1.一種ITO刻蝕廢液的處理工藝，其特征在于，包括以下步驟：
(1)向反應(yīng)容器內(nèi)加入液堿，然后進(jìn)行稀釋處理；
(2)向所述反應(yīng)容器內(nèi)緩慢加入ITO刻蝕廢液，至pH值達(dá)到9～10，反應(yīng)一段時間；
(3)向所述反應(yīng)容器內(nèi)緩慢加入ITO刻蝕廢液，至pH值達(dá)到7～7.5，反應(yīng)一段時間。
2.如權(quán)利要求1所述的ITO刻蝕廢液的處理工藝，其特征在于：還包括步驟(4)對反應(yīng)液進(jìn)行過濾處理。
3.一種ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，用于實施權(quán)利要求1或2所述的ITO刻蝕廢液的處理工藝，其特征在于：包括液堿儲罐(1)、反應(yīng)罐(2)以及第一輸送機構(gòu)；所述液堿儲罐(1)與所述第一輸送機構(gòu)的進(jìn)料口和出料口之間分別連接有第一輸料管道(61)和第二輸料管道(62)，所述反應(yīng)罐(2)與所述第一輸送機構(gòu)的進(jìn)料口和出料口之間分別連接有第三輸料管道(63)和第四輸料管道(64)。
4.如權(quán)利要求3所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：還包括上清液外排管道(71)，所述上清液外排管道(71)的一端插接在所述反應(yīng)罐(2)內(nèi)、另一端與所述第一輸送機構(gòu)的進(jìn)料口連通。
5.如權(quán)利要求3或4所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：還包括達(dá)標(biāo)水罐(81)，所述達(dá)標(biāo)水罐(81)與所述第一輸送機構(gòu)的出料口之間連接有上清液輸送管(72)。
6.如權(quán)利要求3或4所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：還包括沉淀外排管道(73)，所述沉淀外排管道(73)與所述第一輸送機構(gòu)的出料口連通。
7.如權(quán)利要求3或4所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：還包括與第一輸送機構(gòu)的進(jìn)料口連通的液堿進(jìn)料管道(74)。
8.如權(quán)利要求3或4所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：所述第一輸送機構(gòu)包括兩臺相互并聯(lián)的第一抽液泵(41)。
9.如權(quán)利要求3或4所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：還包括ITO刻蝕廢液儲罐(3)以及第二輸送機構(gòu)，所述ITO刻蝕廢液儲罐(3)與所述第二輸送機構(gòu)的進(jìn)料口之間連接有第五輸料管道(65)，所述反應(yīng)罐(2)與所述第二輸送機構(gòu)的出料口之間連接有第六輸料管道(66)。
10.如權(quán)利要求9所述的ITO刻蝕廢液的處理設(shè)備，其特征在于：所述第二輸送機構(gòu)包括兩臺相互并聯(lián)的第二抽液泵(51)。