技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種ITO刻蝕廢液的處理工藝及處理設(shè)備，處理工藝包括以下步驟：(1)向反應(yīng)容器內(nèi)加入液堿，然后進(jìn)行稀釋處理；(2)向所述反應(yīng)容器內(nèi)緩慢加入ITO刻蝕廢液，至pH值達(dá)到9～10，反應(yīng)一段時(shí)間；(3)向所述反應(yīng)容器內(nèi)緩慢加入ITO刻蝕廢液，至pH值達(dá)到7～7.5，反應(yīng)一段時(shí)間。本發(fā)明采取反向調(diào)節(jié)，通過在液堿中加入ITO刻蝕廢液來反應(yīng)，并分步加入ITO刻蝕液廢液，且本發(fā)明先對液堿進(jìn)行稀釋，然后與ITO刻蝕廢液進(jìn)行反應(yīng)，溫度上升幅度減小，且溫度會隨著液堿濃度和ITO刻蝕廢液濃度的降低而減小，不會造成溫度劇烈上升，能夠有效地控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化，可以很容易調(diào)節(jié)反應(yīng)至pH值為7左右，安全性高。

技術(shù)研發(fā)人員：倪進(jìn)娟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥茂騰環(huán)?？萍加邢薰?br/>文檔號碼：201710240883
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.13
技術(shù)公布日：2017.06.20