1.一種擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置，包括：至少一個(gè)用于放置載片舟（5）的暫存區(qū)（1），其特征在于，還包括：設(shè)置暫存區(qū)（1）外的風(fēng)機(jī)（2）、設(shè)置在各暫存區(qū)（1）下方的吹風(fēng)支管（3）、將所有吹風(fēng)支管（3）連接至所述風(fēng)機(jī)（2）的出風(fēng)口的通風(fēng)主管道（4），所述吹風(fēng)支管（3）上排列設(shè)有開(kāi)口朝上的通風(fēng)孔。
2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置，其特征在于，所述風(fēng)機(jī)（2）的進(jìn)風(fēng)口和/或出風(fēng)口連接有過(guò)濾器（7）。
3.如權(quán)利要求1或2所述的擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置，其特征在于，所述風(fēng)機(jī)（2）為高壓風(fēng)機(jī)，所述高壓風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口或出風(fēng)口連接有釋壓閥（8）。