本發(fā)明涉及一種多路氣體切換供氣而總供氣量恒定的真空反應(yīng)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：：目前，工業(yè)上諸多產(chǎn)品的生產(chǎn)都是在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，在真空狀態(tài)下進(jìn)行電離、化學(xué)反應(yīng)等都要求供氣快捷穩(wěn)定，特別是對于需要多路氣體頻繁切換供氣，每次切換氣體，都要求新的氣體供給盡快穩(wěn)定下來。而現(xiàn)有的供氣系統(tǒng)如圖1所示，在每條供氣氣路上設(shè)置流量器01和隔膜閥02，最后才與真空反應(yīng)腔03連接，隔膜閥02由PLC控制線路04控制開關(guān)，氣路的流量控制是流量器01自身的反饋控制，其工作原理是：給出設(shè)定輸出流量值后，流量器01會自動檢測進(jìn)口和出口的壓力，然后輸出對應(yīng)的流量值并不斷的反饋調(diào)節(jié)，直到輸出流量穩(wěn)定。真空反應(yīng)腔03的真空度是由真空規(guī)05、真空蝶閥06和真空泵07控制。當(dāng)流量器01出口的壓力變化時，流量器01輸出流量會隨著壓力變化而改變，造成流量器01輸出不能盡快穩(wěn)定下來，流量器01自身反饋調(diào)節(jié)加重其工作負(fù)荷而且耗時。真空反應(yīng)腔03內(nèi)的反應(yīng)環(huán)境也會隨著輸出流量變化而改變，造成真空反應(yīng)系統(tǒng)也不能快速穩(wěn)定，真空蝶閥06經(jīng)過真空規(guī)05反饋調(diào)節(jié)也加重其工作負(fù)荷而且耗時。實(shí)際使用中不同種氣體和氣量反復(fù)的切換時，流量器01和真空反應(yīng)系統(tǒng)就會處于一個動態(tài)的反饋調(diào)節(jié)中，使整個系統(tǒng)不能快速穩(wěn)定下來，消耗控制時間，使生產(chǎn)效率大大降低。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：：為了解決現(xiàn)有技術(shù)因切換氣路導(dǎo)致供氣量不穩(wěn)定的問題，本發(fā)明提出了一種無論多路氣路如何切換，都可以保證流量器流出氣量穩(wěn)定的真空反應(yīng)系統(tǒng)。本發(fā)明的發(fā)明目的可以通過以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種多路氣體切換供氣而總供氣量恒定的真空反應(yīng)系統(tǒng)，包括有多條主氣路和真空反應(yīng)腔，每條主氣路與真空反應(yīng)腔連接，在主氣路上沿供氣方向依次設(shè)有流量器和主路隔膜閥，真空反應(yīng)腔的出口管路上設(shè)有真空規(guī)、真空蝶閥和真空泵，在每條主氣路上流量器和主路隔膜閥之間引出一條旁路，旁路接駁在真空反應(yīng)腔和真空規(guī)之間的出口管道上，每條旁路都設(shè)有旁路隔膜閥，主路隔膜閥、旁路隔膜閥和真空蝶閥受PLC控制器控制開關(guān)。采用本技術(shù)方案后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過增加旁路，在切換供氣氣路時，所供的氣體會立刻經(jīng)旁路流至真空反應(yīng)腔的出口處，從而保證真空反應(yīng)腔內(nèi)的真空度不變，從一路供氣氣路切換至另一路供氣氣路，新的供氣氣路上的流量器因旁路的存在，使流量器入口和出口的氣壓保持一樣，切換后，新的供氣氣路供氣立刻恒定，保證真空反應(yīng)系統(tǒng)氣量穩(wěn)定，使生產(chǎn)工藝得以立馬進(jìn)行，極大提高了生產(chǎn)效率。附圖說明：圖1是現(xiàn)有技術(shù)真空反應(yīng)系統(tǒng)多路供氣結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是本發(fā)明真空反應(yīng)系統(tǒng)多路供氣結(jié)構(gòu)的示意圖。具體實(shí)施方式：下面結(jié)合附圖對本技術(shù)作進(jìn)一步說明。本實(shí)施例的多路氣體切換供氣而總供氣量恒定的真空反應(yīng)系統(tǒng)，包括有多條主氣路和真空反應(yīng)腔1，這里主氣路包括有D1路、D2路和D3路，每條主氣路與真空反應(yīng)腔1獨(dú)立連接，在每條主氣路上沿供氣方向依次設(shè)有流量器A0/B0/C0和主路隔膜閥A1/B1/C1，真空反應(yīng)腔1的出口管路上設(shè)有真空規(guī)2、真空蝶閥3和真空泵4，在每條主氣路上流量器A0/B0/C0和主路隔膜閥A1/B1/C1之間引出一條旁路，旁路接駁在真空反應(yīng)腔1和真空規(guī)2之間的出口管道上，對應(yīng)主氣路D1路、D2路和D3路的旁路依次為d1路、d2路、d3路，每條旁路都設(shè)有旁路隔膜閥A2/B2/C2，主路隔膜閥A1/B1/C1、旁路隔膜閥A2/B2/C2和真空蝶閥3受PLC控制器5控制開關(guān)。圖2是真空反應(yīng)系統(tǒng)的示意圖，由真空泵4通過管道與真空反應(yīng)腔1連接，使真空反應(yīng)腔1處于高真空狀態(tài)，并通過真空規(guī)2及真空蝶閥3控制裝置，PLC控制器5設(shè)定真空反應(yīng)腔1保持在Xmbar，同時PLC控制器5會根據(jù)預(yù)先設(shè)定好需要工作的氣體和氣量，控制各個氣路的隔膜閥開啟或者關(guān)閉，實(shí)現(xiàn)不同種氣體的反復(fù)切換。工藝流程如下表1：控制序號工作氣體不工作氣體A1隔膜閥A2隔膜閥B1隔膜閥B2隔膜閥C1隔膜閥C2隔膜閥00A/B/C0101011AB/C1001012BA/C0110003CA/B0101101AB/C1001012BA/C011000注：表1中1表示打開，需要?dú)怏w流過工作腔參與工作；0表示關(guān)閉，不需要?dú)怏w流過工作腔參與工作；結(jié)合圖2和表1，具體工作如下：1、設(shè)定好流量器A0/B0/C0的輸出流量和A/B/C氣體的工作順序(如表1)；2、A/B/C氣體不工作，A1隔膜閥、B1隔膜閥、C1隔膜閥關(guān)閉，A/B/C氣體經(jīng)真空蝶閥流出；A2隔膜閥、B2隔膜閥、C2隔膜閥打開，穩(wěn)定各個流量器A0/B0/C0及真空反應(yīng)腔1的氣量；3、A氣體需要工作時，A1隔膜閥、B2隔膜閥、C2隔膜閥打開，A氣體流過真空反應(yīng)腔參與工作；A2隔膜閥、B1隔膜閥、C1隔膜閥關(guān)閉，B/C氣體經(jīng)真空蝶閥3流出；4、B氣體需要工作時，B1隔膜閥、A2隔膜閥、C2隔膜閥打開，B氣體流過真空反應(yīng)腔1參與工作；B2隔膜閥、A1隔膜閥、C1隔膜閥關(guān)閉，A/C氣體經(jīng)真空蝶閥3流出，此時由A氣體供氣給真空反應(yīng)腔1轉(zhuǎn)為B氣體供給，各隔膜閥開關(guān)狀態(tài)按照上述描述的狀態(tài)轉(zhuǎn)變完成后，D2氣路因C2隔膜閥在上述3中A氣體供氣和本B氣體供氣都是一直處于打開狀態(tài)的，通過旁路d3將C氣體供至真空反應(yīng)腔1出口端，從而保證真空反應(yīng)腔1內(nèi)真空度(或稱為氣壓)是一直恒定不變的，當(dāng)B氣體供氣時，各隔膜閥開關(guān)狀態(tài)轉(zhuǎn)變后，D2氣路中的流量器B0因入口和出口的氣壓是一樣的，所以轉(zhuǎn)變完成后，B氣體在極短的時間內(nèi)(可以說瞬時)就可以進(jìn)入恒定的供氣狀態(tài)；5、C氣體需要工作時，A2隔膜閥、B2隔膜閥、C1隔膜閥打開，C氣體流過真空反應(yīng)腔參與工作；A1隔膜閥、B1隔膜閥、C2隔膜閥關(guān)閉，A/B氣體經(jīng)真空蝶閥3流出，與4的情況同理，各隔膜閥開關(guān)狀態(tài)轉(zhuǎn)變后，D3氣路中的流量器C0因入口和出口的氣壓是一樣的，所以轉(zhuǎn)變完成后，C氣體在極短的時間內(nèi)(可以說瞬時)就可以進(jìn)入恒定的供氣狀態(tài)；如上所訴，需要不同氣體參與循環(huán)工作時，PLC控制器5會針對對應(yīng)的氣體對整個控制序號中的隔膜閥組進(jìn)行自動切換，切換后，新的供氣氣路中的流量器立刻以其恒定的氣量供氣給真空反應(yīng)腔1，保證工作效率。以上所述，任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。故凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明之形狀、構(gòu)造及原理所作的等效變化，均應(yīng)涵蓋于本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。當(dāng)前第1頁1 2 3