本發(fā)明涉及廢液的處理領(lǐng)域，具體地說涉及一種ITO刻蝕廢液的處理工藝及處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
：液晶顯示器現(xiàn)已成為技術(shù)密集、資金密集型的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，透明導(dǎo)電玻璃則是LCD的三大主要材料之一。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電膜，經(jīng)蝕刻制成特定形狀的電極，上下導(dǎo)電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當(dāng)電壓信號(hào)，使具有偶概矩的液晶分子在電場(chǎng)作用下特定的方面排列，進(jìn)而顯示出與電極波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)的圖形。在氧化物導(dǎo)電膜中，以摻Sn(錫)的In2O3(ITO)膜的透過率最高和導(dǎo)電性能最好，而且容易在酸液中蝕刻出徴細(xì)的圖形，其透過率已達(dá)90％以上。在LCD生產(chǎn)工藝中，需要使用高溫烘烤及各種酸破液的浸泡，因此產(chǎn)生了大量的含氧化銦錫的ITO刻蝕液廢液。此類ITO刻蝕液通常為兩種以上的酸混合而成，通常是硫酸、鹽酸或者硝酸等，單酸含量小于7％，累計(jì)酸含量不超過20％。經(jīng)過刻蝕工段后因刻蝕的銦錫，其廢液中含有銦和錫離子。銦錫的含量為50ppm左右。此類廢液通常采取中和處理后再經(jīng)生化系統(tǒng)的方法無害化處理，其中的銦錫進(jìn)入污泥中被浪費(fèi)。目前化工行業(yè)內(nèi)針對(duì)中和處理酸堿廢水的工藝很多，但是針對(duì)此類ITO刻蝕廢液的中和處理工藝較少，ITO刻蝕廢液中的金屬離子含量較大，酸的腐蝕性和總酸度很高，在中和處理過程中會(huì)放出大量的熱，溫度劇烈上升，很難控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化，存在一定危險(xiǎn)性。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠有效地控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化的ITO刻蝕廢液的處理工藝，以及可用實(shí)施該工藝的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：一種ITO刻蝕廢液的處理工藝，包括以下步驟：(1)向反應(yīng)容器內(nèi)加入液堿，然后進(jìn)行稀釋處理；(2)向所述反應(yīng)容器內(nèi)緩慢加入ITO刻蝕廢液，至pH值達(dá)到9～10，反應(yīng)一段時(shí)間；(3)向所述反應(yīng)容器內(nèi)緩慢加入ITO刻蝕廢液，至pH值達(dá)到7～7.5，反應(yīng)一段時(shí)間。進(jìn)一步地，還包括步驟(4)對(duì)反應(yīng)液進(jìn)行過濾處理。一種ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，包括液堿儲(chǔ)罐、反應(yīng)罐以及第一輸送機(jī)構(gòu)；所述液堿儲(chǔ)罐與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口和出料口之間分別連接有第一輸料管道和第二輸料管道，所述反應(yīng)罐與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口和出料口之間分別連接有第三輸料管道和第四輸料管道。進(jìn)一步地，還包括上清液外排管道，所述上清液外排管道的一端插接在所述反應(yīng)罐內(nèi)、另一端與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口連通。進(jìn)一步地，還包括達(dá)標(biāo)水罐，所述達(dá)標(biāo)水罐與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的出料口之間連接有上清液輸送管。進(jìn)一步地，還包括沉淀外排管道，所述沉淀外排管道與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的出料口連通。進(jìn)一步地，還包括與第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口連通的液堿進(jìn)料管道。進(jìn)一步地，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括兩臺(tái)相互并聯(lián)的第一抽液泵。進(jìn)一步地，還包括ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐以及第二輸送機(jī)構(gòu)，所述ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐與所述第二輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口之間連接有第五輸料管道，所述反應(yīng)罐與所述第二輸送機(jī)構(gòu)的出料口之間連接有第六輸料管道。進(jìn)一步地，所述第二輸送機(jī)構(gòu)包括兩臺(tái)相互并聯(lián)的第二抽液泵。本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明ITO刻蝕廢液的處理工藝采取反向調(diào)節(jié)，通過在液堿中加入ITO刻蝕廢液來反應(yīng)，并分步加入ITO刻蝕液廢液，且本發(fā)明先對(duì)液堿進(jìn)行稀釋，然后與ITO刻蝕廢液進(jìn)行反應(yīng)，溫度上升幅度減小，且溫度會(huì)隨著液堿濃度和ITO刻蝕廢液濃度的降低而減小，不會(huì)造成溫度劇烈上升，能夠有效地控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化，可以很容易調(diào)節(jié)反應(yīng)至pH值為7左右，安全性高。本發(fā)明ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，一泵多用，節(jié)省資源，液堿儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存液堿，在處理ITO刻蝕廢液時(shí)，第一輸送機(jī)構(gòu)提供輸送動(dòng)力，液堿儲(chǔ)罐內(nèi)的液堿依次經(jīng)過第一輸料管道、第一輸送機(jī)構(gòu)、第四輸料管道進(jìn)入反應(yīng)罐內(nèi)，加水稀釋后，再向反應(yīng)罐內(nèi)加入ITO刻蝕廢液進(jìn)行中和處理，在加水、ITO刻蝕廢液以及中和反應(yīng)的過程中，反應(yīng)罐內(nèi)的相應(yīng)物料可在第一輸送機(jī)構(gòu)的作用下，通過第三輸料管道排出，再通過第四輸料管道重新回到反應(yīng)罐，實(shí)現(xiàn)相應(yīng)物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)，從而使物料能夠充分混合反應(yīng)，另外，當(dāng)液堿儲(chǔ)罐內(nèi)的液堿有沉淀產(chǎn)生時(shí)，同樣的，液堿也可通過第一輸料管道排出，再通過第二輸料管道重新回到液堿儲(chǔ)罐，實(shí)現(xiàn)液堿在液堿儲(chǔ)罐內(nèi)循環(huán)，以對(duì)沉淀進(jìn)行溶解。本發(fā)明ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備與處理工藝結(jié)合，能有效地處理LCD行業(yè)產(chǎn)生的ITO刻蝕廢液，提高ITO刻蝕廢液的處理能力，節(jié)約了處理成本，并將其中的有價(jià)金屬離子銦、錫最大程度的收集起來(回收率>99％)，做成產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)市場(chǎng)化，并且能夠有效地控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化，降低反應(yīng)的生產(chǎn)操作中的安全隱患。附圖說明圖1是本發(fā)明一實(shí)施例ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中各部件的標(biāo)記為：1液堿儲(chǔ)罐、2反應(yīng)罐、3ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐、31IBC噸桶、41第一抽液泵、42第一旁路管、43第一旁路閥、51第二抽液泵、52第二旁路管、53第二旁路閥、61第一輸料管道、62第二輸料管道、63第三輸料管道、64第四輸料管道、65第五輸料管道、66第六輸料管道、661流量計(jì)、71上清液外排管道、72上清液輸送管、73沉淀外排管道、74液堿進(jìn)料管道、75自來水管線、81達(dá)標(biāo)水罐、82儲(chǔ)水罐、83廢料罐、84快速接頭、91第三抽液泵、92達(dá)標(biāo)水外排管道、10過濾器、11噴頭。具體實(shí)施方式需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。參見圖1。本發(fā)明ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，包括液堿儲(chǔ)罐1、反應(yīng)罐2以及第一輸送機(jī)構(gòu)；所述液堿儲(chǔ)罐1與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口和出料口之間分別連接有第一輸料管道61和第二輸料管道62，所述反應(yīng)罐2與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口和出料口之間分別連接有第三輸料管道63和第四輸料管道64。液堿儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存液堿，在處理ITO刻蝕廢液時(shí)，第一輸送機(jī)構(gòu)提供輸送動(dòng)力，液堿儲(chǔ)罐內(nèi)的液堿依次經(jīng)過第一輸料管道、第一輸送機(jī)構(gòu)、第四輸料管道進(jìn)入反應(yīng)罐內(nèi)，加水稀釋后，再向反應(yīng)罐內(nèi)加入ITO刻蝕廢液進(jìn)行中和處理，在加水、ITO刻蝕廢液以及中和反應(yīng)的過程中，反應(yīng)罐內(nèi)的相應(yīng)物料可在第一輸送機(jī)構(gòu)的作用下，通過第三輸料管道排出，再通過第四輸料管道重新回到反應(yīng)罐，實(shí)現(xiàn)相應(yīng)物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)，從而使物料能夠充分混合反應(yīng)，另外，當(dāng)液堿儲(chǔ)罐內(nèi)的液堿有沉淀產(chǎn)生時(shí)，同樣的，液堿也可通過第一輸料管道排出，再通過第二輸料管道重新回到液堿儲(chǔ)罐，實(shí)現(xiàn)液堿在液堿儲(chǔ)罐內(nèi)循環(huán)，以對(duì)沉淀進(jìn)行溶解。具體實(shí)施中，第一輸料管道61連接在液堿儲(chǔ)罐1的下端，第二輸料管道62連接在液堿儲(chǔ)罐1的頂部，第三輸料管道63連接在反應(yīng)罐2的下端，第四輸料管道64連接在反應(yīng)罐2的頂部。在一實(shí)施例中，設(shè)備還包括上清液外排管道71，所述上清液外排管道71的一端插接在所述反應(yīng)罐2內(nèi)、另一端與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口連通。在反應(yīng)完成后，靜置一端時(shí)間，反應(yīng)罐內(nèi)上清液可通過第一輸送機(jī)構(gòu)和上清液外排管道71排出，進(jìn)一步地，設(shè)備還包括達(dá)標(biāo)水罐81，所述達(dá)標(biāo)水罐81與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的出料口之間連接有上清液輸送管72，這樣排出的上清液可直接通過上清液輸送管打入達(dá)標(biāo)水罐內(nèi)，方便進(jìn)行下一步的處理。進(jìn)一步地，為了進(jìn)一步凈化上清液，在上清液輸送管72上安裝過濾器10。在一實(shí)施例中，過濾器10選用三級(jí)過濾器，規(guī)格依次為50目、100目、200目；過濾器10優(yōu)選袋式過濾器，可定期收集和清理氫氧化銦錫的沉淀，便于回收，具體可通過過濾器出口的壓力表判斷，當(dāng)壓力高于2kg時(shí)要停止出液，清理濾袋。在一實(shí)施例中，還包括沉淀外排管道73，所述沉淀外排管道73與所述第一輸送機(jī)構(gòu)的出料口連通。在反應(yīng)完成后，反應(yīng)罐內(nèi)產(chǎn)生沉淀，此時(shí)，可通過第三輸料管道63、第一輸送機(jī)構(gòu)、沉淀外排管道73將沉淀和中和液從反應(yīng)罐內(nèi)排出。在一實(shí)施例中，還包括與第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口連通的液堿進(jìn)料管道74。液堿不足時(shí)，可在第一輸送機(jī)構(gòu)的作用下，通過液堿進(jìn)料管道、第二輸料管道向液堿儲(chǔ)罐內(nèi)補(bǔ)充液堿。具體實(shí)施中，第一輸料管道61、第二輸料管道62、第三輸料管道63、第四輸料管道64、上清液外排管道71、上清液輸送管72、沉淀外排管道73、液堿進(jìn)料管道74在接近第一輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口和出料口處合并，方便連接，各管道上安裝閥門，便于控制物料。在一實(shí)施例中，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括兩臺(tái)相互并聯(lián)的第一抽液泵41。具體實(shí)施中，各第一抽液泵41的進(jìn)液口和出液口之間連接有第一旁路管42，第一旁路管上安裝有第一旁路閥43，起到調(diào)節(jié)流量，防止憋泵的功能。在一實(shí)施例中，還包括ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐3以及第二輸送機(jī)構(gòu)，所述ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐3與所述第二輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口之間連接有第五輸料管道65，所述反應(yīng)罐2與所述第二輸送機(jī)構(gòu)的出料口之間連接有第六輸料管道66。ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐用于儲(chǔ)存ITO刻蝕廢液，加料時(shí)，在第二輸送機(jī)構(gòu)的動(dòng)力作用下，ITO刻蝕廢液通過第五輸料管道、第六輸料管道進(jìn)入反應(yīng)罐。在一實(shí)施例中，設(shè)備還包括儲(chǔ)水罐82，儲(chǔ)水罐82與所述第二輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料口連通，用于向反應(yīng)罐內(nèi)加水。具體實(shí)施中，ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐3和儲(chǔ)水罐82的出料口安裝快速接頭84，用于管道的快速拆接。另外，為方便儲(chǔ)水罐82補(bǔ)水，將儲(chǔ)水罐82與自來水管線75接通；ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐的底部墊有一個(gè)IBC噸桶31，用于ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐的安全放置以及ITO刻蝕廢液進(jìn)料穩(wěn)定。在一實(shí)施例中，設(shè)備還包括廢料罐83。反應(yīng)罐底部的中和液及沉淀定期進(jìn)行處理，通過沉淀外排管道打至廢料罐中暫存。在一實(shí)施例中，所述第二輸送機(jī)構(gòu)包括兩臺(tái)相互并聯(lián)的第二抽液泵51。同樣地，具體實(shí)施中，各第二抽液泵51的進(jìn)液口和出液口之間連接有第二旁路管52，第二旁路管上安裝有第二旁路閥53，起到調(diào)節(jié)流量，防止憋泵的功能。在一實(shí)施例中，上清液輸送管72上安裝有第三抽液泵91，用于提高輸送動(dòng)力。進(jìn)一步地，達(dá)標(biāo)水罐81與第三抽液泵91的進(jìn)液口連通，設(shè)備還包括達(dá)標(biāo)水外排管道92，達(dá)標(biāo)水外排管道92與第三抽液泵91的出液口連通。當(dāng)達(dá)標(biāo)水罐內(nèi)水滿時(shí)，可通過第三抽液泵和達(dá)標(biāo)水外排管道將水排出。在一實(shí)施例中，64第四輸料管道和66第六輸料管道的出口端設(shè)有噴頭11，用于將相應(yīng)物料噴灑進(jìn)反應(yīng)罐，有助于相應(yīng)物料的混合。在一實(shí)施例中，所述第六輸料管道66上安裝有流量計(jì)661，用于檢測(cè)相應(yīng)物料的進(jìn)料量。在一實(shí)施例中，所述反應(yīng)罐2為盤管式反應(yīng)釜，可對(duì)反應(yīng)物進(jìn)行降溫。在一實(shí)施例中，所述反應(yīng)罐2內(nèi)安裝有沉入式pH計(jì)，用于監(jiān)測(cè)pH。本發(fā)明還提供一種使用上述ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備進(jìn)行ITO刻蝕廢液處理的工藝，包括以下步驟：(1)利用第一輸送機(jī)構(gòu)、第一輸料管道和第四輸料管道，將液堿儲(chǔ)罐內(nèi)的液堿(液堿選用質(zhì)量濃度為32％的NaOH水溶液)打至反應(yīng)罐中，然后利用第二輸送機(jī)構(gòu)、第六輸料管道將儲(chǔ)水罐內(nèi)的自來水加入到反應(yīng)罐中對(duì)液堿進(jìn)行稀釋，在加水的過程中，利用第一輸送機(jī)構(gòu)、第三輸料管道和第四輸料管道使物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)，使液堿與自來水充分混合，直至NaOH質(zhì)量濃度達(dá)到3.2％，稀釋完成后，溫度與室外環(huán)境溫度基本相同；(2)利用第二輸送機(jī)構(gòu)、第五輸料管道和第六輸料管道，將ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐內(nèi)的ITO刻蝕廢液以2m3/h的流速打至反應(yīng)罐中，在pH值由12下降時(shí)，通過控制相應(yīng)的旁路閥，降低ITO刻蝕廢液的流速至0.3m3/h，在加ITO刻蝕廢液的過程中，利用第一輸送機(jī)構(gòu)、第三輸料管道和第四輸料管道使物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)，以令稀釋后的液堿與ITO刻蝕廢液能充分反應(yīng)，pH計(jì)顯示的數(shù)值不會(huì)部門區(qū)域化，直至沉入式pH計(jì)顯示pH值為9～10，停止加ITO刻蝕廢液，然后繼續(xù)使物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)15分鐘；(3)利用第二輸送機(jī)構(gòu)、第五輸料管道和第六輸料管道，將ITO刻蝕廢液儲(chǔ)罐內(nèi)的ITO刻蝕廢液以0.1m3/h的流速打至反應(yīng)罐中，同樣地，在此過程中，利用第一輸送機(jī)構(gòu)、第三輸料管道和第四輸料管道使物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)，直至沉入式pH計(jì)顯示pH值為7～7.5，停止加ITO刻蝕廢液，然后繼續(xù)使物料在反應(yīng)罐內(nèi)循環(huán)15分鐘；在步驟(2)和步驟(3)的過程中，當(dāng)反應(yīng)溫度大于40℃時(shí)，啟動(dòng)反應(yīng)罐的盤管中的冷凝水上水，讓系統(tǒng)降溫，自動(dòng)啟動(dòng)1小時(shí)后停止；當(dāng)pH低于7.0時(shí)，自動(dòng)停止第二抽液泵51，停止ITO刻蝕液廢液的進(jìn)料。通過溫度和pH的聯(lián)動(dòng)，能有效防止反應(yīng)過程中因溫度的升高而造成對(duì)反應(yīng)容器的不利影響，保證反應(yīng)過程的安全可控性。(4)反應(yīng)罐靜置0.4～0.6h，然后利用第一輸送機(jī)構(gòu)、上清液外排管道和上清液輸送管將反應(yīng)罐內(nèi)的上清液通過過濾器有效過濾后排入達(dá)標(biāo)水罐，之后再進(jìn)入污水處理系統(tǒng)進(jìn)行再次處理，經(jīng)過COD氨氮在線監(jiān)測(cè)儀檢測(cè)達(dá)標(biāo)后，進(jìn)入污水站進(jìn)行后續(xù)生化處理；(5)上一次處理形成的中和液，排放一部分上清液后，剩余的中和液不排出，用于對(duì)下一次處理時(shí)步驟(1)加入的液堿進(jìn)行稀釋，以減少在稀釋液堿時(shí)自來水的消耗，達(dá)到節(jié)能的目的，符合綠色無污染、節(jié)能減排的生產(chǎn)理念；隨著反應(yīng)罐內(nèi)沉淀的積累，通過第三輸料管道、第一輸送機(jī)構(gòu)、沉淀外排管道將反應(yīng)罐底部的中和液及沉淀打至廢料罐中暫存，待自然沉降完全后，排出上清液，剩下的沉淀晾曬干后回收再利用。由于ITO刻蝕廢液的酸性較強(qiáng)，通過在ITO刻蝕廢液中加入液堿中來反應(yīng)至pH等于7很難實(shí)現(xiàn)，本發(fā)明采取反向調(diào)節(jié)，通過在液堿中加入ITO刻蝕廢液來反應(yīng)，并分步加入ITO刻蝕液廢液，且本發(fā)明先對(duì)液堿進(jìn)行稀釋，然后與ITO刻蝕廢液進(jìn)行反應(yīng)，溫度上升幅度減小，且溫度會(huì)隨著液堿濃度和ITO刻蝕廢液濃度的降低而減小，不會(huì)造成溫度劇烈上升，能夠有效地控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化，可以很容易調(diào)節(jié)反應(yīng)至pH值為7左右，安全性高。出水水質(zhì)分析結(jié)果如下表1所示：表1序號(hào)出水COD(mg/L)NH3-N(mg/L)In3+(mg/L)Sn4+(mg/L)色度(度)1出水水樣1<3000<5<0.005<0.005<52出水水樣2<3000<5<0.005<0.005<5可以看出，本發(fā)明ITO刻蝕液廢液的處理設(shè)備與處理工藝結(jié)合，能有效地處理LCD行業(yè)產(chǎn)生的ITO刻蝕液廢液，提高ITO刻蝕液廢液的處理能力，廢液中銦錫沉淀可以回收(回收率>99％)，節(jié)約了處理成本，并且能夠有效地控制反應(yīng)過程中的溫度及pH變化，降低反應(yīng)的生產(chǎn)操作中的安全隱患。本發(fā)明將復(fù)雜的工藝流程簡(jiǎn)單化，第一抽液泵一泵多用，分別是：液堿打入液堿儲(chǔ)罐；液堿罐內(nèi)液堿的循環(huán)；液堿打入反應(yīng)罐；反應(yīng)罐內(nèi)物料的循環(huán)；反應(yīng)罐內(nèi)上清液及沉淀的打出；本發(fā)明可以將氫氧化銦錫最大程度的回收，采用三級(jí)過濾系統(tǒng)，并選用袋式過濾器，可操作性強(qiáng)，經(jīng)實(shí)踐證明，出水的銦錫含量都小于5ppb，監(jiān)測(cè)結(jié)果基本為0；本發(fā)明反應(yīng)控制的ph最為合適，能將大于99％的銦錫反應(yīng)掉，結(jié)合出水過濾系統(tǒng)，從而保證了出水的銦錫含量；本發(fā)明采用反應(yīng)溫度和pH的聯(lián)合控制系統(tǒng)保證了反應(yīng)的可控性和高效性；本發(fā)明解決了液晶顯示行業(yè)ITO刻蝕液中銦錫的資源浪費(fèi)問題；本發(fā)明此工藝最大限度的利舊，用舊的儲(chǔ)罐內(nèi)置盤管改造得到ITO刻蝕液廢液反應(yīng)沉淀罐，項(xiàng)目投資少，處理效率較高，平均一個(gè)班12h可以處理四批次，每批次處理ITO刻蝕液廢液3m3。應(yīng)當(dāng)理解本文所述的例子和實(shí)施方式僅為了說明，并不用于限制本發(fā)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)它做出各種修改或變化，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3