一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于一種氣體循環(huán)凈化裝置，具體涉及一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]惰性氣體作為一種保護(hù)氣體，經(jīng)常會(huì)被用到工業(yè)生產(chǎn)中。但是隨著生產(chǎn)過程的進(jìn)行，保護(hù)氣體的純度會(huì)逐漸降低，影響生產(chǎn)的進(jìn)程和產(chǎn)品的質(zhì)量，現(xiàn)有技術(shù)無法避免氣體純度的降低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)而提出的，其目的是提供一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置，包括通過循環(huán)管路依次連通的蠕動(dòng)泵、鈦泵和負(fù)壓工作系統(tǒng)，
[0006]所述蠕動(dòng)泵包括支撐架、電機(jī)、聯(lián)軸器、軸支撐架、絲杠、滑塊、活動(dòng)板、波紋管、限位開關(guān)和滑動(dòng)軸；支撐架是由兩塊側(cè)板和一塊底板組成的“U”型結(jié)構(gòu)；支撐架靠近電機(jī)一側(cè)的側(cè)板形成缺口，電機(jī)的驅(qū)動(dòng)桿與聯(lián)軸器連接；兩個(gè)軸支撐架分別安裝于支撐架的底板上，且靠近側(cè)板內(nèi)壁設(shè)置；絲杠兩端分別安裝于兩個(gè)軸支撐架上，其中一端與聯(lián)軸器連接；滑塊安裝于絲杠上；活動(dòng)板是由豎板與固定于滑塊上的橫板組成的“丄”型結(jié)構(gòu)，活動(dòng)板的豎板與支撐架的側(cè)板平行，且豎板邊角處形成與側(cè)板通孔相對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)軸孔；波紋管兩端分別與兩側(cè)板固定，且中間被豎板分隔成左波紋管和右波紋管兩部分；兩側(cè)板和豎板對(duì)應(yīng)左波紋管和右波紋管端面中心的位置形成透氣孔，左波紋管和右波紋管內(nèi)部對(duì)應(yīng)透氣孔的位置安裝有擋片；兩個(gè)限位開關(guān)分別安裝于底板上，且靠近軸支撐架設(shè)置；滑動(dòng)軸分別穿過兩側(cè)板和豎板，安裝于支撐架上；
[0007]所述鈦泵包括圓筒形鈦泵外殼、刀口密封電極法蘭、金屬密封墊圈、內(nèi)膽、鎧裝加熱絲、電極針和海綿鈦；鈦泵外殼上端形成刀口密封法蘭，鈦泵外殼的筒體兩側(cè)分別設(shè)置進(jìn)氣口和出氣口；電極法蘭安裝于鈦泵外殼上端，且鈦泵外殼和電極法蘭安裝有金屬密封墊圈；內(nèi)膽置于鈦泵外殼空腔中，且通過多個(gè)連接板與電極法蘭的下端面固定連接，內(nèi)膽呈圓筒狀，其筒壁及筒底形成均布的圓孔，內(nèi)膽內(nèi)部裝有海綿鈦；鎧裝加熱絲置于內(nèi)膽內(nèi)；多個(gè)電極針焊接在電極法蘭上，且一端深入內(nèi)膽內(nèi)部，其中一對(duì)電極針深入內(nèi)膽的一端與鎧裝加熱絲連接。
[0008]所述鈦泵的進(jìn)氣口與蠕動(dòng)泵出氣口連通，出氣口與負(fù)壓工作系統(tǒng)進(jìn)氣口連通。
[0009]所述擋片呈圓形，且直徑大于透氣孔的直徑。
[0010]所述刀口密封法蘭的尺寸與刀口密封電極法蘭的尺寸相匹配。
[0011]所述進(jìn)氣口的位置低于出氣口。
[0012]所述鈦泵外殼的內(nèi)壁形成有鈦膜。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0014]本實(shí)用新型是針對(duì)在負(fù)壓環(huán)境下使用保護(hù)氣體進(jìn)行的長(zhǎng)時(shí)間工作，可以在不破壞系統(tǒng)負(fù)壓環(huán)境的情況下，對(duì)系統(tǒng)內(nèi)部的惰性氣體進(jìn)行凈化提純，既提高了工作效率，又降低了工作成本。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是本實(shí)用新型中蠕動(dòng)泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3是本實(shí)用新型中鈦泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4是圖3中A部分的放大圖；
[0019]圖5是圖3中B部分的放大圖。
[0020]其中:
[0021]I蠕動(dòng)泵2鈦泵
[0022]3負(fù)壓工作系統(tǒng)4循環(huán)管道
[0023]5支撐架 6電機(jī)
[0024]7聯(lián)軸器8軸支撐架
[0025]9絲杠10滑塊
[0026]11活動(dòng)板12波紋管
[0027]13擋片14限位開關(guān)
[0028]15滑動(dòng)軸16鈦泵外殼
[0029]17刀口密封電極法蘭18金屬密封墊圈
[0030]19內(nèi)膽20鎧裝加熱絲
[0031]21電極針22海綿鈦
[0032]23驅(qū)動(dòng)桿24側(cè)板
[0033]25底板26豎板
[0034]27左波紋管28右波紋管
[0035]29透氣孔30刀口密封法蘭
[0036]31連接板32進(jìn)氣口
[0037]33 出氣口34橫板。
【具體實(shí)施方式】
[0038]下面結(jié)合說明書附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置進(jìn)行詳細(xì)說明:
[0039]如圖1所示，一種負(fù)壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置，包括通過循環(huán)管路4依次連通的蠕動(dòng)泵1、鈦泵2和負(fù)壓工作系統(tǒng)3，負(fù)壓工作系統(tǒng)3包括真空腔體、真空泵及真空計(jì)，負(fù)壓工作系統(tǒng)3內(nèi)部氣體運(yùn)動(dòng)方向如圖1中箭頭所示；鈦泵2進(jìn)出氣口由圖3中箭頭所示；循環(huán)管道4盡可能縮短長(zhǎng)度并減少拐角。
[0040]如圖2、4、5所述，蠕動(dòng)泵I包括支撐架5、電機(jī)6、聯(lián)軸器7、軸支撐架8、絲杠9、滑塊10、活動(dòng)板11、波紋管12、限位開關(guān)14和滑動(dòng)軸15 ；
[0041]支撐架5是由兩塊兩塊側(cè)板24和一塊底板25組成的“U”型結(jié)構(gòu)，支撐架5靠近電機(jī)6 —側(cè)的側(cè)板24形成缺口，；
[0042]電機(jī)6的驅(qū)動(dòng)桿23與聯(lián)軸器7連接；
[0043]兩個(gè)軸支撐架8分別安裝于支撐架5的底板25上，且靠近側(cè)板24內(nèi)壁設(shè)置；
[0044]絲杠9兩端分別安裝于兩個(gè)軸支撐架8上，其中一端與聯(lián)軸器7連接；
[0045]滑塊10安裝于絲杠9上；
[0046]活動(dòng)板11是由豎板26與固定于滑塊20上的橫板34組成的“丄”型結(jié)構(gòu)，活動(dòng)板11的豎板26與支撐架5的側(cè)板24平行，且豎板26邊角處形成與側(cè)板24通孔相對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)軸孔；
[0047]波紋管12兩端分別與兩側(cè)板24固定，且中間被豎板26分隔成左波紋管27和右波紋管28兩部分；兩側(cè)板24和豎板26對(duì)應(yīng)左波紋管27和右波紋管28端面中心的位置形成透氣孔29，左波紋管27和右波紋管28內(nèi)部對(duì)應(yīng)透氣孔29的位置安裝有擋片13 ；
[0048]所述擋片13呈圓形，且直徑大于透氣孔29的直徑。
[0049]兩個(gè)限位開關(guān)14分別安裝于底板25上，且靠近軸支撐架8設(shè)置；
[0050]滑動(dòng)軸15分別穿過兩側(cè)板24和豎板26，安裝于支撐架5上；
[0051]支撐架5、活動(dòng)板11、擋片13、滑動(dòng)軸15的材料均為304不銹鋼，波紋管12的材料為350不銹鋼。
[0052]蠕動(dòng)泵循環(huán)工作過程如下:
[0053]電機(jī)6、軸支撐架10、波紋管12和限位開關(guān)14均固定在支撐架5上，電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)由聯(lián)軸器7傳遞給架在軸支撐架8上的絲杠9，滑塊10可隨著絲杠的正反轉(zhuǎn)做往復(fù)移動(dòng)，固定在滑塊10上端的活動(dòng)板11隨著滑塊10做往復(fù)運(yùn)動(dòng)使左波紋管27和右波紋管28交替做壓縮、拉伸的動(dòng)作，左波紋管27壓縮時(shí)其內(nèi)部的擋片13處于閉合狀態(tài)(如圖4所示)；同時(shí)右波紋管28做拉伸動(dòng)作，且其內(nèi)部擋片13處于開合狀態(tài)(如圖5所示)，如此往復(fù)，兩段波紋管內(nèi)部氣體便可向一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，形成循環(huán)。活動(dòng)板11下端連接滑塊10，豎板26由滑動(dòng)軸15支撐，保證波紋管12只沿軸向