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氣相反應(yīng)器的制作方法

文檔序號:11394207閱讀:295來源:國知局

本發(fā)明涉及一種反應(yīng)器,特別涉及一種氣相反應(yīng)器。



背景技術(shù):

專利文獻(xiàn)cn102167335a公開了一種用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的反應(yīng)器,包括:限定有反應(yīng)腔的反應(yīng)器本體,所述反應(yīng)器本體的上部設(shè)有四氯化硅-空氣入口和氫氣入口,所述反應(yīng)器本體的底部設(shè)有反應(yīng)器出口;嘴套,所述嘴套套設(shè)在所述反應(yīng)器本體的下端以與所述反應(yīng)器本體限定出向下開口的環(huán)形空間;與所述嘴套相連以向所述環(huán)形空間內(nèi)供給氫氣的環(huán)隙氫氣進(jìn)口管;和設(shè)置在所述反應(yīng)腔內(nèi)用于均勻分布從所述四氯化硅-空氣入口和所述氫氣入口供給到反應(yīng)腔內(nèi)的四氯化硅-空氣和氫氣的分布器。

此種反應(yīng)器依舊未能解決反應(yīng)器噴嘴處結(jié)疤的問題,使用過程中噴嘴處極易結(jié)疤,嚴(yán)重制約了氣相法二氧化硅的生產(chǎn)連續(xù)性;另外,此反應(yīng)器分成多個(gè)部分,拆卸安裝均不方便,尤其是嘴套與反應(yīng)器本體采用螺桿固定,嘴套與反應(yīng)器的間隙很小,安裝不穩(wěn)定則會影響反應(yīng)的進(jìn)行。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)器的缺陷,本發(fā)明的目的在于提供一種氣相反應(yīng)器。該反應(yīng)器可以有效的解決反應(yīng)器內(nèi)壁易結(jié)疤的問題,以及方便反應(yīng)器的拆卸與安裝。

本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種氣相反應(yīng)器,包括,氫氣進(jìn)料口⑷,混合氣相進(jìn)料口⑸,環(huán)隙氫氣進(jìn)料口⑹,出料口⑺,環(huán)形夾套⑻,分布器⑼,其特征在于,反應(yīng)器由本體和分布器⑼兩部分組成;反應(yīng)器本體為圓筒形的反應(yīng)腔體,本體分為三段,分別是反應(yīng)器一段⑴、反應(yīng)器二段⑵、反應(yīng)器三段⑶,其三段之間由螺紋連接;反應(yīng)器一段⑴有兩個(gè)進(jìn)料口,反應(yīng)器一段⑴頂部的進(jìn)料口為氫氣進(jìn)料口⑷;反應(yīng)器一段⑴側(cè)面延腔體切線方向的進(jìn)料口為氯硅烷與空氣的混合氣相進(jìn)料口⑸,反應(yīng)器一段⑴底部與反應(yīng)器二段⑵連接;反應(yīng)器二段⑵為圓筒形腔體,反應(yīng)器二段⑵底部與反應(yīng)器三段⑶連接;反應(yīng)器三段⑶底部為反應(yīng)器的出料口⑺,反應(yīng)器三段⑶腔體外部有一層環(huán)形夾套⑻,夾套頂部進(jìn)料口為環(huán)隙氫氣進(jìn)料口⑹,反應(yīng)器三段⑶腔體出料口⑺底端與環(huán)隙夾套⑻底端平齊。

所述氫氣進(jìn)料口⑷,混合氣相進(jìn)料口⑸,環(huán)隙氫氣進(jìn)料口⑹,出料口⑺均為聚四氟乙烯材質(zhì)。

所述環(huán)形夾套⑻,分布器⑼為不銹鋼材質(zhì)。

本發(fā)明通過對反應(yīng)器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造,克服反應(yīng)器內(nèi)部頻繁出現(xiàn)結(jié)疤堵塞的缺陷;另外,將反應(yīng)器與外層的環(huán)形夾套設(shè)計(jì)成一體形式,方便了反應(yīng)器的拆裝。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種氣相反應(yīng)器結(jié)構(gòu)示意圖;圖中:1-反應(yīng)器一段2-反應(yīng)器二段3-反應(yīng)器三段4-氫氣進(jìn)料口5-混合氣相進(jìn)料口6-環(huán)隙氫氣進(jìn)料口7-出料口8-環(huán)形夾套9-分布器。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例,對本發(fā)明一種氣相反應(yīng)器,作詳細(xì)的解釋。

從圖中可看出,本發(fā)明的一種氣相反應(yīng)器,其主要作用是將反應(yīng)物(氯硅烷、氫氣、空氣)混合均勻,其主要結(jié)構(gòu)包括:反應(yīng)器本體和分布器兩部分組成。包括,氫氣進(jìn)料口4,混合氣相進(jìn)料口5,環(huán)隙氫氣進(jìn)料口6,出料口7,環(huán)形夾套8,分布器9,反應(yīng)器由本體和分布器9兩部分組成;反應(yīng)器本體為圓筒形的反應(yīng)腔體,本體分為三段,分別是反應(yīng)器一段1、反應(yīng)器二段2、反應(yīng)器三段3,其三段之間由螺紋連接;反應(yīng)器一段1有兩個(gè)進(jìn)料口,反應(yīng)器一段1頂部的進(jìn)料口為氫氣進(jìn)料口4;反應(yīng)器一段1側(cè)面延腔體切線方向的進(jìn)料口為氯硅烷與空氣的混合氣相進(jìn)料口5,反應(yīng)器一段1底部與反應(yīng)器二段2連接;反應(yīng)器二段2為圓筒形腔體,反應(yīng)器二段2底部與反應(yīng)器三段3連接;反應(yīng)器三段3底部為反應(yīng)器的出料口7,反應(yīng)器三段3腔體外部有一層環(huán)形夾套8,夾套頂部進(jìn)料口為環(huán)隙氫氣進(jìn)料口6,反應(yīng)器三段3腔體出料口7底端與環(huán)隙夾套8底端平齊。

本發(fā)明不局限于上述最佳實(shí)施方式,任何人在本發(fā)明的啟示下都可得出其他各種形式的技術(shù)方案。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。



技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種氣相反應(yīng)器,其中,反應(yīng)器由本體和分布器兩部分組成;反應(yīng)器本體為圓筒形的反應(yīng)腔體,本體分為三段,其三段之間由螺紋連接;反應(yīng)器一段有兩個(gè)進(jìn)料口,反應(yīng)器一段頂部的進(jìn)料口為氫氣進(jìn)料口;反應(yīng)器一段側(cè)面延腔體切線方向的進(jìn)料口為氯硅烷與空氣的混合氣相進(jìn)料口,反應(yīng)器一段底部與反應(yīng)器二段連接;反應(yīng)器二段為圓筒形腔體,反應(yīng)器二段底部與反應(yīng)器三段連接;反應(yīng)器三段底部為反應(yīng)器的出料口,反應(yīng)器三段腔體外部有一層環(huán)形夾套,夾套頂部進(jìn)料口為環(huán)隙氫氣進(jìn)料口,反應(yīng)器三段腔體出料口底端與環(huán)隙夾套底端平齊。通過對反應(yīng)器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改造,克服了反應(yīng)器內(nèi)部出現(xiàn)結(jié)疤堵塞的缺陷;方便了反應(yīng)器的拆裝。

技術(shù)研發(fā)人員:張亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者:連云港多瑞建筑裝飾有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.20
技術(shù)公布日:2017.09.01
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