而保障對(duì)三氟化氮?dú)怏w處理的連續(xù)性。
[0058]本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，由于加熱裝置100、吸附裝置200、第一壓力傳感器51、第二壓力傳感器52和過(guò)流量偵測(cè)器61的信號(hào)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量信號(hào)，并由PLC控制整個(gè)裝置。所以單獨(dú)設(shè)置一個(gè)PLC控制裝置，通過(guò)PLC控制實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)處理裝置的運(yùn)行狀況，以及對(duì)加熱裝置100溫度的監(jiān)控、同時(shí)對(duì)進(jìn)氣管H、B的氣體壓力做監(jiān)控，提高整個(gè)處理裝置的使用效率，處理效果較佳。更優(yōu)的是，也可指定操作人員做具體的操作，安全、可靠，且操作簡(jiǎn)單方便，避免造成不必要的人員傷亡。
[0059]參看圖1，采用本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中廢氣處理裝置進(jìn)行三氟化氮廢氣處理的方法，包括如下:
[0060]待處理的三氟化氮?dú)怏w通入時(shí)，加熱裝置預(yù)熱到400?500度時(shí)，通過(guò)PLC裝置監(jiān)測(cè)，當(dāng)達(dá)到預(yù)定的溫度后，第一氣動(dòng)閥門(mén)31開(kāi)啟，三氟化氮的氣體通入到加熱裝置100中，進(jìn)行高溫分解處理，處理后的氣體從加熱裝置100輸入到吸附裝置200中，進(jìn)一步地進(jìn)行吸附處理，經(jīng)吸附處理的氣體從出氣管A輸出，完成對(duì)三氟化氮?dú)怏w的分解和吸附處理；
[0061]廢氣處理裝置吹掃時(shí)，停止往加熱裝置100中通入待處理的三氟化氮?dú)怏w，同時(shí)，第一手動(dòng)閥門(mén)21開(kāi)啟，氮?dú)馔ㄈ氲轿窖b置200中，進(jìn)行對(duì)吸附裝置200進(jìn)行吹掃，吹掃出的氣體從出氣管中輸出，實(shí)現(xiàn)對(duì)吸附裝置200的吹掃。
[0062]而在待處理的三氟化氮?dú)怏w通入時(shí)，第一手動(dòng)閥門(mén)21開(kāi)啟，第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管連通，并對(duì)待處理的三氟化氮?dú)怏w進(jìn)行稀釋后，氮?dú)馔瑫r(shí)通入加熱裝置，與待處理的三氟化氮?dú)怏w混合，再?gòu)募訜嵫b置流入吸附裝置，進(jìn)行吸附反應(yīng)，最終將反應(yīng)后的氣體從出氣管A中輸出。進(jìn)而可在對(duì)吸附裝置200進(jìn)行吹掃的同時(shí)，氮?dú)馔ㄈ氲郊訜嵫b置100中，從加熱裝置100輸出后再次進(jìn)入吸附裝置200，這樣對(duì)加熱裝置100和吸附裝置200依次進(jìn)行了吹掃，吹掃出的氣體從出氣管A中輸出。
[0063]作為一個(gè)具體的處理方法，在本實(shí)用新型中，通過(guò)PLC控制裝置可以對(duì)裝置的運(yùn)行狀況做進(jìn)一步的檢測(cè)，具體地在待處理的三氟化氮的氣體通入時(shí)，待處理的三氟化氮?dú)怏w通入到加熱裝置100中，當(dāng)PLC控制裝置檢測(cè)到加熱裝置100和/或吸附裝置200故障時(shí)，第一進(jìn)氣管H與出氣管A連通，待處理的三氟化氮?dú)怏w直接從出氣管A輸出；同時(shí)，氮?dú)馔ㄈ氲郊訜嵫b置100中，對(duì)加熱裝置100和吸附裝置200進(jìn)行深度吹掃，吹掃出的氣體從出氣管A中輸出，再對(duì)經(jīng)吹掃后的加熱裝置100和吸附裝置200進(jìn)行檢查。也可直接通入到吸附裝置200中，對(duì)吸附裝置200進(jìn)行深度吹掃，吹掃出的氣體從出氣管A中輸出，進(jìn)而可以對(duì)經(jīng)吹掃后的加熱裝置100和吸附裝置200進(jìn)行檢查和更換，只需實(shí)現(xiàn)對(duì)裝置管路中余留的三氟化氮?dú)怏w的吹掃即可，均屬于本專(zhuān)利保護(hù)的范圍。
[0064]應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，上述的處理步驟可根據(jù)實(shí)際操作需要做合理的調(diào)整。
[0065]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種廢氣處理裝置，其特征在于: 包括加熱裝置、吸附裝置、進(jìn)氣管、出氣管； 所述進(jìn)氣管包括用于輸送待處理的三氟化氮?dú)怏w的第一進(jìn)氣管和用于輸送吹掃氣體的第二進(jìn)氣管； 所述加熱裝置一端與所述吸附裝置連通，另一端與所述第一進(jìn)氣管連通，且所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有第一球閥； 所述吸附裝置一端同時(shí)與所述加熱裝置和所述第二進(jìn)氣管連通，且在與所述第二進(jìn)氣管連通的管路上設(shè)有第一手動(dòng)閥門(mén)；所述吸附裝置的另一端與所述出氣管連通，且所述出氣管的出口設(shè)有第二球閥； 當(dāng)所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有所述第一球閥開(kāi)啟時(shí)，所述第一手動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉，待處理的三氟化氮?dú)怏w進(jìn)入所述加熱裝置，經(jīng)加熱后流入所述吸附裝置，經(jīng)吸附處理的氣體從所述出氣管輸出； 當(dāng)所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有所述第一球閥關(guān)閉時(shí)，所述第二進(jìn)氣管的所述第一手動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，用于吹掃氣體進(jìn)入所述吸附裝置進(jìn)行深度吹掃，吹掃出的氣體從所述出氣管輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 所述第二進(jìn)氣管同時(shí)與所述第一進(jìn)氣管連通，且所述第一手動(dòng)閥門(mén)同時(shí)控制所述第二進(jìn)氣管和所述第一進(jìn)氣管的連通狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 所述第二進(jìn)氣管和所述吸附裝置的管路上同時(shí)設(shè)有第二手動(dòng)閥門(mén)；當(dāng)所述第一手動(dòng)閥門(mén)開(kāi)啟，所述第二手動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，所述第二進(jìn)氣管與所述加熱裝置連通，吹掃氣體依次流過(guò)所述加熱裝置和所述吸附裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 設(shè)有所述第二手動(dòng)閥門(mén)的管道上設(shè)有第三單向閥門(mén)；當(dāng)所述第一手動(dòng)閥門(mén)和第二手動(dòng)閥門(mén)同時(shí)開(kāi)啟，所述第二進(jìn)氣管與所述吸附裝置連通，吹掃氣體依次流過(guò)所述第二手動(dòng)閥門(mén)、所述第三單向閥門(mén)和所述吸附裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)氣管道上進(jìn)一步設(shè)有第一氣動(dòng)閥門(mén)，待處理的三氟化氮?dú)怏w依次流過(guò)所述第一球閥、所述第一氣動(dòng)閥門(mén)； 和/或； 所述吸附裝置與所述出氣管之間的管路上設(shè)有第二氣動(dòng)閥門(mén)； 和/或； 所述吸附裝置的進(jìn)氣口上設(shè)有第三球閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 所述第一進(jìn)氣管與所述出氣管之間設(shè)置連通管道，并在該所述連通管道上設(shè)置第三氣動(dòng)閥門(mén)，所述第三氣動(dòng)閥門(mén)用于控制所述第一進(jìn)氣管進(jìn)入的待處理的三氟化氮?dú)怏w，直接從所述出氣管輸出。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 所述第二進(jìn)氣管的出口設(shè)置的所述第一手動(dòng)閥門(mén)依次連通設(shè)置過(guò)流量偵測(cè)器、第一單向閥門(mén)，吹掃氣體依次流過(guò)所述第一手動(dòng)閥門(mén)、所述流量偵測(cè)器、所述第一單向閥門(mén)；且所述第一手動(dòng)閥門(mén)與所述過(guò)流量偵測(cè)器之間的管道上設(shè)置第一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器用于監(jiān)測(cè)吹掃氣體的壓力。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 進(jìn)一步包括PLC控制裝置，所述加熱裝置、所述吸附裝置、所述第一壓力傳感器、所述過(guò)流量偵測(cè)器的信號(hào)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)線向所述PLC控制裝置傳輸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 所述第二進(jìn)氣管和所述第一進(jìn)氣管之間的管路上依次設(shè)置第四氣動(dòng)閥門(mén)、第二單向閥門(mén)，吹掃氣體依次流過(guò)所述第四氣動(dòng)閥門(mén)、所述第二單向閥門(mén)；且所述第二單向閥門(mén)與所述加熱裝置之間的管道上設(shè)置第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感器用于檢測(cè)待處理的三氟化氮?dú)怏w的壓力。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的廢氣處理裝置，其特征在于: 進(jìn)一步包括PLC控制裝置，所述加熱裝置、所述吸附裝置、所述第二壓力傳感器的信號(hào)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)線向所述PLC控制裝置傳輸。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種廢氣處理裝置，該裝置包括加熱裝置、吸附裝置、進(jìn)氣管以及出氣管；其中，進(jìn)氣管包括第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管；加熱裝置一端與吸附裝置連通，另一端與第一進(jìn)氣管連通，第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有第一球閥；吸附裝置一端同時(shí)與加熱裝置和第二進(jìn)氣管連通，且在與第二進(jìn)氣管連通的管路上設(shè)有第一手動(dòng)閥門(mén)，而吸附裝置的另一端與出氣管連通，且出氣管的出口設(shè)有第二球閥。本實(shí)用新型通過(guò)第一球閥的開(kāi)啟和第一手動(dòng)閥門(mén)的關(guān)閉，與第一球閥的關(guān)閉和第一手動(dòng)閥門(mén)的開(kāi)啟，實(shí)現(xiàn)處理和清掃，能夠?yàn)椴僮魅藛T提供一種安全、可靠、靈活、高性的生產(chǎn)環(huán)境，既能保障人員施工的安全，又能保障生產(chǎn)的連續(xù)性。
【IPC分類(lèi)】B01D53-04, B01D53-00
【公開(kāi)號(hào)】CN204522663
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520086666
【發(fā)明人】衛(wèi)潔
【申請(qǐng)人】上海創(chuàng)潔科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月6日