廢氣處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及三氟化氮廢氣處理技術(shù)，尤其是一種廢氣處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]三氟化氮(NF3)在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，在微電子、半導(dǎo)體、光電子、光伏等行業(yè)都會用到，是使用頻率比較多的氣體之一。三氟化氮同時又是一種毒性物質(zhì)，具有強(qiáng)氧化性，與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒爆炸，尤其是在管道輸送過程中，更換鋼瓶的時候是非常危險的。其危害性對操作人員帶來了巨大的精神壓力，因而極易由于人工操作的原因?qū)е聡?yán)重的安全問題，據(jù)統(tǒng)計由此造成的事故占到了總事故的18%。而且在國內(nèi)還曾經(jīng)出現(xiàn)過即3在更換過程中排放的廢氣未能處理到符合環(huán)境保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)，而導(dǎo)致人員傷亡的案例。因此，三氟化氮廢氣處理既是生產(chǎn)安全的需要，也是環(huán)境保護(hù)的需要。
[0003]綜上，安全、可靠、靈活、高效的生產(chǎn)環(huán)境一直為現(xiàn)場人員所追求，進(jìn)而能夠設(shè)置出一種安全可靠的三氟化氮?dú)怏w供應(yīng)及安全廢氣排放裝置是保障人員安全所必須的。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種廢氣處理裝置，能夠為現(xiàn)場操作人員提供一種安全、可靠、靈活、高效的生產(chǎn)環(huán)境，既能保障人員施工的安全，又能保障生產(chǎn)的連續(xù)性。
[0005]本實用新型提供的技術(shù)方案如下:
[0006]一種廢氣處理裝置，包括加熱裝置、吸附裝置、進(jìn)氣管、出氣管；
[0007]所述進(jìn)氣管包括用于輸送待處理的三氟化氮?dú)怏w的第一進(jìn)氣管和用于輸送吹掃氣體的第二進(jìn)氣管；
[0008]所述加熱裝置一端與所述吸附裝置連通，另一端與所述第一進(jìn)氣管連通，且所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有第一球閥；
[0009]所述吸附裝置一端同時與所述加熱裝置和所述第二進(jìn)氣管連通，且在與所述第二進(jìn)氣管連通的管路上設(shè)有第一手動閥門；所述吸附裝置的另一端與所述出氣管連通，且所述出氣管的出口設(shè)有第二球閥；
[0010]當(dāng)所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有所述第一球閥開啟時，所述第一手動閥門關(guān)閉，待處理的三氟化氮?dú)怏w進(jìn)入所述加熱裝置，經(jīng)加熱后流入所述吸附裝置，經(jīng)吸附處理的氣體從所述出氣管輸出；
[0011]當(dāng)所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)口設(shè)有所述第一球閥關(guān)閉時，所述第一手動閥門開啟時，用于吹掃氣體進(jìn)入所述吸附裝置進(jìn)行深度吹掃，吹掃出的氣體從所述出氣管輸出。
[0012]本技術(shù)方案，通過加熱裝置和吸附裝置的連通，同時又設(shè)置了第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管，待處理的三氟化氮?dú)怏w從第一進(jìn)氣管進(jìn)入加熱裝置進(jìn)行加熱處理后，再經(jīng)吸附裝置吸附，經(jīng)過加熱和吸附處理后的氣體安全性較高；而第二進(jìn)氣管用于吹掃氣體的進(jìn)入，這樣進(jìn)入的吹掃氣體可以對吸附裝置做深度吹掃，防止操作人員更換吸附裝置時殘留的有害氣體造成人員傷亡。
[0013]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述第二進(jìn)氣管同時與所述第一進(jìn)氣管連通，且所述第一手動閥門同時控制所述第二進(jìn)氣管和所述第一進(jìn)氣管的連通狀態(tài)。
[0014]本技術(shù)優(yōu)選方案，通過第二進(jìn)氣管與第一進(jìn)氣管的連通，以及第一手動閥門的控制，使待處理的三氟化氮?dú)怏w通入加熱裝置時，吹掃氣體也可同時通入加熱裝置中，這樣可以對待處理的三氟化氮?dú)怏w稀釋。
[0015]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述第二進(jìn)氣管和所述吸附裝置的管路上同時設(shè)有第二手動閥門；
[0016]設(shè)有所述第二手動閥門的管道上設(shè)有第三單向閥門；
[0017]當(dāng)所述第一手動閥門開啟，所述第二手動閥門關(guān)閉時，所述第二進(jìn)氣管與所述加熱裝置連通，吹掃氣體依次流過所述加熱裝置和所述吸附裝置；
[0018]和/或；
[0019]當(dāng)所述第一手動閥門和第二手動閥門同時開啟，所述第二進(jìn)氣管與所述吸附裝置連通，吹掃氣體依次流過所述第二手動閥門、所述第三單向閥門和所述吸附裝置。
[0020]本技術(shù)優(yōu)選方案，通過第一手動閥門的開啟，以及第二閥門的關(guān)閉，當(dāng)吹掃氣體通入到加熱裝置中時，實現(xiàn)第一進(jìn)氣管得到冷卻，防止管路上設(shè)置的閥門過熱而造成損壞，提高閥門使用壽命。進(jìn)而也可通過第一手動閥門和第二手動閥門同時開啟，實現(xiàn)吹掃氣體直接對吸附裝置的深度吹掃。
[0021]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述第一進(jìn)氣管的進(jìn)氣管路上進(jìn)一步設(shè)有第一氣動閥門，待處理的三氟化氮?dú)怏w依次流過所述第一球閥、所述第一氣動閥門；
[0022]和/ 或；
[0023]所述吸附裝置與所述出氣管之間的管路上設(shè)有第二氣動閥門；
[0024]和/ 或；
[0025]所述吸附裝置的進(jìn)氣口上設(shè)有第三球閥。
[0026]本技術(shù)優(yōu)選方案，通過氣體的壓力控制第一氣動閥門、第二氣動閥門的開啟和關(guān)閉，進(jìn)而實現(xiàn)氣體的通入和排出。進(jìn)而又在吸附裝置的進(jìn)氣口上設(shè)置第三球閥，這樣可以有效合理地開啟和關(guān)閉整個處理裝置，提高使用率，延長使用壽命。
[0027]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述第一進(jìn)氣管與所述出氣管之間設(shè)置連通管道，并在該所述連通管道上設(shè)置第三氣動閥門，所述第三氣動閥門用于控制所述第一進(jìn)氣管進(jìn)入的待處理的三氟化氮?dú)怏w，直接從所述出氣管輸出。
[0028]本技術(shù)優(yōu)選方案，通過在連通管道上設(shè)置的第三氣動閥門，避免加熱裝置和吸附裝置出現(xiàn)故障時，停止整個裝置繼續(xù)運(yùn)行，而是在裝置故障時將進(jìn)入的待處理的三氟化氮?dú)怏w直接從出氣管中排出，進(jìn)而防止過多的未處理過的三氟化氮?dú)怏w輸出。
[0029]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述第二進(jìn)氣管的出口設(shè)置的所述第一手動閥門依次連通設(shè)置過流量偵測器、第一單向閥門，吹掃氣體依次流過所述流量偵測器、所述第一單向閥門；且所述第一手動閥門與所述過流量偵測器之間的管路上設(shè)置第一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器用于監(jiān)測吹掃氣體的壓力。
[0030]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述的廢氣處理裝置進(jìn)一步包括PLC控制裝置，所述加熱裝置、所述吸附裝置、所述第一壓力傳感器、所述過流量偵測器的信號通過網(wǎng)絡(luò)線向所述PLC控制裝置傳輸。
[0031]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述第二進(jìn)氣管和所述第一進(jìn)氣管之間的管路上依次設(shè)置第四氣動閥門、第二單向閥門，吹掃氣體依次流過所述第四氣動閥門、所述第二單向閥門；且所述第二單向閥門與所述加熱裝置之間的管道上設(shè)置第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感器用于檢測待處理的三氟化氮?dú)怏w的壓力。
[0032]進(jìn)一步地優(yōu)選，所述的廢氣處理裝置進(jìn)一步包括PLC控制裝置，所述加熱裝置、所述吸附裝置、所述第二壓力傳感器的信號通過網(wǎng)絡(luò)線向所述PLC控制裝置傳輸。
[0033]本技術(shù)方案，設(shè)置的流量偵測器可以對第二進(jìn)氣管中進(jìn)入的吹掃氣體流量做進(jìn)一步的監(jiān)控，防止流量過大導(dǎo)致吹掃氣體壓力大于待處理的三氟化氮?dú)怏w的壓力，而無法正常對待處理的三氟化氮?dú)怏w進(jìn)行處理。具體地通過第一壓力傳感器對第二進(jìn)氣管中進(jìn)入的吹掃氣體壓力做監(jiān)控，同時通過第二壓力傳感器對第一進(jìn)氣管中進(jìn)入的待處理的三氟化氮?dú)怏w的壓力做監(jiān)控，最終實現(xiàn)對吹掃氣體流量的控制，防止吹掃氣體進(jìn)入過多造成壓力過大，而影響待處理的三氟化氮?dú)怏w的流入，保障處理的連續(xù)性。
[0034]本技術(shù)方案，通過PLC控制實現(xiàn)對整個裝置的運(yùn)行狀況，同時也可指定操作人員做具體的操作，安全、可靠，且操作簡單方便。
[0035]本實用新型由于采用了上述技術(shù)方案，從而具有以下優(yōu)點(diǎn):本實用新型通過加熱裝置和吸附裝置的連通，實現(xiàn)對待處理的三氟化氮?dú)怏w同時進(jìn)行加熱和吸附處理，處理效果更佳；同時第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管的連通，使本裝置不僅能夠?qū)崿F(xiàn)對待處理的三氟化氮?dú)怏w處理的同時，又可以對整個處理裝置的管路做吹掃，提高工作環(huán)境的安全性。進(jìn)而待處理的三氟化氮?dú)怏w通入加熱裝置時，吹掃氣體也通入可加熱裝置中，這樣可以對待處理的三氟化氮進(jìn)行稀釋，且能對第一進(jìn)氣管上的閥門進(jìn)行冷卻，防止由于預(yù)熱導(dǎo)致管道上設(shè)置的閥門過熱而造成損壞；本實用新型進(jìn)一步地，通過第二手動閥門的控制，使第二進(jìn)氣管與吸附裝置直接