連通，實(shí)現(xiàn)對(duì)吸附裝置的深度吹掃，有效地為操作人員提供了一個(gè)安全、可靠的生產(chǎn)環(huán)境。另外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且通過(guò)PLC控制裝置控制，操作方便。
【附圖說(shuō)明】
[0036]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明:
[0037]圖1是本實(shí)用新型廢氣處理裝置的一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明:
[0039]第一進(jìn)氣管H ;第二進(jìn)氣管B ;出氣管A ;
[0040]加熱裝置100 ;吸附裝置200 ;連通管道300 ；
[0041]第一球閥11 ;第二球閥12 ;第三球閥13 ；
[0042]第一手動(dòng)閥門(mén)21 ;第二手動(dòng)閥門(mén)22 ;
[0043]第一氣動(dòng)閥門(mén)31 ;第二氣動(dòng)閥門(mén)32 ;第三氣動(dòng)閥門(mén)33 ;第四氣動(dòng)閥門(mén)34 ；
[0044]第一單向閥門(mén)41 ;第二單向閥門(mén)42 ;第三單向閥門(mén)43 ；
[0045]第一壓力傳感器51 ;第二壓力傳感器52 ；
[0046]流量偵測(cè)器61。
【具體實(shí)施方式】
[0047]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0048]為使圖面簡(jiǎn)潔，各圖中的只示意性地表示出了與本實(shí)用性信息相關(guān)的部分，它們并不代表其作為產(chǎn)品的實(shí)際結(jié)構(gòu)。另外，為方便理解，在本文中指出的“進(jìn)氣”、“出氣”、均在圖1中用箭頭表示。
[0049]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，參看圖1，一種廢氣處理裝置，該裝置包括加熱裝置100、吸附裝置200、進(jìn)氣管、出氣管A ;其中，進(jìn)氣管包括用于輸送待處理的三氟化氮?dú)怏w的第一進(jìn)氣管H和用于輸送吹掃氣體的第二進(jìn)氣管B ;而加熱裝置100 —端與吸附裝置200連通，另一端與第一進(jìn)氣管H連通，且第一進(jìn)氣管H的進(jìn)口設(shè)有第一球閥11 ;同時(shí)，吸附裝置200 —端同時(shí)與加熱裝置100和第二進(jìn)氣管B連通，且在與第二進(jìn)氣管B連通的管路上設(shè)有第一手動(dòng)閥門(mén)21，而吸附裝置200的另一端與出氣管A連通，且在出氣管A的出口設(shè)有第二球閥12。應(yīng)說(shuō)明的是，第一進(jìn)氣管H用于通入待處理的三氟化氮?dú)怏w為三氟化氮?dú)怏w也可以為混有三氟化氮的氣體，而第二進(jìn)氣管B用于通入的吹掃氣體為氮?dú)猓M(jìn)而可以通過(guò)氣體的壓力來(lái)控制閥門(mén)開(kāi)啟和關(guān)系，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)氣體的通入和排出，提高整個(gè)處理裝置的使用效率。
[0050]當(dāng)?shù)谝磺蜷y11開(kāi)啟時(shí)，而第一手動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉，這樣待處理的三氟化氮?dú)怏w從第一進(jìn)氣管H進(jìn)入加熱裝置100，三氟化氮?dú)怏w經(jīng)加熱裝置100加熱后流入吸附裝置200中，同時(shí)經(jīng)過(guò)加熱和吸附處理后的氣體從出氣管A排出。
[0051]當(dāng)?shù)谝磺蜷y11關(guān)閉時(shí)，而吸附裝置200與第二進(jìn)氣管B連通的管路上設(shè)有的第一手動(dòng)閥門(mén)21開(kāi)啟，這樣從第二進(jìn)氣管B進(jìn)入的氮?dú)饪梢詫?duì)吸附裝置200進(jìn)行深度吹掃?？梢杂行У貫椴僮魅藛T提供一個(gè)安全、可靠的工作環(huán)境，防止操作人員在更換吸附裝置200時(shí)，管路中殘留的三氟化氮?dú)怏w造成人員傷亡。應(yīng)說(shuō)明的是，本專(zhuān)利中的加熱裝置100需在高溫的情況下進(jìn)行，因而加熱裝置100優(yōu)選耐高溫、可加熱的加熱罐；而吸附裝置200，優(yōu)選內(nèi)部裝有吸附劑的吸附罐200，加熱罐和吸附罐均采用3mm冷軋鋼板覆以聚酯粉的抗腐蝕制成的箱體來(lái)存放特殊氣體鋼瓶，這樣不僅方便吹掃和清洗更換，且提高整個(gè)裝置的使用壽命O
[0052]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，第二進(jìn)氣管B與吸附裝置200連通的同時(shí)，也與第一進(jìn)氣管H連通，且由設(shè)置的第一手動(dòng)閥門(mén)21控制第一進(jìn)氣管H和第二進(jìn)氣管B連通狀態(tài)。這樣可以使三氟化氮?dú)怏w通入加熱裝置200時(shí)，氮?dú)庖部赏瑫r(shí)通入加熱裝置200中，實(shí)現(xiàn)對(duì)三氟化氮?dú)怏w稀釋。而在第二進(jìn)氣管B與吸附裝置200的管路上進(jìn)一步地設(shè)有第二手動(dòng)閥門(mén)22，通過(guò)第二手動(dòng)閥門(mén)22實(shí)現(xiàn)第二進(jìn)氣管B與吸附裝置200的連通。但當(dāng)?shù)谝皇謩?dòng)閥門(mén)21開(kāi)啟，第二手動(dòng)閥門(mén)22關(guān)閉時(shí)，第二進(jìn)氣管B是與加熱裝置100連通，氮?dú)庖来瘟鬟^(guò)加熱裝置100和吸附裝置200，而第二進(jìn)氣管B與吸附裝置200是不連通的，因此，氮?dú)鉄o(wú)法從第二進(jìn)氣管B通入后直接輸入到吸附裝置中。這樣氮?dú)庵煌ㄈ氲郊訜嵫b置200中時(shí)，能夠進(jìn)一步地實(shí)現(xiàn)對(duì)第一進(jìn)氣管H的冷卻，有效防止管路上設(shè)置的閥門(mén)過(guò)熱而造成損壞，提高閥門(mén)的使用壽命。
[0053]由于在第二手動(dòng)閥門(mén)22的管道上設(shè)有第三單向閥門(mén)43，氮?dú)庖来瘟鬟^(guò)第二手動(dòng)閥門(mén)22、第三單向閥門(mén)43。而第二手動(dòng)閥門(mén)22主要是在對(duì)吸附裝置200做更換時(shí)，且在停止三氟化氮?dú)怏w進(jìn)入的情況下，可以通過(guò)第二手動(dòng)閥門(mén)22的開(kāi)啟，實(shí)現(xiàn)第二進(jìn)氣管B進(jìn)入的氮?dú)鈱?duì)吸附裝置200的進(jìn)行深度吹掃，即使第三單向閥門(mén)43同時(shí)也與加熱裝置100連接，但由于只有氮?dú)獾耐ㄈ?，氮?dú)馔瑫r(shí)也通入加熱裝置100后，再流入到吸附裝置200中，這樣可以對(duì)整個(gè)處理裝置進(jìn)行吹掃，且對(duì)吸附裝置200做了進(jìn)一步的深度吹掃，進(jìn)而為工作者提供一個(gè)更加安全、可靠的工作環(huán)境。
[0054]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，由于第一進(jìn)氣管H主要用于三氟化氮?dú)怏w的進(jìn)入，而進(jìn)入的氣體需經(jīng)過(guò)加熱裝置100進(jìn)行加熱反應(yīng)，因而在第一進(jìn)氣管H的的進(jìn)氣管路上進(jìn)一步地設(shè)有第一氣動(dòng)閥門(mén)31，同時(shí)在吸附裝置200與出氣管B之間的管道上設(shè)有第二氣動(dòng)閥32。這樣通過(guò)第一氣動(dòng)閥門(mén)31有效控制氣體的進(jìn)入，使在氣體量不足的情況下，整個(gè)裝置可停止運(yùn)行，而只有當(dāng)氣體量達(dá)到足夠能夠打開(kāi)第一氣動(dòng)閥31壓力時(shí)，整個(gè)裝置才可繼續(xù)運(yùn)行。進(jìn)而通入的三氟化氮?dú)怏w經(jīng)過(guò)加熱和吸附后達(dá)到足夠的量時(shí)，才能打開(kāi)第二氣動(dòng)閥門(mén)32能夠?qū)⑻幚砗蟀踩?、無(wú)害的氣體從出氣口 B排出；反之氣體不會(huì)從出氣口 B排出，這樣有效合理地運(yùn)用整個(gè)裝置，提高使用效率，且延長(zhǎng)使用壽命。應(yīng)說(shuō)明的是，本專(zhuān)利中將壓力設(shè)定在0.4?0.63Mpa，當(dāng)達(dá)到預(yù)定的壓力值第一氣動(dòng)閥門(mén)32才實(shí)現(xiàn)開(kāi)啟。
[0055]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，由于經(jīng)過(guò)加熱裝置100加熱后的氣體需進(jìn)一步地通入吸附裝置200中進(jìn)行吸附處理。所以?xún)?yōu)選地在加熱裝置100與吸附裝置200之間的管道上設(shè)有第三球閥13，且第三球閥13設(shè)置在靠近吸附裝置200的進(jìn)氣口上，這樣通過(guò)第三球閥13不僅能夠有效地調(diào)節(jié)和控制從加熱裝置100流入吸附裝置200中的氣體流量，也可調(diào)節(jié)和控制從第二進(jìn)氣管B中通入的氮?dú)饬髁浚鼉?yōu)的是提高吸附裝置200的使用效率，延長(zhǎng)吸附劑的使用壽命。
[0056]在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，具體地，在第一進(jìn)氣管H與出氣管A之間設(shè)置連通管道300，并在該連通管道300上設(shè)置第三氣動(dòng)閥門(mén)33，第三氣動(dòng)閥門(mén)33主要用于控制從第一進(jìn)氣管H進(jìn)入的三氟化氮?dú)怏w，能夠直接從出氣管B中輸出。應(yīng)說(shuō)明的是，第三氣動(dòng)閥門(mén)33的設(shè)置，主要是避免加熱裝置100和吸附裝置200出現(xiàn)故障時(shí)，可在停止運(yùn)行整個(gè)裝置的情況下，同時(shí)將已通入的三氟化氮?dú)怏w直接從出氣管B中排出，有效地防止過(guò)多的三氟化氮?dú)怏w經(jīng)過(guò)出現(xiàn)故障的加熱裝置100和吸附裝置200后，在未得到及時(shí)處理的情況下，直接從出氣管B輸出，進(jìn)而造成環(huán)境的嚴(yán)重污染。
[0057]本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，再次參看圖1，在第二進(jìn)氣管B的出氣口設(shè)置的第一手動(dòng)閥門(mén)21依次連通設(shè)置過(guò)流量偵測(cè)器61、第一單向閥門(mén)41，且在第一手動(dòng)閥門(mén)21與流量偵測(cè)器61之間設(shè)置一用于監(jiān)測(cè)氮?dú)鈮毫Φ牡谝粔毫鞲衅?1。而在第二進(jìn)氣管B和第一進(jìn)氣管H之間的管路上依次設(shè)置第四氣動(dòng)閥門(mén)34、第二單向閥門(mén)42，以及用于監(jiān)測(cè)三氟化氮?dú)怏w壓力的第二壓力傳感器52。應(yīng)說(shuō)明的是，設(shè)置的流量偵測(cè)器61可以對(duì)第二進(jìn)氣管B中進(jìn)入的氮?dú)饬髁孔鲞M(jìn)一步的監(jiān)控，防止流量過(guò)大導(dǎo)致進(jìn)入的氮?dú)鈮毫Υ笥谌獨(dú)怏w壓力，從而三氟化氮?dú)怏w卻無(wú)法正常流入，進(jìn)