本發(fā)明涉及涂布裝置及多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜制造系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

鋰離子電池是一種二次電池，其形成為下述結(jié)構(gòu)：在浸漬于電解液中的正極和負(fù)極之間配置有隔膜，通過(guò)隔膜來(lái)防止正極和負(fù)極之間的直接電接觸。正極中使用鋰過(guò)渡金屬氧化物，負(fù)極中使用例如鋰、碳(石墨)等。充電時(shí)，鋰離子從正極通過(guò)隔膜向負(fù)極移動(dòng)，放電時(shí)，鋰離子從負(fù)極通過(guò)隔膜向正極移動(dòng)。

該鋰離子電池中，有可能產(chǎn)生下述問(wèn)題等：由于反復(fù)進(jìn)行充電及放電而導(dǎo)致負(fù)極中鋰金屬以樹(shù)枝狀析出，電池的電特性降低。對(duì)此，提出了例如通過(guò)使用多孔性的隔膜從而提高鋰離子電池的電特性的方案。并且，作為這樣的多孔質(zhì)的隔膜，近年來(lái)正在嘗試使用由耐熱性高且安全性高的多孔性聚酰亞胺膜形成的隔膜(例如，參見(jiàn)專利文獻(xiàn)1等)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2011-111470號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

上述的多孔性聚酰亞胺膜例如通過(guò)下述工序制造：涂布形成包含微粒的聚酰胺酸或聚酰亞胺的未燒成膜，對(duì)該未燒成膜進(jìn)行燒成而形成燒成膜，從燒成膜中除去微粒。然而，在使用由以往的涂布工序形成的未燒成膜的情況下，制造的多孔性聚酰亞胺膜在孔的均勻性、密度等方面不充分。因此，正在尋求能夠制造更高品質(zhì)的多孔性聚酰亞胺膜的涂布裝置。此外，不僅限于聚酰亞胺膜，對(duì)于酰亞胺系樹(shù)脂膜也在尋求能夠形成高品質(zhì)的多孔性膜的涂布裝置。

鑒于如上所述的情況，本發(fā)明的目的在于提供能夠制造高品質(zhì)的多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜的涂布裝置及多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜制造系統(tǒng)。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的第一方式涉及的涂布裝置為用于形成多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜的涂布裝置，其具備：基材，所述基材沿規(guī)定方向移動(dòng)；第一涂布部，所述第一涂布部將第一液體涂布于基材上從而形成第一層，所述第一液體包含聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺、及微粒；和第二涂布部，所述第二涂布部將第二液體涂布于第一層上從而形成第二層，所述第二液體包含聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺、及微粒，且至少微粒含有率與第一液體不同。

本發(fā)明的第二方式涉及的多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜制造系統(tǒng)為制造多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜的制造系統(tǒng)，其包含第一方式涉及的涂布裝置。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明的方式，可以提供能夠制造高品質(zhì)的多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜的涂布裝置及多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜制造系統(tǒng)。

附圖說(shuō)明

[圖1]為示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)的一個(gè)例子的圖。

[圖2]為示出在本實(shí)施方式涉及的涂布單元上設(shè)置的噴嘴的一個(gè)例子的圖。

[圖3]為示出在本實(shí)施方式涉及的涂布單元上設(shè)置的干燥部的一個(gè)例子的圖。

[圖4]為示出本實(shí)施方式涉及的卷繞部的一個(gè)例子的立體圖。

[圖5]為示出本實(shí)施方式涉及的燒成單元的一個(gè)例子的立體圖。

[圖6]為示出本實(shí)施方式涉及的除去單元的一個(gè)例子的立體圖。

[圖7]為示出本實(shí)施方式涉及的酰亞胺系樹(shù)脂膜的制造過(guò)程的一個(gè)例子的圖。

[圖8]為示出變形例涉及的涂布單元的一個(gè)例子的圖。

[圖9]為示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的涂布單元的一個(gè)例子的圖。

[圖10]為示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的涂布單元的一個(gè)例子的圖。

[圖11]為示出變形例涉及的涂布單元的一個(gè)例子的圖。

[圖12]為示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式涉及的涂布單元的一個(gè)例子的圖。

[圖13]為示出變形例涉及的卷繞裝置的一個(gè)例子的圖。

[圖14]為示出實(shí)施方式涉及的隔膜的一個(gè)例子的圖。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明或本說(shuō)明書(shū)中，所謂層疊體，是指包含上述第一層及上述第二層的未燒成膜。形成本發(fā)明涉及的多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜時(shí)，在第一液體及第二液體中分別使用聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺中的同種樹(shù)脂的情況下，包含形成的上述第一層及上述第二層的未燒成膜(或多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜)雖然實(shí)質(zhì)上為1層，但是由于形成了微粒含有率不同的未燒成膜(或具有孔隙率不同的區(qū)域的多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜)，因此在本說(shuō)明書(shū)中，將包括第一液體及第二液體中使用了同種樹(shù)脂的情況在內(nèi)的情況均稱為層疊體。

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。以下，使用XYZ坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說(shuō)明。在該XYZ坐標(biāo)系中，將與水平面平行的平面作為XY平面。將與該XY平面平行的一個(gè)方向標(biāo)示為X方向，將與X方向正交的方向標(biāo)示為Y方向。此外，將與XY平面正交的方向標(biāo)示為Z方向。在此說(shuō)明：對(duì)X方向、Y方向及Z方向各自而言，圖中的箭頭方向?yàn)?方向，與箭頭方向相反的方向?yàn)?方向。

圖1為示出制造系統(tǒng)SYS的一個(gè)例子的圖。圖1示出的制造系統(tǒng)SYS為制造多孔性樹(shù)脂膜F(多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜)的制造系統(tǒng)。制造系統(tǒng)SYS具備：涂布單元(涂布裝置)10，所述涂布單元10將規(guī)定的涂布液進(jìn)行涂布而形成未燒成膜FA；燒成單元20，所述燒成單元20對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行燒成，從而形成燒成膜FB；除去單元30，所述除去單元30將微粒從燒成膜FB中除去，從而形成多孔性樹(shù)脂膜F；和控制裝置(未圖示)，所述控制裝置統(tǒng)籌控制上述各單元。

制造系統(tǒng)SYS例如構(gòu)成為上下2個(gè)階層，涂布單元10配置在第2層部分，燒成單元20及除去單元30配置在第1層部分。配置在同一層中的燒成單元20及除去單元30例如在Y方向上并列配置，但并不限定于此，例如也可以在X方向或X方向與Y方向的合成方向上并列配置。

需要說(shuō)明的是，關(guān)于制造系統(tǒng)SYS的階層結(jié)構(gòu)、各層中的各單元的配置等，并不限定于上述方式，例如也可以將涂布單元10及燒成單元20配置在第2層部分，將除去單元30配置在第1層部分。此外，也可以將所有的單元配置在同一層中。該情況下，可以將各單元配置為一列，也可以以多列進(jìn)行配置。此外，還可以將所有的單元配置在不同的階層中。

制造系統(tǒng)SYS中，未燒成膜FA是以帶狀形成的。在涂布單元10的+Y側(cè)(未燒成膜FA的輸送方向的前方)，設(shè)置有將帶狀的未燒成膜FA卷繞成卷狀的卷繞部40。在燒成單元20的-Y側(cè)(未燒成膜FA的輸送方向的后方)，設(shè)置有將卷狀的未燒成膜FA向燒成單元20送出的送出部50。在除去單元30的+Y側(cè)(燒成膜FB的輸送方向的前方)，設(shè)置有將多孔性樹(shù)脂膜F卷繞成卷狀的卷繞部60。

如上述那樣，在從送出部50經(jīng)過(guò)燒成單元20及除去單元30而到達(dá)卷繞部60的區(qū)間(第1層部分)內(nèi)，以所謂的卷對(duì)卷(Roll-to-roll)方式進(jìn)行處理。因此，在該區(qū)間內(nèi)，未燒成膜FA、燒成膜FB及多孔性樹(shù)脂膜F中的各膜是以不間斷的狀態(tài)被輸送的。

[涂布液]

這里，在對(duì)各單元進(jìn)行說(shuō)明之前，對(duì)作為多孔性樹(shù)脂膜F的原料的涂布液進(jìn)行說(shuō)明。涂布液包含規(guī)定的樹(shù)脂材料、微粒、和溶劑。作為規(guī)定的樹(shù)脂材料，可舉出例如聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、或聚酰胺。作為溶劑，可使用能夠?qū)⑦@些樹(shù)脂材料溶解的有機(jī)溶劑。

本實(shí)施方式中，作為涂布液，可使用微粒含有率不同的2種涂布液(第一涂布液及第二涂布液)。具體而言，以第一涂布液的微粒含有率比第二涂布液高的方式進(jìn)行制備。由此，可以保證未燒成膜FA、燒成膜FB及多孔性樹(shù)脂膜F的強(qiáng)度及柔軟性。此外，通過(guò)設(shè)置微粒含有率低的層，能夠?qū)崿F(xiàn)多孔性樹(shù)脂膜F的制造成本的降低。

例如，在第一涂布液中，樹(shù)脂材料和微粒以體積比成為19：81～45：65的方式被含有。此外，在第二涂布液中，樹(shù)脂材料和微粒以體積比成為20：80～50：50的方式被含有。但是，以使得第一涂布液的微粒含有率高于第二涂布液的微粒含有率的方式設(shè)定體積比。需要說(shuō)明的是，關(guān)于各樹(shù)脂材料的體積，可使用各樹(shù)脂材料的質(zhì)量乘以其比重而求得的值。

在上述情況下，將第一涂布液的總體積作為100時(shí)，若微粒的體積為65以上，則粒子均勻地分散，此外，若微粒的體積為81以內(nèi)，則粒子彼此也不發(fā)生凝集地分散。因此，能夠在多孔性樹(shù)脂膜F中均勻地形成孔。此外，若微粒的體積比率在該范圍內(nèi)，則能夠確保對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行成膜時(shí)的剝離性。

將第二涂布液的總體積作為100時(shí)，若微粒的體積為50以上，則微粒單體均勻地分散，此外，若微粒的體積為80以內(nèi)，則微粒既不會(huì)彼此凝集，并且也不會(huì)在表面產(chǎn)生裂紋等，因此能夠穩(wěn)定地形成電特性良好的多孔性樹(shù)脂膜F。

上述的2種涂布液例如可通過(guò)將預(yù)先分散有微粒的溶劑和聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺以任意的比率進(jìn)行混合而制備。此外，也可以在預(yù)先分散有微粒的溶劑中將聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺進(jìn)行聚合而制備。例如，可通過(guò)下述方式制造：在預(yù)先分散有微粒的有機(jī)溶劑中將四羧酸二酐及二胺進(jìn)行聚合而形成聚酰胺酸，或者進(jìn)一步進(jìn)行酰亞胺化而形成聚酰亞胺。

關(guān)于涂布液的粘度，優(yōu)選使其最終為300～2500cP，更優(yōu)選為400～1500cP的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為600～1200cP的范圍。若涂布液的粘度在該范圍內(nèi)，則能夠均勻地進(jìn)行成膜。

對(duì)于上述涂布液而言，在對(duì)微粒和聚酰胺酸或聚酰亞胺進(jìn)行干燥而制成未燒成膜FA的情況下，當(dāng)微粒的材質(zhì)為下文所述的無(wú)機(jī)材料時(shí)，優(yōu)選以微粒/聚酰亞胺的比率成為2～6(質(zhì)量比)的方式將微粒與聚酰胺酸或聚酰亞胺混合。進(jìn)一步優(yōu)選為3～5(質(zhì)量比)。當(dāng)微粒的材質(zhì)為下文所述的有機(jī)材料時(shí)，優(yōu)選以微粒/聚酰亞胺的比率成為1～3.5(質(zhì)量比)的方式將微粒與聚酰胺酸或聚酰亞胺混合。進(jìn)一步優(yōu)選為1.2～3(質(zhì)量比)。此外，在制成未燒成膜FA時(shí)，優(yōu)選以微粒/聚酰亞胺的體積比率成為1.5～4.5的方式將微粒與聚酰胺酸或聚酰亞胺混合。進(jìn)一步優(yōu)選為1.8～3(體積比)。在制成未燒成膜FA時(shí)，若微粒/聚酰亞胺的質(zhì)量比或體積比為下限值以上，則能夠得到適合作為隔膜的密度的孔，若為上限值以下，則能夠在不發(fā)生粘度增加、膜中裂紋等問(wèn)題的情況下穩(wěn)定地進(jìn)行成膜。在代替聚酰胺酸或聚酰亞胺而使樹(shù)脂材料為聚酰胺酰亞胺或聚酰胺的情況下，質(zhì)量比也與上文所述同樣。

以下，對(duì)各樹(shù)脂材料進(jìn)行具體說(shuō)明。

<聚酰胺酸>

對(duì)于本實(shí)施方式中使用的聚酰胺酸而言，可以不受特別限定地使用將任意的四羧酸二酐與二胺聚合而得到的聚酰胺酸。四羧酸二酐及二胺的使用量沒(méi)有特別限定，但相對(duì)于1摩爾四羧酸二酐，優(yōu)選使用0.50～1.50摩爾的二胺，更優(yōu)選使用0.60～1.30摩爾，特別優(yōu)選使用0.70～1.20摩爾。

四羧酸二酐可以從一直以來(lái)作為聚酰胺酸的合成原料而使用的四羧酸二酐中適宜選擇。四羧酸二酐可以為芳香族四羧酸二酐，也可以為脂肪族四羧酸二酐，但從得到的聚酰亞胺樹(shù)脂的耐熱性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用芳香族四羧酸二酐。四羧酸二酐可以組合2種以上而使用。

作為芳香族四羧酸二酐的合適的具體例，可舉出均苯四甲酸二酐、1,1-雙(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、雙(2,3-二羧基苯基)甲烷二酐、雙(3,4-二羧基苯基)甲烷二酐、3,3’,4,4’-聯(lián)苯四甲酸二酐、2,3,3’,4’-聯(lián)苯四甲酸二酐、2,2,6,6-聯(lián)苯四甲酸二酐、2,2-雙(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-雙(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-雙(3,4-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、2,2-雙(2,3-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四甲酸二酐、雙(3,4-二羧基苯基)醚二酐、雙(2,3-二羧基苯基)醚二酐、2,2’,3,3’-二苯甲酮四甲酸二酐、4,4-(對(duì)亞苯基二氧基)二鄰苯二甲酸二酐、4,4-(間亞苯基二氧基)二鄰苯二甲酸二酐、1,2,5,6-萘四甲酸二酐、1,4,5,8-萘四甲酸二酐、2,3,6,7-萘四甲酸二酐、1,2,3,4-苯四甲酸二酐、3,4,9,10-苝四甲酸二酐、2,3,6,7-蒽四甲酸二酐、1,2,7,8-菲四甲酸二酐、9,9-雙鄰苯二甲酸酐芴、3,3’,4,4’-二苯基砜四甲酸二酐等。作為脂肪族四羧酸二酐，可舉出例如乙烯四甲酸二酐、丁烷四甲酸二酐、環(huán)戊烷四甲酸二酐、環(huán)己烷四甲酸二酐、1,2,4,5-環(huán)己烷四甲酸二酐、1,2,3,4-環(huán)己烷四甲酸二酐等。其中，從價(jià)格、獲得的容易性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選3,3’,4,4’-聯(lián)苯四甲酸二酐及均苯四甲酸二酐。此外，這些四羧酸二酐既可以單獨(dú)使用或者混合兩種以上而使用。

二胺可以從一直以來(lái)作為聚酰胺酸的合成原料而使用的二胺中適宜選擇。二胺可以為芳香族二胺，也可以為脂肪族二胺，但從得到的聚酰亞胺樹(shù)脂的耐熱性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選芳香族二胺。這些二胺可以組合2種以上而使用。

作為芳香族二胺，可舉出鍵合有1個(gè)或2～10個(gè)左右的苯基的二氨基化合物。具體而言，為苯二胺及其衍生物、二氨基聯(lián)苯化合物及其衍生物、二氨基二苯基化合物及其衍生物、二氨基三苯基化合物及其衍生物、二氨基萘及其衍生物、氨基苯基氨基茚滿及其衍生物、二氨基四苯基化合物及其衍生物、二氨基六苯基化合物及其衍生物、Cardo型芴二胺衍生物。

苯二胺為間苯二胺、對(duì)苯二胺等，作為苯二胺衍生物，為鍵合有甲基、乙基等烷基的二胺，例如2,4-二氨基甲苯、2,4-三亞苯基二胺(2,4-triphenylenediamine)等。

二氨基聯(lián)苯化合物為2個(gè)氨基苯基以彼此的苯基鍵合而成的化合物。例如，為4,4’-二氨基聯(lián)苯、4,4’-二氨基-2,2’-雙(三氟甲基)聯(lián)苯等。

二氨基二苯基化合物為2個(gè)氨基苯基中彼此的苯基介由其他基團(tuán)鍵合而成的化合物。鍵為醚鍵、磺酰鍵、硫醚鍵、基于亞烷基或其衍生基團(tuán)的鍵、亞氨基鍵、偶氮鍵、氧膦(phosphine oxide)鍵、酰胺鍵、脲撐(ureylene)鍵等。亞烷基鍵是碳原子數(shù)為1～6左右的亞烷基鍵，其衍生基團(tuán)為亞烷基中的1個(gè)以上的氫原子被鹵素原子等取代而成的基團(tuán)。

作為二氨基二苯基化合物的例子，可舉出3,3’-二氨基二苯基醚、3,4’-二氨基二苯基醚、4,4’-二氨基二苯基醚、3,3’-二氨基二苯基砜、3,4’-二氨基二苯基砜、4,4’-二氨基二苯基砜、3,3’-二氨基二苯基甲烷、3,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基甲烷、4,4’-二氨基二苯基硫醚、3,3’-二氨基二苯基酮、3,4’-二氨基二苯基酮、2,2-雙(對(duì)氨基苯基)丙烷、2,2’-雙(對(duì)氨基苯基)六氟丙烷、4-甲基-2,4-雙(對(duì)氨基苯基)-1-戊烯、4-甲基-2,4-雙(對(duì)氨基苯基)-2-戊烯、亞氨基二苯胺、4-甲基-2,4-雙(對(duì)氨基苯基)戊烷、雙(對(duì)氨基苯基)氧化膦、4,4’-二氨基偶氮苯、4,4’-二氨基二苯基脲、4,4’-二氨基二苯基酰胺、1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯、4,4’-雙(4-氨基苯氧基)聯(lián)苯、雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、雙[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷等。

其中，從價(jià)格、獲得的容易性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選對(duì)苯二胺、間苯二胺、2,4-二氨基甲苯、及4,4’-二氨基二苯基醚。

二氨基三苯基化合物為2個(gè)氨基苯基與1個(gè)亞苯基均介由其他的基團(tuán)鍵合而成的化合物，其他的基團(tuán)可選擇與針對(duì)二氨基二苯基化合物所述的同樣的基團(tuán)。作為二氨基三苯基化合物的例子，可舉出1,3-雙(間氨基苯氧基)苯、1,3-雙(對(duì)氨基苯氧基)苯、1,4-雙(對(duì)氨基苯氧基)苯等。

作為二氨基萘的例子，可舉出1,5-二氨基萘及2,6-二氨基萘。

作為氨基苯基氨基茚滿的例子，可舉出5-氨基-1-(對(duì)氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚滿或6-氨基-1-(對(duì)氨基苯基)-1,3,3-三甲基茚滿。

作為二氨基四苯基化合物的例子，可舉出4,4’-雙(對(duì)氨基苯氧基)聯(lián)苯、2,2’-雙[4-(4’-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2’-雙[4-(4’-氨基苯氧基)聯(lián)苯基]丙烷、2,2’-雙[對(duì)(間氨基苯氧基)苯基]二苯甲酮等。

關(guān)于Cardo型芴二胺衍生物，可舉出9,9-雙苯胺芴等。

脂肪族二胺例如可以是碳原子數(shù)為2～15左右的脂肪族二胺，具體而言，可舉出五亞甲基二胺、六亞甲基二胺、七亞甲基二胺等。

需要說(shuō)明的是，也可以為這些二胺的氫原子被選自鹵素原子、甲基、甲氧基、氰基、苯基等的組中的至少1種取代基取代而成的化合物。

制造本實(shí)施方式中使用的聚酰胺酸的手段沒(méi)有特別限制，例如，可以使用在有機(jī)溶劑中使酸、二胺成分進(jìn)行反應(yīng)的方法等已知的方法。

四羧酸二酐與二胺的反應(yīng)通常在有機(jī)溶劑中進(jìn)行。對(duì)于四羧酸二酐與二胺的反應(yīng)中使用的有機(jī)溶劑而言，只要是能夠使四羧酸二酐及二胺溶解、且不與四羧酸二酐及二胺反應(yīng)的有機(jī)溶劑即可，沒(méi)有特別限定。有機(jī)溶劑可以單獨(dú)使用或混合2種以上而使用。

作為四羧酸二酐與二胺的反應(yīng)中使用的有機(jī)溶劑的例子，可舉出N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N-甲基己內(nèi)酰胺、N,N,N’,N’-四甲基脲等含氮極性溶劑；β-丙內(nèi)酯、γ-丁內(nèi)酯、γ-戊內(nèi)酯、δ-戊內(nèi)酯、γ-己內(nèi)酯、ε-己內(nèi)酯等內(nèi)酯系極性溶劑；二甲基亞砜；乙腈；乳酸乙酯、乳酸丁酯等脂肪酸酯類；二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二氧雜環(huán)己烷、四氫呋喃、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯等醚類；甲酚類等酚系溶劑。這些有機(jī)溶劑可以單獨(dú)使用或混合2種以上而使用。有機(jī)溶劑的使用量沒(méi)有特別限制，但優(yōu)選使生成的聚酰胺酸的含量為5～50質(zhì)量％。

這些有機(jī)溶劑中，從生成的聚酰胺酸的溶解性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N-甲基己內(nèi)酰胺、N,N,N’,N’-四甲基脲等含氮極性溶劑。

聚合溫度一般為-10～120℃，優(yōu)選為5～30℃。聚合時(shí)間根據(jù)使用的原料組成的不同而不同，但通常為3～24Hr(小時(shí))。此外，在這樣的條件下得到的聚酰胺酸的有機(jī)溶劑溶液的固有粘度優(yōu)選為1000～10萬(wàn)cP(厘泊)的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為5000～7萬(wàn)cP的范圍。

<聚酰亞胺>

對(duì)于本實(shí)施方式中使用的聚酰亞胺而言，只要是能夠溶解在用于涂布液的有機(jī)溶劑中的可溶性聚酰亞胺，則對(duì)其結(jié)構(gòu)、分子量沒(méi)有限定，可以使用已知的聚酰亞胺。關(guān)于聚酰亞胺，可以在側(cè)鏈上具有羧基等能夠縮合的官能團(tuán)或在燒成時(shí)能促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)等的官能團(tuán)。

為了形成可溶于有機(jī)溶劑的聚酰亞胺，使用用于在主鏈上導(dǎo)入柔軟的彎曲結(jié)構(gòu)的單體，例如，使用乙二胺、六亞甲基二胺、1,4-二氨基環(huán)己烷、1,3-二氨基環(huán)己烷、4,4’-二氨基二環(huán)己基甲烷等脂肪族二胺；2-甲基-1,4-苯二胺、鄰聯(lián)甲苯胺、間聯(lián)甲苯胺、3,3’-二甲氧基聯(lián)苯胺、4,4’-二氨基苯甲酰苯胺等芳香族二胺；聚氧乙烯二胺、聚氧丙烯二胺、聚氧丁烯二胺等聚氧化烯二胺；聚硅氧烷二胺；2,3,3’,4’-氧雙鄰苯二甲酸酐、3,4,3’,4’-氧雙鄰苯二甲酸酐、2,2-雙(4-羥基苯基)丙烷二苯甲酸酯基-3,3’,4,4’-四甲酸二酐等是有效的。此外，使用具有提高在有機(jī)溶劑中的溶解性的官能團(tuán)的單體、例如使用2,2’-雙(三氟甲基)-4,4’-二氨基聯(lián)苯、2-三氟甲基-1,4-苯二胺等氟化二胺也是有效的。此外，除了上述用于提高聚酰亞胺的溶解性的單體以外，還可以在不妨礙溶解性的范圍內(nèi)，并用與上述<聚酰胺酸>欄中記載的單體相同的單體。

對(duì)本發(fā)明中使用的、制造能夠溶解于有機(jī)溶劑中的聚酰亞胺的手段沒(méi)有特別限制，例如可以使用下述已知的方法：針對(duì)聚酰胺酸進(jìn)行化學(xué)酰亞胺化或加熱酰亞胺化，并使其溶解于有機(jī)溶劑中的方法等。作為這樣的聚酰亞胺，可舉出脂肪族聚酰亞胺(全脂肪族聚酰亞胺)、芳香族聚酰亞胺等，優(yōu)選芳香族聚酰亞胺。作為芳香族聚酰亞胺，可以為將具有式(1)表示的重復(fù)單元的聚酰胺酸經(jīng)熱或化學(xué)性閉環(huán)反應(yīng)而獲得的物質(zhì)、或者將具有式(2)表示的重復(fù)單元的聚酰亞胺溶解于溶劑中而得到的物質(zhì)。式中，Ar表示芳基。

<聚酰胺酰亞胺>

對(duì)于本實(shí)施方式中使用的聚酰胺酰亞胺而言，只要是能夠溶解在用于涂布液的有機(jī)溶劑中的可溶性聚酰胺酰亞胺，則對(duì)其結(jié)構(gòu)、分子量沒(méi)有限定，可以使用已知的聚酰胺酰亞胺。關(guān)于聚酰胺酰亞胺，可以在側(cè)鏈上具有羧基等能夠縮合的官能團(tuán)或在燒成時(shí)能促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)等的官能團(tuán)。

本實(shí)施方式中使用的聚酰胺酰亞胺可以不受特別限定地使用下述物質(zhì)：使任意的偏苯三酸酐和二異氰酸酯反應(yīng)而得到的物質(zhì)、將通過(guò)任意的偏苯三酸酐的反應(yīng)性衍生物與二胺的反應(yīng)而得到的前體聚合物進(jìn)行酰亞胺化而得到的物質(zhì)。

作為上述任意的偏苯三酸酐或其反應(yīng)性衍生物，可舉出例如偏苯三酸酐、偏苯三酸酐氯化物等偏苯三酸酐鹵化物、偏苯三酸酐酯等。

作為二異氰酸酯，可舉出例如間苯二異氰酸酯、對(duì)苯二異氰酸酯、4,4’-氧化雙(苯基異氰酸酯)、4,4’-二異氰酸酯二苯基甲烷、雙[4-(4-異氰酸酯苯氧基)苯基]砜、2,2’-雙[4-(4-異氰酸酯苯氧基)苯基]丙烷等。

作為二胺，可舉出與在上述聚酰胺酸的說(shuō)明中例示的二胺相同的二胺。

<聚酰胺>

作為聚酰胺，優(yōu)選由二羧酸和二胺得到的聚酰胺，特別優(yōu)選芳香族聚酰胺。

作為二羧酸，可舉出馬來(lái)酸、富馬酸、衣康酸、甲基馬來(lái)酸、二甲基馬來(lái)酸、苯基馬來(lái)酸、氯代馬來(lái)酸、二氯代馬來(lái)酸、氟代馬來(lái)酸、鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、及聯(lián)苯甲酸等。

作為二胺，可舉出與在上述聚酰胺酸的說(shuō)明中例示的二胺相同的二胺。

<微粒>

接下來(lái)，對(duì)微粒進(jìn)行說(shuō)明。對(duì)微粒而言，可使用例如圓球率高、粒徑分布指數(shù)小的微粒。這樣的微粒在液體中的分散性優(yōu)異，成為不彼此凝集的狀態(tài)。作為微粒的粒徑(平均直徑)，例如，可設(shè)定為100～2000nm左右。通過(guò)使用如上所述的微粒，能夠使通過(guò)在后續(xù)的工序中除去微粒而得到的多孔性樹(shù)脂膜F的孔徑一致。因此，能夠使向利用多孔性樹(shù)脂膜F形成的隔膜施加的電場(chǎng)均勻。

需要說(shuō)明的是，作為微粒的材質(zhì)，只要是在涂布液所含有的溶劑中不溶、且在后續(xù)的工序中能夠從多孔性樹(shù)脂膜F中除去的材質(zhì)，則可以不受特別限定地采用已知的材質(zhì)。例如，無(wú)機(jī)材料中，可舉出二氧化硅(silica)、氧化鈦、氧化鋁(Al₂O₃)等金屬氧化物。此外，有機(jī)材料中，可舉出高分子量烯烴(聚丙烯、聚乙烯等)、聚苯乙烯、環(huán)氧樹(shù)脂、纖維素、聚乙烯醇、聚乙烯醇縮丁醛、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚醚等有機(jī)高分子微粒。此外，作為微粒的一個(gè)例子，可舉出(單分散)球形二氧化硅粒子等膠體二氧化硅、碳酸鈣等。該情況下，能夠使多孔性樹(shù)脂膜F的孔徑更均勻。

此外，對(duì)于第一涂布液中包含的微粒和第二涂布液中包含的微粒而言，圓球率、粒徑、材料等各種規(guī)格可以相同，也可以彼此不同。優(yōu)選地，第一涂布液中包含的微粒的粒徑分布指數(shù)比第二涂布液中包含的微粒小或者與之相同?；蛘?，優(yōu)選地，第一涂布液中包含的微粒的圓球率比第二涂布液中包含的微粒小或者與之相同。此外，優(yōu)選地，第一涂布液中包含的微粒與第二涂布液中包含的微粒相比微粒的粒徑(平均直徑)更小，特別優(yōu)選地，第一涂布液中包含的微粒為100～1000nm(更優(yōu)選為100～600nm)，第二涂布液中包含的微粒為500～2000nm(更優(yōu)選為700～2000nm)。通過(guò)采用比第二涂布液中包含的微粒的粒徑小的粒徑作為第一涂布膜中包含的微粒的粒徑，能夠使多孔性樹(shù)脂膜F表面的孔的開(kāi)口比例高且均勻。此外，與使多孔性樹(shù)脂膜F整體為第一涂布液中包含的微粒的粒徑的情況相比，還能夠提高膜的強(qiáng)度。

需要說(shuō)明的是，對(duì)于上述涂布液而言，除了包含規(guī)定的樹(shù)脂材料、微粒和溶劑之外，還可以根據(jù)需要而包含脫模劑、分散劑、縮合劑、酰亞胺化劑、表面活性劑等各種添加劑。

[涂布單元]

本實(shí)施方式涉及的涂布單元10具有輸送部11、第一噴嘴(第一涂布部)12、第二噴嘴(第二涂布部)13、干燥部14、主加熱部(加熱部)15、副加熱部(加熱部)16和剝離部17。

輸送部11具有帶狀基材(基材)S1、基材送出輥11a、支承輥(第一輥)11b、支承輥(第二輥)11c、支承輥11d、基材卷繞輥11e和輸出輥11f。

帶狀基材S1是以帶狀形成的。將帶狀基材S1從基材送出輥11a送出，以具有張力的方式架設(shè)于支承輥11b～11d，利用基材卷繞輥11e進(jìn)行卷繞。因此，帶狀基材S1的下表面S1b由支承輥11b～11d所引導(dǎo)。作為帶狀基材S1的材質(zhì)，可舉出例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)等，但并不限定于此，也可以為不銹鋼等金屬材料。

各輥11a～11f例如形成為圓筒狀，各自沿X方向平行地配置。需要說(shuō)明的是，各輥11a～11f并不限定于沿X方向平行的配置，也可以將至少1個(gè)輥以相對(duì)于X方向傾斜的方式配置。例如，也可以將各輥11a～11f沿Z方向平行地配置，以Z方向上的高度位置相同的方式配置。該情況下，帶狀基材S1將以相對(duì)于水平面(XY平面)豎立的狀態(tài)沿著水平面移動(dòng)。

基材送出輥11a以卷繞有帶狀基材S1的狀態(tài)而配置。支承輥11b被配置于基材送出輥11a的+Z側(cè)，并且被配置于比基材送出輥11a更靠-Y側(cè)。此外，支承輥11c被配置于支承輥11b的+Z側(cè)，并且被配置于比支承輥11b更靠+Y側(cè)。通過(guò)這3個(gè)輥(基材送出輥11a、支承輥11b、11c)的配置，帶狀基材S1由包含支承輥11b的-Y側(cè)端部的面所支撐。

此外，支承輥11d被配置于支承輥11c的+Y側(cè)，并且被配置于支承輥11c的-Z側(cè)。該情況下，通過(guò)支承輥11b～11d這3個(gè)輥的配置，帶狀基材S1由包含支承輥11c的+Z側(cè)端部的面所支撐。

需要說(shuō)明的是，也可將支承輥11d配置在與支承輥11c的高度位置(Z方向上的位置)大致相等的高度位置。該情況下，帶狀基材S1是以與XY平面大致平行的狀態(tài)沿+Y方向從支承輥11c向支承輥11d輸送的。

基材卷繞輥11e被配置于支承輥11d的-Z側(cè)。帶狀基材S1是沿-Z方向從支承輥11d向基材卷繞輥11e輸送的。輸出輥11f被配置于支承輥11d的+Y側(cè)且-Z側(cè)。輸出輥11f將利用主加熱部15形成的未燒成膜FA沿+Y方向輸送。該未燒成膜FA被輸出輥11f輸出至涂布單元10的外部。

需要說(shuō)明的是，上述的輥11a～11f不限于圓筒形，也可以形成有圓錐型的冠頂(crown)。該情況下，對(duì)于輥11a～11f的撓性校正而言是有效的，帶狀基材S1或下文所述的未燒成膜FA能夠與輥11a～11f均等地接觸。此外，在輥11a～11f上可以形成有輻射型的冠頂。該情況下，對(duì)于防止帶狀基材S1或未燒成膜FA的曲折而言是有效的。此外，在輥11a～11f上也可以形成有凹型的冠頂(X方向上的中央部以凹形彎曲的部分)。該情況下，能夠在沿X方向賦予張力的同時(shí)對(duì)帶狀基材S1或未燒成膜FA加以輸送，因此，對(duì)于防止褶皺的產(chǎn)生而言是有效的。對(duì)于以下的輥而言，也可以與上述同樣地為具有圓錐型、輻射型、凹型等的冠頂?shù)臉?gòu)成。

圖2(a)為示出第一噴嘴12的一個(gè)例子的立體圖。如圖1及圖2(a)所示，第一噴嘴12在帶狀基材S1的上表面S1a上形成第一涂布液Q1的涂布膜(以下，記為第一涂布膜F1)。第一噴嘴12具有噴出第一涂布液Q1的噴出口12a。噴出口12a以例如長(zhǎng)度方向上的尺寸與帶狀基材S1的X方向上的尺寸大致相同的方式而形成。

第一噴嘴12被配置于噴出位置P1。噴出位置P1為相對(duì)于支承輥11b的-Y方向上的位置。第一噴嘴12以噴出口12a朝向+Y方向的方式而傾斜配置。因此，噴出口12a朝向帶狀基材S1中的被支承輥11b的-Y側(cè)端部支撐的部分。第一噴嘴12針對(duì)該帶狀基材S1的上表面S1a，沿水平方向(Y方向)從噴出口12a噴出第一涂布液Q1。

第一噴嘴12例如以能夠沿Y方向移動(dòng)的方式形成。因此，第一噴嘴12能夠向相對(duì)于帶狀基材S1靠近的方向(+Y方向)及遠(yuǎn)離的方向(-Y方向)移動(dòng)。此外，第一噴嘴12也可以是能夠沿X方向或Z方向移動(dòng)的。此外，也可將第一噴嘴12設(shè)置為能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)。

圖2(b)為示出第二噴嘴13的一個(gè)例子的立體圖。如圖1及圖2(b)所示，第二噴嘴13在帶狀基材S1上以與第一涂布膜F1重疊的方式形成第二涂布液Q2的涂布膜(以下，記為第二涂布膜F2)。第二噴嘴13具有噴出第二涂布液Q2的噴出口13a。噴出口13a以例如長(zhǎng)度方向上的尺寸與帶狀基材S1的X方向上的尺寸大致相同的方式而形成。

第二噴嘴13被配置于噴出位置P2。噴出位置P2為與支承輥11c對(duì)應(yīng)的位置，且為相對(duì)于支承輥11c的+Z方向上的位置。第二噴嘴13以噴出口13a朝向-Z方向的方式而配置。因此，噴出口13a朝向帶狀基材S1中的被支承輥11c的+Z側(cè)端部支撐的部分。第二噴嘴13針對(duì)該帶狀基材S1，沿重力方向(Z方向)從噴出口13a噴出第二涂布液Q2。因此，第一噴嘴12及第二噴嘴13以各自的噴出方向(水平方向及重力方向：涂布方向)相互交叉的方式而配置。

第二噴嘴13以能夠沿例如Z方向移動(dòng)的方式形成。因此，第二噴嘴13能夠向相對(duì)于帶狀基材S1靠近的方向(-Z方向)及遠(yuǎn)離的方向(+Z方向)移動(dòng)。此外，第二噴嘴13也可以是能夠沿X方向或Y方向移動(dòng)的。此外，也可將第二噴嘴13設(shè)置為能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)。

需要說(shuō)明的是，第一噴嘴12及第二噴嘴13也可按下述方式設(shè)置：在不噴出涂布液時(shí)，被配置于未圖示的待機(jī)位置，在噴出涂布液時(shí)，從待機(jī)位置分別移動(dòng)至上述的噴出位置P1、P2。此外，也可設(shè)置進(jìn)行第一噴嘴12及第二噴嘴13的預(yù)備噴出動(dòng)作的部分。

第一噴嘴12及第二噴嘴13分別介由連接配管(未圖示)等而與涂布液供給源(未圖示)連接。對(duì)于第一噴嘴12及第二噴嘴13而言，例如可在內(nèi)部設(shè)置有保持規(guī)定量的涂布液的保持部(未圖示)。該情況下，第一噴嘴12及第二噴嘴13還可以具有對(duì)保持在上述保持部中的液狀體的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)溫部。

對(duì)于從第一噴嘴12或第二噴嘴13噴出的各涂布液的涂出量、第一涂布膜F1或第二涂布膜F2的膜厚，可以通過(guò)各噴嘴、各連接配管(未圖示)、或與涂布液供給源(未圖示)連接的泵(未圖示)的壓力、輸送速度、各噴嘴位置或帶狀基材S1與噴嘴的距離等來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)。第一涂布膜F1或第二涂布膜F2的膜厚例如分別為0.5μm～500μm。

如本實(shí)施方式這樣使用2種涂布液(第一涂布液Q1及第二涂布液Q2)的情況下，優(yōu)選的是，在例如0.5μm～10μm的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)由第一涂布液Q1形成的第一涂布膜F1的膜厚，在例如1μm～50μm的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)由第二涂布液Q2形成的第二涂布膜F2的膜厚。

干燥部14被配置在第一噴嘴12及第二噴嘴13之間。干燥部14使在帶狀基材S1上形成的第一涂布膜F1干燥。通過(guò)在使第一涂布膜F1干燥之后形成第二涂布膜F2，從而例如能夠抑制用于第二涂布液中的微粒與第一涂布膜F1中的微?；祀s。

圖3(a)及(b)為示出干燥部14的一個(gè)例子的圖。如圖3(a)及(b)所示，干燥部14具有氣體供給部14a、噴氣噴嘴14b、排氣框架(frame)14c和安裝部14d。

氣體供給部14a根據(jù)需要將氣體加熱至規(guī)定溫度，并將其向噴氣噴嘴14b供給。氣體供給部14a具有例如對(duì)氣體進(jìn)行加熱的紅外線加熱器、和對(duì)加熱后的氣體加以輸送的氣體送出部。需要說(shuō)明的是，氣體的加熱溫度為例如50℃～150℃的范圍，優(yōu)選為50℃～100℃的范圍。需要說(shuō)明的是，也可以將氣體不經(jīng)加熱地從噴氣噴嘴14b噴出。此外，對(duì)于從氣體供給部14a供給的氣體的流量，根據(jù)帶狀基材S1的輸送速度、帶狀基材S1的寬度等進(jìn)行適宜調(diào)節(jié)即可。

噴氣噴嘴14b將從氣體供給部14a供給的氣體向第一涂布膜F1噴出。噴氣噴嘴14b以長(zhǎng)邊在X方向上的方式形成。噴氣噴嘴14b具有連接部14e。連接部14e被設(shè)置于噴氣噴嘴14b的+Z側(cè)的端面。噴氣噴嘴14b介由連接部14e與氣體供給部14a連接。

此外，噴氣噴嘴14b具有將氣體噴出的噴出口14f。噴出口14f是以狹縫(slit)狀形成的。噴出口14f的長(zhǎng)度方向?yàn)閄方向。噴氣噴嘴14b具有長(zhǎng)邊在X方向上的中空部。噴氣噴嘴14b中形成為使得：來(lái)自氣體供給部14a的氣體在X方向上擴(kuò)散，從噴出口14f的X方向的整體范圍上噴出。

噴出口14f是以長(zhǎng)度方向(X方向)上的尺寸與帶狀基材S1的寬度(X方向上的尺寸)大致相等的方式而形成的。需要說(shuō)明的是，噴出口14f的長(zhǎng)度方向上的尺寸可以形成為比帶狀基材S1的寬度大，也可以形成為比帶狀基材S1的寬度小。噴氣噴嘴14b中設(shè)置有噴出調(diào)節(jié)板14g。噴出調(diào)節(jié)板14g能夠?qū)姵隹?4f的開(kāi)口寬度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

如圖3(b)所示，排氣框架14c以包圍噴氣噴嘴14b的方式而配置。排氣框架14c以在其與噴氣噴嘴14b之間空出空隙14h的方式而配置。排氣框架14c以下述方式固定：以在其與噴氣噴嘴14b之間形成有空隙14h的狀態(tài)與噴氣噴嘴14b成為一體。

排氣框架14c具有吸入口14i及排氣口14j。吸入口14i朝向第一涂布膜F1側(cè)(帶狀基材S1側(cè))。吸入口14i與排氣口14j之間介由空隙14h而連通。此外，排氣口14j形成在排氣框架14c的+Z側(cè)的端面上。在X方向上并列配置有多個(gè)排氣口14j。本實(shí)施方式中，排氣口14j被設(shè)置于2個(gè)位置。排氣口14j中連接有排氣管。該排氣管中連接有抽吸泵等抽吸源(未圖示)。通過(guò)驅(qū)動(dòng)該抽吸源，從而排氣管成為負(fù)壓。由此，第一涂布膜F1的表面的氣體從吸入口14i被抽吸至空隙14h中。此外，被抽吸至空隙14h中的氣體介由排氣管從排氣口14j排出。因此，能夠防止從噴出口14f噴出的氣體向第一噴嘴12側(cè)或第二噴嘴13側(cè)漏出，能夠抑制噴出口12a及13a干燥。

安裝部14d被安裝于框架(未圖示)而進(jìn)行固定。如圖3(a)所示，安裝部14d以沿X方向夾住帶狀基材S1的方式而配置。因此，成為能夠防止從噴出口14f噴出的氣體從X方向漏出的構(gòu)成。

接著，如圖1所示，主加熱部15被配置于第二噴嘴13的+Y側(cè)的、位于支承輥11c和支承輥11d之間的位置。主加熱部15對(duì)涂布于帶狀基材S1上的第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的層疊體F3進(jìn)行加熱而使其干燥，從而形成未燒成膜FA。

主加熱部15具有腔室15a和加熱器15b。腔室15a收容帶狀基材S1及加熱器15b。腔室15a沿著帶狀基材S1的輸送方向、以+Y側(cè)的端部向-Z側(cè)傾斜的方式而配置。腔室15a上設(shè)置有排氣通道(duct)15c。排氣通道15c中連接有排氣管(未圖示)。腔室15a內(nèi)的氣體介由排氣通道15c及排氣管而向外部排出。

加熱器15b對(duì)第一涂布膜F1及第二涂布膜F2進(jìn)行加熱。作為加熱器15b，可使用例如紅外線加熱器等。加熱器15b以30℃～100℃左右的溫度對(duì)涂布膜進(jìn)行加熱。此外，加熱器15b也可以設(shè)置為在Y方向上劃分成多個(gè)區(qū)域進(jìn)行加熱。

副加熱部16對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行加熱，以使得在主加熱部15中形成的未燒成膜FA變得容易從帶狀基材S1剝離。副加熱部16將氣體加熱至規(guī)定溫度，并吹噴至未燒成膜FA。副加熱部16中的氣體的加熱溫度設(shè)定為使將未燒成膜FA從帶狀基材S1剝離變易的溫度。雖然在圖1中副加熱部16與主加熱部15獨(dú)立而存在，但也可設(shè)置于主加熱部15的內(nèi)部。

剝離部17是將未燒成膜FA從帶狀基材S1剝離的部分。本實(shí)施方式中，通過(guò)操作者的手工操作來(lái)進(jìn)行未燒成膜FA的剝離，但并不限定于此，也可以使用機(jī)械手(manipulator)等自動(dòng)地進(jìn)行。此外，自動(dòng)地進(jìn)行剝離時(shí)，可配置形成有能夠?qū)⑽礋赡A從帶狀基材S1剝離的刀具的剝離用構(gòu)件等。將從帶狀基材S1剝離的未燒成膜FA利用輸出輥11f輸出至涂布單元10的外部，并輸送至卷繞部40。此外，將剝離未燒成膜FA后的帶狀基材S1利用基材卷繞輥11e進(jìn)行卷繞。

[卷繞部(1)]

圖4為示意性地示出涂布單元10的+Y側(cè)的構(gòu)成的立體圖。

如圖4所示，在涂布單元10的+Y側(cè)，設(shè)置有將未燒成膜FA輸出的輸出口10b。將從輸出口10b輸出的未燒成膜FA利用卷繞部40進(jìn)行卷繞。

卷繞部40構(gòu)成為在軸承41中安裝有軸構(gòu)件SF。軸構(gòu)件SF將從輸出口10b輸出的未燒成膜FA進(jìn)行卷繞而形成卷狀體R。軸構(gòu)件SF設(shè)置為能針對(duì)軸承41進(jìn)行裝卸。軸構(gòu)件SF被安裝于軸承41中時(shí)，其以能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)的方式而被支撐。卷繞部40具有使安裝于軸承41中的軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)。

需要說(shuō)明的是，卷繞部40中，以未燒成膜FA中的第一涂布膜F1側(cè)的面配置于外側(cè)的方式對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行卷繞。例如，通過(guò)利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使軸構(gòu)件SF沿圖1的逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，從而使得未燒成膜FA被卷繞。通過(guò)以形成了卷狀體R的狀態(tài)將軸構(gòu)件SF從軸承41卸下，從而能夠使卷狀體R移動(dòng)至其他的單元。

[送出部]

圖5為示意性地示出燒成單元20的-Y側(cè)的構(gòu)成的立體圖。

如圖5所示，在燒成單元20的-Y側(cè)，設(shè)置有將未燒成膜FA輸入的輸入口20a。送出部50針對(duì)輸入口20a送出未燒成膜FA。

送出部50構(gòu)成為可在軸承51中安裝軸構(gòu)件SF。軸構(gòu)件SF能夠與安裝于卷繞部40的軸承41中的軸構(gòu)件SF通用。因此，能夠?qū)木砝@部40卸下的軸構(gòu)件SF安裝于送出部50的軸承51中。由此，能夠?qū)⒗镁砝@部40而形成的卷狀體R配置于送出部50。需要說(shuō)明的是，對(duì)于軸承51及卷繞部40的軸承41而言，可以設(shè)定為各自距離臺(tái)面的高度相等，也可以設(shè)定在高度不同的位置。

軸構(gòu)件SF被安裝于軸承51中時(shí)，其以能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)的方式而被支撐。送出部50具有使安裝于軸承51中的軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)。通過(guò)利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使軸構(gòu)件SF沿圖1的順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，從而使得構(gòu)成卷狀體R的未燒成膜FA向輸入口20a送出。需要說(shuō)明的是，由于在上述的卷繞部40中，以未燒成膜FA中的第一涂布膜F1側(cè)的面配置于外側(cè)的方式對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行卷繞，因此，在從卷狀體R中將未燒成膜FA拉出時(shí)，第一涂布膜F1側(cè)將被配置于上方。

[燒成單元]

在本實(shí)施方式中，燒成單元20為對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行高溫處理的單元。燒成單元20對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行燒成，從而形成包含微粒的燒成膜FB。燒成單元20具有腔室21、加熱部22和輸送部23。腔室21具有將未燒成膜FA輸入的輸入口20a、和將燒成膜FB輸出的輸出口20b。腔室21收容加熱部22及輸送部23。

加熱部22對(duì)輸入至腔室31內(nèi)的未燒成膜FA進(jìn)行加熱。加熱部22具有在Y方向上并列配置的多個(gè)加熱器22a。作為該加熱器22a，可以使用例如紅外線加熱器等。加熱部22遍及從腔室21的內(nèi)部的-Y側(cè)端部至+Y側(cè)端部的范圍而配置。加熱部22能夠在Y方向的大致整體范圍內(nèi)對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行加熱。加熱部22可以于120℃～450℃左右對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行加熱。利用加熱部22進(jìn)行加熱的加熱溫度根據(jù)未燒成膜FA的輸送速度、未燒成膜FA的構(gòu)成成分等來(lái)進(jìn)行適宜調(diào)節(jié)。

輸送部23具有輸送帶23a、驅(qū)動(dòng)輥23b、從動(dòng)輥23c和張力輥23d、23e。輸送帶23a是以無(wú)端狀形成的，沿Y方向配置。輸送帶23a是使用對(duì)未燒成膜FA的燒成溫度具有耐久性的材料而形成的。輸送帶23a在具有張力的狀態(tài)下以與XY平面大致平行的方式架設(shè)于驅(qū)動(dòng)輥23b和從動(dòng)輥23c之間。將未燒成膜FA及燒成膜FB以載置于輸送帶23a上的狀態(tài)沿+Y方向輸送。

驅(qū)動(dòng)輥23b被配置于腔室21的內(nèi)部的+Y側(cè)端部。驅(qū)動(dòng)輥23b例如形成為圓筒狀，與X方向平行地配置。在驅(qū)動(dòng)輥23b中設(shè)置有例如馬達(dá)(motor)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置。驅(qū)動(dòng)輥23b設(shè)置為：通過(guò)該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)。通過(guò)驅(qū)動(dòng)輥23b旋轉(zhuǎn)，使得輸送帶23a沿圖1的順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。通過(guò)輸送帶23a旋轉(zhuǎn)，從而將載置于輸送帶23a上的未燒成膜FA及燒成膜FB沿+Y方向輸送。

從動(dòng)輥23c被配置于腔室21的內(nèi)部的-Y側(cè)端部。從動(dòng)輥23c例如形成為圓筒狀，與X方向平行地配置。從動(dòng)輥23c以與驅(qū)動(dòng)輥23b相同的直徑而形成，以Z方向上的位置(高度位置)與驅(qū)動(dòng)輥23b大致相等的方式配置。從動(dòng)輥23c設(shè)置為能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)。從動(dòng)輥23c追隨輸送帶23a的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

張力輥23d被配置于從動(dòng)輥23c的+Z側(cè)。張力輥23d與X方向平行地配置，且設(shè)置為能夠圍繞著X軸旋轉(zhuǎn)。張力輥23d設(shè)置為能夠沿Z方向進(jìn)行上下移動(dòng)。張力輥23d能夠在其與從動(dòng)輥23c之間夾住未燒成膜FA。張力輥23d能夠以?shī)A住未燒成膜FA的狀態(tài)而旋轉(zhuǎn)。

張力輥23e被配置于驅(qū)動(dòng)輥23b的+Z側(cè)。張力輥23e與X方向平行地配置，且設(shè)置為能夠圍繞著X軸旋轉(zhuǎn)。張力輥23e設(shè)置為能夠沿Z方向進(jìn)行上下移動(dòng)。張力輥23e能夠在其與驅(qū)動(dòng)輥23b之間夾住燒成膜FB。張力輥23e能夠以?shī)A住燒成膜FB的狀態(tài)而旋轉(zhuǎn)。

通過(guò)形成為張力輥23d、23e在各自與從動(dòng)輥23c及驅(qū)動(dòng)輥23b之間分別夾住未燒成膜FA及燒成膜FB的狀態(tài)，從而在不間斷的未燒成膜FA及燒成膜FB中的被夾住的2個(gè)位置之間的部分中，來(lái)自外部的張力將被削弱。由此，能夠防止對(duì)未燒成膜FA及燒成膜FB施加過(guò)度的負(fù)荷。可以對(duì)張力輥23d、23e進(jìn)行調(diào)節(jié)以使得不向配置于腔室21內(nèi)的未燒成膜FA及燒成膜FB施加張力。

[除去單元]

除去單元30具有腔室31、浸蝕部32、清洗部33、干燥部34和輸送部35。腔室31具有將燒成膜FB輸入的輸入口30a、和將多孔性樹(shù)脂膜F輸出的輸出口30b。腔室31收容浸蝕部32、清洗部33、干燥部34及輸送部35。

浸蝕部32對(duì)燒成膜FB進(jìn)行浸蝕，將燒成膜FB中包含的微粒除去，從而形成多孔性樹(shù)脂膜F。浸蝕部32中，通過(guò)將燒成膜FB浸漬于能夠?qū)⑽⒘Ｈ芙饣蚍纸獾慕g液中從而除去微粒。浸蝕部32中設(shè)置有供給這樣的浸蝕液的供給部(未圖示)、能夠儲(chǔ)存浸蝕液的儲(chǔ)存部。

清洗部33對(duì)浸蝕后的多孔性樹(shù)脂膜F進(jìn)行清洗。清洗部33被配置于浸蝕部32的+Y側(cè)(多孔性樹(shù)脂膜F的輸送方向的前方)。清洗部33具有供給清洗液的供給部(未圖示)。此外，還可以具有對(duì)清洗多孔性樹(shù)脂膜F后的廢液進(jìn)行回收的回收部(未圖示)、進(jìn)行多孔性樹(shù)脂膜F的排液的排液部(未圖示)等。

干燥部34對(duì)清洗后的多孔性樹(shù)脂膜F進(jìn)行干燥。干燥部34被配置于清洗部33的+Y側(cè)(多孔性樹(shù)脂膜F的輸送方向的前方)。干燥部34中設(shè)置有對(duì)多孔性樹(shù)脂膜F進(jìn)行加熱的加熱部等。

輸送部35經(jīng)過(guò)浸蝕部32、清洗部33及干燥部34而輸送燒成膜FB及多孔性樹(shù)脂膜F。輸送部35具有輸送帶35a、驅(qū)動(dòng)輥35b和從動(dòng)輥35c。需要說(shuō)明的是，除了驅(qū)動(dòng)輥35b及從動(dòng)輥35c以外，還可以在浸蝕部32、清洗部33、干燥部34的內(nèi)部配置支撐輸送帶35a的支承輥。

輸送帶35a是以無(wú)端狀形成的，沿Y方向配置。輸送帶35a是使用對(duì)上述浸蝕液具有耐久性的材料而形成的。輸送帶35a在具有張力的狀態(tài)下以與XY平面大致平行的方式架設(shè)于驅(qū)動(dòng)輥35b和從動(dòng)輥35c之間。燒成膜FB及多孔性樹(shù)脂膜F載置于輸送帶35a上。

驅(qū)動(dòng)輥35b被配置于腔室31的內(nèi)部的+Y側(cè)端部。驅(qū)動(dòng)輥35b例如形成為圓筒狀，與X方向平行地配置。在驅(qū)動(dòng)輥35b中設(shè)置有例如馬達(dá)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置。驅(qū)動(dòng)輥35b設(shè)置為：通過(guò)該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)。通過(guò)驅(qū)動(dòng)輥35b旋轉(zhuǎn)，使得輸送帶35a沿圖1的順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。通過(guò)輸送帶35a旋轉(zhuǎn)，從而將載置于輸送帶35a上的燒成膜FB及多孔性樹(shù)脂膜F沿+Y方向輸送。

從動(dòng)輥35c被配置于腔室31的內(nèi)部的-Y側(cè)端部。從動(dòng)輥35c例如形成為圓筒狀，與X方向平行地配置。從動(dòng)輥35c以與驅(qū)動(dòng)輥35b相同的直徑而形成，以Z方向上的位置(高度位置)與驅(qū)動(dòng)輥35b大致相等的方式配置。從動(dòng)輥35c設(shè)置為能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)。從動(dòng)輥35c追隨輸送帶35a的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。

需要說(shuō)明的是，對(duì)于除去單元30而言，并不限定于通過(guò)浸蝕而將微粒除去的情況。例如，使用與聚酰亞胺相比能在更低的溫度下分解的有機(jī)材料作為微粒的材質(zhì)的情況下，可以通過(guò)對(duì)燒成膜FB進(jìn)行加熱從而使微粒分解。作為這樣的有機(jī)材料，只要是與聚酰亞胺相比能在更低的溫度下分解的有機(jī)材料，則可不受特別限定地使用。例如，可舉出由線性聚合物、已知的解聚性聚合物形成的樹(shù)脂微粒。通常的線性聚合物在熱分解時(shí)聚合物的分子鏈會(huì)被隨機(jī)地切斷，解聚性聚合物是在熱分解時(shí)聚合物分解成單體的聚合物。兩者均通過(guò)分解至成為低分子量體或CO₂而從燒成膜FB中消失。該情況下的微粒的分解溫度優(yōu)選為200～320℃，更優(yōu)選為230～260℃。若分解溫度為200℃以上，則即使在涂布液中使用了高沸點(diǎn)溶劑的情況下也能夠進(jìn)行成膜，燒成單元20中的燒成條件的選擇幅度變寬。此外，若分解溫度低于320℃，則能夠不對(duì)燒成膜FB施以熱損傷地僅使微粒消失。

[卷繞部(2)]

圖6為示意性地示出除去單元30的+Y側(cè)的構(gòu)成的立體圖。

如圖6所示，在除去單元30的+Y側(cè)，設(shè)置有將多孔性樹(shù)脂膜F輸出的輸出口30b。將從輸出口30b輸出的多孔性樹(shù)脂膜F利用卷繞部60進(jìn)行卷繞。

卷繞部60構(gòu)成為在軸承61中安裝有軸構(gòu)件SF。軸構(gòu)件SF將從輸出口30b輸出的多孔性樹(shù)脂膜F卷繞而形成卷狀體RF。軸構(gòu)件SF設(shè)置為能針對(duì)軸承61進(jìn)行裝卸。軸構(gòu)件SF被安裝于軸承61時(shí)，其以能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)的方式而被支撐。卷繞部60具有使安裝于軸承61中的軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)。通過(guò)利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)，從而使得多孔性樹(shù)脂膜F被卷繞。通過(guò)以形成了卷狀體RF的狀態(tài)將軸構(gòu)件SF從軸承61卸下，從而能夠回收卷狀體RF。

[制造方法]

接下來(lái)，對(duì)使用如上所述地構(gòu)成的制造系統(tǒng)SYS來(lái)制造多孔性樹(shù)脂膜F的運(yùn)作的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。圖7(a)～(f)為示出多孔性樹(shù)脂膜F的制造過(guò)程的一個(gè)例子的圖。

首先，在涂布單元10中形成未燒成膜FA。在涂布單元10中，使基材送出輥11a旋轉(zhuǎn)而送出帶狀基材S1，將帶狀基材S1搭掛于支承輥11b～11d后，利用基材卷繞輥11e進(jìn)行卷繞。然后，從基材送出輥11a開(kāi)始依次送出帶狀基材S1，同時(shí)利用基材卷繞輥11e進(jìn)行卷繞。帶狀基材S1以由支承輥11b～11d引導(dǎo)下表面S1b的狀態(tài)而被輸送。

在該狀態(tài)下，使第一噴嘴12配置于第一位置P1，將噴出口12a朝向+Y方向。由此，噴出口12a朝向帶狀基材S1中的被支承輥11b支撐的部分。然后，使第一涂布液Q1從噴出口12a噴出。將第一涂布液Q1從噴出口12a向+Y方向噴出，到達(dá)帶狀基材S1后，伴隨帶狀基材S1的移動(dòng)而涂布于帶狀基材S1的上表面S1a上。由此，如圖7(a)所示，在帶狀基材S1的上表面S1a上形成由第一涂布液Q1形成的第一涂布膜F1。在第一涂布膜F1中，樹(shù)脂材料A1中以規(guī)定的體積比含有微粒A2。

第一涂布膜F1伴隨帶狀基材S1的移動(dòng)沿+Z方向移動(dòng)。第一涂布膜F1到達(dá)干燥部14時(shí)，使加熱氣體從噴氣噴嘴14b的噴出口14f噴出，從而使第一涂布膜F1的表面干燥。此外，通過(guò)使與排氣口14j連接的排氣機(jī)構(gòu)(未圖示)工作，從而介由吸入口14i、空隙14h及排氣口14j將噴射至第一涂布膜F1上的加熱氣體排出。由此，能夠防止加熱氣體漏出至第一噴嘴12側(cè)或第二噴嘴13側(cè)，能夠抑制噴出口12a及13a的干燥。

接著，使第二噴嘴12配置于第二位置P2，將噴出口13a朝向-Z方向。由此，噴出口13a朝向帶狀基材S1中的被支承輥11c支撐的部分。當(dāng)?shù)谝煌坎寄1伴隨帶狀基材S1的移動(dòng)而到達(dá)噴出口13a的-Z側(cè)時(shí)，使第二涂布液Q2從噴出口13a噴出。將第二涂布液Q2從噴出口13a向-Z方向噴出，到達(dá)形成于帶狀基材S1上的第一涂布膜F1上后，伴隨帶狀基材S1的移動(dòng)而涂布于第一涂布膜F1上。由此，如圖7(b)所示，在第一涂布膜F1上形成由第二涂布液形成的第二涂布膜F2。在第二涂布膜F2中，樹(shù)脂材料A1中以規(guī)定的體積比含有微粒A2。需要說(shuō)明的是，對(duì)于微粒含有率而言，設(shè)定為第一涂布膜F1較第二涂布膜F2大。由于利用干燥部14而使第一涂布膜F1的表面成為干燥的狀態(tài)，因此在第一涂布膜F1上、在其與第二涂布膜F2之間微粒A2等幾乎不相互混雜，能夠維持第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的微粒含有率。

需要說(shuō)明的是，由于在將噴出口12a、13a朝向帶狀基材S1中被支承輥11b、11c支撐的部分的狀態(tài)下涂布第一涂布液Q1及第二涂布液Q2，因而在第一涂布液Q1及第二涂布液Q2到達(dá)帶狀基材S1時(shí)，作用于帶狀基材S1的力由支承輥11b、11c承受。因此，能夠抑制帶狀基材S1發(fā)生撓曲、振動(dòng)等，能夠在帶狀基材S1上以均勻的厚度穩(wěn)定地形成第一涂布膜F1及第二涂布膜F2。

接著，帶狀基材S1移動(dòng)而將第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的層疊部分輸入至主加熱部15的腔室15a內(nèi)時(shí)，在主加熱部15中進(jìn)行第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的干燥。主加熱部15中，使用加熱器15b，以例如50℃～100℃左右的溫度對(duì)第一涂布膜F1及第二涂布膜F2進(jìn)行加熱。若為該溫度范圍，則能夠在帶狀基材S1中不產(chǎn)生翹曲、變形等的情況下對(duì)第一涂布膜F1及第二涂布膜F2進(jìn)行加熱。通過(guò)對(duì)第一涂布膜F1及第二涂布膜F2的層疊體進(jìn)行干燥，從而如圖7(c)所示那樣形成了未燒成膜FA。

形成未燒成膜FA后，通過(guò)帶狀基材S1的移動(dòng)而使未燒成膜FA到達(dá)副加熱部16時(shí)，使加熱至規(guī)定溫度后的氣體從副加熱部16向未燒成膜FA噴出，從而對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行加熱。由此，未燒成膜FA變得容易從帶狀基材S1剝離。

接著，帶狀基材S1移動(dòng)，未燒成膜FA的前端部分到達(dá)剝離部17時(shí)，通過(guò)例如操作者的手工操作，將該前端部分從帶狀基材S1剝離。本實(shí)施方式中，由于作為帶狀基材S1的材料使用的是例如PET，因此在使第一涂布膜F1及第二涂布膜F2干燥而形成未燒成膜FA時(shí)，變得容易從帶狀基材S1剝離，因而操作者能夠容易地進(jìn)行剝離。

將未燒成膜FA的前端部分剝離后，帶狀基材S1繼續(xù)移動(dòng)，利用第一噴嘴12形成第一涂布膜F1。此外，繼續(xù)利用第二噴嘴13形成第二涂布膜F2，并利用主加熱部15形成未燒成膜FA。由此，以帶狀形成未燒成膜FA，從主加熱部15向+Y側(cè)輸出的未燒成膜FA的長(zhǎng)度逐漸變長(zhǎng)。操作者在剝離部17中持續(xù)對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行剝離。然后，被剝離的未燒成膜FA的前端變?yōu)榈竭_(dá)卷繞部40的軸構(gòu)件SF的長(zhǎng)度時(shí)，操作者通過(guò)手工操作而將未燒成膜FA搭掛于輸出輥11f，同時(shí)將未燒成膜FA的前端部分安裝至軸構(gòu)件SF。然后，隨著未燒成膜FA依次形成并被剝離，在卷繞部40中使軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)。由此，將剝離的未燒成膜FA依次從涂布單元10中輸出，并利用卷繞部40的軸構(gòu)件SF進(jìn)行卷繞而形成卷狀體R。如圖7(d)所示，構(gòu)成卷狀體R的未燒成膜FA為從帶狀基材S1剝離的狀態(tài)，表面及背面同時(shí)露出。

需要說(shuō)明的是，對(duì)于將未燒成膜FA的前端部分剝離的操作、及將剝離的前端部分安裝于軸構(gòu)件SF的操作等而言，并不限于操作者通過(guò)手工操作而進(jìn)行的方式，例如也可使用機(jī)械手、剝離用構(gòu)件等自動(dòng)地進(jìn)行。此外，為了提高未燒成膜FA的剝離性，也可以預(yù)先在帶狀基材S1的表面形成脫模層。

將規(guī)定的長(zhǎng)度的未燒成膜FA卷繞在軸構(gòu)件SF上后，將未燒成膜FA切斷，同時(shí)將軸構(gòu)件SF連同卷狀體R一起從軸承41卸下。然后，將新的軸構(gòu)件SF安裝于卷繞部40的軸承41，將未燒成膜FA的切取端部安裝至該軸構(gòu)件SF并使其旋轉(zhuǎn)，繼續(xù)形成未燒成膜FA，由此能夠制作新的卷狀體R。

另一方面，例如操作者將從軸承41中連同卷狀體R一起卸下的軸構(gòu)件SF輸送至送出部50，并安裝于軸承51。該軸構(gòu)件SF的輸送動(dòng)作及安裝動(dòng)作也可以使用機(jī)械手、輸送裝置等自動(dòng)地進(jìn)行。將軸構(gòu)件SF安裝于軸承51后，通過(guò)使軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)，將未燒成膜FA從卷狀體R中依次拉出，并將未燒成膜FA輸入至燒成單元20的腔室21內(nèi)。需要說(shuō)明的是，在將未燒成膜FA的前端輸入至腔室21時(shí)，可以通過(guò)操作者手工操作而進(jìn)行，也可以使用機(jī)械手等自動(dòng)地進(jìn)行。

將輸入至腔室21內(nèi)的未燒成膜FA載置于輸送帶23a上，隨著輸送帶23a的旋轉(zhuǎn)而向+Y方向輸送。需要說(shuō)明的是，可以使用張力輥23d、23e對(duì)張力進(jìn)行調(diào)節(jié)。然后，在輸送未燒成膜FA的同時(shí)使用加熱部22對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行燒成。

燒成時(shí)的溫度根據(jù)未燒成膜FA的結(jié)構(gòu)的不同而不同，優(yōu)選為120℃～375℃左右，更優(yōu)選為150℃～350℃。此外，在微粒中包含有機(jī)材料的情況下，必須設(shè)定為比其熱分解溫度更低的溫度。需要說(shuō)明的是，在涂布液包含聚酰胺酸的情況下，優(yōu)選在該燒成中使其完成亞胺化，但未燒成膜FA由聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺構(gòu)成、利用燒成單元20對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行高溫處理的情況不在此限。

此外，對(duì)于燒成條件而言，例如，在涂布液包含聚酰胺酸及/或聚酰亞胺的情況下，可以采用經(jīng)3小時(shí)從室溫升溫至375℃后、于375℃保持20分鐘的方法，或者可以進(jìn)行如下所述的階段性加熱：以50℃的幅度從室溫階段性地升溫至375℃(各步驟保持20分鐘)，最終于375℃保持20分鐘等。此外，也可以將未燒成膜FA的端部固定于SUS制的模板等中從而防止變形。

通過(guò)這樣的燒成，從而如圖7(e)所示那樣形成了燒成膜FB。在燒成膜FB中，在經(jīng)酰亞胺化或高溫處理的樹(shù)脂層A3的內(nèi)部包含微粒A2。燒成膜FB的膜厚可以通過(guò)用例如測(cè)微計(jì)等測(cè)定多個(gè)位置的厚度并取平均值而求得。作為優(yōu)選的平均膜厚，在用于隔膜等的情況下，優(yōu)選為3μm～500μm，更優(yōu)選為5μm～100μm，進(jìn)一步優(yōu)選為10μm～30μm。

對(duì)于在燒成單元20中形成的燒成膜FB，若從燒成單元20中輸出，則將其不經(jīng)卷繞地輸入至除去單元30。需要說(shuō)明的是，在將燒成膜FB的前端部分輸入至除去單元30時(shí)，可以通過(guò)操作者手工操作而進(jìn)行，也可以使用機(jī)械手等自動(dòng)地進(jìn)行。

將輸入至除去單元30的燒成膜FB載置于輸送帶35a上，隨著輸送帶35a的旋轉(zhuǎn)而向+Y方向輸送。在除去單元30中，隨著燒成膜FB的輸送，首先在浸蝕部32中進(jìn)行微粒A2的除去。作為微粒A2的材質(zhì)使用例如二氧化硅的情況下，在浸蝕部32中將燒成膜FB浸漬于低濃度的氟化氫水溶液等浸蝕液中。由此，微粒A2溶解于浸蝕液中而被除去，如圖7(f)所示，形成了在樹(shù)脂層A3的內(nèi)部包含多孔部A4的多孔性樹(shù)脂膜F。

然后，隨著輸送帶35a的旋轉(zhuǎn)，將多孔性樹(shù)脂膜F依次輸入至清洗部33及干燥部34中。在清洗部33中，利用清洗液對(duì)多孔性樹(shù)脂膜F進(jìn)行清洗，并進(jìn)行排液。此外，在干燥部34中，對(duì)排液后的多孔性樹(shù)脂膜F進(jìn)行加熱，除去清洗液。然后，將多孔性樹(shù)脂膜F從除去單元30中輸出，利用卷繞部60的軸構(gòu)件SF進(jìn)行卷繞。

如上所述，由于本實(shí)施方式涉及的涂布單元10具備：帶狀基材S1，其沿規(guī)定方向移動(dòng)；第一噴嘴12，其將第一涂布液Q1涂布于帶狀基材S1上而形成第一涂布膜F1，所述第一涂布液Q1包含聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺的樹(shù)脂材料A1、及微粒A2；和第二噴嘴13，其將第二涂布液Q2涂布于第一涂布膜F1上而形成第二涂布膜F2，所述第二涂布液Q2包含樹(shù)脂材料A1及微粒A2，且至少微粒A2的含有率與第一涂布液Q1不同，因此，能夠在未燒成膜FA中形成微粒A2的含有率不同的2個(gè)層。

因此，對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行燒成而形成燒成膜FB、并將微粒A2從燒成膜FB中除去而形成多孔性樹(shù)脂膜F的情況下，在與多孔性樹(shù)脂膜F中的第一涂布膜F1對(duì)應(yīng)的層中，較與第二涂布膜F2對(duì)應(yīng)的層而言，多孔部的孔均勻且稠密地形成。在將這樣的多孔性樹(shù)脂膜F作為鋰離子電池等的隔膜使用時(shí)，通過(guò)將第一涂布膜F1側(cè)配置于負(fù)極面?zhèn)?，從而離子能夠順利地移動(dòng)，因此能夠提高電池的電特性。此外，與僅用第一涂布液Q1形成相同孔隙率的多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜的情況相比，更能確保作為膜的強(qiáng)度。如上所述，通過(guò)以使用本實(shí)施方式涉及的涂布單元10形成的未燒成膜FA為基礎(chǔ)來(lái)制造多孔性樹(shù)脂膜F，從而能夠得到高品質(zhì)的多孔性樹(shù)脂膜F。

此外，由于本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)SYS包含上述涂布單元10，因此，能夠以一套流程進(jìn)行未燒成膜FA的形成、未燒成膜FA的燒成(燒成膜FB的形成)、及微粒A2的除去(多孔性樹(shù)脂膜F的形成)這3個(gè)工序。由此，能夠提高多孔性樹(shù)脂膜F的制造效率。

此外，由于作為基材使用的是以帶狀形成的帶狀基材(S1)，因此能夠形成帶狀的未燒成膜(FA)。因此，可適用于卷對(duì)卷方式等的制造工序，能夠高效地形成多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜(多孔性樹(shù)脂膜F)。

此外，由于具備對(duì)帶狀基材(S1)的下表面(S1b)進(jìn)行引導(dǎo)的第一輥(支承輥11b)及第二輥(支承輥11c)，且與第二輥對(duì)應(yīng)地配置有第二涂布部(第二噴嘴13)，因此在第二液體(第二涂布液Q2)到達(dá)帶狀基材時(shí)，作用于帶狀基材的力由第二輥承受。因此，能夠抑制帶狀基材發(fā)生撓曲、振動(dòng)等，能夠在帶狀基材上以均勻的厚度穩(wěn)定地形成第二層(第二涂布膜F2)。

此外，由于第一輥(支承輥11b)及第二輥(支承輥11c)以上下方向的位置不同的方式而配置，且第一涂布部(第一噴嘴12)及第二涂布部(第二噴嘴13)以各自的涂布方向相互交叉的方式而配置，因此能夠在高度不同的位置形成第一層(第一涂布膜F1)及第二層(第二涂布膜F2)。由此，能夠高效地利用空間來(lái)配置第一涂布部及第二涂布部。

此外，由于第一涂布部(第一噴嘴12)及第二涂布部(第二噴嘴13)各自被形成為能夠向相對(duì)于基材(帶狀基材S1)而言靠近及遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)，因此能夠?qū)Φ谝煌坎疾考暗诙坎疾颗c基材之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)。

此外，由于在第一涂布部(第一噴嘴12)和第二涂布部(第二噴嘴13)之間至少具備用于使第一層(第一涂布膜F1)的表面干燥的干燥部(14)，因此能夠防止樹(shù)脂材料、微粒等在第一涂布膜F1和第二涂布膜F2之間混合。

此外，由于具備對(duì)包含基材(帶狀基材S1)上的第一層(第一噴嘴12)及第二層(第二噴嘴13)的層疊體(F3)進(jìn)行加熱的加熱部(15、16)，因此能夠形成具有微粒含有率不同的2個(gè)層的未燒成膜FA。

此外，由于加熱部(15、16)包含對(duì)層疊體(F3)進(jìn)行加熱的主加熱部(15)、和將從主加熱部輸送出的層疊體(未燒成膜FA)加熱至規(guī)定溫度的副加熱部(16)，因此，能夠高效地形成未燒成膜FA，并且能夠形成容易將未燒成膜FA從基材(帶狀基材S1)剝離的狀態(tài)。

此外，由于具備將包含基材(帶狀基材S1)上的第一層(第一涂布膜F1)及第二層(第二涂布膜F2)的層疊體(未燒成膜FA)從基材剝離的剝離部(17)，因此能夠高效地剝離未燒成膜FA。

[變形例1]

雖然在上述第一實(shí)施方式中，針對(duì)第一噴嘴12舉出在將噴出口12a朝向帶狀基材S1中被支承輥11b支撐的部分的狀態(tài)下涂布第一涂布液Q1的情況為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此。

圖8(a)及(b)為示出變形例涉及的涂布單元10A、10B的部分的構(gòu)成例的圖。

如圖8(a)所示，涂布單元10A中，在從支承輥11b向+Z側(cè)偏移的位置設(shè)定有噴出位置P1A。該情況下，第一噴嘴12在將噴出口12a朝向帶狀基材S1中偏離支承輥11b支撐的部分(例如，向+Z側(cè)偏離的部分)的狀態(tài)下涂布第一涂布液Q1。當(dāng)帶狀基材S1的下表面S1b與支承輥11b之間夾入異物時(shí)，有時(shí)以帶狀基材S1側(cè)隆起的方式形成突起。若在形成有這樣的突起的部分涂布第一涂布液Q1，則可能會(huì)在第一涂布膜F1中形成針孔等。對(duì)此，本變形例中，通過(guò)使第一涂布液Q1到達(dá)帶狀基材S1中偏離支承輥11b支撐的部分，能夠防止在第一涂布膜F1中形成針孔等。

此外，如圖8(b)所示，涂布單元10B中，在支承輥11b和支承輥11c之間配置其他的支承輥11g，成為帶狀基材S1由支承輥11b、支承輥11g、支承輥11c引導(dǎo)的狀態(tài)。此外，涂布單元10B中，在從支承輥11b向+Z側(cè)偏移的位置設(shè)定有噴出位置P1B。該情況下，第一噴嘴12在將噴出口12a朝向帶狀基材S1中被支承輥11b和支承輥11g支撐的區(qū)間內(nèi)的部分的狀態(tài)下噴出第一涂布液Q1。由此，能夠與上述同樣地防止在第一涂布膜F1中形成針孔等。

[第二實(shí)施方式]

接下來(lái)，對(duì)第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖9為示出第二實(shí)施方式涉及的涂布單元210的一個(gè)例子的圖。雖然在上述實(shí)施方式中，舉出使用利用PET等樹(shù)脂材料形成的帶狀基材S1作為基材的構(gòu)成為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但在本實(shí)施方式中，帶狀基材的材料等與第一實(shí)施方式不同。以下，以與第一實(shí)施方式的區(qū)別點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明。

如圖9所示，在本實(shí)施方式涉及的涂布單元210的輸送部211中，作為基材，使用的是利用不銹鋼等金屬材料形成的帶狀基材S2。通過(guò)利用金屬材料形成帶狀基材S2，從而難以形成褶皺等。帶狀基材S2是以無(wú)端狀形成的，并以具有張力的方式被架設(shè)于支承輥211a和支承輥11b、11c、11d和支承輥211e之間。因此，帶狀基材S2的下表面S2b由支承輥211a、11b、11c、11d、211e所引導(dǎo)。各帶狀基材S2沿例如圖9的順時(shí)針?lè)较蛟谶@些支承輥211a、11b、11c、11d、211e之間循環(huán)。

此外，第一噴嘴12在帶狀基材S2的上表面S2a上形成第一涂布膜F1。此外，第二噴嘴13在帶狀基材S2的上表面S2a上以與第一涂布膜F1重疊的方式形成第二涂布膜F2。

在主加熱部15中，對(duì)在帶狀基材S2上形成的層疊體F3進(jìn)行加熱。由于帶狀基材S2是利用金屬材料形成的，因此與使用利用樹(shù)脂材料形成的基材的情況相比，可以將主加熱部15中的加熱溫度設(shè)定得更高。因此，能夠以高溫且短時(shí)間的條件進(jìn)行加熱，因而能夠高效地形成未燒成膜FA。需要說(shuō)明的是，帶狀基材S2的上表面S2a例如形成為鏡面，以使得容易將形成的未燒成膜FA剝離。需要說(shuō)明的是，在上表面S2a上，可預(yù)先利用剝離劑等形成剝離層。

在支承輥211e和支承輥211a之間，配置有清洗部212。清洗部212對(duì)剝離未燒成膜FA后的帶狀基材S2進(jìn)行清洗。清洗部212具有將帶狀基材S2的上表面S2a的異物除去的除去部。此外，清洗部212可以構(gòu)成為具有電離器等除電部、能夠?qū)罨腟2進(jìn)行除電。

如上所述，由于在本實(shí)施方式中，帶狀基材(S2)以無(wú)端狀形成并進(jìn)行循環(huán)，因此能夠節(jié)約形成帶狀基材的資材，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。此外，由于帶狀基材(S2)是利用金屬材料而形成的，因此與帶狀基材由樹(shù)脂材料形成的情況相比，難以形成褶皺等，成為耐久性優(yōu)異的構(gòu)成。由此，能夠穩(wěn)定地形成未燒成膜FA。

[第三實(shí)施方式]

接下來(lái)，對(duì)第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖10為示出第三實(shí)施方式涉及的涂布單元310的一個(gè)例子的圖。本實(shí)施方式中，對(duì)帶狀基材S1加以輸送的輸送部311的構(gòu)成與第一實(shí)施方式不同。以下，以與第一實(shí)施方式的區(qū)別點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明。

如圖10所示，輸送部311與第一實(shí)施方式同樣地具有帶狀基材(基材)S1、基材送出輥11a、支承輥(第一輥)11b、支承輥(第二輥)11c、支承輥11d、基材卷繞輥11e和輸出輥11f。

此外，輸送部311具有輸送構(gòu)件S3和支承輥311a、311e。輸送構(gòu)件S3是以帶狀形成的，且使用例如不銹鋼等金屬材料而形成為無(wú)端狀。輸送構(gòu)件S3以具有張力的方式被架設(shè)于支承輥311a和支承輥11b、11c、11d和支承輥311e之間。因此，輸送構(gòu)件S3的下表面由支承輥311a、11b、11c、11d、311e所引導(dǎo)。輸送構(gòu)件S3沿例如圖10的順時(shí)針?lè)较蛟谶@些支承輥311a、11b、11c、11d、311e之間循環(huán)。

帶狀基材S1是以帶狀形成的。帶狀基材S1從基材送出輥11a送出，以具有張力的方式被架設(shè)于輸送構(gòu)件S3上，并利用基材卷繞輥11e進(jìn)行卷繞。因此，帶狀基材S1的下表面S1b由輸送構(gòu)件S3所引導(dǎo)。

此外，第一噴嘴12在由輸送構(gòu)件S3所支撐的帶狀基材S1的上表面S1a上形成第一涂布膜F1。此外，第二噴嘴13在由輸送構(gòu)件S3所支撐的帶狀基材S1的上表面S1a上以與第一涂布膜F1重疊的方式形成第二涂布膜F2。因此，能夠穩(wěn)定地形成第一涂布膜F1及第二涂布膜F2。

主加熱部15中，在帶狀基材S1上形成的層疊體F3被加熱。由于該帶狀基材S1在輸送構(gòu)件S3上重疊地配置，因此與單獨(dú)使用帶狀基材S1的情況相比，難以形成褶皺等，成為耐久性優(yōu)異的構(gòu)成。此外，由于使用樹(shù)脂材料形成的帶狀基材S1被配置于表面?zhèn)龋虼顺蔀閯冸x性優(yōu)異的構(gòu)成。因此，不需要將輸送構(gòu)件S3的表面制成鏡面。因此，能夠效率良好且穩(wěn)定地形成未燒成膜FA。

剝離部17中，在帶狀基材S1上形成的未燒成膜FA被剝離。因此，與對(duì)在金屬材料的帶狀基材上形成的未燒成膜FA進(jìn)行剝離的情況相比，能夠容易地進(jìn)行剝離。

需要說(shuō)明的是，在支承輥311e和支承輥311a之間配置有清洗部312。清洗部312對(duì)輸送構(gòu)件S3進(jìn)行清洗。清洗部312具有將輸送構(gòu)件S3的上表面S3a的異物除去的除去部。由此，能夠防止在輸送構(gòu)件S3和帶狀基材S1之間夾入異物，因此能夠抑制在未燒成膜FA中形成針孔等。此外，清洗部312可以構(gòu)成為具有電離器等除電部、能夠?qū)斔蜆?gòu)件S3進(jìn)行除電。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，由于使用以帶狀形成的帶狀基材(S1)作為基材，具備至少在與第一涂布部(第一噴嘴12)及第二涂布部(第二噴嘴13)對(duì)應(yīng)的范圍內(nèi)對(duì)帶狀基材加以輸送的輸送構(gòu)件(S3)，而且輸送構(gòu)件以帶狀且無(wú)端狀形成并進(jìn)行循環(huán)，因此，能夠穩(wěn)定地形成第一層(第一涂布膜F1)及第二層(第二涂布膜F2)。此外，由于輸送構(gòu)件(S3)是利用金屬材料形成的，因此在帶狀基材S1上難以形成褶皺等，成為耐久性優(yōu)異的構(gòu)成。

[變形例2]

雖然在上述第三實(shí)施方式中，舉出從支承輥11b直到支承輥11c、將帶狀基材S1以在輸送構(gòu)件S3上被支撐的狀態(tài)進(jìn)行輸送的情況為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此。

圖11為示出變形例涉及的涂布單元310A的一部分的構(gòu)成例的圖。

如圖11所示，在支承輥11b和支承輥11c之間設(shè)置有輔助輥11h。該輔助輥11h被配置于帶狀基材S1和輸送構(gòu)件S3之間，以向帶狀基材S1施以張力的狀態(tài)支撐帶狀基材S1。輔助輥11h以與輸送構(gòu)件S3不接觸的方式設(shè)置。因此，在支承輥11b和支承輥11c之間，帶狀基材S1以脫離輸送構(gòu)件S3的狀態(tài)被輸送。

此外，第一噴嘴12在將噴出口12a朝向帶狀基材S1中偏離支承輥11b支撐的部分(例如，向+Z側(cè)偏離的部分)的狀態(tài)下涂布第一涂布液Q1。由此，即使在帶狀基材S1的下表面和輸送構(gòu)件S3之間夾入異物的情況下，也能夠防止在第一涂布膜F1中形成針孔等。

需要說(shuō)明的是，雖然干燥部14被配置于例如支承輥11b和輔助輥11h之間，但并不限定于此，也可以與輔助輥11h對(duì)應(yīng)地配置，還可以配置于輔助輥11h和支承輥11c之間。

[第四實(shí)施方式]

接下來(lái)，對(duì)第四實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖12為示出第四實(shí)施方式涉及的涂布單元410的一個(gè)例子的圖。對(duì)于本實(shí)施方式而言，在將用于對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行卷繞的卷繞裝置設(shè)置于涂布單元410的方面與第一實(shí)施方式不同。以下，以與第一實(shí)施方式的區(qū)別點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明。

如圖12所示，涂布單元410中設(shè)置有卷繞部(卷狀體保持部)440。卷繞部440對(duì)從帶狀基材S1剝離的、由支承輥11i輸送出的未燒成膜FA進(jìn)行卷繞。卷繞部440的構(gòu)成與第一實(shí)施方式的卷繞部40的構(gòu)成大致相同。例如，卷繞部440構(gòu)成為在軸承441中安裝有軸構(gòu)件SF。軸構(gòu)件SF對(duì)由支承輥11i輸送出的未燒成膜FA進(jìn)行卷繞而形成卷狀體R。軸構(gòu)件SF設(shè)置為能針對(duì)軸承441進(jìn)行裝卸。卷繞部440具有使安裝于軸承41中的軸構(gòu)件SF旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)。此外，在卷繞部440中，以未燒成膜FA中的第一涂布膜F1側(cè)的面配置于外側(cè)的方式對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行卷繞。例如，通過(guò)利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使軸構(gòu)件SF沿圖18的逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，從而使得未燒成膜FA被卷繞。通過(guò)以形成了卷狀體R的狀態(tài)將軸構(gòu)件SF從軸承441卸下，從而能夠使卷狀體R移動(dòng)至其他的單元。需要說(shuō)明的是，將剝離了未燒成膜FA后的帶狀基材S1利用基材卷繞輥(卷繞部)11e進(jìn)行卷繞。

如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，由于具備對(duì)帶狀基材(S1)的卷狀體(R)進(jìn)行保持的卷狀體保持部(卷繞部440)、和將從卷狀體中拉出的帶狀基材進(jìn)行卷繞的卷繞部(基材卷繞輥11e)，因此，可以將卷狀體適用于卷對(duì)卷方式等的制造工序，能夠高效地形成多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜(多孔性樹(shù)脂膜F)。此外，通過(guò)利用卷繞部對(duì)剝離了未燒成膜FA后的帶狀基材進(jìn)行卷繞，從而能夠高效地對(duì)帶狀基材進(jìn)行回收。

[變形例3]

雖然在上述實(shí)施方式中，作為卷繞部40、60、440，舉出使軸構(gòu)件SF在軸承41、61、441中進(jìn)行裝卸的構(gòu)成為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此，例如也可以使用如圖13所示的卷繞裝置90。以下，舉出使用卷繞裝置90代替卷繞部40的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。

如圖13所示，卷繞裝置90具有框架91、軸構(gòu)件SF、軸承92、驅(qū)動(dòng)部93、中繼輥94a～94e、和輥支承部95?？蚣?1支撐軸構(gòu)件SF、軸承92、驅(qū)動(dòng)部93、中繼輥94a～94e、輥支承部95的各部分。

軸構(gòu)件SF將從涂布單元10輸出的未燒成膜FA進(jìn)行卷繞而形成卷狀體R。軸構(gòu)件SF設(shè)置為能針對(duì)軸承92進(jìn)行裝卸。軸構(gòu)件SF被安裝于軸承92時(shí)，其以能夠圍繞著與X方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)的方式而被軸承92支撐。通過(guò)以形成了卷狀體R的狀態(tài)將軸構(gòu)件SF從軸承92卸下，從而能夠?qū)⒕頎铙wR移動(dòng)或回收至其他的單元中。

中繼輥94a～94e在調(diào)節(jié)未燒成膜FA的張力的同時(shí)將未燒成膜FA輸送至軸構(gòu)件SF。中繼輥94a～94e例如形成為圓筒狀，各自與X方向平行地配置。本實(shí)施方式中，未燒成膜FA按照中繼輥94a、94b、94c、94d、94e的順序而架設(shè)，但并不限定于此，也可以不使用一部分中繼輥。需要說(shuō)明的是，也可以使中繼輥94a～94e中的至少1個(gè)能夠通過(guò)輥支承部95而移動(dòng)。例如，可以使輥支承部95能夠?qū)⒅欣^輥94b沿Z方向或Y方向移動(dòng)。此外，也可以構(gòu)成為通過(guò)輥支承部95使中繼輥94b圍繞著與X軸平行的軸線AX旋轉(zhuǎn)。該情況下，通過(guò)使中繼輥94b移動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng))的量(距離)反饋到軸承92的卷繞速度中，從而能夠使未燒成膜FA的張力保持恒定。此外，也可以為下述的構(gòu)成：使位于中繼輥94b的-Y側(cè)的、介由支軸而配置的可移動(dòng)的重物(未圖示)移動(dòng)，從而變更對(duì)中繼輥94b施加的負(fù)荷。該情況下，通過(guò)利用上述重物來(lái)調(diào)節(jié)對(duì)中繼輥94b施加的負(fù)荷，從而能夠調(diào)節(jié)未燒成膜FA的張力。

對(duì)于中繼輥94a～94e而言，并不限于與X方向平行地配置，也可以相對(duì)于X方向傾斜地配置。此外，中繼輥R21～R25不限于圓筒形，也可以使用形成有圓錐型、輻射型、凹型等的冠頂?shù)闹欣^輥。

需要說(shuō)明的是，上述的卷繞裝置90也可以代替卷繞部60而使用。此外，通過(guò)使軸構(gòu)件SF向與卷繞未燒成膜FA等膜時(shí)相反的方向旋轉(zhuǎn)，能夠?qū)⑽礋赡A等膜送出。因此，也可以使用卷繞裝置90代替例如上述的送出部50。

[隔膜]

接下來(lái)，對(duì)實(shí)施方式涉及的隔膜100進(jìn)行說(shuō)明。圖14為示出鋰離子電池200的一個(gè)例子的模式圖，其示出的是一部分被切開(kāi)的狀態(tài)。如圖14所示，鋰離子電池200具有兼具正極端子的金屬殼體201、和負(fù)極端子202。在金屬殼體201的內(nèi)部設(shè)置有正極201a、負(fù)極202a、和隔膜100，它們浸漬于未圖示的電解液中。將隔膜100配置于正極201a和負(fù)極202a之間，防止正極201a和負(fù)極202a之間的電接觸。作為正極201a，使用鋰過(guò)渡金屬氧化物，作為負(fù)極202a，使用例如鋰、碳(石墨)等。

上述實(shí)施方式中記載的多孔性樹(shù)脂膜F可作為該鋰離子電池200的隔膜100使用。該情況下，通過(guò)使例如形成有第一涂布膜F1的面為鋰離子電池的負(fù)極202a側(cè)，從而能夠提高電池性能。需要說(shuō)明的是，雖然圖14中舉出方型的鋰離子電池200的隔膜100為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此。上述的多孔性樹(shù)脂膜F在圓筒型、層壓型等任意類型的鋰離子電池的隔膜中均可使用。需要說(shuō)明的是，除了鋰離子電池的隔膜以外，上述的多孔性樹(shù)脂膜F還可以作為燃料電池電解質(zhì)膜、氣體或液體的分離用膜、低介電常數(shù)材料而使用。

以上，對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并不限定于上文所作的說(shuō)明，可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。

例如，雖然在上述實(shí)施方式中，舉出在設(shè)置于涂布單元10內(nèi)部的剝離部17中將未燒成膜FA從帶狀基材S1剝離的構(gòu)成為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此。例如，也可以在涂布單元10中將未燒成膜FA和帶狀基材S1不經(jīng)剝離地進(jìn)行一體化卷繞，并在涂布單元10的外部在浸漬于水等液體中的同時(shí)將未燒成膜FA從帶狀基材S1剝離。

此外，作為使未燒成膜FA浸漬于液體中的方式，并不限定于將未燒成膜FA從帶狀基材S1剝離的情況。例如，也可以使從帶狀基材S1剝離后的未燒成膜FA浸漬于水等液體中。由此，能夠抑制在對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行燒成時(shí)形成褶皺。需要說(shuō)明的是，使從帶狀基材S1剝離的未燒成膜FA浸漬于水等液體中后，可以具有對(duì)該未燒成膜FA進(jìn)行加壓的工序。作為進(jìn)行加壓的手段，可舉出對(duì)該未燒成膜FA進(jìn)行按壓的工序。由此，能夠抑制在對(duì)未燒成膜FA進(jìn)行干燥或燒成時(shí)形成褶皺。

此外，雖然在上述實(shí)施方式及變形例中，對(duì)涂布單元10為具有輸送部11、第一噴嘴(第一涂布部)12、第二噴嘴(第二涂布部)13、干燥部14、主加熱部(加熱部)15、副加熱部(加熱部)16、和剝離部17的構(gòu)成的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以為不包含其中的副加熱部(加熱部)16的構(gòu)成。

此外，雖然在上述實(shí)施方式及變形例中，舉出進(jìn)行涂布單元10中的涂布、燒成單元20中的燒成、除去單元30中的除去這3個(gè)工序的情況為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此。例如，在作為涂布膜的材料使用聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、或聚酰胺的情況下，可以不進(jìn)行燒成。因此，在不進(jìn)行燒成的情況下，通過(guò)例如在燒成單元20和除去單元30之間設(shè)置卷繞裝置及送出裝置等，從而能夠?qū)⑼坎紗卧?0中形成的未燒成膜FA以不經(jīng)過(guò)燒成單元20的方式輸入至除去單元30中。此外，不進(jìn)行燒成的情況下，制造多孔性酰亞胺系樹(shù)脂膜的制造系統(tǒng)可以為包含下述單元的制造系統(tǒng)：涂布單元，所述涂布單元將包含聚酰胺酸、聚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺或聚酰胺、及微粒的液體涂布于基材而形成未燒成膜；和除去單元，所述除去單元從在所述涂布單元內(nèi)或所述涂布單元外從所述基材剝離的所述未燒成膜中除去所述微粒。

此外，雖然在上述實(shí)施方式及變形例中，舉出通過(guò)所謂的卷對(duì)卷方式形成多孔性樹(shù)脂膜F的構(gòu)成為例而進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限定于此。例如，在除去單元30中的處理結(jié)束后將多孔性樹(shù)脂膜F從除去單元30中輸出的情況下，可以不利用卷繞部60進(jìn)行卷繞，而是以規(guī)定的長(zhǎng)度切斷，并回收切斷后的膜。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

SYS…制造系統(tǒng) F…多孔性樹(shù)脂膜 FA…未燒成膜 S1、S2…帶狀基材 S1b…下表面 Q1…第一涂布液 F1…第一涂布膜 Q2…第二涂布液 F2…第二涂布膜 F3…層疊體 R…卷狀體 A1…樹(shù)脂材料 A2…微粒 A3…樹(shù)脂層 A4…多孔部 S3…輸送構(gòu)件 10、10A、10B、210、310、310A、410…涂布單元 11…輸送部 11b…支承輥(第一輥) 11c…支承輥(第二輥) 11e…基材卷繞輥(卷繞部) 12…第一噴嘴(第一涂布部) 13…第二噴嘴(第二涂布部) 14…干燥部 15…主加熱部(加熱部) 16…副加熱部(加熱部) 17…剝離部