1.一種多路氣體切換供氣而總供氣量恒定的真空反應(yīng)系統(tǒng)，包括有多條主氣路和真空反應(yīng)腔，每條主氣路與真空反應(yīng)腔連接，在主氣路上沿供氣方向依次設(shè)有流量器和主路隔膜閥，真空反應(yīng)腔的出口管路上設(shè)有真空規(guī)、真空蝶閥和真空泵，其特征在于：在每條主氣路上流量器和主路隔膜閥之間引出一條旁路，旁路接駁在真空反應(yīng)腔和真空規(guī)之間的出口管道上，每條旁路都設(shè)有旁路隔膜閥，主路隔膜閥、旁路隔膜閥和真空蝶閥受PLC控制器控制開(kāi)關(guān)。