本發(fā)明涉及一種利用微波電離產(chǎn)生氧原子實現(xiàn)清除的系統(tǒng),具體涉及一種基于微波電離的介質(zhì)膜層表面污染清除系統(tǒng)及其清除方法。
背景技術(shù):
自1960年美國物理學(xué)家梅曼發(fā)明激光器以來,激光技術(shù)得到飛速發(fā)展。由于激光相比傳統(tǒng)光源具有高能量、高單色性、高相干性、極佳的方向性等優(yōu)點,各科學(xué)和技術(shù)領(lǐng)域紛紛應(yīng)用激光并形成了一系列交叉學(xué)科,包括信息光學(xué)和光電子學(xué)、激光醫(yī)療、激光加工、激光檢測、激光全息、激光雷達等。伴隨著激光技術(shù)的發(fā)展,現(xiàn)代光學(xué)也脫胎于古老的光學(xué)學(xué)科,重新煥發(fā)了青春。人們對光學(xué)現(xiàn)象的理解不斷加深,光學(xué)成像、光譜分析等技術(shù)手段廣泛應(yīng)用于社會生產(chǎn)中。
在激光和現(xiàn)代光學(xué)的實際應(yīng)用中,以光學(xué)鏡片為代表的元件構(gòu)成了激光操控和光學(xué)成像的基礎(chǔ)部件。為了增強鏡片的透過率、反射率、濾波效率等性能,在鏡片表面需要進行鍍膜處理。鏡片表面的膜層可以分為介質(zhì)膜和金屬膜,后者主要用于全反鏡設(shè)計,實際應(yīng)用相對較少。介質(zhì)膜通過光學(xué)工程理論和方法設(shè)計出折射率周期性變化的結(jié)構(gòu),采用電子蒸鍍、磁控濺射等方式實現(xiàn),可以有效增加元件的透過率。目前選用的鍍膜材料主要有氧化鉿、氧化鋯、氧化硅等氧化物,這些材料化學(xué)性質(zhì)十分穩(wěn)定,在正確的操作和維護下可以達到較長的使用壽命。在實際應(yīng)用中,光學(xué)膜層表面潔凈度對元件特性有著直接的影響,由于操作不當(dāng)在膜層表面引入的指紋等有機污染物,會降低元件透過率、反射率,直接影響對激光的操控特性。表面污染物還會促進膜層對激光能量的吸收和沉積,增加膜層在激光應(yīng)用中損傷的概率,降低元件使用壽命。成像系統(tǒng)中光學(xué)膜層表面的污染會導(dǎo)致成像銳度下降,嚴重影響成像質(zhì)量。
要克服膜層污染帶來的光學(xué)元件效率下降,一方面應(yīng)強調(diào)精密光學(xué)元件的正確操作,減少污染的可能性,另一方面則應(yīng)發(fā)展針對指紋等有機污染物的有效清潔方法。傳統(tǒng)上,對光學(xué)元件表面膜層的清潔一般采用直接法,將酒精、丙酮、乙醚等有機溶劑按一定比例兌制成清潔液,結(jié)合棉簽、無塵布、擦鏡紙等進行擦拭。這是一種直接接觸清潔法,容易造成膜層表面的二次污染甚至永久性損傷。曾有研究表明KrF準分子發(fā)出的紫外波段激光脈沖輻照石英等光學(xué)元件可以對其表面的指紋污染物進行有效清潔,這是一種非物理接觸的清潔方法,但是因諸多限制而沒有大范圍應(yīng)用:一方面這種方法對激光脈沖的能量有嚴格的限制,只有當(dāng)單脈沖能量密度達到450 mJ/cm2以上時才能起到清潔作用,脈沖能量過低時不但清潔無效,反而將指紋徹底固化在元件表面,極大增加了清潔難度;這種清潔方法對激光波長也有嚴格的限制,有效激光波段僅僅限于紫外波段,而眾所周知,除了高品質(zhì)石英元件外,普通光學(xué)玻璃元件等在紫外光的輻照下化合鍵會發(fā)生斷裂,使元件透過率下降,紫外光對光學(xué)膜層造成的影響更加不容忽視,有可能造成膜層的徹底損傷。人類指紋中的成分主要皮膚表面分泌腺的分泌物,以甘油、脂肪酸、醇類等有機物為主,這些油脂類有機物在膜層表面有一定的附著度,不易清理。
專利號為“ZL03116276.2”的中國專利公開了一種材料表面的清潔方法,把需要清潔的材料置于微波輻射源和紫外光之間,由微波能量轉(zhuǎn)化為紫外光能量,同時由紫外光激勵產(chǎn)生臭氧或者由微波能量產(chǎn)生氧等離子體,實現(xiàn)對材料表面的高效清潔。其清潔效果好,使用方便、安全,適用范圍廣,可適用于半導(dǎo)體材料和器件的表面清潔處理,尤其適用于ITO玻璃的表面清洗,可提高ITO玻璃的表面功函數(shù),優(yōu)化電極性能。但是其是純氧環(huán)境下進行,并且由微波能量轉(zhuǎn)化為紫外光能量,同時由紫外光激勵產(chǎn)生臭氧或者由微波能量產(chǎn)生氧等離子體,增加了中間轉(zhuǎn)換過程,效率低,而且在清潔過程易產(chǎn)生其它污染物,反而造成清理不干凈。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有光學(xué)元件表面的膜層被人類指紋污染后不易清理干凈,甚至清理時會對膜層造成損傷,同時清理時有殘留物或者二次污染風(fēng)險,提供了一種基于微波電離的介質(zhì)膜層表面污染清除系統(tǒng)及其清除方法,該系統(tǒng)及方法針對光學(xué)元件介質(zhì)膜層表面的指紋污染可以通過非接觸的方式進行有效清潔,同時不對膜層造成損傷,保持光學(xué)元件表面的光學(xué)性能符合要求,不會有殘留物,也不會造成二次污染。
本發(fā)明通過下述技術(shù)方案實現(xiàn):
基于微波電離的介質(zhì)膜層表面污染清除系統(tǒng),包括樣品倉,所述樣品倉外部設(shè)置有微波源、真空機構(gòu)、氣體流量控制系統(tǒng)、氧氣源和惰性氣體氣源,氧氣源和惰性氣體氣源均與氣體流量控制系統(tǒng)連接,微波源、真空機構(gòu)和氣體流量控制系統(tǒng)均與樣品倉內(nèi)部連通,惰性氣體在常溫常壓下,它們都是無色無味的單原子氣體,很難進行化學(xué)反應(yīng),惰性氣體氣源從成本以及原料獲取難易性等考慮優(yōu)選為氦氣源。人類指紋中的成分主要皮膚表面分泌腺的分泌物,以甘油、脂肪酸、醇類等有機物為主,這些油脂類有機物在膜層表面有一定的附著度,不易清理。因此本方案設(shè)計了一種基于微波電離的介質(zhì)膜層表面污染清除系統(tǒng),該系統(tǒng)是將樣品倉整體基于氧氣在微波下的電離過程產(chǎn)生氧原子和氧離子,對光學(xué)元件介質(zhì)膜層表面指紋污染進行清除。原子氧是地球高層大氣的主要成分,具有極強的氧化性,甚至高于氟氣。原子氧對有機物有極強的分解作用,可以將有機物分解成CO、CO2、H2O等氣體離開附著表面。在地面通過微波將氧氣進行電離可以產(chǎn)生具有類似高氧化性的原子氧和離子氧,對膜層表面的指紋污染進行清潔。本方案是將氧氣和氦氣以一定比例,通過導(dǎo)管進入樣品倉,在倉內(nèi)樣品周圍形成特定的氣體氛圍。電離產(chǎn)生的原子氧、離子氧在惰性氣體的保護下可以存在較長時間,使得其活性足,充分對樣品表面的指紋污染物進行氧化清潔,清潔的效率大大提高;本方案是基于微波電離直接產(chǎn)生原子氧,在非物理接觸條件下針對光學(xué)元件介質(zhì)膜層表面指紋污染物的清除系統(tǒng)。將裝置樣品倉保持在一定真空度,使氧氣在微波作用下發(fā)生電離產(chǎn)生原子氧和離子氧,并且在He氣氛圍的保護下和光學(xué)膜層表面的有機物發(fā)生作用,產(chǎn)生的CO、CO2、H2O以氣體形式離開膜層表面,達到清潔作用,元件介質(zhì)膜層則不和原子氧發(fā)生相互作用,保留優(yōu)質(zhì)的光學(xué)特性,同時真空機構(gòu)產(chǎn)生的氣流將清除過程中產(chǎn)生的雜物排出系統(tǒng),不會造成二次污染,克服了現(xiàn)有技術(shù)中存在二次污染的可能性??梢?,該系統(tǒng)是一種非接觸式清潔系統(tǒng),可以在不影響介質(zhì)功能的情況下對膜層表面指紋污染進行有效清潔。
真空機構(gòu)主要由真空泵、插板閥、真空規(guī)和真空計構(gòu)成,并且通過波紋管同時與真空泵和樣品倉內(nèi)部連通,插板閥設(shè)置在波紋管和真空泵之間并同時與波紋管和真空泵連接,插板閥能夠完全封閉波紋管的橫截面,并且通過插板閥的開合對波紋管的開閉程度進行控制,將氣壓穩(wěn)定在特定范圍內(nèi),達到原子氧電離的最佳條件。真空規(guī)設(shè)置在真空泵和樣品倉之間,且真空規(guī)與波紋管內(nèi)部連接,真空規(guī)和真空計連接,將檢測到的數(shù)據(jù)通過電信號傳遞出去,而且在樣品倉中設(shè)置有上電極和下電極,上電極設(shè)置在下電極正上方,上電極和下電極之間設(shè)置有空隙,微波加載過程通過上電極和下電極完成,樣品放置在上下電極之間,受清潔面朝上。上電極和下電極之間保持電隔離,上電極與微波源連接,且下電極與樣品倉外部接地,在兩個電極之間的樣品膜層附近形成微波振蕩。
氣體流量控制系統(tǒng)包括流量閥一和流量閥二,流量閥一同時與氧氣源和樣品倉連接,流量閥二同時與惰性氣體氣源和樣品倉連接。流量閥是用于控制氧氣和惰性氣體分別的注入速度,從而控制兩種氣體在倉內(nèi)氛為中的含量比值,達到最適合氧氣電離和原子氧保持的條件,在通氣過程中流量閥一和流量閥二始終以設(shè)定的狀態(tài)進行通氣,保持系統(tǒng)中能夠形成氣流和穩(wěn)定在設(shè)定的最佳氣壓范圍。
波紋管與樣品倉連接的端頭設(shè)置有法蘭,波紋管遠離真空泵的一端穿過法蘭與樣品倉形成無縫連接,其密封性能好,配合真空機構(gòu)將倉內(nèi)氣壓維持在特定范圍,使氧氣在最優(yōu)條件下電離。
樣品倉是對光學(xué)鏡片進行清潔的工作區(qū)域,由不銹鋼制成,分為倉蓋和托盤兩部分。倉蓋上部通過波紋管和真空機構(gòu)連接,配合倉蓋與托盤之間的橡膠墊設(shè)計,將樣品倉維持在一定的真空度。上下兩片鋁制電極置于樣品倉中,相互之間以及電極和樣品倉之間均保持電絕緣。兩片鋁制電極分別連接微波源和接地,微波振蕩在兩片電極之間產(chǎn)生原子氧和離子氧。托盤有兩個氣體開口分別用于注入氧氣和惰性氣體,提供樣品清潔所需的氣體氛圍。
基于微波電離的介質(zhì)膜層表面污染清除方法,將待清除樣品放置在樣品倉的托盤中后關(guān)閉倉蓋實現(xiàn)對樣品倉的密封,打開真空泵將樣品倉中的氣體抽出后形成真空保持真空泵開啟,從而避免其它雜質(zhì)影響電離過程,打開氧氣源和惰性氣體氣源,通過氣體流量控制系統(tǒng)控制氧氣以20至40 cm3/min的速度注入樣品倉,同時惰性氣體以110 至130cm3/min的速度注入樣品倉,直到在樣品倉中形成1.5×10-1 Pa~2.5×10-1 Pa的氣壓時保持氣體流量控制系統(tǒng)開啟,以這種速度范圍通入,能夠保證快速達到預(yù)定氣壓,同時對于設(shè)備的密封性和成本也在預(yù)設(shè)范圍中,惰性氣體優(yōu)選氦氣,此時樣品倉中氣體只含有氧氣和氦氣,從而在清除過程防止二次污染;再打開微波源,與微波源相連接的上下鋁電極之間形成微波振蕩,通過微波電離作用,將電極之間的氧氣電離產(chǎn)生原子氧、離子氧,在氦氣這種惰性氣體氛圍下對電極之間放置的光學(xué)鏡片進行氧化清潔,消除指紋污染,由于氦氣的保護,能夠保持原子氧或離子氧的活性;在對污染物清除過程中,真空規(guī)對樣品倉中氣壓進行檢測,超過設(shè)定值時通過插板閥對樣品倉內(nèi)氣壓進行調(diào)控,使得清除過程樣品倉中的氣壓保持在1.5×10-1 Pa~2.5×10-1 Pa范圍內(nèi),在樣品倉中形成恒定的氣壓范圍,通過實驗后總結(jié),在1.5×10-1 Pa~2.5×10-1 Pa這個范圍內(nèi)對光學(xué)鏡片進行氧化清潔時,是最適合微波電離產(chǎn)生原子氧和離子氧的環(huán)境,實現(xiàn)清潔的效率達到最高,通過插板閥與真空規(guī)連接控制,形成持續(xù)通氣和排氣,既保證了樣品倉中氣壓的穩(wěn)定性,也保持了氣體成分的穩(wěn)定性,將雜質(zhì)快速清理排出,從而對于保持樣品倉中氣壓的穩(wěn)定性起到了關(guān)鍵性作用,也便于控制,能夠快速進行樣品倉中氣體的更換,不會摻入其它雜質(zhì)。
本方案是針對光學(xué)元件介質(zhì)膜層表面指紋污染物的清除系統(tǒng),其利用微波電離方法產(chǎn)生原子氧、離子氧,在惰性氣體保護的氛圍下對光學(xué)鏡片表面膜層的指紋污染物進行清潔,清潔效率高,使得光學(xué)鏡片表面干凈,并且清潔時只產(chǎn)生氣體,不會有殘留物或者二次污染物沉積在光學(xué)元件介質(zhì)膜層表面,產(chǎn)生的氣體在持續(xù)通入的氣流作用下排出系統(tǒng),從而進一步防止殘留產(chǎn)生,同時內(nèi)部氣壓始終在最佳范圍中,由于是采用非接觸清潔,不會對膜層造成物理損傷,保證了膜層的完整性。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有如下的優(yōu)點和有益效果:
1、本發(fā)明對光學(xué)鏡片進行非接觸清潔,不會對膜層造成物理損傷,保護了膜層的安全;
2、本發(fā)明基于原子氧的強氧化作用,指紋污染最終轉(zhuǎn)變?yōu)镃O、CO2、H2O以氣體形式離開膜層表面,清潔徹底且無殘留,不會產(chǎn)生二次附著物殘留在光學(xué)元件介質(zhì)膜層表面;
3、本發(fā)明對光學(xué)鏡片清潔的過程,以及生成物不涉及有毒有害排放物,操作過程安全可靠,而且不會產(chǎn)生二次污染。
附圖說明
此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明實施例的進一步理解,構(gòu)成本申請的一部分,并不構(gòu)成對本發(fā)明實施例的限定。在附圖中:
圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖中標記及對應(yīng)的零部件名稱:
1-氧氣源,2-氣體流量控制系統(tǒng),3-惰性氣體氣源,4-樣品倉,5-微波源,6-真空泵,7-插板閥,8-真空計,9-波紋管,10-真空規(guī)。
具體實施方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白,下面結(jié)合實施例和附圖,對本發(fā)明作進一步的詳細說明,本發(fā)明的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本發(fā)明,并不作為對本發(fā)明的限定。
實施例:
如圖1所示,基于微波電離的介質(zhì)膜層表面污染清除系統(tǒng)及其清除方法,包括樣品倉4,所述樣品倉4外部設(shè)置有微波源5、真空機構(gòu)、氣體流量控制系統(tǒng)2、氧氣源1和氦氣源,實際使用時氧氣源1是通過氧氣瓶來盛裝,氦氣源是通過氦氣瓶來盛裝,真空機構(gòu)包括真空泵6、插板閥7、真空規(guī)10和真空計8,真空泵6連通有波紋管9,且波紋管9與樣品倉4內(nèi)部連通,真空泵6通過波紋管9對樣品倉4進行抽取空氣,插板閥7設(shè)置在波紋管9和真空泵6之間并同時與波紋管9和真空泵6連接,插板閥7的橫截面大,其能夠完全封閉波紋管9的橫截面,并且通過插板閥7的開合對波紋管9的開閉程度進行控制,真空規(guī)10設(shè)置在真空泵6和樣品倉4之間,且真空規(guī)10與波紋管9連接,真空規(guī)10檢測波紋管9中空腔的真空度,并及時將信號傳遞到真空計8中進行顯示,便于操作人員對狀況的控制,樣品倉4中設(shè)置有上電極和下電極,上電極設(shè)置在下電極正上方,上電極和下電極之間設(shè)置有空隙來保持電隔離,樣品放置在上下電極之間,上電極與微波源5連接,且下電極與樣品倉4外部連接形成接地,氣體流量控制系統(tǒng)2包括流量閥一和流量閥二,流量閥一同時與氧氣源1和樣品倉4連接,流量閥二同時與氦氣源和樣品倉4連接,波紋管9與樣品倉4連接的端頭設(shè)置有法蘭,波紋管9遠離真空泵6的一端穿過法蘭與樣品倉4形成無縫連接。
真空機構(gòu)用于控制樣品倉4內(nèi)的氣壓,使之達到并保持在最適合原子氧產(chǎn)生的壓強,一般為1.5×10-1 Pa~2.5×10-1 Pa;氣體流量控制系統(tǒng)2和氧氣瓶及氦氣瓶連接,氧氣和氦氣的氣體注入速度分別控制在30 cm3/min和120 cm3/min。微波源輸出功率一般控制在400 W,與微波源5相連接的上電極,和下電極之間形成微波電子振蕩,將中間的氧氣進行電離,產(chǎn)生原子氧和離子氧。原子氧和離子氧在He氛圍的保護下具有較長壽命,對光學(xué)鏡片表面的指紋污染物進行氧化反應(yīng),達到徹底清潔作用。
將光學(xué)鏡片待清潔膜面朝上放置在下電極上。樣品倉4上部通過波紋管9和真空機構(gòu)連接,以一定速率將倉內(nèi)氣體抽出。樣品倉下部和氣體流量控制系統(tǒng)連接,通入一定比例和流速的氧氣及氦氣。真空系統(tǒng)和流量控制系統(tǒng)之間的配合,將樣品倉內(nèi)氣體成分、氣壓控制在最適宜氧氣電離的范圍。當(dāng)鋁制電極連接微波源產(chǎn)生微波輸出時,電極中間氧氣發(fā)生電離產(chǎn)生原子氧和離子氧,在He氣氛圍保護下對指紋污染進行氧化清潔作用,生成物CO、CO2、H2O以氣體形式離開樣品表面,通過真空機構(gòu)排出,在樣品倉4或者光學(xué)鏡片表面無殘留,也沒有其它二次污染物產(chǎn)生。樣品倉4的倉蓋和托盤之間采用橡膠墊進行密封,能夠維持一定氣壓。上電極和下電極之間為電絕緣,分別連接微波源5和接地。
以上所述的具體實施方式,對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實施方式而已,并不用于限定本發(fā)明的保護范圍,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。