本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置。

背景技術(shù)：

在光伏電池行業(yè)中，暫存區(qū)指的是擴(kuò)散爐或PECVD設(shè)備內(nèi)設(shè)置在機(jī)械手立柱上、用于待工藝舟和已工藝舟存放的一套機(jī)械結(jié)構(gòu)。暫存區(qū)的作用有多種，例如：1、提高機(jī)械手傳輸舟的效率，減少已工藝石英舟與待工藝石英舟輸送替換的時(shí)間；2、用于已工藝舟的自然冷卻，由于已工藝舟從石英管出來后溫度非常高，當(dāng)設(shè)備為側(cè)向出舟方式時(shí)，已工藝的舟需先放置在暫存區(qū)上冷卻至一定溫度后，方可通過人工取放或側(cè)向出舟機(jī)構(gòu)傳送至自動(dòng)插片機(jī)內(nèi)。現(xiàn)有技術(shù)中的擴(kuò)散爐暫存區(qū)一般未設(shè)置有效的散熱冷卻結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致工藝舟冷卻時(shí)間非常長，嚴(yán)重影響加工效率。

因此，如何設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)簡潔、冷卻效率高的擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置，該冷卻裝置通過吹風(fēng)的方式進(jìn)行散熱，快速有效的降低載片舟及硅片的溫度。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，設(shè)計(jì)一種擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置，包括：至少一個(gè)用于放置載片舟的暫存區(qū)、設(shè)置暫存區(qū)外的風(fēng)機(jī)、設(shè)置在各暫存區(qū)下方的吹風(fēng)支管、將所有吹風(fēng)支管連接至風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口的通風(fēng)主管道，吹風(fēng)支管上排列設(shè)有開口朝上的通風(fēng)孔。

優(yōu)選的，風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口和/或出風(fēng)口連接有過濾器。

優(yōu)選的，風(fēng)機(jī)為高壓風(fēng)機(jī)，高壓風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口或出風(fēng)口連接有釋壓閥。

本實(shí)用新型在各個(gè)暫存區(qū)下方均設(shè)置有吹風(fēng)支管，在吹風(fēng)支管上設(shè)置有位于暫存區(qū)上載片舟擺放位置下方的通風(fēng)孔，由風(fēng)機(jī)提供風(fēng)量經(jīng)通風(fēng)孔吹向載片舟及硅片，從而帶走熱量，既能快速有效的降低載片舟和硅片的溫度，又能降低擴(kuò)散爐內(nèi)部的溫度，本實(shí)用新型能很好的適用于擴(kuò)散爐。

附圖說明

下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明，其中：

圖1是冷卻裝置安裝在擴(kuò)散爐內(nèi)的示意圖；

圖2是冷卻裝置對(duì)暫存區(qū)吹風(fēng)散熱的示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1、2所示，本實(shí)用新型提出的擴(kuò)散爐暫存區(qū)冷卻裝置，包括：暫存區(qū)1、風(fēng)機(jī)2、吹風(fēng)支管3和通風(fēng)主管道4，暫存區(qū)1用于放置載片舟5，硅片6間隔排列在載片舟5上，擴(kuò)散爐上一般由上至下排列有多個(gè)暫存區(qū)1，各暫存區(qū)1下方均設(shè)置有吹風(fēng)支管3，風(fēng)機(jī)2設(shè)置在暫存區(qū)1的外部，所有吹風(fēng)支管3連通連接在通風(fēng)主管道4上，再由通風(fēng)主管道4連接至風(fēng)機(jī)2的出風(fēng)口，吹風(fēng)支管3上排列設(shè)有開口朝上的通風(fēng)孔，通風(fēng)孔的位置位于暫存區(qū)1上載片舟5擺放位置的下方。

較優(yōu)的，風(fēng)機(jī)2的進(jìn)風(fēng)口或出風(fēng)口連接有過濾器7，凈化進(jìn)入風(fēng)機(jī)2內(nèi)的空氣，防止空氣中的雜質(zhì)經(jīng)吹風(fēng)支管3吹出后污染硅片6，保證硅片6的生產(chǎn)質(zhì)量，本實(shí)施例中風(fēng)機(jī)2的進(jìn)風(fēng)口連接有過濾器7，當(dāng)然也可以在風(fēng)機(jī)2的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口均設(shè)置過濾器。為了提高散熱效率，風(fēng)機(jī)2采用高壓風(fēng)機(jī)，高壓風(fēng)機(jī)連接有釋壓閥8，釋壓閥8主要是對(duì)高壓風(fēng)機(jī)的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，將釋壓閥8安裝在高壓風(fēng)機(jī)出口或入口管道上面，釋壓閥8將超過的壓力通過風(fēng)流釋放出，從而起到保護(hù)高壓風(fēng)機(jī)的作用。使用時(shí)通過高壓風(fēng)機(jī)提供風(fēng)量，由通風(fēng)主管道4流向吹風(fēng)支管3，吹風(fēng)支管3經(jīng)通風(fēng)孔吹向載片舟5和硅片6，從而迅速帶走熱量，達(dá)到有效降溫的目的。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。