi)，在泵室內(nèi)不配置聯(lián)動(dòng)軸。在貫通孔與聯(lián)動(dòng)軸之間設(shè)置密封機(jī)構(gòu)，由此隔離左右的工作氣室。這里，不必設(shè)置支承聯(lián)動(dòng)軸的軸承。
并且，在本實(shí)用新型中還提出了采用以下結(jié)構(gòu)的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的方案上述密封部件由插裝并固定在上述泵頭的貫通孔內(nèi)并延伸到左右工作氣室內(nèi)的兩端開口的筒狀導(dǎo)向部件和安裝到該導(dǎo)向部件的各開口端上的彈性密封部件構(gòu)成；上述聯(lián)動(dòng)軸移動(dòng)自如地插通到上述筒狀導(dǎo)向部件中，并且該筒狀導(dǎo)向部件的內(nèi)徑比該聯(lián)動(dòng)軸的外徑大；上述彈性密封部件與該聯(lián)動(dòng)軸密封接觸，實(shí)現(xiàn)左右工作氣室的隔離。
在上述本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)中，作為密封部件，其筒狀導(dǎo)向部件插通并固定在貫通孔中，彈性密封部件分別安裝到該兩端的開口端上，使其與移動(dòng)自如地插通到筒狀導(dǎo)向部件內(nèi)的聯(lián)動(dòng)軸密封接觸，用該接觸部分實(shí)現(xiàn)隔離左右工作氣室的密封作用。由于筒狀導(dǎo)向部件的內(nèi)徑設(shè)定為比聯(lián)動(dòng)軸的外徑大，因此不必?fù)?dān)心在聯(lián)動(dòng)軸的移動(dòng)過程中與該導(dǎo)向部件接觸而妨礙其移動(dòng)。
而且在本實(shí)用新型中還提出了以下這樣一種具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的方案上述泵頭的貫通孔的內(nèi)徑比上述聯(lián)動(dòng)軸的外徑大；一對(duì)彈性密封部件可與聯(lián)動(dòng)軸密封接觸地配置在該貫通孔內(nèi)，由此實(shí)現(xiàn)左右工作氣室的隔離。
在上述本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)中，聯(lián)動(dòng)軸直接插通到泵頭的貫通孔中，在聯(lián)動(dòng)軸與貫通孔之間，將一對(duì)彈性密封部件配置到貫通孔中，由此實(shí)現(xiàn)左右工作氣室的隔離。這里也不設(shè)置支承聯(lián)動(dòng)軸的軸承。
而且在本實(shí)用新型中還提出了一種上述彈性密封部件由唇形密封構(gòu)成的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的方案。
在上述本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)中，使彈性部件由密封接觸部分呈薄壁的舌片形狀的所謂唇形密封構(gòu)成。由于唇形密封柔軟性好，因此泵組裝時(shí)的小的變形能夠在這里被吸收。由于左右波紋管在泵的動(dòng)作過程中保持在被工作氣體加壓的狀態(tài)，因此通過該壓力平衡而不會(huì)產(chǎn)生較大的變形，可以認(rèn)為基本上是水平地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，因此不會(huì)對(duì)唇形密封施加比與之密封接觸的聯(lián)動(dòng)軸大的負(fù)荷。因此在該密封部分不會(huì)產(chǎn)生不希望發(fā)生的咬死現(xiàn)象。
而且本實(shí)用新型還提出了一種泵構(gòu)成部件全部用合成樹脂形成的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的方案。
在上述本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)中，用合成樹脂作為包括收存泵供給流體的泵室的與液體接觸的部分的泵的各構(gòu)成部件的材質(zhì)，進(jìn)行所謂全樹脂化的泵設(shè)計(jì)。
如果采用本實(shí)用新型，由于采用將聯(lián)動(dòng)軸配置在波紋管外側(cè)的工作氣室中的結(jié)構(gòu)，因此不用擔(dān)心磨損粉或磨損屑混入到劃分在波紋管內(nèi)側(cè)的泵室內(nèi)的流體中，并且由于是配置在泵殼體的內(nèi)側(cè)，因此與波紋管的連接結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有泵的整體設(shè)計(jì)容易小型化這樣的效果。
并且，由于聯(lián)動(dòng)軸與它插通的泵頭的貫通孔之間的用來隔離工作氣室的密封機(jī)構(gòu)在泵動(dòng)作過程中將左右的波紋管保持為被工作氣體加壓的狀態(tài)，因此在該壓力平衡的作用下不會(huì)產(chǎn)生大的變形。基本上是水平地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，因此比較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)就可以，而且該聯(lián)動(dòng)軸與貫通孔之間不需要特別的軸承，因此能夠減輕對(duì)聯(lián)動(dòng)軸的負(fù)荷，實(shí)現(xiàn)順暢的泵動(dòng)作。
因此，即使在采用將引導(dǎo)聯(lián)動(dòng)軸移動(dòng)的筒狀導(dǎo)向部件插裝并固定到貫通孔內(nèi)的結(jié)構(gòu)的情況下，也能夠使該導(dǎo)向部件的內(nèi)徑比聯(lián)動(dòng)軸的外徑大，聯(lián)動(dòng)軸在移動(dòng)過程中不與該導(dǎo)向部件滑動(dòng)接觸，密封機(jī)構(gòu)能夠用安裝到該導(dǎo)向部件的開口端的彈性密封部件實(shí)現(xiàn)足夠的工作氣室的隔離。
而且，在不設(shè)置上述筒狀導(dǎo)向部件的結(jié)構(gòu)中，使聯(lián)動(dòng)軸直接插通到貫通孔中，使該貫通孔的內(nèi)徑比聯(lián)動(dòng)軸的外徑大，在它們之間配置一對(duì)彈性密封部件，通過這樣不僅能夠避免移動(dòng)過程中與貫通孔滑動(dòng)接觸，而且可以用該一對(duì)彈性密封部件實(shí)現(xiàn)足夠的工作氣室的隔離。
并且，通過采用唇形密封作為上述彈性密封部件，使與聯(lián)動(dòng)軸的接觸狀態(tài)更加柔軟，能夠在這里吸收泵組裝時(shí)的少量變形，因此進(jìn)一步減輕對(duì)聯(lián)動(dòng)軸的負(fù)荷。
通過采用上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型能夠用合成樹脂作為包括收存泵供給流體的泵室的與液體接觸的部分的各構(gòu)成部件的材質(zhì)，容易進(jìn)行所謂全樹脂化的泵設(shè)計(jì)，能夠提供適于將半導(dǎo)體處理液或藥液作為泵供給流體進(jìn)行處理的泵。


圖1 本實(shí)用新型的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的第1實(shí)施例的概略剖視圖圖2 圖1所示泵的主要部分的放大圖圖3 本實(shí)用新型的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵的第2實(shí)施例的概略剖視圖圖4 圖3所示泵的主要部分的放大圖圖5 表示圖4所示的唇形密封的變形例的局部圖具體實(shí)施方式
下面參照附圖說明本實(shí)用新型的實(shí)施例。在圖1及圖2表示的第1實(shí)施例的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵中，1為泵殼體，2為沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線X-X配置在其中央位置的泵頭。泵殼體1以泵頭2為界分割成左右一對(duì)，在用銷3將它們定位在泵頭2上的狀態(tài)下可以用一對(duì)組裝框4組裝成一體。
5為左右一對(duì)的筒狀波紋管，這對(duì)波紋管的基端部5a以密封狀態(tài)分別安裝在泵頭2上，并可以沿泵殼體1的長(zhǎng)軸軸線X-X以規(guī)定的行程伸縮自如地往復(fù)運(yùn)動(dòng)；6為端板，該端板以密封的狀態(tài)連接到波紋管的自由端上，與泵頭2一起動(dòng)作，分別將波紋管5的內(nèi)部劃分為泵室7并將該波紋管5與泵殼體1之間劃分為工作氣室8。
10為聯(lián)動(dòng)軸，穿插到泵頭2上形成的并在左右一對(duì)的工作氣室8中開口的貫通孔11中，并延伸到左右的工作氣室8內(nèi)，通過各端部所對(duì)應(yīng)的端板6和2片連接板12、13用螺栓14連結(jié)。2片連接板12、13用上述螺栓14安裝到對(duì)應(yīng)的端板6上，使他們夾著對(duì)應(yīng)的端板6。該聯(lián)動(dòng)軸10為一對(duì)，以相對(duì)的狀態(tài)設(shè)置在工作氣室8內(nèi)以長(zhǎng)軸軸線X-X為中心沿半徑方向處于同心的位置上，一個(gè)波紋管5沿軸線X-X往復(fù)運(yùn)動(dòng)，另一個(gè)波紋管5與此響應(yīng)，沿軸線X-X與之平行地移動(dòng)，使它們平衡良好地聯(lián)動(dòng)。
15為插裝并固定到各貫通孔內(nèi)的兩端開放的筒狀導(dǎo)向部件，聯(lián)動(dòng)軸10移動(dòng)自由地插通到該導(dǎo)向部件15內(nèi)。導(dǎo)向部件15的內(nèi)徑ID如圖2所示設(shè)定為比聯(lián)動(dòng)軸10的外徑OD大，當(dāng)聯(lián)動(dòng)軸10移動(dòng)時(shí)，通過后述的彈性密封部件16在其中間保持間隙G，不與該彈性密封部件16的內(nèi)周面滑動(dòng)接觸。
彈性密封部件16呈環(huán)狀，安裝在筒狀導(dǎo)向部件15的各開口端15a上，有彈性地與聯(lián)動(dòng)軸10的外周面接觸，由此起到密封接觸效果。該彈性密封部件16特別如實(shí)施例所示，最好采用薄壁舌片狀的唇形密封。
由唇形密封構(gòu)成的各彈性密封部件16在擠壓在對(duì)應(yīng)的筒狀導(dǎo)向部件15的開口端15a的狀態(tài)下，基部16a被支撐板17從背后夾持，在這樣的狀態(tài)下被固定，向半徑內(nèi)側(cè)延伸的舌片部16b與對(duì)應(yīng)的聯(lián)動(dòng)軸10的整個(gè)外周有彈性地密封接觸。因此，左右一對(duì)的彈性密封部件16阻斷左右工作氣室8的工作氣體的流動(dòng)。這些彈性密封部件16與筒狀導(dǎo)向部件15一起構(gòu)成隔離左右一對(duì)的工作氣室8的密封機(jī)構(gòu)。通過分別安裝在泵殼體1的兩端的工作氣體供給切換機(jī)構(gòu)18經(jīng)由控制閥20將工作氣體從氣體供給源19選擇性地提供給左右一對(duì)的工作氣室8，由此，當(dāng)將工作氣體提供給一個(gè)工作氣室8時(shí)，與之相對(duì)應(yīng)的一側(cè)的波紋管5收縮移動(dòng)，此移動(dòng)通過聯(lián)動(dòng)軸10傳遞給另一側(cè)的波紋管5，同時(shí)該傳遞到的一側(cè)的工作氣體被排放出，因此該另一側(cè)的波紋管5進(jìn)行伸展移動(dòng)，反復(fù)進(jìn)行此過程。
上述工作氣體供給切換機(jī)構(gòu)18為具有氣體吸入口21、排出口22、活塞23及氣缸24的結(jié)構(gòu)，該氣體供給切換機(jī)構(gòu)18與通過配管25、26、27、28與其連接的控制閥20和氣體供給源19一起構(gòu)成工作氣體供給機(jī)構(gòu)，但由于它們與日本專利特開2003-314458號(hào)公報(bào)所公開的結(jié)構(gòu)相同，因此省略其結(jié)構(gòu)的詳細(xì)說明。
通過反復(fù)進(jìn)行左右一對(duì)的波紋管5響應(yīng)工作氣體的切換供給動(dòng)作而伸縮移動(dòng)，來進(jìn)行吸入或吐出收存在波紋管內(nèi)部的泵室7中的半導(dǎo)體處理液或藥液等泵供給流體的泵動(dòng)作。泵供給流體流入或流出該泵室7的動(dòng)作通過設(shè)置在泵頭2上的閥30進(jìn)行。雖然圖1中只表示了各1個(gè)部分地突出到各泵室中的閥，但在各泵室7中是一對(duì)對(duì)應(yīng)地配置了吸入側(cè)和吐出側(cè)的閥30。在圖1中，由于這些一對(duì)的閥30沿紙面的方向排列，因此只能看到其中的一個(gè)閥30。這些閥與設(shè)置在泵頭2上的未圖示的吸入口和排出口連通，由于這部分的結(jié)構(gòu)也只要與上述專利特開2003-314458號(hào)公報(bào)所公開的相同就可以，因此省略其詳細(xì)的說明。
在以上這樣構(gòu)成的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵中，如上所述，左右一對(duì)的波紋管5響應(yīng)工作氣體的選擇供給，在通過聯(lián)動(dòng)軸10聯(lián)動(dòng)的狀態(tài)下沿長(zhǎng)軸的軸線方向X-X往復(fù)運(yùn)動(dòng)，由此來進(jìn)行泵動(dòng)作。期間，聯(lián)動(dòng)軸10也沿長(zhǎng)軸的軸線X-X與之平行地移動(dòng)。在此動(dòng)作過程中，由于工作氣體總是使工作氣室8成為加壓的狀態(tài)并保持平衡，因此波紋管5不會(huì)過分偏離軸線X-X引起變形或振動(dòng)。因此，由于聯(lián)動(dòng)軸10的移動(dòng)也同樣大致沿軸線X-X的方向進(jìn)行，因此聯(lián)動(dòng)軸10不會(huì)過分地與筒狀導(dǎo)向部件15接觸，能夠順暢地移動(dòng)。通過采用這種結(jié)構(gòu)，聯(lián)動(dòng)軸10不需要特別的軸承，而只需要隔離左右的工作氣室8的彈性密封部件16，由于在通常的移動(dòng)時(shí)只有這一點(diǎn)接觸，因此對(duì)聯(lián)動(dòng)軸10的負(fù)荷極小，而且能夠盡可能抑制該接觸部分產(chǎn)生的磨損粉或磨損屑。
構(gòu)成上述泵的部件都可以容易地用合成樹脂制作。特別是構(gòu)成收存泵供給流體的泵室7的液體接觸部的波紋管5、泵頭2和閥30等最好用耐腐蝕性較好的合成樹脂。并且，聯(lián)動(dòng)軸10、筒狀導(dǎo)向部件15優(yōu)選地采用例如PEEK(聚醚醚酮)樹脂等合成樹脂。構(gòu)成彈性密封部件16的唇形密封優(yōu)選為加入了填充劑的PTFE(聚四氟乙烯)樹脂。
加入了填充劑的PTFE樹脂制的唇形密封與PEEK制的聯(lián)動(dòng)軸10接觸時(shí)，作為初期磨損，PTFE轉(zhuǎn)移到該軸的滑動(dòng)面上為，結(jié)果加入了填充劑的PTFE制的唇形密封變成與轉(zhuǎn)移附著在PEEK樹脂的表面上的加入了填充劑的PTFE之間的滑動(dòng)，因此產(chǎn)生了磨損不會(huì)發(fā)展得很嚴(yán)重的現(xiàn)象。因此只需該唇形密封就能得到足夠的氣體密封，具有不需要特別的軸承的優(yōu)點(diǎn)。
圖3及圖4表示本實(shí)用新型的第2實(shí)施例的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，與第1實(shí)施例共同的部分添加相同的附圖標(biāo)記，省略其說明。在該實(shí)施例中，使中央的泵頭2上形成的貫通孔11的內(nèi)徑比聯(lián)動(dòng)軸10的外徑大，并將左右一對(duì)的環(huán)狀彈性密封部件16分離配置在該貫通孔11中，使該彈性密封部件16與插通到該貫通孔11內(nèi)的聯(lián)動(dòng)軸10接觸，通過這樣阻斷左右的工作氣室8內(nèi)的工作氣體的流動(dòng)，實(shí)現(xiàn)兩室的隔離。
第2實(shí)施例的泵省略了第1實(shí)施例中設(shè)置的筒狀導(dǎo)向部件15，結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單。這里，彈性密封部件16與第1實(shí)施例一樣采用薄壁舌片狀的唇形密封。如圖4放大表示的那樣，由唇形密封構(gòu)成的各彈性密封部件16的縱截面呈L字狀，通過將帶螺紋的環(huán)狀密封壓件32擰入在泵頭2的兩側(cè)形成的帶螺紋的環(huán)狀凹部31內(nèi)，將各彈性密封部件16的基部16a固定到該凹部31中。33為在密封壓件32上形成的工具插入孔，將適當(dāng)?shù)墓ぞ卟迦肫渲?，來將該密封壓?2插裝到環(huán)狀凹部31中。從唇形密封的基部16a向半徑方向的內(nèi)側(cè)彎折并延伸出的舌片部16b呈環(huán)狀地與聯(lián)動(dòng)軸10的整個(gè)外周面彈性滑接，在這里起到密封接觸的效果。通過這樣，聯(lián)動(dòng)軸10在其移動(dòng)動(dòng)作過程中僅與這些彈性密封部件16接觸，不與泵頭2的貫通孔11的內(nèi)壁接觸。因此，在該實(shí)施例中也不需要為聯(lián)動(dòng)軸10而配備特別的軸承。
并且，雖然圖3及圖4中說明了1個(gè)聯(lián)動(dòng)軸10及其相關(guān)的結(jié)構(gòu)，但與第1實(shí)施例一樣，在工作氣室8中配置了一對(duì)聯(lián)動(dòng)軸10。并且，這些泵構(gòu)成部件的材質(zhì)與第1實(shí)施例相同，所有的部件都能夠用合適的合成樹脂容易地構(gòu)成。
圖5為與圖4的一部分相對(duì)應(yīng)地表示構(gòu)成彈性密封部件的唇形密封的變形例。該變形例的唇形密封16可以將基部16a擴(kuò)大，用該基部16a兼作第2實(shí)施例中的密封壓件32用。這里，彈性密封部件16的基部16a在被泵殼體1的端面1a從外部壓著的狀態(tài)下保持在沒有螺紋的環(huán)狀凹部31中，薄壁的舌片部16b向半徑方向的內(nèi)側(cè)彎曲并延伸，與聯(lián)動(dòng)軸10的外周密封接觸。
彈性密封部件16的形狀可以像這樣考慮各種各樣的形狀，但與聯(lián)動(dòng)軸10的接觸部分優(yōu)選為薄壁的舌片形狀。
以上參照附圖說明了本實(shí)用新型的實(shí)施例及其變形例的結(jié)構(gòu)，聯(lián)動(dòng)軸10可以是所示的圓棒狀、方形等其他的形狀，本實(shí)用新型并不局限于圖示的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求1.一種具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，包括以下部件泵殼體；泵頭，沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線安裝到中央位置并進(jìn)行泵供給流體的吸入和吐出；左右一對(duì)筒狀波紋管，基端部在密封狀態(tài)下分別安裝到上述泵頭上，并在上述殼體內(nèi)可以沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線自由伸縮地以規(guī)定的行程往復(fù)運(yùn)動(dòng)；端板，以密封狀態(tài)連結(jié)到這些波紋管的自由端上，與上述泵頭一起運(yùn)動(dòng)，將波紋管內(nèi)部劃分成泵室并將該波紋管與殼體之間的空間劃分成工作氣室；聯(lián)動(dòng)軸，為了使另一個(gè)波紋管與上述一個(gè)波紋管的往復(fù)運(yùn)動(dòng)相聯(lián)動(dòng)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)而將端部與該一對(duì)端板相連結(jié)，插通到在上述泵頭上形成的貫通孔中并能夠沿該殼體的長(zhǎng)軸軸線移動(dòng)；工作氣體供給機(jī)構(gòu)，選擇性地將工作氣體提供給上述左右一對(duì)工作氣室；閥機(jī)構(gòu)，為了控制泵供給流體流入或流出左右一對(duì)波紋管的泵室而安裝到上述泵頭上并與各泵室對(duì)應(yīng)地設(shè)置，所述左右一對(duì)波紋管響應(yīng)上述工作氣體供給機(jī)構(gòu)提供給上述左右一對(duì)工作氣室而導(dǎo)致的工作氣體的壓力變化而往復(fù)運(yùn)動(dòng)；其特征在于，在上述泵頭上形成的上述貫通孔在上述左右一對(duì)的工作氣室中開口；上述聯(lián)動(dòng)軸通過該貫通孔延伸到上述左右一對(duì)的工作氣室內(nèi)；在該聯(lián)動(dòng)軸與該泵頭的貫通孔之間設(shè)有隔離左右一對(duì)的工作氣室的密封機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，其特征在于，上述密封部件由插裝并固定在上述泵頭的貫通孔內(nèi)并延伸到左右工作氣室內(nèi)的兩端開口的筒狀導(dǎo)向部件和安裝在該導(dǎo)向部件的各開口端上的彈性密封部件構(gòu)成；上述聯(lián)動(dòng)軸移動(dòng)自如地插通到上述筒狀導(dǎo)向部件中，并且該筒狀導(dǎo)向部件的內(nèi)徑比該聯(lián)動(dòng)軸的外徑大；上述彈性密封部件與該聯(lián)動(dòng)軸密封接觸，實(shí)現(xiàn)左右工作氣室的隔離。
3.如權(quán)利要求1所述的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，其特征在于，上述泵頭的貫通孔的內(nèi)徑比上述聯(lián)動(dòng)軸的外徑大；一對(duì)彈性密封部件可與聯(lián)動(dòng)軸密封接觸地配置在該貫通孔內(nèi)，由此實(shí)現(xiàn)左右工作氣室的隔離。
4.如權(quán)利要求2或3所述的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，其特征在于，上述彈性密封部件由唇形密封構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求1至4中的任何一項(xiàng)所述的具備聯(lián)動(dòng)軸的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，其特征在于，各泵構(gòu)成部件全部用合成樹脂形成。
專利摘要提供一種結(jié)構(gòu)為用聯(lián)動(dòng)軸使左右一對(duì)的波紋管聯(lián)動(dòng)的雙聯(lián)往復(fù)運(yùn)動(dòng)隔膜泵，所述隔膜泵不存在聯(lián)動(dòng)軸與軸承的滑動(dòng)所產(chǎn)生的磨損粉或磨損屑混入到泵室內(nèi)的泵供給流體中的情況，容易采用合成樹脂作為泵構(gòu)成部件，無論是功能上還是成本上都較好，而且也容易進(jìn)行小型化設(shè)計(jì)。將連接在左右一對(duì)的波紋管(5)的端板(6)上的聯(lián)動(dòng)軸(10)配置在工作氣室(8)內(nèi)，將該聯(lián)動(dòng)軸(10)可移動(dòng)地插通到泵頭(2)上設(shè)置的貫通孔(11)中。聯(lián)動(dòng)軸(10)與貫通孔(11)之間用彈性密封部件(16)密封，而隔離左右的工作氣室(8)。聯(lián)動(dòng)軸(10)不需要特別的軸承。優(yōu)選地采用唇形密封作為彈性密封部件(16)。
文檔編號(hào)F04B43/02GK2777241SQ20052000302
公開日2006年5月3日 申請(qǐng)日期2005年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月27日
發(fā)明者鬼塚敏樹, 渡邊剛, 澤田勉 申請(qǐng)人:株式會(huì)社易威奇