技術(shù)編號(hào):11394207
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種反應(yīng)器,特別涉及一種氣相反應(yīng)器。背景技術(shù)專利文獻(xiàn)CN102167335A公開(kāi)了一種用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的反應(yīng)器,包括:限定有反應(yīng)腔的反應(yīng)器本體,所述反應(yīng)器本體的上部設(shè)有四氯化硅-空氣入口和氫氣入口,所述反應(yīng)器本體的底部設(shè)有反應(yīng)器出口;嘴套,所述嘴套套設(shè)在所述反應(yīng)器本體的下端以與所述反應(yīng)器本體限定出向下開(kāi)口的環(huán)形空間;與所述嘴套相連以向所述環(huán)形空間內(nèi)供給氫氣的環(huán)隙氫氣進(jìn)口管;和設(shè)置在所述反應(yīng)腔內(nèi)用于均勻分布從所述四氯化硅-空氣入口和所述氫氣入口供給到反應(yīng)腔內(nèi)的四氯化硅-空氣和...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。